TOF-SIMS ワーキンググループ活動報告 - 表面分析研究会

Journal of Surface Analysis Vol.17, No. 2 (2010) pp.127-128
大 友 晋 哉 他 TOF-SIMS ワーキンググループ 活 動 報 告
比 較 した.Au + ユーザーとしては,(i)の 組 み 合 わ
せは 十 分 な 強 度 のピークが 揃 っているが,(ii)の 組
み 合 わせには 低 強 度 のピークが 含 まれており, 質
量 較 正 の 精 度 が 悪 くなる 可 能 性 がある.これに 対
して Bi ++ 3 ユーザーからは,(i)の 組 み 合 わせでは 強
度 が 強 すぎ 飽 和 してしまい,(ii)の 組 み 合 わせの 方
が 適 度 な 強 度 であるとの 意 見 が 出 された.よって,
使 用 している 機 種 や 1 次 イオン 種 に 適 した 質 量 較
正 ピークを 選 定 する 必 要 があり,その 基 準 として
ピーク 強 度 という 視 点 も 重 要 であることが 伺 え
る.
後 者 のラスター 面 積 と 積 算 時 間 を 固 定 したこ
とに 関 しては, 高 質 量 側 でのピーク 強 度 に 影 響 が
あった.まず,RRT-07 と RRT-08 で 報 告 された 結
果 を 分 子 イオン 種 のピーク 強 度 という 視 点 で,あ
らためてデータ 整 理 しなおしてみると, 単 原 子
(Ga, In, Au) イオンユーザーの 低 強 度 グループと 3
量 体 (Au 3 , Bi 3 ) イオンユーザーの 高 強 度 グループ
に,はっきりと 分 類 されることがわかった. 一 方 ,
RRT-09 で 積 算 時 間 を 200 s に 固 定 したところ,Au3
量 体 ユーザーが 積 算 時 間 の 短 縮 に 伴 い, 低 強 度 グ
ループへ 移 動 してしまった. 以 上 のことから, 積
算 時 間 を 固 定 することはあまり 好 ましくなく,イ
オンドーズ 量 あるいは 目 安 の 一 定 強 度 を 超 えた
ところまで 積 算 するなど,それぞれの 機 種 や 1 次
イオン 種 に 適 した 積 算 時 間 を 設 定 することが 重
要 であることが 示 唆 される.
今 回 のナイトセッションでは,ピーク 強 度 と 質
量 較 正 の 精 度 や 質 量 値 の 読 み 取 りのばらつきな
どとの 直 接 の 因 果 関 係 を 掴 むところまでは 至 ら
なかったが, 幾 つかの 要 因 を 洗 い 出 すことはでき
たのではないかと 思 っている. 引 き 続 き,RRT-09
のデータ 解 析 を 行 ない,RRT-10 へ 向 けての 準 備 を
進 めていく 予 定 である.
2010 年 6 月 21 日 ナイトセッション 参 加 者 ( 敬 称 略 )
阿 部 芳 巳 ( 三 菱 化 学 科 学 技 術 研 究 センター), 石
田 洋 一 (TDK), 伊 藤 博 人 (コニカミノルタテクノ
ロジーセンター), 猪 又 宏 之 ( 日 本 板 硝 子 テクノ
リサーチ), 井 原 理 恵 (TDK), 大 友 晋 哉 ( 古 河 電 気
工 業 ), 小 林 拓 ( 住 ベリサーチ), 菅 井 健 二 ( 帝 人 ),
徳 高 平 蔵 (SOM ジャパン), 安 福 秀 幸 (リコー), 山
内 康 生 ( 矢 崎 総 業 ).
参 考 文 献
[1] 阿 部 芳 巳 , TOF-SIMS WG, J. Surf. Anal. 15, 91
(2008).
[2] 阿 部 芳 巳 , TOF-SIMS WG, J. Surf. Anal. 16, A-43
(2009).
[3] 伊 藤 博 人 , TOF-SIMS WG, J. Surf. Anal. 16, A-106
(2010).
[4] 阿 部 芳 巳 , TOF-SIMS WG, J. Surf. Anal. 16, A-107
(2010).
[5] 阿 部 芳 巳 , TOF-SIMS WG, J. Surf. Anal. 17, A-43
(2010).
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