![[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto](https://img.yumpu.com/18588737/44/500x640/tiedoston-alaotsikko-tampereen-teknillinen-yliopisto.jpg)
[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto
[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto
[Tiedoston alaotsikko] - Tampereen teknillinen yliopisto
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
4. XPS pinta-analyyttisenä tutkimusmenetelmänä 36<br />
Kuva 4.9: Emissiokulman vaikutus informaatiosyvyyteen. Mukailtu lähteestä [4 s. 91]<br />
Emissiokulman muuttaminen tarkoittaa, että näytettä käännetään suhteessa detektorille<br />
kulkeutuvien elektronien suuntaan. Kuten kaavasta 4.6 voidaan havaita, emissiokulman<br />
muuttaminen vaikuttaa intensiteettiin tietyltä syvyydeltä ja sitä kautta myös informaatiosyvyyteen,<br />
jolta 95% saadusta signaalista on peräisin. Emissiokulman kasvattaminen<br />
aiheuttaa sen, että detektorille päätyvät elektronit ovat kulkeneet näytemateriaalissa<br />
enintään aiemmin luvussa 4.3.1 mainitun 3λ matkan, mutta tässä tapauksessa eivät<br />
kohtisuoraan pintaa kohti. Trigonometrian perusteella voidaan laskea kyseisen emissiokulman<br />
tuottama informaatiosyvyys, joka on kohtisuora etäisyys pinnasta. Tässä työssä<br />
käytetyn 45 asteen emissiokulman informaatiosyvyys on likimain 2,1λ (<br />
). Koska<br />
informaatiosyvyys pienenee pintakerrosten signaalin suhteellinen osuus kasvaa. Emissiokulman<br />
40–45 astetta käyttäminen huokoisen näytteen mittauksessa on suoraviivainen<br />
ja tehokas metodi, kuten Peter J. Compson asian ilmaisee [51 s. 658]. [19, 44, 51]
Change language