[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto
[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto
[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
4. XPS pinta-analyyttisenä tutkimusmenetelmänä 34<br />
Summaamalla komponenttien määrät yhteen saadaan yksinkertaisesti nettomäärä, johon<br />
yksittäistä komponenttia voi verrata. Tällä tavalla voidaan tunnistaa jopa 0,1 atomiprosentin<br />
tarkkuudella alkuainekonsentraatio. Tällöin sensitiivisyyden tulee kuitenkin<br />
olla suuri ja epätarkkuutta aiheuttavien tekijöiden minimoinnin on onnistuttava. Epätarkkuutta<br />
aiheuttavat signaali-kohina-suhde ja energian resoluutio. Signaali-kohinasuhdetta<br />
voidaan laskea mittaamalla valittu energia-alue useita kertoja ja laskemalla tietyllä<br />
energialla mitatuista pisteistä keskiarvo. Lisäksi on huomioitava, että sovitettaessa<br />
piikkiä hyvin pieneen alkuainekonsentraatioon sovituksen suhteellinen virhe voi olla<br />
alkuaineen konsentraation luokkaa [6 s. 73]. [6, 38]<br />
4.5 Eristävän näytteen mittaus<br />
Metallin, puolijohteen ja eristeen ominaisuudet eroavat toisistaan niiden erilaisten elektronirakenteiden<br />
takia. Kuvassa 4.8 on esitetty metallin, puolijohteen ja eristeen valenssi-<br />
ja johtavuusvyöt. Kuten kuvasta 4.8 nähdään metallilla kyseiset elektronivyöt ovat<br />
päällekkäin ja miehitetyiltä valenssitiloilta voi siirtyä elektroneja johtavuusvyölle. Eristeen<br />
ja puolijohteen tapauksissa valenssi- ja johtavuusvyön välissä on energia-aukko Eg,<br />
jonka takia johtavuusvyön ja valenssivyön välillä ei juurikaan liiku elektroneja ilman ulkoista<br />
tekijää, joka aiheuttaisi virittymisen. XPS-menetelmässä tämä elektronirakenteiden<br />
ero tulee esiin, koska menetelmä perustuu näytteen pinnalta poistuviin fotoelektroneihin.<br />
Metalleilla, jotka ovat hyviä johteita, poistuneet fotoelektronit korvautuvat muualta<br />
näytteestä, näytteenpitimestä ja manipulaattorista peräisin olevilla elektroneilla.<br />
Eristeiden tapauksessa fotoelektronien jättämiä aukkoja ei voida täyttää näytteestä käsin,<br />
koska energia-aukko valenssi- ja johtavuusvyön välillä vaikeuttaa elektronien siirtymistä<br />
vöiden välillä. [6, 18, 48]<br />
Kuva 4.8: Eri materiaalien erot elektronirakenteessa. Mukailtu lähteestä [18 s. 36].<br />
Tässä työssä tutkitut näytteet ovat materiaaliominaisuuksiltaan eristeitä ja siten<br />
ne vaativat laitteistolta erityispiirteitä. Eristävät näytteet varautuvat mittausten aikana<br />
positiivisesti, koska pinnalta poistuu fotoelektroneja. Mikäli näyte olisi johtava,<br />
poistuneet elektronit korvautuisivat maadoitetusta näytteenpitimestä ja manipulaatto-