第36 回表面分析研究会でのWG 活動の報告

Journal of Surface Analysis Vol.18, No. 1 (2011) pp. 58−63
永 富 隆 清 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 WG 活 動 報 告
掲 示 板
第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 での WG 活 動 の 報 告
*
永 富 隆 清
(SASJ WG 担 当 )
大 阪 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 生 命 先 端 工 学 専 攻 物 質 生 命 工 学 講 座
〒 565-0871 大 阪 府 吹 田 市 山 田 丘 2-1
* nagatomi@mls.eng.osaka-u.ac.jp
(2011 年 5 月 11 日 受 理 )
表 面 分 析 研 究 会 (SASJ)では,ワーキンググルー
プ(WG) 活 動 をさらに 活 性 化 して 発 展 させようと
考 えています.そのための 試 みとして, 第 36 回 表 面
分 析 研 究 会 (2011 年 2 月 3-4 日 , 大 阪 大 学 中 之 島 セ
ンター)において,WG 討 議 を 中 心 とした 研 究 会 を
企 画 しました. 本 企 画 を 実 施 するにあたって 事 前 に
案 内 した 本 企 画 の 趣 並 びに, 各 WG からの 報 告 や 討
議 内 容 ( 予 定 )の 概 略 については, 本 号 後 付 けの 研
究 会 資 料 (A-28 頁 )として 掲 載 されていますが, 後
付 け 資 料 は 一 般 公 開 されないため 本 稿 の 次 ページ 以
降 にも 掲 載 しましたので,ご 覧 ください.
今 回 から 新 たに 始 めた 本 企 画 について, 各 WG 活
動 の 記 録 を 残 すのと 同 時 に, 今 回 の 研 究 会 へは 参 加
できなかった 方 へも 討 議 内 容 等 をお 知 らせすること
を 目 的 として, 本 稿 以 降 に 各 WG の 紹 介 や 文 献 紹 介 ,
WG 討 議 の 報 告 のパワーポイントファイルなどをま
とめて 掲 載 いたしました. 各 WG で 実 施 するラウン
ドロビンテスト(RRT)や 討 議 ,SASJ 会 員 を 対 象 と
したアンケートなど, 各 WG での 活 動 に 対 して 会 員
の 皆 様 へのご 協 力 のお 願 いもあるかと 思 います. 会
員 の 皆 様 にはこれら WG 活 動 へ 奮 ってご 参 加 いただ
ければ 幸 いです.
なお, 次 回 の 第 37 回 研 究 会 (2011 年 6 月 を 予 定 )
においても WG 討 議 等 を 実 施 する 予 定 です. 次 回 研
究 会 に 向 けて 各 WG が 予 定 している 活 動 内 容 等 につ
いて, 以 下 にまとめますので, 本 号 に 掲 載 されてい
る 各 WG の 資 料 等 も 参 考 に,WG 討 議 へご 参 加 いた
だければ 幸 いです.
毎 年 9 月 に 開 催 される「 分 析 展 」での「JAIMA コ
ンファレンス」において, 今 年 も SASJ 主 催 のセミ
ナーを 開 催 します. 今 年 は WG 活 動 を 中 心 に 紹 介 す
る 予 定 ですので, 分 析 展 でのセミナーへのご 出 席 も
お 待 ちしております.
ToF-SIMS WG
これまでに 実 施 した RRT 並 びに 現 在 検 討 してい
る RRT の 実 施 内 容 等 について, 普 段 研 究 会 へ 参 加 で
きない SASJ 会 員 も 交 えた 討 議 を 行 い, 次 回 研 究 会
では,それら 討 議 の 結 果 を 報 告 する.
XPS WG
Ag 酸 化 物 からの Ag ピークのケミカルシフトに 関
して, 統 一 した 試 料 ( 粉 体 を 固 定 )を 準 備 し, 装 置
等 に 依 存 したピーク 形 状 の 違 いなどを 議 論 する.
また 新 しい 活 動 項 目 として, 絶 縁 物 のスパッタ 深
さ 分 析 における 帯 電 補 正 などを 検 討 するグループを
立 ち 上 げるべく, 調 査 を 行 う.
オージェ 電 子 絶 対 量 計 測 WG
これまで 別 途 活 動 を 行 ってきた「ノイズデータ
ベース」に 関 するグループ 活 動 を, 本 WG の 一 検 討
項 目 として 実 施 する. 特 に 信 号 強 度 とノイズの 関 係
について 議 論 を 行 っていく.
Depth profiling WG
現 在 議 論 している 高 感 度 高 深 さ 分 解 能 スパッタ 深
さ 分 析 の 鍵 となるイオンビームのアライメントにつ
いて, 各 WG 参 加 者 ごとのベストアライメントを 試
み,SiO 2 /Si 試 料 のスパッタ 深 さ 分 析 を 行 って 深 さ 分
解 能 について 議 論 する.また,「 海 面 位 置 , 界 面 幅 ,
深 さ 分 解 能 」の 定 義 に 関 してアンケートを 実 施 する
予 定 である.
Copyright (c) 2011 by The Surface Analysis Society of Japan
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永 富 隆 清 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 WG 活 動 報 告
( 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 配 布 資 料 1 of 5)
第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 (2 月 3-4 日 )での WG 活 動 について
SASJ WG 担 当
永 富 隆 清 ( 大 阪 大 学 )
これまでの 表 面 分 析 研 究 会 (SASJ)の 研 究 会 では,ナイトセッションが 実 施
される 6 月 の 研 究 会 を 中 心 に,バックグラウンド,ToF-SIMS,XPS などの 各 プ
ロジェクトで 討 議 を 行 い,ラウンドロビンテスト(RRT)の 実 施 やデータの 解 析 ,
標 準 化 などを 行 ってきました. 昨 年 度 から 総 てのプロジェクトをワーキンググ
ループ(WG)と 改 名 するとともに, 各 WG 活 動 を 更 に 活 性 化 し,これまで 独 立
して 活 動 してきた 各 WG を SASJ 設 立 の 目 的 である 標 準 化 活 動 や 人 材 育 成 の 場 と
して 更 に 発 展 させるべく,WG 運 営 方 針 を 変 更 してきました.
今 回 は 新 しい 試 みとして,これら WG 活 動 を 中 心 とした 研 究 会 を 企 画 するこ
とにしました. 以 下 のような,これまでとは 異 なる 趣 旨 も 取 り 入 れて WG 運 営
を 行 います.なお, 以 下 ,SASJ の 第 一 の 設 立 目 的 である「 標 準 化 」というキー
ワードを 用 いています. 従 来 は「 標 準 化 」=「 国 際 規 格 (ISO)」という 捉 え 方
がなさる 場 合 が 多 かったですが,ここでは 基 本 に 立 ち 返 り,「 標 準 化 」=「 現 場
で 役 立 つ 技 術 や 情 報 の 共 有 化 」という 意 味 で 用 いています.「 標 準 化 」という 言
葉 に 抵 抗 をお 持 ちの 方 もおられるかと 思 いますが,「 現 場 で 役 立 つ 技 術 や 情 報 の
共 有 化 」という 観 点 で, 是 非 積 極 的 に 討 議 へご 参 加 いただければと 思 います.
(1) 研 究 会 の 初 日 に, 従 来 通 りの WG 活 動 の 紹 介 を 行 うのに 加 えて, 各 WG の
活 動 に 関 連 する 文 献 紹 介 等 を 行 い, 各 WG 内 だけでなく SASJ 全 体 として,
各 WG 活 動 の 基 本 となる 情 報 や 技 術 などを 共 通 化 ( 標 準 化 )することを 図
ります.また, 全 体 討 議 の 時 間 も 長 く 確 保 し, 各 WG での 討 議 へ SASJ 全 体
の 方 針 や 該 当 WG へ 参 加 できない 方 々の 意 見 が 反 映 されるようにします.
(2) 各 WG での 討 議 はこれまでナイトセッションとして 実 施 されてきましたが,
今 回 はデイセッションとして 実 施 します. 各 WG の 討 議 事 項 ( 予 定 )に 加
えて,(3) で 概 略 を 紹 介 した 文 献 等 の 勉 強 会 も 実 施 します.また, 最 初 の 全
体 討 議 で 出 た 意 見 なども 取 り 入 れながら, 次 のステップへ 向 けた 討 議 を 行 い
ます. 従 来 のようなナイトセッションの 会 場 は 確 保 しておりませんが, 必 要
な 場 合 は, 懇 親 会 や 懇 親 会 後 の 時 間 を 討 議 時 間 としてご 利 用 ください.
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( 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 配 布 資 料 2 of 5)
(3) 研 究 会 2 日 目 の WG 報 告 と 全 体 討 議 では, 充 分 な 討 議 時 間 を 確 保 することで,
各 WG での 討 議 内 容 を 報 告 するだけでなく,WG の 枠 を 超 えた SASJ 全 体 と
しての 観 点 で 討 議 を 行 います.
このように, 各 WG での 討 議 では,これまでよりも 一 歩 踏 み 込 んだ 討 議 や,
基 礎 事 項 の 勉 強 会 などを 行 います.また,これまでは 最 も 興 味 のある 1WG への
参 加 と 討 議 しかできませんでしたが,WG 活 動 を SASJ 全 体 の 活 動 と 捉 えて 討 議
するとともに, 全 体 討 議 の 時 間 を 確 保 することで, 他 の WG での 討 議 へも 参 加
する,あるいは 他 の WG 活 動 の 情 報 を 得 ることができるようにと 考 えました.
以 下 , 今 回 の 研 究 会 で 活 動 を 予 定 している 各 WG の 討 議 等 の 内 容 をまとめま
す. 事 前 にご 確 認 いただいた 上 で 研 究 会 へご 出 席 いただければと 思 います.ま
た, 各 自 が 討 議 に 参 加 する 1 WG にこだわらず,WG の 枠 を 超 えて「 実 用 表 面 分
析 」を 目 指 した「 現 場 で 役 立 つ 技 術 や 情 報 の 共 有 化 」について, 質 問 やコメン
トなど, 活 発 な 議 論 が 行 えればと 思 います.
なにぶん 新 しい 試 みであり, 運 営 も 試 行 錯 誤 しながらになると 思 われますが,
是 非 積 極 的 に 討 議 へ 参 加 していただければと 思 います.
ToF-SIMS WG
(1) 研 究 会 1 日 目 の WG 紹 介
・ToF-SIMS WG 活 動 の 紹 介
・ 文 献 紹 介 [Surface and Interface Analysis 42 (2010) 129-138].
伊 藤 博 人 (コニカミノルタテクノロジーセンター 株 式 会 社 )
大 友 晋 哉 ( 古 河 電 工 株 式 会 社 )
(2) 研 究 会 1 日 目 に WG で 討 議 する 事 項 ( 予 定 )
1. RRT09 の 結 果 紹 介 : 大 友
2. RRT10 のテストデータの 紹 介 : 伊 藤
3. 上 記 1, 2 に 関 する 討 議 と RRT10 の 進 め 方 について 議 論
4. 論 文 紹 介 [Surface and Interface Analysis 42 (2010) 129-138].
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永 富 隆 清 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 WG 活 動 報 告
( 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 配 布 資 料 3 of 5)
(3) 2 日 目 の 全 体 討 議 と 報 告
大 友 晋 哉 ( 古 河 電 工 株 式 会 社 )
(4) 連 絡 事 項
SASJ ToF-SIMS WG では ToF-SIMS 測 定 の 標 準 化 を 視 野 に 入 れ, 最 表 面 に 存 在
する 化 学 種 の 同 定 をテーマとして 検 討 を 進 めています.ToF-SIMS の 標 準 化 の 動
向 について,NPL( 英 国 )を 中 心 に 先 行 して 進 んでいる 研 究 の 成 果 を 知 り,WG
活 動 を 活 性 化 していきたいと 考 えています.そこで [Surface and Interface
Analysis 42 (2010) 129-138] を 題 材 に 勉 強 会 を 実 施 します.
XPS WG
(1) 研 究 会 1 日 目 の WG 紹 介
・XPS WG 活 動 の 紹 介
・ 文 献 紹 介 [S. W. Gaarenstroom and N.Winograd, J.Chem. Phys., 67 (1977) 3500.]
當 麻 肇 ( 株 式 会 社 日 産 アーク)
高 野 みどり(パナソニック エレクトロニックデバイス( 株 ))
(2) 研 究 会 1 日 目 に WG で 討 議 する 事 項 ( 予 定 )
1. これまでの XPS-WG における 測 定 結 果 に 関 する 討 議
2. XPS-WG の 今 後 の 課 題 ( 試 料 )に 関 する 討 議
3. 次 回 研 究 会 に 向 けた 予 備 実 験 の 検 討
(3) 2 日 目 の 全 体 討 議 と 報 告
當 麻 肇 ( 株 式 会 社 日 産 アーク)
(4) 連 絡 事 項
これまで 行 ってきた Ag 酸 化 物 の XPS ピークのケミカルシフトを 中 心 に 討 議
する 予 定 です.
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永 富 隆 清 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 WG 活 動 報 告
( 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 配 布 資 料 4 of 5)
Background WG
(1) 研 究 会 1 日 目 の WG 紹 介
・バックグラウンドプロジェクトの 終 了 について
・これまでの 活 動 の 総 括
・オージェ 電 子 絶 対 量 計 測 WG の 発 足 について
田 沼 繁 夫 ( 物 質 ・ 材 料 研 究 機 構 )
(2) 研 究 会 1 日 目 に WG で 討 議 する 事 項 ( 予 定 )
これまでのバックグラウンドプロジェクトの 発 展 として「オージェ 電 子 絶 対
量 計 測 WG」を 発 足 する. 本 WG 発 足 に 向 けて 以 下 について 討 議 する.
・オージェの 絶 対 計 測 は 何 処 まで 進 んだか?
・ 残 された 課 題 は 何 か?
(3) 2 日 目 の 全 体 討 議 と 報 告
・ 弾 性 散 乱 ピーク,オージェピーク, 二 次 電 子 ピークの 計 測 について
・ 各 種 ピークの 計 算 について
田 沼 繁 夫 ( 物 質 ・ 材 料 研 究 機 構 )
(4) 連 絡 事 項
バックグラウンドプロジェクトは 前 回 研 究 会 で 終 了 しました.その 発 展 系 と
して「オージェ 電 子 絶 対 量 計 測 WG( 仮 称 )」を 立 ち 上 げます. 絶 対 量 計 測 とは
何 か? 計 測 と 理 論 計 算 の 両 面 から,オージェ 電 子 , 二 次 電 子 , 弾 性 散 乱 ピーク,
エネルギー 損 失 ピークの 絶 対 量 計 測 に 迫 りたいと 考 えます. 幸 いにして, 後 藤
先 生 の 絶 対 AES スペクトルがありますので( 上 記 の 全 ての 情 報 を 含 んでいます)
このデータの 読 み 方 ・ 使 い 方 , 自 分 のデータとの 比 較 , 理 論 計 算 との 比 較 から
始 めたいと 思 います.
バックグラウンドプロジェクトと 重 なるところが 多 いのですが,WG 発 足 に
あたり, 新 たな 気 持 ちで「 表 面 電 子 分 光 法 の 絶 対 計 測 の 夢 」を 追 いかけたいと
思 います. 是 非 ,ご 参 加 下 さい.
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永 富 隆 清 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 WG 活 動 報 告
( 第 36 回 表 面 分 析 研 究 会 配 布 資 料 5 of 5)
Depth Profiling WG
(1) 研 究 会 1 日 目 の WG 紹 介
・ 現 在 までの 活 動 報 告
・ 関 連 文 献 の 紹 介 [Sekine et al., Surface and Interface Analysis 13 (1988) 7-13]
石 津 範 子 (パナソニック 株 式 会 社 )
(2) 研 究 会 1 日 目 に WG で 討 議 する 事 項 ( 予 定 )
・ 高 感 度 分 析 のためのイオン 銃 アライメントの 情 報 の 共 有 ( 標 準 化 )
・WG 参 加 者 からの 課 題 抽 出
・ 界 面 位 置 , 界 面 幅 , 深 さ 分 解 能 の 定 義 について
(3) 2 日 目 の 全 体 討 議 と 報 告
石 津 範 子 (パナソニック 株 式 会 社 )
(4) 連 絡 事 項
「Depth Profiling( 深 さ 分 析 )」をキーワードとして 活 動 を 開 始 したばかりの
WG です. 現 在 は,AES を 用 いた 高 感 度 高 深 さ 分 解 能 スパッタ 深 さ 分 析 を 中 心
に 活 動 を 行 っていますが, 分 析 法 などにとらわれず, 広 い 意 味 での「 深 さ 分 析 」
について 討 議 していきたいと 考 えています.そのためにも,SASJ 会 員 の 皆 さん
が 日 頃 の 業 務 で 出 くわす「 深 さ 分 析 」に 関 する 課 題 を 抽 出 して, 課 題 の 解 決 ,
情 報 の 共 有 など, 分 析 現 場 に 役 立 つ 活 動 を 行 っていきたいと 考 えています.
また,「 深 さ 分 析 」に 関 連 して, 現 在 ISO で 進 められている「 界 面 位 置 , 界 面
幅 , 深 さ 分 解 能 の 定 義 」について, 日 本 の 分 析 現 場 の 意 見 を 反 映 した「 実 用 的
な 定 義 」となるように 議 論 したいと 思 います.
今 回 は,これら 討 議 に 加 えて, 高 感 度 AES 分 析 の 基 礎 となる 文 献 [Sekine et al.,
Surface and Interface Analysis 13 (1988) 7-13] についての 勉 強 会 も 企 画 しています
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