4. ความไม่สมบูรณ์ในของแข็ง

บทที 4 ความไม่สมบูรณ์ในของแข็ง ผศ.ดร.สุภาสินี ลิมปานุภาพ ซีทCs − Cx=⎛ xerf⎞⎜ ⎟(4.7)C − C ⎝ 2 Dt ⎠s0เมือ C s คือความเข้มข้นของอะตอมทีผิวของของแข็งC 0 คือความเข้มข้นของอะตอมทีมีอยู่ในของแข็งก่อนการแพร่C x คือความเข้มข้นของอะตอมทีระยะห่างจากผิว x ทีเวลา tD คือสัมประสิทธิการแพร่x คือระยะห่างจากผิวt คือเวลาในหน่วยวินาทีและ erf คือ error function ทางคณิตศาสตร์ ซึงสามารถค้นหาได้จากตารางมาตรฐานทัวไป ดังแสดงในตารางที 4.2ตารางที 4.2 ตารางแสดงค่า error functionZ erf Z Z erf Z Z erf Z Z erf Z0 00.025 0.02820.05 0.05640.10 0.11250.15 0.16800.20 0.22270.25 0.27630.30 0.32860.35 0.37940.40 0.42840.45 0.47550.50 0.52050.55 0.56330.60 0.60390.65 0.64200.70 0.67780.75 0.71120.80 0.74210.85 0.77070.90 0.79700.95 0.82091.00 0.84271.10 0.88021.20 0.91031.30 0.93401.40 0.95231.50 0.96611.60 0.97631.70 0.98381.80 0.98911.90 0.99282.00 0.99532.20 0.99812.40 0.99932.60 0.99982.80 0.99994.7.4 การประยุกต์ใช้กระบวนการแพร่ในการผลิตวัสดุการทําผิวของเหล็กให้แข็งโดยกระบวนการแก๊สคาร์บูไรซิง (gas carburizing) ทําได้โดยการเผาชิ นงานทีอุณหภูมิ 927 องศาเซลเซียส ในบรรยากาศทีมีก๊าซมีเทน(CH 4 ) หรือก๊าซไฮโดรคาร์บอนอืนๆ หรือก๊าซผสมระหว่างไนโตรเจน-เมทานอล คาร์บอนทีอยู่ในบรรยากาศจะแพร่เข้าไปในชิ นงาน ทําให้ทีผิวชิ นงานมีปริมาณคาร์บอนสูงกระบวนการทํา integrated electronic circuit (IC) สามารถทําได้โดยการแพร่สารเจือปนเข้าไปในแผ่นซิลิกอน ซึงจะมีผลทําให้การนําไฟฟ้ าของซิลิกอนเพิมมากขึ น ทําได้โดยการทําแผ่นซิลิกอนวางใน~ 71 ~