31.07.2013 Views

[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto

[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto

[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

4. XPS pinta-analyyttisenä tutkimusmenetelmänä 34<br />

Summaamalla komponenttien määrät yhteen saadaan yksinkertaisesti nettomäärä, johon<br />

yksittäistä komponenttia voi verrata. Tällä tavalla voidaan tunnistaa jopa 0,1 atomiprosentin<br />

tarkkuudella alkuainekonsentraatio. Tällöin sensitiivisyyden tulee kuitenkin<br />

olla suuri ja epätarkkuutta aiheuttavien tekijöiden minimoinnin on onnistuttava. Epätarkkuutta<br />

aiheuttavat signaali-kohina-suhde ja energian resoluutio. Signaali-kohinasuhdetta<br />

voidaan laskea mittaamalla valittu energia-alue useita kertoja ja laskemalla tietyllä<br />

energialla mitatuista pisteistä keskiarvo. Lisäksi on huomioitava, että sovitettaessa<br />

piikkiä hyvin pieneen alkuainekonsentraatioon sovituksen suhteellinen virhe voi olla<br />

alkuaineen konsentraation luokkaa [6 s. 73]. [6, 38]<br />

4.5 Eristävän näytteen mittaus<br />

Metallin, puolijohteen ja eristeen ominaisuudet eroavat toisistaan niiden erilaisten elektronirakenteiden<br />

takia. Kuvassa 4.8 on esitetty metallin, puolijohteen ja eristeen valenssi-<br />

ja johtavuusvyöt. Kuten kuvasta 4.8 nähdään metallilla kyseiset elektronivyöt ovat<br />

päällekkäin ja miehitetyiltä valenssitiloilta voi siirtyä elektroneja johtavuusvyölle. Eristeen<br />

ja puolijohteen tapauksissa valenssi- ja johtavuusvyön välissä on energia-aukko Eg,<br />

jonka takia johtavuusvyön ja valenssivyön välillä ei juurikaan liiku elektroneja ilman ulkoista<br />

tekijää, joka aiheuttaisi virittymisen. XPS-menetelmässä tämä elektronirakenteiden<br />

ero tulee esiin, koska menetelmä perustuu näytteen pinnalta poistuviin fotoelektroneihin.<br />

Metalleilla, jotka ovat hyviä johteita, poistuneet fotoelektronit korvautuvat muualta<br />

näytteestä, näytteenpitimestä ja manipulaattorista peräisin olevilla elektroneilla.<br />

Eristeiden tapauksessa fotoelektronien jättämiä aukkoja ei voida täyttää näytteestä käsin,<br />

koska energia-aukko valenssi- ja johtavuusvyön välillä vaikeuttaa elektronien siirtymistä<br />

vöiden välillä. [6, 18, 48]<br />

Kuva 4.8: Eri materiaalien erot elektronirakenteessa. Mukailtu lähteestä [18 s. 36].<br />

Tässä työssä tutkitut näytteet ovat materiaaliominaisuuksiltaan eristeitä ja siten<br />

ne vaativat laitteistolta erityispiirteitä. Eristävät näytteet varautuvat mittausten aikana<br />

positiivisesti, koska pinnalta poistuu fotoelektroneja. Mikäli näyte olisi johtava,<br />

poistuneet elektronit korvautuisivat maadoitetusta näytteenpitimestä ja manipulaatto-

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!