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Les états de surface dans tous leurs états - Micronora

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� � � � � � � � � � � � � � � � ° 1 1 4<br />

<strong>Les</strong> <strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

<strong>dans</strong> <strong>tous</strong> <strong>leurs</strong> <strong>états</strong><br />

MICRONORA 2008<br />

XVII e Salon international <strong>de</strong>s microtechniques<br />

23 - 26 septembre - Besançon - France<br />

Deman<strong>de</strong>z votre badge visiteur gratuit sur www.micronora.com


OUTILLAGE DÉCOUPAGE EMBOUTISSAGE ASSEMBLAGE<br />

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Tél. : (33) 03 81 50 21 67 - Fax : (33) 03 81 53 41 96 - E-mail : contact@grosperrin.com<br />

CACTUS - RCS Besançon B 408 237 170 - PHOTOS : PIERRE GUÉNAT


L'innovation<br />

é d i t o r i a l<br />

au cœur <strong>de</strong> <strong>Micronora</strong><br />

Du 23 au 26 septembre prochain, à Besançon, se tiendra la 17 e édition <strong>de</strong><br />

<strong>Micronora</strong>, salon international <strong>de</strong>s microtechniques et <strong>de</strong> la haute précision.<br />

D’après la FIM, la précision est l’un <strong>de</strong>s secteurs les plus dynamiques. Sans doute<br />

est-ce une <strong>de</strong>s raisons pour laquelle notre salon affiche complet… 8 mois avant<br />

son ouverture ! De plus, <strong>de</strong>s travaux <strong>dans</strong> les halls d’exposition ont permis la<br />

progression <strong>de</strong> la <strong>surface</strong> d’exposition <strong>de</strong> + 5% par rapport à 2006.<br />

Parmi les exposants, dont 36% étrangers, les donneurs d’ordres, en quête<br />

d’innovations pour renforcer la compétitivité <strong>de</strong> <strong>leurs</strong> entreprises, découvriront<br />

une offre large, <strong>de</strong> la R & D à la production, <strong>de</strong> toutes les technologies pour la<br />

haute précision et la miniaturisation ; y-compris les nanotechnologies.<br />

<strong>Les</strong> visiteurs peuvent s’inscrire d’ores et déjà sur notre site internet :<br />

www.micronora.com afin <strong>de</strong> ne pas manquer ce grand ren<strong>de</strong>z-vous. Ils peuvent<br />

également consulter notre programme d’animations dédié, en partie cette<br />

année, à la métrologie.<br />

Ce numéro y consacre d’ail<strong>leurs</strong> une bonne part <strong>de</strong> ses articles.<br />

Rien ne se fait plus <strong>dans</strong> l’industrie sans analyse <strong>de</strong>s <strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong>. L’arrivée<br />

<strong>de</strong> la norme internationale ISO 25178 est un signe. Mais tout va très vite et le<br />

4D s’annonce déjà avec la perspective <strong>de</strong> décrire le comportement dynamique<br />

d’une <strong>surface</strong> au cours du temps. Et <strong>de</strong>rrière le temps, ce sont les variations <strong>de</strong><br />

température, <strong>de</strong> pression, le champ magnétique qui se profilent… c'est-à-dire<br />

tout le mon<strong>de</strong> industriel.<br />

<strong>Les</strong> profilomètres d’ultra haute précision commercialisés par Nanojura, en<br />

partenariat avec le LNE, ont une précision <strong>de</strong> mesure d’<strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

supérieure d’un facteur <strong>de</strong> 10 à 100 à celle <strong>de</strong>s profilomètres classiques.<br />

"La fabrication additive au service <strong>de</strong> l’innovation" fut le thème <strong>de</strong> la première<br />

journée <strong>de</strong>s 12 es assises européennes du prototypage et fabrication rapi<strong>de</strong>.<br />

Vous constaterez une fois <strong>de</strong> plus <strong>dans</strong> ce numéro que l’innovation est partout,<br />

y-compris <strong>dans</strong> le secteur machines-outils.<br />

Car sans innovation, point <strong>de</strong> salut !<br />

■ Le Prési<strong>de</strong>nt, Michel GOeTZ<br />

Sommaire<br />

� Dossier : nanométrologie 2<br />

� Métrologie / Temps-fréquence 11<br />

� Prototypage rapi<strong>de</strong> 17<br />

� Microscopie optique 21<br />

� Microscopie champ proche 23<br />

� Micro-nanotechnologies 25<br />

� Nanotechnologies 27<br />

� Machines-outils 29<br />

� Robotique / usinage 35<br />

� Robotique / machines-outils 37<br />

Photo <strong>de</strong> couverture :<br />

<strong>Les</strong> images <strong>de</strong> topographie <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

sont extrêmement utiles pour voir l’évolution<br />

<strong>dans</strong> le temps <strong>de</strong>s <strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

<strong>de</strong>s pièces <strong>de</strong> moteur.<br />

Source : Digital Surf / PSA Peugeot<br />

Revue du Salon International <strong>de</strong>s Microtechniques<br />

Administration : MICRONORA<br />

BP 62125 - 25052 BESANÇON CEDEX 5<br />

Tél. : 00 33 (0)3 81 52 17 35<br />

Fax : 00 33 (0)3 81 41 30 89<br />

Site : www.micronora.com<br />

E-mail : contact@micronora.com<br />

Trimestriel - Tirage 15 000 exemplaires<br />

Directeur <strong>de</strong> la publication : Michel Goetz<br />

Date <strong>de</strong> dépôt : juillet 2008<br />

Conception et réalisation : Cactus/Besançon<br />

Impression : Imprimerie <strong>de</strong> Champagne/Langres<br />

Nous déclinons toute responsabilité pour les erreurs involontaires qui auraient<br />

pu se glisser <strong>dans</strong> le présent document, malgré <strong>tous</strong> les soins apportés<br />

à son exécution.(Jurispru<strong>de</strong>nce Cour d’Appel <strong>de</strong> Toulouse 1887, <strong>de</strong> Paris 19.10.1901)<br />

Tous droits <strong>de</strong> reproduction interdits.<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008<br />

Use of the RUbik’s CUbe® is by peRmission of seven towns Ltd


D O S S I E R<br />

Mesurer en 2D, voir en 3D et<br />

les <strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong> <strong>dans</strong> <strong>tous</strong><br />

L’arrivée <strong>de</strong> la norme internationale ISO 25178 est un signe : la caractérisation <strong>de</strong>s <strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong> 3D<br />

Mais tout va très vite et le 4D s’annonce déjà avec la perspective <strong>de</strong> décrire le comportement dynamique<br />

Et <strong>de</strong>rrière le temps, ce sont les variations <strong>de</strong> température, <strong>de</strong> pression, le champ magnétique qui se<br />

nanoJura fabricant <strong>de</strong> profilomètres optiques propose également <strong>de</strong>s mesures en prestation <strong>de</strong> service.<br />

Source : nanoJura.<br />

Le premier vrai profilomètre, le "TalySurf 1",<br />

est né en 1941 en Angleterre chez Taylor<br />

Hobson. Il s'agissait d'un instrument mesurant<br />

la géométrie d'une <strong>surface</strong> en 2D,<br />

à savoir un profil z en fonction d'une<br />

position x. Aujourd'hui encore, la plupart<br />

<strong>de</strong>s mesures industrielles <strong>de</strong> l'état <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

(EDS) se font en 2D, et notamment<br />

<strong>tous</strong> les rugosimètres à pointe diamant<br />

d'atelier, qui fournissent <strong>de</strong>s paramètres<br />

<strong>de</strong> rugosité (Ra). Dans les années 1980,<br />

les progrès en électronique mais surtout<br />

en informatique ont ouvert une nouvelle<br />

dimension, à savoir l'évaluation en 3D <strong>de</strong><br />

l'état <strong>de</strong> <strong>surface</strong>. On passait alors d'un<br />

profil z = f(x) à une <strong>surface</strong> ou topographie<br />

z = f(x,y). Avec le 3D, la <strong>surface</strong> <strong>de</strong>vient<br />

visible et le profilomètre 3D se positionne<br />

à l'intersection entre la profilométrie et la<br />

microscopie. Plus récemment, <strong>de</strong>s sociétés<br />

comme Digital Surf ou Insidix ont lancé<br />

la mesure <strong>de</strong> l'état <strong>de</strong> <strong>surface</strong> en 4D, avec<br />

une mesure du type z = f(t,x,y) qui permet<br />

<strong>de</strong> passer d'une <strong>de</strong>scription statique <strong>de</strong> la<br />

<strong>surface</strong> à une <strong>de</strong>scription dynamique en<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008<br />

fonction du temps, <strong>de</strong> la température, ou<br />

<strong>de</strong> toute autre contrainte variable imposée<br />

à la <strong>surface</strong>.<br />

Rien ne se fait plus<br />

<strong>dans</strong> l'industrie sans analyse<br />

<strong>de</strong>s <strong>états</strong> <strong>de</strong> <strong>surface</strong> !<br />

Christophe Mignot, dirigeant-fondateur <strong>de</strong><br />

Digital Surf, mentionne que "l'analyse <strong>de</strong> l'état<br />

<strong>de</strong>s <strong>surface</strong>s est une obligation <strong>dans</strong> presque <strong>tous</strong><br />

les secteurs industriels : aéronautique, automobile,<br />

medical <strong>de</strong>vices, MEMS, électronique, métallurgie,<br />

plasturgie, papiers et impression, cosmétique…<br />

" Une tôle automobile obéit à <strong>de</strong>s contraintes<br />

sévères en matière <strong>de</strong> définition du<br />

microrelief. Il faut une telle précision que la<br />

société Sidmar (aujourd'hui Arcelor-Mittal)<br />

a développé un système <strong>de</strong> gravure très<br />

précis par faisceau d'électrons (EBT) d'un<br />

<strong>de</strong>ssin 3D sur les rouleaux pour le laminage.<br />

L'industrie papetière a besoin également <strong>de</strong><br />

contrôler très précisément les paramètres<br />

surfaciques, entre autre pour éviter qu’un<br />

Si l'on désire connaître la rugosité ou la planéité <strong>de</strong>s<br />

faces supposées planes d'un composant mécanique,<br />

l'opérateur "redressement-partition" du logiciel<br />

Mountains apporte une solution rapi<strong>de</strong>.<br />

En un clic, il horizontale la face dont les limites<br />

sont automatiquement i<strong>de</strong>ntifiées par un algorithme.<br />

Un second clic suffit alors pour confirmer<br />

et afficher les paramètres d'état <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

(rugosité, ondulation, planéité). Source : Digital Surf


comprendre en 4D :<br />

<strong>leurs</strong> <strong>états</strong> !<br />

est parvenue à maturité.<br />

d'une <strong>surface</strong> au cours du temps.<br />

profilent… C’est-à-dire tout le mon<strong>de</strong> industriel !<br />

billet <strong>de</strong> banque ne reste bloqué <strong>dans</strong> son<br />

automate, ou une feuille <strong>dans</strong> son imprimante<br />

ou son photocopieur. De même, le filigrane<br />

d'un timbre obéit à <strong>de</strong>s contraintes très<br />

strictes. Quelques microns d'encre en trop<br />

sur quelques milliards <strong>de</strong> timbres poste peuvent<br />

représenter un gaspillage <strong>de</strong> plusieurs<br />

centaines <strong>de</strong> milliers d'euros par an !<br />

L'électronique est aussi une gran<strong>de</strong> consommatrice<br />

<strong>de</strong> mesures <strong>de</strong>s micro-<strong>surface</strong>s. Le<br />

front-end l'utilise notamment pour contrôler<br />

les gravures réalisées sur le silicium. Le<br />

back-end est intéressé pour contrôler les<br />

boîtiers, les connecteurs (coplanéité), les<br />

soudures (BGA), l'épaisseur <strong>de</strong>s pistes <strong>de</strong>s<br />

circuits imprimés.<br />

Enfin, <strong>dans</strong> la plasturgie, l'aspect d'un téléphone,<br />

d'un tableau <strong>de</strong> bord, d'un boîtier<br />

d'écran d'ordinateur, dépend largement du<br />

grainage qui est appliqué au moule utilisé<br />

pour fabriquer la pièce par injection. Au<br />

bout d'un certain nombre <strong>de</strong> cycles d'injection,<br />

l'usure du moule impose son remplacement<br />

ou une rénovation <strong>de</strong> sa texture.<br />

Deux familles <strong>de</strong> profilomètres<br />

à l'échelle "micro"<br />

Il existe <strong>de</strong>ux gran<strong>de</strong>s familles <strong>de</strong> profilomètres<br />

très complémentaires, les appareils<br />

à "scanning" ou balayage, à capteur monopoint,<br />

et les appareils "matriciels".<br />

<strong>Les</strong> premiers utilisent un capteur qui mesure<br />

le relief z en un seul point à la fois. Le profil<br />

(2D) ou la <strong>surface</strong> (3D) sont obtenus par<br />

balayage <strong>de</strong> la zone selon les axes horizontaux<br />

X et Y. Cette famille comporte notamment<br />

les rugosimètres 2D classiques à pointe<br />

diamant (Mahr, Ametek-Taylor-Hobson,<br />

Hommel-Etamic, Mitutoyo, Zeiss…). Elle<br />

comporte également les appareils <strong>de</strong> topo-<br />

n a n O M É T R O L O G I E<br />

La Transformée <strong>de</strong> Karhunen-Loève (TKL)<br />

La TKL a pour but d'extraire l'information<br />

pertinente contenue <strong>dans</strong> une séquence<br />

d'images (topographie, scène <strong>de</strong> thermographie<br />

IR, scintigraphie…) variant au<br />

cours du temps. L’outil est connu <strong>de</strong>puis<br />

longtemps, mais il est nouveau pour l'analyse<br />

topographique. Le principe consiste<br />

à considérer chaque pixel d'une série <strong>de</strong><br />

N images changeant au cours du temps<br />

comme un point <strong>de</strong> l'hyper-espace à N<br />

dimensions, et donc toute la série d'images<br />

comme un nuage <strong>de</strong> points dont on<br />

recherche alors les directions principales.<br />

Un changement <strong>de</strong> repère en faveur <strong>de</strong><br />

ces directions principales permet <strong>de</strong> compresser<br />

énormément l'information, et<br />

d’avoir un accès direct (sans contraintes<br />

imposées) à l'information utile contenue<br />

<strong>dans</strong> la scène. <strong>Les</strong> zones <strong>de</strong> la <strong>surface</strong> (ou<br />

<strong>de</strong> la scène) qui se comportent différemment<br />

sont i<strong>de</strong>ntifiées automatiquement.<br />

<strong>Les</strong> trois images du haut montrent un dépôt progressif <strong>de</strong> calamine moteur au cours du temps.<br />

Celle <strong>de</strong> du bas permet d'i<strong>de</strong>ntifier automatiquement les zones <strong>de</strong> la <strong>surface</strong> où la contamination<br />

a progressé par rapport à celles qui n’ont pas évolué. Source : Digital Surf<br />

graphie à scanning sans contact (nanoJura,<br />

Taylor-Hobson, Altimet,…), dont la plupart<br />

sont basés sur la technologie du capteur<br />

confocal à codage chromatique.<br />

Dans les appareils matriciels, on mesure au<br />

contraire une image en une seule opération<br />

au moyen d'une caméra CCD. Cette image ne<br />

donne pas directement le relief mais en général<br />

seulement <strong>de</strong>s courbes <strong>de</strong> niveaux. On<br />

doit alors balayer selon l'axe Z pour reconstituer<br />

le relief à partir <strong>de</strong> ces courbes <strong>de</strong><br />

niveaux. Cette famille comporte notamment<br />

les profilomètres basés sur l'interférométrie<br />

en lumière blanche (Zygo, Veeco, Fogale<br />

Nanotech), et ceux basés sur le principe du<br />

microscope confocal (NanoFocus, Sensofar).<br />

La profilométrie 2D traditionnelle<br />

est encore très présente.<br />

La profilométrie 2D est le sujet <strong>de</strong> nombreuses<br />

normes nationales et internationales.<br />

Ainsi l'ISO 12085 et l'ISO 13565 définissent<br />

<strong>de</strong>s paramètres qui sont utilisés pour la<br />

caractérisation fonctionnelle <strong>de</strong>s <strong>surface</strong>s<br />

mécaniques, notamment pour l'industrie<br />

automobile.<br />

suite page 5<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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2D<br />

3D contact<br />

3D non-contact<br />

SPM<br />

4D<br />

<strong>Les</strong> logiciels basés sur la technologie<br />

Mountains sont compatibles<br />

avec les rugosimètres 2D portables,<br />

les profilomètres 3D avec ou sans contact,<br />

et les microscopes SPM.<br />

Ils permettent également l'analyse en 4D<br />

<strong>de</strong> séries temporelles <strong>de</strong> mesures 3D.<br />

Source : Digital Surf<br />

Des progrès plus récents ont été réalisés avec<br />

l'introduction <strong>de</strong> nouveaux types <strong>de</strong> filtrage,<br />

notamment pour séparer la rugosité <strong>de</strong> l'ondulation.<br />

Toutefois, la profilométrie 2D, qui ne<br />

voit qu'une seule coupe verticale du relief <strong>de</strong><br />

la <strong>surface</strong> à la fois, n'est réellement pertinente<br />

que pour les <strong>surface</strong>s "isotropes"… qui ne<br />

sont pas légion <strong>dans</strong> l'industrie !<br />

<strong>Les</strong> <strong>surface</strong>s anisotropes requièrent généralement<br />

le passage à la profilométrie 3D,<br />

qui fournit par ail<strong>leurs</strong> <strong>de</strong>s renseignements<br />

beaucoup plus riches sur les propriétés<br />

fonctionnelles prévisionnelles <strong>de</strong> la <strong>surface</strong>.<br />

La nouvelle norme 25178 qui vient <strong>de</strong> sortir,<br />

spécifie <strong>de</strong>s paramètres 3D, mais aussi <strong>de</strong>s<br />

procédures <strong>de</strong> contrôle par <strong>de</strong>s procédés<br />

sans contact : on a ainsi normalisé en même<br />

temps le sans contact et le 3 D.<br />

Le 3D puis le 4D …<br />

comme un 3D qui bouge !<br />

Pour Christophe Mignot, l'analyse 3D <strong>de</strong>s<br />

<strong>surface</strong>s a atteint sa maturité en 2007, avec<br />

l'arrivée <strong>de</strong> cette norme internationale ISO<br />

25178 tant attendue. "<strong>Les</strong> nouveaux paramètres<br />

d'analyse qui y sont définis permettent la caractérisation<br />

<strong>de</strong> la géométrie du relief (amplitu<strong>de</strong>,<br />

pente, directionnalité…) mais aussi la prévision<br />

du comportement <strong>de</strong> la <strong>surface</strong>. En particulier<br />

la prévision du rodage, <strong>de</strong> la lubrification pour<br />

les <strong>surface</strong>s fonctionnelles <strong>de</strong>s moteurs est une<br />

application importante déjà connue en 2D mais<br />

dont la métho<strong>de</strong> a été remise à jour et considérablement<br />

améliorée en 3D <strong>dans</strong> la norme ISO<br />

25178. Aujourd'hui, le passage <strong>de</strong> l'industrie du<br />

2D au 3D s'accompagne le plus souvent par<br />

le passage <strong>de</strong>s capteurs à contact (diamant) au<br />

capteur sans contact (optique)".<br />

Le 4D ouvre <strong>de</strong> nouveaux horizons, car il<br />

permet au <strong>de</strong>là <strong>de</strong>s possibilités du 3D d'étudier<br />

l'évolution d'une <strong>surface</strong>. L'altitu<strong>de</strong> z est<br />

fonction <strong>de</strong> la position x,y mais aussi d'une<br />

quatrième dimension t, qui est le plus souvent<br />

le temps, mais qui peut tout aussi bien être la<br />

température, la pression, le champ magnéti-<br />

n a n O M É T R O L O G I E<br />

que, ou toute contrainte physique à laquelle<br />

on désire soumettre un objet ou une <strong>surface</strong><br />

pour étudier sa réaction. "<strong>Les</strong> outils <strong>de</strong> visualisation<br />

3D permettaient déjà <strong>de</strong> se promener<br />

virtuellement au-<strong>de</strong>ssus d'une nano-<strong>surface</strong> en<br />

3 dimensions avec une visualisation 3D temps<br />

réel <strong>de</strong> type simulateur <strong>de</strong> vol. Le 4D est encore<br />

plus spectaculaire ! On peut toujours survoler la<br />

<strong>surface</strong> en 3D, mais en plus, elle change pendant<br />

le survol…" Mountains version 5 fournit, au<strong>de</strong>là<br />

<strong>de</strong> l'aspect ludique et spectaculaire <strong>de</strong> la<br />

visualisation 4D, <strong>de</strong> vrais outils pour la manipulation<br />

et la quantification <strong>de</strong>s séries 4D <strong>de</strong><br />

<strong>surface</strong>s z = f(t,x,y)<br />

"Pour arriver au 4D, nous avons commencé par<br />

inclure <strong>dans</strong> notre logiciel une manipulation ergonomique<br />

<strong>de</strong>s données 4D. Pour étudier l'usure<br />

d'une <strong>surface</strong>, au lieu d’avoir N images <strong>de</strong> topographie<br />

non reliée entre elles, on les associe toutes<br />

<strong>dans</strong> une seule séquence 3D animée. Mais à côté<br />

<strong>de</strong>s outils <strong>de</strong> manipulation et <strong>de</strong> visualisation, nous<br />

avons ajouté <strong>dans</strong> la version 5 <strong>de</strong> Mountains <strong>de</strong><br />

vrais outils <strong>de</strong> calcul et d'analyse, comme la transformée<br />

<strong>de</strong> Karhunen-Loève (TKL)".<br />

Des applications potentielles<br />

du 4D <strong>dans</strong> <strong>tous</strong> les secteurs<br />

industriels<br />

Mesurer pour voir et comprendre, disionsnous…<br />

Parmi les applications envisageables,<br />

on trouve le suivi <strong>de</strong> l'altération <strong>de</strong>s <strong>surface</strong>s<br />

: corrosion, dépolymérisation aux UV <strong>de</strong>s<br />

époxys en <strong>surface</strong> d'un matériau composite,<br />

perte <strong>de</strong> charge <strong>de</strong> traitement <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />

(galvanisation, peinture, vernis…), usure d'une<br />

trame <strong>de</strong> fibres, dissolution ou éraflure d'une<br />

couche à effet barrière… ou au contraire les<br />

<strong>surface</strong>s qui s'améliorent grâce à une "intelligence<br />

locale" : nano-structures auto-assemblantes,<br />

<strong>surface</strong>s auto-cicatrisantes.<br />

On peut citer aussi la mesure <strong>de</strong> la réponse<br />

en déformation à une sollicitation, qu'elle soit<br />

thermique (alliages à mémoire <strong>de</strong> forme),<br />

en pression (réponse d'un capteur <strong>de</strong> pression,<br />

d'une membrane…) ou mécanique<br />

(étu<strong>de</strong> dynamique d'un micro-système ou<br />

d'un MEMS en fonctionnement).<br />

La solution TDM <strong>de</strong> la société française<br />

Insidix, premier vrai système <strong>de</strong> mesure 4D<br />

natif, permet par exemple <strong>de</strong> bâtir un protocole<br />

d’étu<strong>de</strong> d’un boîtier électronique qui<br />

se déforme en fonction <strong>de</strong> la température.<br />

suite page 7<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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<strong>de</strong>viennent sociétés industrielles<br />

du Groupe SIDEO.<br />

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<strong>dans</strong> les métiers du découpage, emboutissage,<br />

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CACTUS - RCS Besançon B 408 237 170 - PHOTO : C. MICAHUD


n a n O M É T R O L O G I E<br />

La TDM d’Insidix mesure les topographies et les déformations <strong>de</strong>s systèmes électroniques<br />

Représentation <strong>de</strong> la topographie d'un composant à différentes températures. Si au départ il est quasi-plan,<br />

il prend avec le temps une forme convexe (bosse) à 245°C. En comparant l'état initial et l'état final,<br />

on note que le composant présente un hysteresis. Source : Insidix<br />

En tant que spécialiste <strong>de</strong>s techniques non<br />

<strong>de</strong>structive haute résolution, Insidix utilise<br />

plusieurs techniques : la radiographie X<br />

2D/3D (résolution au micron), la microscopie<br />

acoustique (pouvoir séparateur <strong>de</strong><br />

quelques microns), la micro fluorescence<br />

X (caractérisation <strong>de</strong> couches <strong>de</strong> quelques<br />

nanomètres), la thermographie infra-rouge<br />

haute résolution et la mesure <strong>de</strong> topographie<br />

et déformation sous sollicitation thermomécanique<br />

(TDM). La société iséroise<br />

(basée à Seyssins) propose <strong>de</strong>ux types<br />

d’offres : d’une part <strong>de</strong>s prestations <strong>de</strong> service<br />

et étu<strong>de</strong>s sur pièces client, d’autre part<br />

la vente <strong>de</strong> machines adaptées aux besoins<br />

<strong>de</strong>s secteurs industriels où la défaillance<br />

présente un risque <strong>de</strong> sécurité pour les<br />

personnes ou <strong>de</strong>s risques financiers significatifs<br />

(micro-électronique, automobile,<br />

électronique aéronautique et spatiale…).<br />

La machine TDM (Topography and<br />

Deformation Measurement) mise au point<br />

et brevetée par Insidix, permet <strong>de</strong> chauffer<br />

une pièce et <strong>de</strong> suivre les déformations<br />

pendant la montée et la <strong>de</strong>scente en température<br />

(en standard <strong>de</strong> – 40°C à 260°C)<br />

Vue en 3D d'un BGA après assemblage.<br />

Source: Insidix<br />

grâce à une caméra. Dans l’électronique, les<br />

circuits imprimés PCB et les boîtiers BGA<br />

sont la plupart du temps constitués d’un<br />

ensemble <strong>de</strong> plusieurs matériaux assemblés<br />

et d'inter-connexions. Lors <strong>de</strong> la montée en<br />

température nécessaire à l’assemblage, les<br />

différences <strong>de</strong> coefficient <strong>de</strong> dilatation vont<br />

générer <strong>de</strong>s déformations qui peuvent être<br />

dommageables pour les matériaux et interfaces<br />

du produit.<br />

La démarche TDM intéresse les domaines<br />

<strong>de</strong> l’électronique automobile, l’électronique<br />

embarqué qu’il s’agisse <strong>de</strong> l’aéronautique,<br />

<strong>de</strong>s satellites ou <strong>de</strong>s forages pétroliers ou<br />

toutes autres industries où il y a assemblage<br />

par brasage, collage, dépôt, bridage mécanique,<br />

composants sous pression, batterie,<br />

optiques subissant <strong>de</strong>s cycles thermiques.<br />

La machine TDM <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> topographie<br />

et déformation sous sollicitation thermomécanique.<br />

Source: Insidix<br />

TDM innove sur le mo<strong>de</strong><br />

topographie + déformation<br />

"<strong>Les</strong> industriels nous contactent lorsque<br />

<strong>leurs</strong> produits subissent <strong>de</strong>s contraintes<br />

thermiques (normales ou acci<strong>de</strong>ntelles)<br />

et qu’ils sont détériorés ". Jean-Clau<strong>de</strong><br />

Lecomte, directeur d’Insidix, poursuit<br />

en notant que lorsque les clients<br />

envoient un échantillon, ils veulent<br />

comprendre pourquoi la pièce est<br />

défaillante. "Nous savons solliciter la<br />

pièce thermiquement et mécaniquement<br />

et regar<strong>de</strong>r les conséquences <strong>de</strong> ce<br />

stress sur les variations <strong>de</strong> la topographie<br />

en z et en xy. Avec cette machine<br />

TDM brevetée, l’élément qui nous distingue<br />

du marché tient au fait que là<br />

où tout le mon<strong>de</strong> parle <strong>de</strong> topographie,<br />

Insidix innove en parlant <strong>de</strong> "topographie<br />

+ déformation". Cela signifie<br />

qu’avec cet outil, nous sommes capable<br />

<strong>de</strong> créer une sollicitation (thermique,<br />

électrique, mécanique) et simultanément,<br />

nous savons mesurer à chaque<br />

instant la variation <strong>de</strong>s topographies <strong>de</strong>s<br />

pièces assemblées les unes par rapport<br />

aux autres et individuellement, avec <strong>de</strong>s<br />

résolutions <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> quelques µm<br />

(incluant une corrélation temps-sollicitation),<br />

soit les déformations en z et en<br />

xy. Au final, le client reçoit les images<br />

dynamiques <strong>de</strong>s déformations, l’interprétation<br />

<strong>de</strong> ses images et les amplitu<strong>de</strong>s ".<br />

Lorsque la <strong>de</strong>man<strong>de</strong> vient en amont,<br />

au moment <strong>de</strong> la conception, Jean-<br />

Clau<strong>de</strong> Lecomte parle d’approche<br />

globale prédictive <strong>de</strong> la défaillance.<br />

Insidix peut coupler les techniques<br />

non <strong>de</strong>structives : TDM, infra-rouge,<br />

microscopie acoustique et radiographie<br />

X pour un diagnostic plus précis<br />

et plus complet <strong>de</strong>s conséquences <strong>de</strong><br />

la déformation sur l’intégralité <strong>de</strong> la<br />

pièce assemblée.<br />

■<br />

Jean-Yves Catherin<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


En Franche-Comté, à Besançon,<br />

<strong>dans</strong> une région d’Europe reconnue<br />

comme pôle <strong>de</strong>s microtechniques,<br />

UND dispose sur une même zone<br />

géographique, <strong>de</strong> complémentarités<br />

industrielles et scientifiques.<br />

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n a n O M É T R O L O G I E<br />

nanoJura lance la commercialisation<br />

<strong>de</strong> ses profilomètres d'ultra-haute précision<br />

Le Laboratoire National <strong>de</strong> Métrologie et d'Essais (LNE) et nanoJura,<br />

fabricant <strong>de</strong> profilomètres d'état <strong>de</strong> <strong>surface</strong>, annoncent un accord <strong>de</strong> fabrication<br />

et <strong>de</strong> commercialisation <strong>de</strong> profilomètres d'ultra-haute précision.<br />

Principe<br />

et architecture<br />

du profilomètre<br />

d'ultra-haute<br />

précision du LNE.<br />

Source : nanoJura<br />

<strong>Les</strong> profilomètres d'ultra-haute précision<br />

<strong>de</strong> nanoJura ont une précision <strong>de</strong> mesure<br />

d'état <strong>de</strong> <strong>surface</strong> supérieure d'un facteur<br />

<strong>de</strong> 10 à 100 à celle <strong>de</strong>s profilomètres classiques.<br />

Pour étalonner <strong>de</strong>s étalons <strong>de</strong> rugosité<br />

ISO 5436-1, le LNE vient d’ail<strong>leurs</strong> <strong>de</strong><br />

s’équiper d'un tel profilomètre qui permet<br />

d'atteindre une incertitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> 16 nm sur<br />

<strong>de</strong>s Ra (moyenne arithmétique <strong>de</strong>s écarts à<br />

la moyenne du profil étudié) <strong>de</strong> 1 µm.<br />

Une chaîne métrologique fermée<br />

qui réduit les incertitu<strong>de</strong>s<br />

<strong>Les</strong> composants <strong>de</strong> base du profilomètre<br />

comprennent une table <strong>de</strong> déplacement <strong>de</strong><br />

l'échantillon munie d'un plan <strong>de</strong> verre en<br />

Zerodur. Un interféromètre laser mesure<br />

le déplacement <strong>de</strong> cette table <strong>dans</strong> la direction<br />

X (et Y). Le profil est relevé au moyen<br />

d'un capteur inductif à contact. Un interféromètre<br />

laser mesure le déplacement relatif<br />

en Z entre le bras support du capteur<br />

et la table en mouvement. La mesure <strong>de</strong><br />

ce déplacement relatif implique que les<br />

erreurs répétables (liées à la mécanique<br />

du profilomètre) et les erreurs non-répé-<br />

tables (liées aux perturbations mécaniques<br />

aléatoires telles que les vibrations) peuvent<br />

être corrigées en temps réel en utilisant la<br />

technologie brevetée Digital Surf.<br />

L'intégration <strong>de</strong>s capteurs additionnels, qui<br />

fournissent l'information sur la position<br />

du capteur <strong>de</strong> mesure par rapport à<br />

l'objet mesuré, forme une chaîne métrologique<br />

fermée et réduit les incertitu<strong>de</strong>s.<br />

L'architecture permet également l'étalonnage<br />

in situ du capteur en prenant pour<br />

Profilomètre d'ultra-haute précision utilisé par le LNE pour<br />

la calibration <strong>de</strong>s étalons <strong>de</strong> rugosité. Source : nanoJura<br />

référence l'interféromètre laser, tout en<br />

respectant le principe d'Abbe. Cette particularité,<br />

qui n'est pas disponible sur un<br />

profilomètre conventionnel, fournit une<br />

traçabilité directe vis-à-vis <strong>de</strong> l'unité <strong>de</strong><br />

longueur et évite l'utilisation <strong>de</strong>s étalons <strong>de</strong><br />

hauteur ou <strong>de</strong>s cales étalons qui requièrent<br />

un étalonnage additionnel, et qui ne sont<br />

pas d'une utilisation simple <strong>de</strong> par leur géométrie<br />

imparfaite. C'est pour cette raison<br />

que cette conception est tout spécialement<br />

adaptée à l'usage <strong>de</strong>s instituts nationaux <strong>de</strong><br />

métrologie.<br />

Mesure <strong>de</strong> rectitu<strong>de</strong>s,<br />

d'ondulation ou <strong>de</strong> petits motifs<br />

nanoJura est fabricant <strong>de</strong> profilomètres 2D<br />

et 3D d'ultra-haute précision sur la base <strong>de</strong>s<br />

technologies Volcanyon <strong>de</strong> Digital Surf. <strong>Les</strong><br />

profilomètres sont disponibles avec les <strong>de</strong>ux<br />

technologies <strong>de</strong> capteurs à contact (inductif)<br />

ou optiques (confocal chromatique). L'analyse<br />

<strong>de</strong>s données (2D ou 3D) est réalisée par<br />

l'intermédiaire du logiciel MoutainsMap. <strong>Les</strong><br />

profilomètres d'ultra-haute précision peuvent<br />

être utilisés pour toute application qui<br />

exige l'ultra-haute précision, par exemple<br />

pour la mesure <strong>de</strong> rectitu<strong>de</strong>s, d'ondulation<br />

ou <strong>de</strong> petits motifs sur <strong>de</strong> plus larges<br />

<strong>surface</strong>s, tels <strong>de</strong>s cratères sur <strong>de</strong>s <strong>surface</strong>s<br />

(allant jusqu'à 100 mm <strong>de</strong> côté) et qui ne<br />

peuvent être mesurés avec <strong>de</strong>s profilomètres<br />

conventionnels sans incertitu<strong>de</strong> significative.<br />

“Nous sommes heureux d'ajouter ces<br />

profilomètres basés sur le savoir-faire du LNE<br />

à notre gamme <strong>de</strong> produits” explique Anne<br />

Calvez, gérante <strong>de</strong> nanoJura. “Ceci implique<br />

que nanoJura est en mesure dès à présent <strong>de</strong><br />

fournir <strong>de</strong>s profilomètres <strong>de</strong> <strong>surface</strong> d'ultra-haute<br />

précision <strong>de</strong> manière exclusive à <strong>de</strong>s clients <strong>dans</strong><br />

le mon<strong>de</strong> entier.”. ■<br />

Jean-Yves Catherin<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


500 personnes<br />

6 départements<br />

<strong>de</strong> recherche<br />

savoir-faire<br />

automatique<br />

mécanique<br />

optique<br />

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temps-fréquence<br />

énergie<br />

microtechniques<br />

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M É T R O L O G I E / T E M p S - f R É q u E n c E<br />

Le Laboratoire Temps Fréquence<br />

<strong>de</strong> Besançon parmi les meil<strong>leurs</strong> au mon<strong>de</strong><br />

Le laboratoire commun LNE - FEMTO-ST fait désormais partie du Laboratoire Temps Fréquence<br />

<strong>de</strong> Besançon (LTFB). En plus <strong>de</strong> ses travaux <strong>de</strong> recherche, son activité porte sur la conception<br />

et la caractérisation d'oscillateurs <strong>de</strong> haute stabilité OUS (Oscillateurs Ultra Stables).<br />

Système <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> bruit <strong>de</strong> phase.<br />

Source : LTFB / FEMTO-ST<br />

Le 1 er mars 2008, les laboratoires accrédités<br />

<strong>de</strong> l'Observatoire <strong>de</strong> Besançon et<br />

<strong>de</strong> FEMTO-ST ont fusionné au sein d'une<br />

nouvelle structure, le Laboratoire Temps<br />

Fréquence <strong>de</strong> Besançon (LTFB). Le LTFB<br />

est donc dorénavant partenaire du LNE<br />

(Laboratoire National <strong>de</strong> métrologie et<br />

d'Essai) et comprend les <strong>de</strong>ux laboratoires<br />

accrédités par le COFRAC, auxquels<br />

sont adjointes <strong>de</strong>s activités <strong>de</strong> recherche<br />

directement liées aux activités d'étalonnage.<br />

Le LTFB compte une douzaine <strong>de</strong><br />

personnels permanents. Du 22 au 25 avril<br />

2008, il a tenu un stand commun avec<br />

FEMTO-ST au congrès Temps-Fréquence<br />

Toulouse Space Show'08.<br />

Qu’est-ce que le Temps-Fréquence ? Quand<br />

on aura précisé que l’essentiel <strong>de</strong>s clients<br />

du LTFB est constitué par le CNES pour<br />

les satellites et la DGA et Thales pour les<br />

radars, on aura compris que le créneau est<br />

étroit. D’ail<strong>leurs</strong>, Patrice Salzenstein, direc-<br />

Instrumentation pour la mesure <strong>de</strong> stabilité court terme <strong>de</strong> fréquence. Source : LTFB / FEMTO-ST<br />

teur adjoint du LTFB, compte ses homologues<br />

sur seulement quelques mains.<br />

Deux accréditations<br />

COFRAC<br />

Le LTFB est accrédité par le COFRAC<br />

pour réaliser <strong>de</strong>s étalonnages <strong>de</strong> dispositifs<br />

temps-fréquence, fournissant un signal <strong>dans</strong><br />

une ban<strong>de</strong> allant <strong>de</strong> 1 MHz à 18 GHz. Il<br />

l’est également pour caractériser la stabilité<br />

à court terme <strong>de</strong>s signaux <strong>de</strong> fréquence<br />

<strong>de</strong> 1 MHz à 1 GHz pour <strong>de</strong>s temps d’intégration<br />

<strong>de</strong> 0,2 s à 100 s. Ces étalonnages<br />

permettent <strong>de</strong> caractériser les signaux, soit<br />

<strong>dans</strong> le domaine temporel par la mesure<br />

<strong>de</strong> l'instabilité <strong>de</strong> fréquence en fonction du<br />

temps <strong>de</strong> mesure (tau) et la détermination<br />

<strong>de</strong> la variance d'Allan (10 -3 s < tau


Multiplicateur<br />

<strong>de</strong> fréquence et détail<br />

<strong>de</strong> l'une <strong>de</strong>s cartes<br />

spécialement développée.<br />

Source : LTFB / FEMTO-ST<br />

Mesure du bruit <strong>de</strong> phase,<br />

exactitu<strong>de</strong> et stabilité<br />

<strong>de</strong> la fréquence<br />

Pour comprendre comment fonctionne<br />

un oscilloscope, Patrice Salzenstein, prend<br />

l’exemple d’un pendule comtois qui a une<br />

fréquence d’oscillation propre, mais qui<br />

perd <strong>de</strong> la puissance <strong>dans</strong> le temps à cause<br />

<strong>de</strong> frottements divers. Pour le maintenir,<br />

il faut lui communiquer <strong>de</strong> l’énergie. Un<br />

oscillateur comprend donc un résonateur,<br />

un amplificateur (qui compense les pertes),<br />

un déphaseur et un coupleur directionnel<br />

qui extrait une partie du signal hors <strong>de</strong> la<br />

boucle d’amplification. Le résonateur est un<br />

filtre passe ban<strong>de</strong>, caractérisé par un coefficient<br />

<strong>de</strong> qualité Q : s’il est bon, on aura<br />

peu <strong>de</strong> bruit et une bonne stabilité. Pour<br />

les résonateurs produits chez Oscilloquartz<br />

(Neufchatel) à 5 MHz, à l’état <strong>de</strong> l’art international,<br />

Q = 1,8 10 6 avec <strong>de</strong>s fréquences<br />

<strong>de</strong> coupure <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> 2 Hz et une<br />

variance d’Allan avoisinant les 5. 10 –14 .<br />

Banc d'étalonnage primaire du bruit <strong>de</strong> phase. Source : LTFB / FEMTO-ST<br />

M É T R O L O G I E / T E M p S - f R É q u E n c E<br />

Comme cela vient d’être dit, les oscillateurs<br />

sont sujets à <strong>de</strong>s variations qu’il est<br />

important <strong>de</strong> repérer. "Le but <strong>de</strong> FEMTO-ST<br />

est <strong>de</strong> caractériser l’exactitu<strong>de</strong> et la stabilité<br />

<strong>de</strong> la fréquence ainsi que le bruit <strong>de</strong> phase<br />

du signal <strong>de</strong> l’oscillateur. Tout ce qui concerne<br />

la puissance est pris en charge par le LNE <strong>de</strong><br />

Trappes".<br />

Mesurer le bruit<br />

<strong>de</strong> phase<br />

Pour caractériser le bruit <strong>de</strong> phase, le LTFB<br />

possè<strong>de</strong> <strong>de</strong>s bancs <strong>de</strong> mesure pour les<br />

oscillateurs et synthétiseurs <strong>de</strong> fréquence.<br />

La métho<strong>de</strong> la plus utilisée consiste à<br />

utiliser l’oscillateur d’un client (couplé<br />

avec un <strong>de</strong>s oscillateurs du LTFB) ou <strong>de</strong>ux<br />

oscillateurs i<strong>de</strong>ntiques et on étalonne la<br />

paire d’oscillateurs en bruit <strong>de</strong> phase. Car<br />

la mesure exige toujours <strong>de</strong>ux oscillateurs<br />

et s’il n’y en a qu’un, on le mesure par<br />

rapport à une référence.<br />

Comparaison internationale<br />

<strong>de</strong> bruit <strong>de</strong> phase<br />

Grâce au soutien du LNE, une comparaison<br />

internationale en bruit <strong>de</strong> phase a été<br />

lancée a l’initiative <strong>de</strong> FEMTO-ST en octobre<br />

2005. Une collaboration a été mise<br />

en place entre le département Temps-<br />

Fréquence <strong>de</strong> l'Académie <strong>de</strong>s Sciences<br />

tchèque, impliquant également la société<br />

Oscilloquartz, financée par le LNE en 2007<br />

et en 2008. Prague a été choisi à cause<br />

<strong>de</strong>s conditions exceptionnelles <strong>de</strong> mesure<br />

car le laboratoire a été construit pour le<br />

Temps-Fréquence <strong>dans</strong> <strong>de</strong>s blockhaus à<br />

20 m sous terre (laboratoire sans vibration<br />

et faradisé). Cette comparaison a réuni 10<br />

entités : Oscilloquartz (Suisse), Timetech<br />

(Allemagne), IPE (département TF <strong>de</strong><br />

Prague), <strong>de</strong>s laboratoires français (CNES,<br />

LAAS, Observatoire <strong>de</strong> Paris) et <strong>de</strong>s industriels<br />

dont AR Electronique. "Nous avons<br />

utilisé <strong>de</strong>s bancs à double mélangeur avec<br />

3 oscillateurs à l’état <strong>de</strong> l’art, sans oscillateur<br />

référent. En permutant les oscillateurs, on<br />

obtient trois courbes et grâce à un traitement<br />

mathématique, on arrive à déterminer le bruit<br />

<strong>de</strong> chaque oscillateur. En termes <strong>de</strong> résultat,<br />

nous étions inférieur à 5.10 –14 <strong>de</strong> 1 s à 100 s<br />

et ce résultat est <strong>de</strong> l’ordre du jamais vu".<br />

Le client veut savoir l’allure <strong>de</strong> la courbe<br />

<strong>de</strong> bruit <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> son oscillateur. "Dans<br />

ce domaine, il y a pas d’étalon national, c’est la<br />

métho<strong>de</strong> elle-même qui est étalon national, et<br />

en bruit <strong>de</strong> phase, nous sommes la référence<br />

nationale en France. Nous ne raccordons pas<br />

les utilisateurs finaux mais ceux qui font <strong>de</strong>s<br />

étalonnages et qui viennent avec <strong>leurs</strong> références<br />

(étalons secondaires)".<br />

Le résultat donné aux clients est matérialisé<br />

par une courbe donnant le bruit SΦ en<br />

fonction <strong>de</strong> la fréquence <strong>de</strong> Fourier à une<br />

fréquence, associée à une incertitu<strong>de</strong>.<br />

Mesurer la stabilité<br />

<strong>de</strong> la fréquence<br />

La stabilité est donnée par la mesure <strong>de</strong><br />

la variance d’Allan. Le client veut savoir <strong>de</strong><br />

combien son oscillateur bouge toutes les 0,1<br />

secon<strong>de</strong> (ou plus) sachant que le LTFB est<br />

accrédité <strong>de</strong> 0,1 à 100 secon<strong>de</strong>s. suite page 15<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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Premier laboratoire au mon<strong>de</strong><br />

pour mesurer les résonateurs<br />

Seuls <strong>de</strong>ux laboratoires <strong>dans</strong> le mon<strong>de</strong><br />

sont capables <strong>de</strong> mesurer un résonateur<br />

non monté en oscillateur,<br />

Femtosecon<strong>de</strong> (EU) et FEMTO-ST qui<br />

obtient <strong>de</strong> meil<strong>leurs</strong> résultats. Pour<br />

effectuer cette mesure, on utilise <strong>de</strong>ux<br />

résonateurs i<strong>de</strong>ntiques (ou proches),<br />

car pour en mesurer un, il faut mesurer<br />

le bruit <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux résonateurs en<br />

même temps. Pour cela, on utilise une<br />

source <strong>de</strong> fréquence (par exemple un<br />

synthétiseur). Une partie du signal en<br />

quadrature (90°) sert <strong>de</strong> pompe vers<br />

un mélangeur, l’autre partie est envoyée<br />

sur les <strong>de</strong>ux résonateurs, dont l’un<br />

est déphasé <strong>de</strong> 180° par rapport à<br />

l’autre. A la sortie <strong>de</strong>s résonateurs, le<br />

déphasage va superposer et annuler<br />

les porteuses et il ne subsistera qu’un<br />

signal faible constitué seulement par<br />

le bruit qui sera fortement amplifié <strong>de</strong><br />

40 db avant <strong>de</strong> rencontrer la source (en<br />

quadrature). On obtient une courbe qui<br />

donne <strong>de</strong>s informations sur la stabilité<br />

du signal ainsi que l’écart à la porteuse.<br />

"La difficulté, c’est que le Temps-fréquence est<br />

un domaine assez particulier : l’état <strong>de</strong> l’art est<br />

tel que les oscillateurs à 5 MHz sont stables à<br />

5.10 -14 . Il y a peu <strong>de</strong> domaines où le rapport<br />

d’aspect entre ce qu’on mesure (variation <strong>de</strong><br />

la fréquence) et la valeur qu’on récupère (sa<br />

porteuse) est si grand et où l’on a <strong>de</strong> telles<br />

résolutions : 5 MHz stable à 5.10 -14 , cela signifie<br />

que c’est le digit du µHz qui peut bouger.<br />

Or, un compteur commercial <strong>de</strong> fréquence a<br />

seulement 9 digits". Lors <strong>de</strong> la mesure, le<br />

compteur indiquera toujours 5 MHz, et il<br />

Le LTFB a tenu un stand commun avec FEMTO-ST<br />

au congrès Temps-Fréquence Toulouse Space Show'08.<br />

Source : LTFB / FEMTO-ST<br />

M É T R O L O G I E / T E M p S - f R É q u E n c E<br />

Oscillateurs BVA Oscilloquartz à l’état <strong>de</strong> l’art 5 MHz. Source : LTFB / FEMTO-ST<br />

faudra utiliser une astuce pour compenser<br />

ce manque <strong>de</strong> résolution, astuce qui va<br />

consister à transformer le signal en faisant<br />

sauter le <strong>de</strong>rnier digit <strong>de</strong> quelques cases<br />

(pour le faire remonter <strong>de</strong> 10 5 ) <strong>de</strong> façon<br />

à pouvoir le mesurer au compteur. "Pour<br />

cela, nous utilisons un oscillateur <strong>de</strong> référence<br />

asservi sur un césium et l’oscillateur à mesurer.<br />

<strong>Les</strong> <strong>de</strong>ux signaux sont envoyés sur un multiplicateur<br />

d’écart (multiplié par 10 5 ) et nous<br />

programmons le compteur avec un temps<br />

d’intégration (entre 0,1 s et 100 s). Ensuite,<br />

un traitement <strong>de</strong>s données tient compte <strong>de</strong>s<br />

10 5 du multiplicateur d’écart et donne une<br />

variance. Pour chaque point, nous avons choisi<br />

512 fréquences et nous traçons une courbe.<br />

C’est cette courbe donnée sur le certificat<br />

d’étalonnage Cofrac qui indique au client la<br />

stabilité court terme <strong>de</strong> fréquence associée à<br />

<strong>de</strong>s incertitu<strong>de</strong>s".<br />

Des oscillateurs<br />

opto-électroniques pour<br />

les très hautes fréquences<br />

A Toulouse, le LTFB vient <strong>de</strong> présenter ses<br />

travaux sur <strong>de</strong>s oscillateurs opto-électronique.<br />

"<strong>Les</strong> spectres <strong>de</strong> fréquence couverts<br />

communément vont <strong>de</strong> 5 à 100 MHz et nous<br />

travaillons pour le CNES et la Défense <strong>dans</strong><br />

les hyper-fréquences à 10, 12 et 17 GHz.<br />

Mais la communauté internationale travaille<br />

sur <strong>de</strong>s fréquences encore plus élevées pour<br />

lesquelles les oscillateurs opto-électroniques<br />

sont une <strong>de</strong>s réponses possibles". Dans ce<br />

type d’oscillateur, le résonateur n’est plus<br />

un quartz mais une bobine <strong>de</strong> fibre ou un<br />

mini-résonateur optique. Le système comporte<br />

un laser, un modulateur, un résonateur,<br />

une photo-dio<strong>de</strong> et un amplificateur<br />

<strong>dans</strong> sa partie optique et une partie en<br />

hyper-fréquence.<br />

La porteuse optique est <strong>dans</strong> le domaine<br />

du TeraHertz et la modulation possè<strong>de</strong> un<br />

filtre qui dicte la fréquence globale <strong>de</strong> l’oscillateur.<br />

"Au niveau du banc <strong>de</strong> mesure, nous<br />

sommes à l’état <strong>de</strong> l’art, comparable au Jet<br />

Propulsion Laboratory <strong>de</strong> Pasa<strong>de</strong>na (Nasa) et<br />

au niveau oscillateur opto-électronique, nous<br />

sommes juste <strong>de</strong>rrière, <strong>dans</strong> les trois premiers<br />

laboratoires mondiaux".<br />

Plus globalement, les activités <strong>de</strong> recherche<br />

portent sur le développement d’une<br />

métho<strong>de</strong> d’étalonnage absolu pour la<br />

mesure du bruit <strong>de</strong> phase, la fabrication<br />

d'un amplificateur <strong>de</strong> distribution et d'un<br />

prémultiplicateur d'écart <strong>de</strong> fréquence et<br />

la mise en oeuvre d'un système <strong>de</strong> régulation<br />

thermique <strong>de</strong> haute sensibilité pour<br />

la réalisation d'oscillateurs cryogéniques<br />

ultrastables. Elle porte également sur l’évaluation<br />

et l’amélioration <strong>de</strong>s planchers <strong>de</strong><br />

mesures et <strong>de</strong>s limites <strong>de</strong> la confiance <strong>dans</strong><br />

la détermination <strong>de</strong> la variance d'Allan lors<br />

<strong>de</strong> l'asservissement d'un oscillateur sur un<br />

autre. ■<br />

Yann Clavel<br />

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L'AEPR 2008 met l'innovation<br />

et la fabrication directe à l'honneur !<br />

<strong>Les</strong> Assises Européennes <strong>de</strong> Prototypage & Fabrication Rapi<strong>de</strong> <strong>de</strong> l'AFPR ont mis l'accent<br />

sur l'innovation, la réduction <strong>de</strong>s délais <strong>de</strong> mise sur le marché et la fabrication rapi<strong>de</strong>,<br />

à la fois pour la fabrication directe métallique et céramique et pour la filière plastique.<br />

<strong>Les</strong> 12 es Assises Européennes du Prototypage<br />

& Fabrication Rapi<strong>de</strong> (AEPR) se sont tenus<br />

les 4, 5 et 6 mars 2008 à l'Ecole Centrale <strong>de</strong><br />

Paris sur le thème "La fabrication additive<br />

au service <strong>de</strong> l'innovation". La première<br />

journée consacrée à la fabrication additive<br />

comme outil d'innovation a fait le point sur<br />

l'état <strong>de</strong> l'art <strong>dans</strong> le domaine <strong>de</strong>s techniques<br />

<strong>de</strong> fabrication additive. La secon<strong>de</strong><br />

journée sur la fabrication directe métal<br />

et céramique a recensé les techniques <strong>de</strong><br />

fabrication additive permettant désormais<br />

<strong>de</strong> fabriquer directement <strong>de</strong>s pièces métalliques<br />

<strong>de</strong>nses ou <strong>de</strong>s outillages. La troisième<br />

journée sur la fabrication directe plastique,<br />

a porté sur l’inventaire <strong>de</strong>s machines et<br />

matériaux, <strong>de</strong>s étu<strong>de</strong>s <strong>de</strong> cas avec <strong>de</strong>s<br />

témoignages industriels et le retour d'expériences<br />

<strong>de</strong>s sous-traitants spécialisés.<br />

Le réflexe fabrication directe<br />

dès la conception !<br />

Au cours <strong>de</strong> ces journées AEPR 2008,<br />

trois Trophées (décrits ci-<strong>de</strong>ssous) sont<br />

venus récompenser la meilleure pièce,<br />

la meilleure étu<strong>de</strong>, la meilleure application<br />

<strong>de</strong> fabrication directe, ainsi qu’un<br />

Prix spécial du jury. Mais au-<strong>de</strong>là <strong>de</strong>s<br />

pièces et <strong>de</strong>s présentations techniques,<br />

comment évolue le mon<strong>de</strong> <strong>de</strong> la<br />

fabrication rapi<strong>de</strong> ? Sylvestre Nunes,<br />

secrétaire AFPR, note que "la fabrication<br />

additive n’est plus perçue seulement<br />

comme la possibilité <strong>de</strong> concevoir un<br />

produit et <strong>de</strong> se <strong>de</strong>man<strong>de</strong>r ensuite si cette<br />

technique ne serait pas une solution <strong>de</strong><br />

production. Nous ne sommes plus du tout<br />

<strong>dans</strong> la fabrication exclusive <strong>de</strong> prototypes,<br />

mais <strong>dans</strong> les petites séries. Des industriels<br />

qui avaient besoin <strong>de</strong> créer et <strong>de</strong> maintenir<br />

<strong>de</strong>s outillages pour <strong>de</strong>s séries <strong>de</strong> 200<br />

pièces contactent <strong>de</strong>s sociétés <strong>de</strong> service et<br />

constatent la qualité <strong>de</strong>s pièces obtenues<br />

en fabrication additive qui les dispense<br />

ainsi <strong>de</strong> créer <strong>de</strong>s outillages (gain <strong>de</strong> temps<br />

et d’argent). Nous constatons également<br />

<strong>de</strong>s évolutions <strong>dans</strong> la fréquentation <strong>de</strong><br />

nos salons : avant, nous avions un public<br />

orienté prototypage rapi<strong>de</strong>, responsable<br />

<strong>de</strong> prototypes, alors qu’aujourd’hui, nous<br />

voyons venir <strong>de</strong>s responsables <strong>de</strong> bureau<br />

d’étu<strong>de</strong> et <strong>de</strong>s gens <strong>de</strong> la production.<br />

Trophée <strong>de</strong> la meilleure pièce :<br />

la fabrication <strong>de</strong> cette queue <strong>de</strong> carpe<br />

a permis <strong>de</strong> produire 30 exemplaires<br />

en 10 jours contre 4 mois avec l’ancien procédé.<br />

Source : Dassault Aviation et BV Proto.<br />

<strong>Les</strong> gran<strong>de</strong>s entreprises envoient souvent<br />

<strong>de</strong>s binômes avec les <strong>de</strong>ux profils".<br />

Sur un plan plus technique, Sylvestre<br />

Nunes note la présence <strong>de</strong> la société<br />

Objet qui commercialise une machine<br />

d’impression 3D bi-matériaux. Cette<br />

machine et cette technologie attendue<br />

permettent <strong>de</strong> travailler avec <strong>de</strong>ux résines<br />

et d’avoir en sortie un matériau plus<br />

ou moins rigi<strong>de</strong>. Dans le même process<br />

<strong>de</strong> fabrication, on peut ainsi obtenir une<br />

pièce qui soit rigi<strong>de</strong> <strong>dans</strong> une partie et<br />

souple <strong>dans</strong> une autre.<br />

Meilleure pièce :<br />

la "queue <strong>de</strong> carpe" en bronze<br />

<strong>de</strong> BV Proto<br />

Dassault Aviation a confié à BV Proto,<br />

l’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong> faisabilité par fabrication additive<br />

d’une buse <strong>de</strong> désembuage pour le<br />

poste pilote du Rafale biplace, appelée<br />

"queue <strong>de</strong> carpe". Fabriquée à 30 exemplaires<br />

par an, cette pièce était jusqu’alors<br />

réalisée en <strong>de</strong>ux parties (Kevlar<br />

et aluminium), collées et protégées par<br />

oxydation anodique chromique puis<br />

peintes.<br />

BV Proto a choisi <strong>de</strong> fabriquer la pièce<br />

en alliage bronze, en couches <strong>de</strong> 20 µm,<br />

sur sa machine <strong>de</strong> fusion laser sélective<br />

<strong>de</strong> poudres métalliques EOSINT M270.<br />

suite page 19<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


MICRON<br />

D’OR


Meilleure étu<strong>de</strong> : l’Université <strong>de</strong> Technologie<br />

d’Auckland a démontré à son client Spengler<br />

qu’il est possible <strong>de</strong> réduire le temps <strong>de</strong> mise<br />

sur le marché <strong>de</strong> ses appareils en fabricant<br />

l’enveloppe du produit par procédé additif.<br />

Source : Auckland University of Technologie et Spengler.<br />

Le choix du positionnement <strong>de</strong> la<br />

pièce pour optimiser les supports <strong>de</strong><br />

construction par couches successives<br />

et le nombre <strong>de</strong> pièces réalisées par<br />

fabrication, ainsi que la réalisation <strong>de</strong><br />

supports en nid d’abeille pour assurer<br />

un bon maintien <strong>de</strong> la pièce pendant<br />

sa fabrication, ont été la clé <strong>de</strong> la<br />

réussite <strong>de</strong> cette fabrication. Résultat :<br />

fabrication <strong>de</strong> 30 exemplaires en 10<br />

jours contre 4 mois avec le procédé<br />

précé<strong>de</strong>nt, pour un coût réduit par<br />

<strong>de</strong>ux et avec une meilleure précision<br />

dimensionnelle.<br />

Meilleure étu<strong>de</strong> : un appareil<br />

pour le Laboratoire<br />

Cardiovasculaire Spengler<br />

L'utilisation d’une véritable ingénierie<br />

simultanée et du prototypage rapi<strong>de</strong> en<br />

Meilleure application <strong>de</strong> fabrication directe<br />

par Dassault Aviation en collaboration avec AGTX<br />

pour cette tubulure du F7X.<br />

Source : Dassault Aviation et AGTX Rapid Prototyping.<br />

vue du <strong>de</strong>sign (RPaD), combinée avec<br />

la capacité d’intégrer effectivement les<br />

technologies <strong>de</strong> prototypage rapi<strong>de</strong>s<br />

augmente le potentiel <strong>de</strong> conception <strong>de</strong><br />

nouveaux produits <strong>de</strong> technologie <strong>de</strong><br />

pointe. Le Laboratoire Cardiovasculaire<br />

Spengler présentait un projet complexe<br />

sur le plan technologique impliquant<br />

<strong>de</strong> l’électronique, <strong>de</strong> la physique, <strong>de</strong><br />

la mécanique, du prototypage et du<br />

logiciel. La conception a été faite par<br />

l’Auckland University of Technology<br />

pour Spengler, par une équipe "collaborative"<br />

travaillant simultanément <strong>dans</strong><br />

trois pays. Le produit a été développé<br />

jusqu’au sta<strong>de</strong> <strong>de</strong> la production en<br />

moins <strong>de</strong> cinq mois par l'utilisation<br />

intégrée du RpaD et <strong>de</strong> l'ingénierie<br />

simultanée. Le process a tenu compte<br />

d'une approche <strong>de</strong> <strong>de</strong>sign réitérative<br />

rapi<strong>de</strong> et d'un cycle <strong>de</strong> développement<br />

<strong>de</strong> produit court.<br />

Meilleure application :<br />

qualification d'un procédé<br />

pour l'aviation par AGTX<br />

"Sur certaines pièces réalisées en composite<br />

faisant appel à un outillage, un drapage, un<br />

cycle d’étuvage et <strong>de</strong> finition, pourquoi ne<br />

serait-il pas possible d’obtenir ces pièces en<br />

fabrication directe ?" Cette question posée<br />

il y a quatre chez AGTX, s’est traduite par<br />

<strong>de</strong>s premiers essais sur <strong>de</strong>s protecteurs<br />

puis sur <strong>de</strong>s tubulures, en poudre ignifugée,<br />

et ont permis <strong>de</strong> démontrer la validité du<br />

process. Après une année <strong>de</strong> tests et <strong>de</strong><br />

développement en collaboration avec les<br />

sociétés Dassault Aviation et EOS, AGTX<br />

vient d’obtenir la qualification du procédé<br />

p R O T O T y p a G E R a p I D E<br />

Remise du trophée <strong>de</strong> la meilleure application<br />

<strong>de</strong> fabrication directe. Source : AFPR<br />

<strong>de</strong> fabrication directe pour l’aviation civile<br />

et militaire. A partir <strong>de</strong>s définitions numériques<br />

Catia fournies par Dassault Aviation,<br />

AGTX fabrique <strong>de</strong>s séries <strong>de</strong> pièces. On<br />

passe ici <strong>de</strong> la fabrication <strong>de</strong> prototypes à<br />

la production <strong>de</strong> séries <strong>de</strong> pièces bonnes<br />

matières. Ceci a nécessité une démarche<br />

qualité et traçabilité <strong>de</strong> la part d’AGTX ,<br />

c’est-à-dire le passage <strong>de</strong> prototypiste à<br />

celui <strong>de</strong> sous-traitant en production.<br />

Prix spécial du jury<br />

pour le CLAD d’Irepa Laser<br />

Le micro-rechargement laser est un<br />

procédé <strong>de</strong> traitement <strong>de</strong> <strong>surface</strong> obtenu<br />

par projection laser <strong>de</strong> poudres métalliques<br />

qui permet l’élaboration <strong>de</strong> dépôts<br />

<strong>de</strong>nses et <strong>de</strong> petites dimensions. Une<br />

buse <strong>de</strong> micro-rechargement coaxiale a<br />

été développée par l’Irepa Laser afin <strong>de</strong><br />

réaliser <strong>de</strong>s parois fines (500-600 µm)<br />

ou plus épaisses (1500 µm) <strong>de</strong> manière<br />

omnidirectionnelle, à faible puissance<br />

(100 W) à l’ai<strong>de</strong> d’un laser à fibre. A<br />

partir <strong>de</strong> résultats d’essais et d’outils<br />

<strong>de</strong> simulation numérique, le procédé a<br />

été optimisé et permet aujourd’hui la<br />

construction <strong>de</strong> petites pièces mécaniques<br />

avec un ren<strong>de</strong>ment <strong>de</strong> déposition<br />

atteignant 55%. Parallèlement à ces<br />

développements, <strong>de</strong>s travaux mettant<br />

en œuvre une buse basée sur le même<br />

principe, mais adaptée à la forte puissance<br />

a permis <strong>de</strong> vali<strong>de</strong>r la faisabilité<br />

du procédé pour la réalisation <strong>de</strong> pièces<br />

<strong>de</strong> plus gran<strong>de</strong>s dimensions, notamment<br />

d’un point <strong>de</strong> vue technico-économique.<br />

■<br />

Stéphane Hardy<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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L ’ I M A G I N A T I O N<br />

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Deman<strong>de</strong>z<br />

notre<br />

documentation


<strong>Les</strong> micro-pointes optiques <strong>de</strong> LovaLite<br />

explorent la matière<br />

<strong>Les</strong> pointes <strong>de</strong> Lovalite produites à l'extrémité d'une fibre optique offrent <strong>de</strong>s capacités <strong>de</strong> transmission<br />

inégalées et donnent accès à une manipulation <strong>de</strong> la lumière <strong>de</strong> haute efficacité à l'échelle nanoscopique.<br />

En septembre 2005, Lovalite remportait un<br />

Photon <strong>de</strong> bronze sur le salon Opto pour<br />

sa micro-pointe montée sur fibre microstructurée<br />

Perfos. Créée <strong>dans</strong> l'Aube en<br />

2004, cette start-up <strong>de</strong> 4 personnes issue<br />

d'un transfert <strong>de</strong> technologie <strong>de</strong> l'Université<br />

<strong>de</strong> Technologie <strong>de</strong> Troyes, s'est implantée<br />

en Franche-Comté, <strong>dans</strong> la Maison <strong>de</strong>s<br />

Microtechniques. Et en 2007, elle a été<br />

choisie pour participer avec une équipe <strong>de</strong><br />

FEMTO-ST à un programme sur les nano<br />

antennes, financé par l’ANR. Ce programme<br />

<strong>de</strong> trois ans a commencé en 2008 et vise à<br />

mettre au point <strong>de</strong> nouveaux composants<br />

pour analyser la lumière à l'échelle nanométrique,<br />

encore plus performants que ceux<br />

réalisés aujourd'hui.<br />

Un signal très propre<br />

pour la caractérisation <strong>de</strong> <strong>surface</strong>s<br />

La technologie exploitée par Lovalite permet<br />

<strong>de</strong> fabriquer <strong>de</strong>s micro-pointes à l’extrémité<br />

d’une fibre optique grâce à une solution<br />

polymère photosensible. Une goutte <strong>de</strong> ce<br />

composé est déposée en bout d’une fibre<br />

optique et un faisceau laser guidé par la fibre<br />

va polymériser cette goutte en une pointe<br />

<strong>de</strong> 3 µm <strong>de</strong> diamètre. Ces micro-pointes<br />

Brahim Dahmani et un collaborateur <strong>de</strong>vant<br />

une installation expérimentale.<br />

Source: Lovalite<br />

sont surtout utilisées pour la microscopie<br />

optique en champ proche grâce à <strong>leurs</strong><br />

caractéristiques uniques en termes <strong>de</strong> fiabilité,<br />

<strong>de</strong> symétrie et <strong>de</strong> transmission <strong>de</strong><br />

lumière. Elles sont en effet caractérisées<br />

par une très haute transmission optique<br />

(> 80%) et une parfaite symétrie (Pertes<br />

Dépendantes <strong>de</strong> la Polarisation < 0,1 dB).<br />

Elles supportent une puissance maximum<br />

<strong>de</strong> 50 mW et ont une ouverture numérique<br />

disponible <strong>de</strong> 0.5 et 0.8. LovaLite propose<br />

une gamme <strong>de</strong> pointes sur différentes fibres<br />

dont le rayon <strong>de</strong> courbure à l’extrémité est<br />

<strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> 200 nm. Pour la microscopie<br />

champ proche, ces pointes sont généralement<br />

métallisées (dépôt d’aluminium ou<br />

d’or) et percées à l’extrémité d’une ouverture<br />

<strong>de</strong> 50 nm. D’autres pointes dont le<br />

rayon <strong>de</strong> courbure peut être <strong>de</strong> 1 µm, 2µm<br />

et 30µm sont montées sur fibre SMF28e et<br />

utilisées pour les applications <strong>de</strong> couplage en<br />

télécommunication optique.<br />

Des applications multiples<br />

en microscopie et micro optique<br />

Brahim Dahmani, directeur-fondateur <strong>de</strong><br />

la société, explique que les produits développés<br />

à l’ai<strong>de</strong> <strong>de</strong> la technologie Lovalite<br />

donnent accès à une manipulation <strong>de</strong><br />

la lumière <strong>de</strong> haute efficacité à l’échelle<br />

M I c R O S c O p I E O p T I q u E<br />

La technologie<br />

<strong>de</strong> Lovalite donne<br />

accès à une<br />

manipulation<br />

<strong>de</strong> la lumière <strong>de</strong> haute<br />

efficacité à l’échelle<br />

microscopique.<br />

Source: Lovalite<br />

microscopique. “Nos produits sont <strong>de</strong>stinés<br />

au marché <strong>de</strong> la microscopie champ proche<br />

pour la recherche biomédicale et l’industrie<br />

ainsi qu’au marché <strong>de</strong>s interconnections optiques<br />

pour les télécommunications <strong>dans</strong> les<br />

composants complexes à forte intégration.<br />

Ils sont utilisés <strong>dans</strong> la spectroscopie à haute<br />

résolution spatiale et le couplage <strong>dans</strong> <strong>de</strong>s<br />

composants d’optique intégrée ". La technologie<br />

Lovalite est également la seule<br />

utilisable sur les fibres complexes (holey<br />

fibre, photonic crystal fibre…).<br />

"Nos clients nous reconnaissent trois expertises.<br />

D’abord la fabrication et la vente <strong>de</strong><br />

micro-pointes (consommable) et <strong>de</strong> microcomposants<br />

<strong>de</strong> couplage sous forme <strong>de</strong><br />

coffret. Ensuite, la vente <strong>de</strong> logiciels <strong>de</strong> modélisation<br />

pour <strong>de</strong>s systèmes optiques et micro<br />

optiques. Enfin, <strong>de</strong>s prestations <strong>de</strong> conseil et<br />

<strong>de</strong> R&D <strong>dans</strong> <strong>de</strong>s co-étu<strong>de</strong>s <strong>de</strong> développement.<br />

Lovalite distribue également <strong>de</strong>s instruments<br />

<strong>de</strong> microscopie (Microscopie Optique<br />

<strong>de</strong> Champ Proche à Balayage) utilisant ces<br />

micro-pointes comme consommables ainsi<br />

que <strong>de</strong>s produits logiciels permettant <strong>de</strong><br />

comprendre le comportement <strong>de</strong> la lumière<br />

à cette échelle".<br />

Le développement <strong>de</strong> Lovalite est surtout<br />

international et son réseau <strong>de</strong> distribution<br />

initialement tourné vers l'Asie s'est<br />

maintenant étendu en Italie, en Gran<strong>de</strong><br />

Bretagne et aux États-Unis. ■<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


Le groupe IMI :<br />

un mon<strong>de</strong><br />

<strong>de</strong><br />

microtechniques<br />

7 centres <strong>de</strong> production<br />

Le groupe IMI rassemble<br />

sept sociétés spécialisées<br />

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<strong>de</strong>s 450 collaborateurs<br />

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<strong>tous</strong> rompus aux exigences<br />

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<strong>de</strong> <strong>leurs</strong> productions,<br />

vous apportent les solutions<br />

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La rupture du verre vue<br />

à l’échelle du nanomètre<br />

M I c R O S c O p I E c h a M p p R O c h E<br />

Comprendre les mécanismes <strong>de</strong> rupture <strong>de</strong>s matériaux, c’est avoir accès à leur structure intime.<br />

Pour étudier la propagation d’une fissure <strong>dans</strong> le verre, le CEA crée un dispositif expérimental<br />

permettant <strong>de</strong> suivre cette propagation à l’ai<strong>de</strong> d’un microscope à force atomique.<br />

Propagation lente d’une fissure (vitesse moyenne <strong>de</strong> 40 picomètres par secon<strong>de</strong>) à la <strong>surface</strong> d’un verre <strong>de</strong> silice<br />

(en corrosion sous contrainte) observée en temps réel à l’ai<strong>de</strong> d’un AFM. L’échelle <strong>de</strong> couleur (à droite) traduit<br />

la topographie <strong>de</strong> la <strong>surface</strong> observée. (paru <strong>dans</strong> Reflets <strong>de</strong> la Physique). Source : Gaël Pallarès CEA<br />

La manière dont une fissure concentre les<br />

forces <strong>dans</strong> sa pointe est aujourd’hui assez<br />

bien comprise. Notamment par le biais <strong>de</strong> la<br />

Mécanique Elastique Linéaire <strong>de</strong> la Rupture<br />

(MELR) qui permet d’évaluer le flux d’énergie<br />

mécanique en pointe <strong>de</strong> cette fissure. Par<br />

contre, la manière dont la fissure s’étend en<br />

réponse à ce flux pose encore <strong>de</strong> nombreuses<br />

questions. Elisabeth Bouchaud, directrice<br />

<strong>de</strong> recherche au CEA Saclay, s’intéresse aux<br />

propriétés mécaniques <strong>de</strong>s matériaux aux<br />

échelles où ils ne peuvent pas être considérés<br />

comme homogènes. Dans ce cadre, elle<br />

étudie plus spécifiquement les propriétés <strong>de</strong><br />

rupture <strong>de</strong>s verres <strong>de</strong> silice.<br />

Même à la loupe, le verre semble homogène,<br />

et il faut <strong>de</strong>scendre à l’échelle <strong>de</strong> quelques<br />

dizaines <strong>de</strong> nanomètres, voire du nanomètre,<br />

pour voir que sa structure amorphe le rend<br />

hétérogène. "A ces échelles, la microscopie<br />

optique ne donne rien, car on est limité par la<br />

longueur d’on<strong>de</strong>. La microscopie électronique<br />

Image AFM <strong>de</strong> la <strong>surface</strong> <strong>de</strong> rupture <strong>de</strong> silice pure en<br />

corrosion sous contrainte. Source : Gaël Pallarès CEA<br />

à balayage arrive elle aussi à ses limites. Nous<br />

sommes alors obligés <strong>de</strong> trouver d’autres techniques<br />

pour voir et comprendre ce qui se passe".<br />

A l'échelle "nano", la microscopie<br />

en champ proche s'impose.<br />

A l'échelle du nanomètre, les microscopes<br />

à champ proche (SPM pour Scanning Probe<br />

Microscopes) sont les seuls à pouvoir scruter<br />

la <strong>surface</strong>. Ils sont essentiellement <strong>de</strong><br />

<strong>de</strong>ux types : microscopes à force atomique<br />

(AFM) et microscopes à effet tunnel (STM).<br />

Ces <strong>de</strong>ux types d’appareils ont en commun<br />

d’utiliser <strong>de</strong>s techniques basées sur le<br />

balayage d’une <strong>surface</strong> avec une pointe.<br />

L’AFM comporte une pointe très fine (rayon<br />

<strong>de</strong> courbure <strong>de</strong> l’ordre d’une dizaine <strong>de</strong><br />

nanomètres) qui se trouve à l’extrémité d’un<br />

levier (cantilever). En mo<strong>de</strong> contact, cette<br />

pointe suit les dénivellations <strong>de</strong> la <strong>surface</strong><br />

et fait fléchir le levier. Cette déflection est<br />

amplifiée par le biais d’un laser qui vient<br />

se refléter sur un miroir solidaire <strong>de</strong> la<br />

pointe <strong>de</strong> l’AFM avant d’être renvoyé sur<br />

une photodio<strong>de</strong>. L’amplification permet <strong>de</strong><br />

mesurer <strong>de</strong>s variations extrêmement faibles<br />

<strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> l’Angström (0,1 nm) avec une<br />

résolution latérale <strong>de</strong> 1 à 5 nm.<br />

<strong>Les</strong> microscopes STM ont aussi une pointe,<br />

Gaël Pallarès en train <strong>de</strong> régler un microscope AFM.<br />

Source : Gaël Pallarès CEA<br />

mais le mécanisme très différent fait que<br />

celle-ci ne touche pas la <strong>surface</strong>. Ce ne<br />

sont plus les déflections mécaniques d’une<br />

tige que l’on mesure, mais l’effet quantique<br />

d’un courant (le courant tunnel) qui passe<br />

d’atome à atome <strong>de</strong> la <strong>surface</strong> jusqu’à la<br />

pointe du microscope. C’est ce courant que<br />

l’on mesure pour une différence <strong>de</strong> potentiel<br />

que l’on impose, et qui traduit les variations<br />

topographiques et chimiques à la <strong>surface</strong>.<br />

La petite fissure qui avance<br />

sur le pare-brise…<br />

L’étu<strong>de</strong> sur les verres a consisté à suivre<br />

avec un AFM la pointe d’une fissure au<br />

cours <strong>de</strong> sa propagation. Pour la suivre, il<br />

a fallu créer <strong>de</strong>s conditions pour qu’elle<br />

se propage très lentement, grâce à un<br />

mécanisme <strong>de</strong> "corrosion sous contrainte".<br />

"Ce suivi en temps réel nous a permis <strong>de</strong><br />

comprendre que le front <strong>de</strong> fissure avance<br />

par croissance et coalescence <strong>de</strong> cavités d’endommagement<br />

<strong>de</strong> taille nanométrique et non<br />

pas <strong>de</strong> manière régulière et continue comme<br />

nous le pensions". Cette étu<strong>de</strong> pourrait permettre<br />

<strong>de</strong> mettre au point <strong>de</strong>s verres plus<br />

résistants à la corrosion sous contrainte…<br />

qui est précisément celle qui fait avancer<br />

lentement la fissure amorcée par un gravier<br />

qui percute un pare-brise ! ■<br />

Jean-Yves Catherin<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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M I c R O - n a n O T E c h n O L O G I E S<br />

L’Europe <strong>de</strong>s micro et nanotechnologies<br />

se renforce au sein <strong>de</strong> l’Alliance HTA<br />

L’extension au VTT finlandais du partenariat européen Alliance pour les Technologies Hétérogènes<br />

(HTA), incluant le CSEM, le CEA et le Fraunhofer Verbund Mikroelectronik, constitue une réponse<br />

à la mondialisation croissante du secteur <strong>de</strong> la recherche <strong>dans</strong> le domaine <strong>de</strong>s micro et nanotechnologies.<br />

Le partenariat qui lie le CSEM, le CEA et<br />

le Fraunhofer Verbund Mikroelectronik au<br />

sein <strong>de</strong> l’Alliance pour les Technologies<br />

Hétérogènes (HTA) est étendu au VTT,<br />

Centre <strong>de</strong> Recherche Technique finlandais.<br />

Rappelons qu’en janvier 2006, les<br />

trois entités du HTA s’étaient regroupées<br />

pour constituer une alliance dont le but<br />

est <strong>de</strong> faciliter l’acquisition <strong>de</strong> projets <strong>de</strong><br />

recherche communs et <strong>de</strong> concevoir <strong>de</strong>s<br />

produits innovants pour l'industrie.<br />

Partenariats stratégiques<br />

et économie européenne<br />

Le premier objectif <strong>de</strong> l’Alliance est <strong>de</strong><br />

développer <strong>de</strong>s partenariats avec l’industrie<br />

européenne, pour accroître la génération<br />

d’innovation par le transfert <strong>de</strong> technologie<br />

vers les applications industrielles. Il s’agit <strong>de</strong><br />

créer <strong>de</strong>s solutions à l’état <strong>de</strong> l’art mondial<br />

en offrant l’ensemble du savoir-faire tech-<br />

Structures nanométriques en silicium obtenues<br />

en combinant les techniques <strong>de</strong> séparation <strong>de</strong> phase<br />

<strong>de</strong> mélange <strong>de</strong> polymères et les techniques<br />

<strong>de</strong> gravure (attaque sèche). Source : CSEM<br />

nologique et <strong>de</strong>s capacités <strong>de</strong>s partenaires<br />

(lignes <strong>de</strong> production <strong>de</strong> technologies microélectroniques<br />

silicium, installations <strong>de</strong> production<br />

<strong>de</strong> microsystèmes, plates-formes<br />

polymères, outils <strong>de</strong> caractérisation…).<br />

Le <strong>de</strong>uxième objectif est le partage <strong>de</strong> l’information<br />

stratégique et scientifique et le<br />

développement <strong>de</strong> valeur grâce aux synergies<br />

apportées par ce nouveau réseau.<br />

Pour les 5 000 chercheurs et ingénieurs<br />

travaillant au sein <strong>de</strong> l’Alliance, ce sont <strong>de</strong><br />

nouvelles opportunités d’apprentissage et<br />

d’échanges <strong>dans</strong> un environnement riche<br />

et stimulant.<br />

Le regroupement stratégique d’aujourd’hui<br />

permet d’enrichir l’Alliance en y ajoutant<br />

le lea<strong>de</strong>rship technologique du VTT et son<br />

réseau industriel. Côté VTT, on se réjouit…<br />

"Nous sommes très heureux <strong>de</strong> rejoindre la<br />

HTA, car le VTT considère l’Alliance comme un<br />

acteur crucial pour améliorer la compétitivité<br />

et accroître la génération d’innovation <strong>dans</strong><br />

le domaine <strong>de</strong>s micro et nanotechnologies".<br />

Intégration d’un DSP Macgic et <strong>de</strong> 16 blocs mémoire<br />

sur une matrice silicium. Source : CSEM<br />

Surface nanostructurée possédant <strong>de</strong>s propriétés<br />

hydrophobe et autonettoyante. Source : CSEM<br />

Erkki Leppävuori, Prési<strong>de</strong>nt et CEO du<br />

VTT poursuivit en précisant que selon lui<br />

"il ne s’agit pas seulement d’un réseau d’organisations,<br />

mais d’un système précurseur d’une<br />

restructuration <strong>de</strong> la recherche en Europe".<br />

Création <strong>de</strong> valeur économique<br />

à partir d'activités <strong>de</strong> recherche<br />

<strong>Les</strong> solutions innovatrices et les nouveaux<br />

produits n’émergent que grâce à une très<br />

large combinaison <strong>de</strong> technologies et compétences<br />

interdisciplinaires. Aucun institut<br />

<strong>de</strong> recherche à lui seul n'est capable <strong>de</strong><br />

couvrir le large éventail <strong>de</strong>s technologies,<br />

infrastructures ou compétences requises<br />

et à en supporter les coûts inhérents.<br />

L’Alliance couvre toute la chaîne <strong>de</strong> la<br />

valeur, <strong>de</strong>puis la recherche jusqu’à la production,<br />

en passant par l’ingénierie (preuve<br />

<strong>de</strong> concept, maquettage, prototypage). La<br />

combinaison <strong>de</strong>s infrastructures technologiques<br />

et <strong>de</strong>s compétences <strong>de</strong>s 5 000<br />

chercheurs et ingénieurs permet à l’Alliance<br />

HTA d’offrir un portail unique <strong>de</strong><br />

solutions à l’industrie automobile, aéronautique<br />

et spatiale, et aux industries <strong>de</strong>s<br />

télécommunications et <strong>de</strong> l’information, <strong>de</strong><br />

la santé, <strong>de</strong> l’énergie et <strong>de</strong> l’environnement<br />

et du contrôle industriel.<br />

Et pour mieux cibler les marchés émergents,<br />

les partenaires <strong>de</strong> l’Alliance ont décidé <strong>de</strong><br />

créer une entité commerciale commune qui<br />

se concentrera sur l’acquisition <strong>de</strong> projets en<br />

proposant la valeur ajoutée technologique<br />

<strong>de</strong> l’ensemble <strong>de</strong>s instituts. ■<br />

Yann Clavel<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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n a n O T E c h n O L O G I E S<br />

Nano-strand pour "baliser" la R&D<br />

et l’exploitation <strong>de</strong>s nanotechnologies<br />

Le développement <strong>de</strong>s nanotechnologies va très vite et s’immisce <strong>dans</strong> <strong>tous</strong> les domaines.<br />

Nano-Strand s’est fixé pour objectif d’i<strong>de</strong>ntifier les besoins en termes <strong>de</strong> développement<br />

et d’exploitation <strong>de</strong>s nanotechnologies, et <strong>de</strong> définir <strong>de</strong>s priorités en matière <strong>de</strong> recherche pré-normative.<br />

Image STM <strong>de</strong> molécules aromatiques décorées<br />

<strong>de</strong> 6 chaînes alkyles en épitaxie sur un graphite<br />

hautement pyrolytique. Source: CEA<br />

En mai 2004, La Commission européenne<br />

adoptait une communication intitulée<br />

"Vers une stratégie européenne en faveur<br />

<strong>de</strong>s nanotechnologies" qui recommandait<br />

une stratégie sure, intégrée et responsable.<br />

Depuis, plusieurs initiatives ont été concrétisées<br />

et financées <strong>dans</strong> le cadre <strong>de</strong>s 6 ème et<br />

7 ème PCRDT, dont 14 projets <strong>de</strong> R&D pour<br />

un montant <strong>de</strong> 32 millions d’euros auxquels<br />

il faut ajouter 92 projets nationaux<br />

financés par les différents <strong>états</strong> membres à<br />

hauteur <strong>de</strong> 47 millions d’euros.<br />

La normalisation dédiée à la R&D<br />

<strong>de</strong>s nanotechnologies<br />

En marge <strong>de</strong> ces travaux <strong>de</strong> recherche,<br />

le projet Nano-Strand intitulé "La normalisation<br />

dédiée à la recherche et au<br />

développement <strong>de</strong>s nanotechnologies", se<br />

proposait d’i<strong>de</strong>ntifier les barrières existantes<br />

au développement et à l’exploitation<br />

<strong>de</strong>s nanotechnologies, ainsi que les besoins<br />

<strong>de</strong> nouveaux moyens <strong>de</strong> mesures et <strong>de</strong><br />

nouvelles normes et technologies qui les<br />

supporteraient. Il se proposait également<br />

<strong>de</strong> définir les priorités pour le développement<br />

<strong>de</strong> la métrologie <strong>de</strong>s nanosciences<br />

et nanotechnologies, ainsi que les priorités<br />

en matière <strong>de</strong> recherche pré-normative.<br />

Ce projet a été confié au Laboratoire<br />

National <strong>de</strong> Métrologie et d’Essais (LNE-<br />

FR). Il implique cinq partenaires dont <strong>de</strong>ux<br />

laboratoires nationaux <strong>de</strong> métrologie : le<br />

LNE et le NPL (Angleterre), l’organisme <strong>de</strong><br />

normalisation DIN (Allemagne), l’université<br />

<strong>de</strong> technologie CTU (Tchéquie) et le<br />

consultant Optimat Ltd (Angleterre). Il a été<br />

conduit d’août 2006 à fin janvier 2008. <strong>Les</strong><br />

résultats <strong>de</strong> ces travaux qui paraîtront très<br />

prochainement ont été validés et approuvés<br />

par un Comité Consultatif composé <strong>de</strong>s<br />

prési<strong>de</strong>nts respectifs du CEN TC 352 et <strong>de</strong><br />

l’ISO TC 229 dédiés aux nanotechnologies,<br />

ainsi que d’experts internationaux.<br />

Des "roadmaps" pour baliser<br />

le développement<br />

<strong>de</strong>s nanotechnologies<br />

Ces résultats qui se présentent sous forme<br />

<strong>de</strong> feuille <strong>de</strong> route tant pour la normalisation<br />

que pour la recherche pré-normative<br />

associée, hiérarchisent les besoins et travaux<br />

à venir qui <strong>de</strong>vraient contribuer au<br />

développement durable <strong>de</strong>s nanotechnologies<br />

tout en répondant aux attentes sociétales.<br />

Selon Jean-Marc Aublant, LNE, les<br />

principaux enseignements <strong>de</strong> ces travaux<br />

sont "le besoin <strong>de</strong> normes <strong>de</strong> vocabulaire et<br />

Le SCP1000 est le meilleur choix pour les applications<br />

où une longue durée <strong>de</strong> vie <strong>de</strong>s batteries<br />

et nécessaire. Source: VTI Technologies<br />

Si les puces font toujours partie <strong>de</strong> la<br />

"microélectronique", elles sont au cœur <strong>de</strong>s mon<strong>de</strong>s<br />

"nano", puisque la commercialisation <strong>de</strong>s puces<br />

32 nanomètres <strong>de</strong>vrait avoir lieu dès 2009. Source: CEA<br />

<strong>de</strong> nomenclature spécifiques aux nanotechnologies,<br />

ainsi que le besoin <strong>de</strong> normes et <strong>de</strong><br />

techniques <strong>de</strong> mesure et <strong>de</strong> caractérisation<br />

<strong>de</strong>s nano-matériaux, notamment la caractérisation<br />

dimensionnelle (en 3D) et chimique <strong>de</strong>s<br />

nano-particules. La prééminence <strong>de</strong>s besoins<br />

sociétaux en termes d’environnement, <strong>de</strong><br />

santé et <strong>de</strong> sécurité, requiert que <strong>de</strong>s recherches<br />

pré-normatives soient conduites pour<br />

mesurer et caractériser les nano-matériaux.<br />

L’importance <strong>de</strong> l’évaluation et <strong>de</strong> la gestion<br />

<strong>de</strong>s risques liés aux nanotechnologies doit<br />

être établie sur <strong>de</strong>s bases scientifiques fiables<br />

appuyées par <strong>de</strong>s métho<strong>de</strong>s <strong>de</strong> mesures et<br />

d’essais toxicologiques et éco-toxicologiques<br />

adéquates. L’étu<strong>de</strong> insiste sur la rupture technologique<br />

qu’engendrent les nanotechnologies<br />

et leur caractère pluri-disciplinaire, notamment<br />

en regard <strong>de</strong> l’instrumentation <strong>de</strong> mesure. Elle<br />

fait état du besoin <strong>de</strong> matériaux <strong>de</strong> référence<br />

certifiés pour les techniques utilisées et futures<br />

ainsi que le moyen d’assurer la traçabilité au<br />

système international d’unités SI. Enfin, elle<br />

rappelle la nécessaire démonstration <strong>de</strong> l’inter-comparabilité<br />

<strong>de</strong>s techniques <strong>de</strong> mesure<br />

en référence notamment à la microscopie à<br />

force atomique (AFM) ". ■<br />

Yann Clavel<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


M a c h I n E S - O u T I L S<br />

Tornos au mieux <strong>de</strong> sa forme au SIMODEC<br />

SIMODEC 2008 a été une fois <strong>de</strong> plus un événement important pour l’industrie<br />

du tournage <strong>de</strong> haute précision.<br />

Tornos a marqué cet événement avec le lancement <strong>de</strong> produits exposés en première mondiale,<br />

comme les nouvelles MultiSigma 8x24 et DECO 13e.<br />

Le stand présentait également la Micro 8 et les <strong>de</strong>rnières Micro 7 et Sigma 32…<br />

Sans compter un beau match Micro 7- MS 7 !<br />

Le climat économique plutôt porteur qui<br />

règne <strong>dans</strong> la vallée <strong>de</strong> l’Arve a favorisé<br />

le bon déroulement du SIMODEC, salon<br />

international <strong>de</strong> la machine-outil <strong>de</strong> décolletage<br />

qui s’est tenu à La Roche sur Foron<br />

du 4 au 8 mars 2008. <strong>Les</strong> constructeurs <strong>de</strong><br />

machines-outils et d’embarreurs ont fait<br />

part d’une activité en hausse par rapport à<br />

2006. Tornos, l’un <strong>de</strong>s lea<strong>de</strong>rs mondiaux <strong>de</strong><br />

la machine-outil était très présent sur ce<br />

salon avec <strong>de</strong>s innovations remarquées…<br />

MultiSigma 8x24 : plus simple<br />

et moins chère que la MultiAlpha<br />

Avec le développement <strong>de</strong> MultiSigma<br />

8x24, Tornos a créé une machine qui<br />

apporte la qualité et la précision <strong>de</strong> la<br />

gamme MultiAlpha à l’usinage <strong>de</strong> pièces<br />

moins complexes (et avec un investissement<br />

moindre). La série MultiAlpha est en<br />

effet pourvue d’une ou <strong>de</strong>ux contre-broches,<br />

portant chacune cinq outils et donc<br />

capable <strong>de</strong> produire <strong>de</strong>s contre-opérations<br />

complexes. Cependant, il existe <strong>de</strong>s pièces<br />

nécessitant <strong>de</strong>s contre-opérations avec<br />

Tornos est l’un <strong>de</strong>s lea<strong>de</strong>rs mondiaux<br />

<strong>de</strong> la machine-outil. Source : Tornos<br />

Le tour MultiSigma dispose <strong>de</strong> huit motobroches et d’une ou <strong>de</strong>ux contre-broches. Source : Tornos<br />

moins d’outils. Le tour MultiSigma dispose<br />

à l’instar <strong>de</strong> son grand frère, <strong>de</strong> huit motobroches<br />

et d’une ou <strong>de</strong>ux contre-broches.<br />

Chaque contre-broche jouit d’une capacité<br />

d’accueil <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux outils autonomes<br />

(au lieu <strong>de</strong> 5). Pour <strong>de</strong>s pièces simples,<br />

un décolleteur astucieux utilisera ce tour<br />

pour travailler en 2x4 motobroches plus<br />

2x2 outils <strong>dans</strong> les contre-opérations, avec<br />

une augmentation sensible <strong>de</strong> la productivité.<br />

Bien entendu, ce tour se prête également<br />

à la production <strong>de</strong> vis chirurgicales<br />

par tourbillonnage.<br />

DECO 13e : quand le 12 axes<br />

n’est pas nécessaire<br />

Le tour DECO 13a est connu <strong>dans</strong> <strong>tous</strong><br />

les ateliers <strong>de</strong>s fabricants <strong>de</strong> pièces <strong>de</strong><br />

tournage à forte valeur ajoutée, <strong>dans</strong> <strong>de</strong>s<br />

domaines comme le médical ou le <strong>de</strong>ntaire.<br />

DECO 13e, construit sur la même<br />

base, dispose <strong>de</strong>s mêmes avantages que<br />

DECO 13a, sauf que le quatrième système<br />

d’outils indépendant comprenant<br />

quatre broches pour les opérations en<br />

bout et monté sur <strong>de</strong>ux axes numériques<br />

est supprimé et cette fonctionnalité est<br />

remplacée par un support d’outils fixes<br />

qui se monte sur un <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux chariots<br />

croisés utilisés pour le travail à la barre.<br />

<strong>Les</strong> huit axes linéaires <strong>de</strong> travail répartis<br />

sur trois systèmes d’outils offrent <strong>de</strong><br />

bonnes possibilités <strong>de</strong> travail à la barre<br />

comme en reprise et permettent toujours<br />

autant <strong>de</strong> simultanéité <strong>dans</strong> les opérations<br />

d’usinage à l’avant et à l’arrière<br />

<strong>de</strong>s pièces. Le transfert <strong>de</strong>s programmes<br />

<strong>de</strong> la version "avancée" 13a à la version<br />

économique 13e est possible et l’utilisation<br />

<strong>de</strong> <strong>tous</strong> les équipements, appareils et<br />

autres accessoires utilisés actuellement<br />

seront adaptables sur la nouvelle version.<br />

Sigma 32 pour l’automobile<br />

et à l’hydraulique<br />

La gamme Sigma comporte <strong>de</strong>s machines<br />

dotées <strong>de</strong> six axes linéaires (comparés<br />

à DECO qui elle en compte <strong>de</strong> 8 à 10)<br />

<strong>de</strong>stinées à la réalisation <strong>de</strong> pièces "plus<br />

simples" que DECO.<br />

suite page 31<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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Sigma 32 est un tour automatique monobroche<br />

à poupée mobile <strong>de</strong> capacité<br />

32 mm. Il s’agit clairement d’un outil <strong>de</strong>stiné<br />

principalement à l’automobile et à<br />

l’hydraulique. Cette machine à inauguré<br />

la nouvelle cellule <strong>de</strong> Mise au Point du<br />

constructeur suisse. Sous la responsabilité<br />

d’un décolleteur doté d’une gran<strong>de</strong> expérience<br />

<strong>de</strong> la machine-outil, ce département<br />

a testé <strong>de</strong>ux machines durant six mois. <strong>Les</strong><br />

points forts principaux <strong>de</strong> la machine qui<br />

ressortent sont l’ergonomie, la simplicité<br />

<strong>de</strong> programmation et d’utilisation, la rigidité<br />

et la stabilité.<br />

Micro 8 : tolérance <strong>de</strong> ±1 micron<br />

en production régulière<br />

Une autre machine phare a été la Micro 8,<br />

la seule machine capable <strong>de</strong> produire <strong>de</strong>s<br />

pièces <strong>dans</strong> une tolérance <strong>de</strong> ±1 micron<br />

en production régulière. A Hanovre, elle<br />

avait beaucoup fait parler d’elle (sous<br />

son ancien nom, Sigma 8). En effet, la<br />

machine travaille sans canon <strong>de</strong> guidage et<br />

<strong>tous</strong> les hommes d’expérience savent que<br />

cette solution n’est pas optimale… Alors<br />

pourquoi est-il le tour le plus précis du<br />

marché avec <strong>de</strong>s résultats impressionnants<br />

<strong>de</strong> 1,4 µm <strong>de</strong> tolérance en production ?<br />

Finis les jeux <strong>de</strong> fonctionnement : un tour<br />

Le tour le plus précis du marché avec <strong>de</strong>s résultats<br />

impressionnants <strong>de</strong> 1,4 µm <strong>de</strong> tolérance<br />

en production. Source : Tornos<br />

Tous les axes machine explicités sur une Sigma 20. Source : Tornos<br />

automatique tel que Micro 8 est fait pour<br />

fonctionner "sans jeux", au contraire <strong>de</strong>s<br />

tours à cames. Sur ces <strong>de</strong>rniers, il n’était<br />

pas possible <strong>de</strong> travailler sans canon avec<br />

qualité. Micro 8 étant <strong>de</strong>stiné à remplacer<br />

les tours à cames pour la réalisation <strong>de</strong><br />

pièces courtes (jusqu’à 3 fois le diamètre),<br />

il est logique que cette comparaison<br />

soit faite. Mais elle s’arrête là ! Selon les<br />

tests effectués par les clients du fabricant<br />

suisse, Micro 8 dispose d’une supériorité<br />

écrasante, en précision, en disponibilité,<br />

en simplicité, en répétitivité… à <strong>tous</strong> les<br />

niveaux ! Selon les clients, <strong>de</strong>s hommes<br />

d’expérience sur machines à cames sont<br />

passés sur Micro 8 en une semaine, ils<br />

étaient sidérés <strong>de</strong> la qualité, <strong>de</strong> la simplicité<br />

et <strong>de</strong> la souplesse <strong>de</strong> tels moyens <strong>de</strong><br />

production.<br />

Micro 7 contre MS 7 :<br />

un match au sommet !<br />

Tornos a vendu plus <strong>de</strong> 100 000 tours à<br />

cames livrés <strong>dans</strong> le mon<strong>de</strong> dont près <strong>de</strong><br />

40 000 qui sont toujours en activité. L’idée<br />

<strong>de</strong> remplacer ces tours à cames par un<br />

tour à CN a été tenté plusieurs fois par<br />

<strong>de</strong> nombreux fabricants… et ne s’est pas<br />

toujours soldé par <strong>de</strong> franches réussites.<br />

Tornos a relevé ce défi au SIMODEC<br />

et pour ce faire, le fabricant a choisi<br />

d’opposer Micro 7 à MS-7, la référence !<br />

M a c h I n E S - O u T I L S<br />

De manière à disposer <strong>de</strong> faits avérés,<br />

Tornos s’est associée à MGB, un <strong>de</strong>s grands<br />

spécialistes européens du décolletage. Ce<br />

<strong>de</strong>rnier apportait à ce comparatif toute<br />

son expérience et son savoir-faire <strong>dans</strong><br />

l’utilisation <strong>de</strong> machines à cames, à tel point<br />

qu’une machine MS-7 "améliorée MGB" a<br />

été présentée sur le stand <strong>de</strong> Tornos en<br />

confrontation directe à Micro 7.<br />

Quels sont les facteurs qui influencent le<br />

choix d’une machine-outil ? Bien entendu,<br />

le prix ne plai<strong>de</strong> pas en faveur <strong>de</strong> la Micro 7,<br />

mais <strong>de</strong> nombreux éléments entrent en<br />

ligne <strong>de</strong> compte lors <strong>de</strong> la décision d’achat<br />

d’un produit. Le match a donc été pensé<br />

avec cette vision globale, en pondérant<br />

différents critères comme la productivité<br />

(stabilité en production, usure <strong>de</strong>s outils,<br />

temps <strong>de</strong> cycle, préréglage…), la précision<br />

(± 2µm, vitesse, répétitivité, mise en<br />

température…), l’innovation (puissance,<br />

vitesse, modularité, suppression <strong>de</strong>s reprises…),<br />

l’ergonomie (réglage, lubrification,<br />

accès, bruit, évacuation…), l’environnement<br />

(difficulté <strong>de</strong> trouver <strong>de</strong>s opérateurs<br />

"à cames", accès à la formation, simplicité,<br />

futur…).<br />

<strong>Les</strong> <strong>de</strong>ux machines ont été testées et<br />

analysées sur <strong>tous</strong> ces points, chaque paramètre<br />

a été pesé et évalué pour finalement<br />

arriver à une notification qui démontre<br />

que Micro 7 pourrait bien <strong>de</strong>venir le nouveau<br />

numéro 1. ■<br />

Jean-Yves Catherin<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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<strong>Les</strong> atouts du micro-usinage par laser<br />

Haute précision et qualité <strong>de</strong> l’usinage<br />

Faible zone affectée thermiquement<br />

Conservation <strong>de</strong> la fonctionnalité<br />

<strong>de</strong>s matériaux<br />

Gui<strong>de</strong>s linéaires <strong>de</strong> très haute précision<br />

à lubrification interne<br />

Roulements miniatures, tables <strong>de</strong> positionnement<br />

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Fax +33 (0)1 48 16 57 46<br />

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Affolter, <strong>de</strong>s centres <strong>de</strong> taillage<br />

et <strong>de</strong> micro-usinage 8 axes<br />

Affolter Technologies SA développe et produit <strong>de</strong>s centres <strong>de</strong> taillage et <strong>de</strong>s tours pour l'industrie<br />

micro-mécanique. <strong>Les</strong> éléments stratégiques qui composent ces machines notamment les CNC,<br />

les moteurbroche et les outillages sont également développés et fabriqués chez Affolter.<br />

Un opérateur sur la machine AF 100. Source : Affolter<br />

Chez Affolter Technologies SA, situé à<br />

Malleray en Suisse, le développement <strong>de</strong>s<br />

comman<strong>de</strong>s numériques CNC a débuté<br />

sur <strong>de</strong>s machines <strong>de</strong> production pour<br />

l'horlogerie. " <strong>Les</strong> interfaces homme-machine<br />

<strong>de</strong>s comman<strong>de</strong>s numériques ont été développées<br />

en collaboration avec le savoir-faire<br />

et les désirs <strong>de</strong>s spécialistes en taillage qui<br />

travaillent <strong>dans</strong> nos ateliers <strong>de</strong> production et<br />

qui n'ont pas forcément <strong>de</strong> notions en co<strong>de</strong><br />

ISO traditionnel. Nous avons mis en œuvre<br />

une CNC simple et performante munie d'une<br />

interface utilisateur conviviale en texte clair.<br />

Nos CNC peuvent aussi être adaptées à<br />

d'autres machines-outils telles que <strong>de</strong>s tours<br />

et <strong>de</strong>s centres d'usinage". Yves Beguelin,<br />

ingénieur <strong>de</strong> vente Affolter, poursuit en<br />

Cinématique <strong>de</strong> l’AF 100. Source : Affolter<br />

expliquant que la puissance <strong>de</strong> traitement<br />

<strong>de</strong>s comman<strong>de</strong>s numériques permet d’interpoler<br />

un maximum <strong>de</strong> 32 axes par<br />

combinaison <strong>de</strong> huit circuits d'interpolation.<br />

La vitesse <strong>de</strong> traitement instantané<br />

<strong>de</strong>s circuits hardware permet <strong>de</strong> rafraîchir<br />

simultanément les 32 axes en un temps <strong>de</strong><br />

cycle <strong>de</strong> 70 ns.<br />

Une gamme <strong>de</strong> moteurbroches<br />

et <strong>de</strong> machines hyper-précises<br />

Spécialement conçues pour le tournage,<br />

le fraisage et le meulage d'applications<br />

microtechniques ainsi que pour l'industrie<br />

horlogère, les moteurbroches MB Affolter<br />

sont hautement dynamiques : une broche<br />

accélère <strong>de</strong> 0 à 20 000 min -1 en moins<br />

<strong>de</strong> 500 ms, tout en étant précise afin <strong>de</strong><br />

répondre aux très hautes exigences <strong>de</strong>s<br />

applications.<br />

En parallèle avec les comman<strong>de</strong>s numériques<br />

et les moteurbroches, Affolter développe<br />

et fabrique <strong>de</strong>s machines <strong>de</strong>puis<br />

plus <strong>de</strong> 10 ans. Jusqu'à présent l'essentiel<br />

<strong>de</strong> la production a été <strong>de</strong>stiné aux ateliers<br />

<strong>de</strong> production du groupe Affolter. Au travers<br />

<strong>de</strong> <strong>de</strong>ux nouvelles gammes, Affolter<br />

Technologies se profile désormais comme<br />

fabricant <strong>de</strong> machines.<br />

Avec ses huit axes interpolés simultanément,<br />

l'AF100 est capable <strong>de</strong> réaliser <strong>de</strong>s<br />

M a c h I n E S - O u T I L S<br />

Exemples <strong>de</strong> micro-pièces tournées sur les machines<br />

Gear d’Affolter. Source : Affolter<br />

<strong>de</strong>ntures d’engrenages droites, hélicoïdales,<br />

coniques et bombées par génération ou<br />

par division. La pièce est tenue entre pointes,<br />

entraînée en direct par <strong>de</strong>ux moteurbroches<br />

indépendants. L’outil est entraîné<br />

par un troisième moteurbroche. Ces trois<br />

moteurbroches étant synchronisés électroniquement<br />

à <strong>de</strong>s vitesses <strong>de</strong> rotation<br />

pouvant aller jusqu’à 16 000 min -1 .<br />

D'autres variantes <strong>de</strong> machines basées sur<br />

la technologie AF100 peuvent répondre<br />

à <strong>de</strong>s exigences d'applications <strong>dans</strong> les<br />

domaines <strong>de</strong> l'industrie médicale (orthopédie<br />

et implantologie), soit en micro-fraisage,<br />

soit en meulage.<br />

En termes <strong>de</strong> précision, les machines ont<br />

une répétabilité <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> 1 µm <strong>dans</strong> le<br />

déplacement <strong>de</strong>s axes, une telle précision<br />

se traduisant évi<strong>de</strong>ment par <strong>de</strong>s résultats<br />

<strong>de</strong> qualités exceptionnelles sur les pièces<br />

usinées.<br />

Une gran<strong>de</strong> souplesse<br />

<strong>de</strong> changement <strong>de</strong> production<br />

Affolter a vendu récemment <strong>de</strong>s centres<br />

<strong>de</strong> taillage AF 100 aux USA, <strong>dans</strong> le<br />

domaine high-tech <strong>de</strong> l’industrie aéronautique<br />

(construction <strong>de</strong> cockpits et d'instruments<br />

<strong>de</strong> bord). "Le client a <strong>de</strong> nombreux<br />

engrenages et pignons <strong>de</strong> différents modèles<br />

et <strong>dans</strong> <strong>de</strong>s petites séries, il veut disposer<br />

d’une gran<strong>de</strong> souplesse avec sa machine en<br />

termes <strong>de</strong> rapidité <strong>de</strong> changement <strong>de</strong> mise<br />

en train (serrage <strong>de</strong> pièce, programmation…)<br />

et ainsi accroître sa productivité". D'autres<br />

machines ont été vendues en Asie à <strong>de</strong>s<br />

clients spécialisés <strong>dans</strong> la fabrication <strong>de</strong><br />

micro-moteurs. ■<br />

Jean-Yves Catherin<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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R O b O T I q u E / u S I n a G E<br />

Le Cetim et Stäubli s’engagent<br />

sur un projet innovant <strong>de</strong> robot-usineur<br />

Depuis huit mois, Stäubli participe à un grand projet initié par le Cetim<br />

(Centre technique <strong>de</strong>s industries mécaniques) qui consiste à tester un robot en tant que solution d’usinage.<br />

L’électrobroche Precise-Fisher<br />

permet d’usiner <strong>de</strong>s pièces<br />

à 42000 tours/min.<br />

Source : Staubli / Cetim<br />

La cellule, conçue et fabriquée par Arck<br />

Ingénierie, intègre un robot Staübli<br />

RX170 HP équipé d’une électro-broche<br />

Precise-Fisher <strong>de</strong> 17 KW, capable d’usiner<br />

à gran<strong>de</strong> vitesse (42 000 tr/mn). Ce projet<br />

<strong>de</strong> robot-usineur a volontairement évité<br />

la solution simpliste qui aurait consisté à<br />

installer une électro-broche au bout d’un<br />

bras robotisé. En effet, le robot intègre<br />

l’électrobroche directement <strong>dans</strong> l’avantbras<br />

et cette adaptation permet d’améliorer<br />

considérablement la rigidité. De<br />

plus, le harnais comprenant l’alimentation,<br />

le refroidissement et la lubrification <strong>de</strong><br />

l’unité, passe complètement à l’intérieur<br />

du bras, sans aucun conduit extérieur.<br />

Le robot est également pressurisé, lui<br />

permettant d’évoluer <strong>dans</strong> <strong>de</strong>s conditions<br />

difficiles.<br />

<strong>Les</strong> entreprises collaborant sur ce projet<br />

ont mené un vrai travail d’équipe :<br />

la cellule rigi<strong>de</strong> <strong>dans</strong> laquelle est<br />

installé le robot réduit les vibrations<br />

avec son bâti usiné, soudé et rempli<br />

<strong>de</strong> sable. L’éditeur <strong>de</strong> logiciels Delcam<br />

a travaillé sur la génération <strong>de</strong> la trajectoire<br />

du bras en cinq axes, tandis qu’Alma<br />

a converti en langage robotique les fichiers<br />

FAO en validant les parcours.<br />

Des objectifs technologiques<br />

<strong>de</strong> haut <strong>de</strong> niveau<br />

Le cahier <strong>de</strong>s charges du projet comporte<br />

le travail sur la comman<strong>de</strong> numérique, la<br />

mise au point <strong>de</strong>s conditions <strong>de</strong> coupe, les<br />

tests sur un grand nombre <strong>de</strong> matériaux<br />

(bois, pierre, inox, aluminium, acier, composite,<br />

résine, verre…), avec ou sans lubrification.<br />

Avec cette opération, le Cetim<br />

s’intéresse en premier lieu à la précision<br />

d’usinage accessible par le robot. L’objectif<br />

visé est <strong>de</strong> se rapprocher <strong>de</strong>s +/- 0,04 mm<br />

<strong>de</strong> répétabilité du robot RX170 HP standard<br />

: un défi à relever au cours <strong>de</strong>s<br />

<strong>de</strong>ux ans <strong>de</strong> tests qui se déroulent au<br />

Cetim <strong>de</strong> Senlis. Avec ses caractéristiques<br />

(17 kW, 42 000 tours/min), l’électrobroche<br />

Precise-Fisher permet d’usiner <strong>de</strong>s pièces<br />

à très gran<strong>de</strong> vitesse. Il est également<br />

possible d’adapter <strong>de</strong>s broches ayant <strong>de</strong>s<br />

caractéristiques techniques différentes en<br />

terme <strong>de</strong> puissance et vitesse <strong>de</strong> rotation.<br />

La cellule, conçue et fabriquée<br />

par Arck Ingénierie,<br />

intègre un robot Staübli RX170 HP.<br />

Source : Staubli / Cetim<br />

Des champs d’applications<br />

très étendus<br />

Outre ses performances, ce robot-usineur<br />

sera très bien placé sur le marché, tant<br />

en investissement qu’en exploitation. Cet<br />

avantage permet en effet aux ateliers<br />

d’envisager la réalisation <strong>de</strong> différentes<br />

opérations d’usinage (contournage, détourage,<br />

usinage <strong>de</strong> cordon <strong>de</strong> soudure, prototypage,<br />

polissage, perçage, taraudage…).<br />

Selon Jacques Dupenloup, responsable<br />

<strong>de</strong> l’activité Machine-Outil chez Staubli<br />

Robotics "il s’agit d’une solution évolutive qui<br />

accompagne les changements d’application<br />

<strong>dans</strong> la production". Lancé officiellement<br />

sur le salon Industrie 2008 à Paris, ce<br />

robot d’usinage trouvera sa place <strong>dans</strong> <strong>de</strong><br />

nombreux secteurs d’activité : industrie<br />

automobile, horlogerie, usinage du verre,<br />

le bois mais aussi <strong>dans</strong> le nucléaire (pour<br />

les opérations <strong>de</strong> maintenance), l’aéronautique<br />

ou le ferroviaire … "Avec son profil<br />

polyvalent, ce robot-usineur apporte ainsi une<br />

valeur ajoutée certaine <strong>dans</strong> les usines. A quoi<br />

bon délocaliser puisque le robot, après retour<br />

sur investissement, offre une qualité et un<br />

ren<strong>de</strong>ment exceptionnels ? Cette alternative<br />

ne peut que séduire les industriels désireux <strong>de</strong><br />

maintenir les emplois <strong>dans</strong> leur entreprise".<br />

■<br />

Jean-Yves Catherin<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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Un nouveau mo<strong>de</strong> d’auto-apprentissage<br />

<strong>de</strong> trajectoires <strong>de</strong> robots chez ABB<br />

L'opérateur ne réalise plus qu'un apprentissage <strong>de</strong>s<br />

points caractéristiques d'une trajectoire en déplaçant<br />

le robot "à la main". Source : ABB<br />

Le système modulaire “smart machine” a<br />

pour objectif d’apporter <strong>de</strong> l’intelligence<br />

<strong>dans</strong> le processus <strong>de</strong> fraisage. Il comprend<br />

une offre <strong>de</strong> modules remplissant différentes<br />

fonctions apportant <strong>de</strong>s performances<br />

accrues aux machines Mikron auxquelles<br />

il est associé. Cette “intelligence” requiert<br />

<strong>de</strong> créer une communication complète<br />

entre l’homme et la machine pour mettre<br />

à disposition <strong>de</strong> l’opérateur <strong>de</strong>s informations<br />

détaillées dont il a besoin pour<br />

apprécier le processus <strong>de</strong> fraisage. Elle<br />

nécessite également <strong>de</strong> soutenir l’opérateur<br />

lors <strong>de</strong> l’optimisation du processus,<br />

celle-ci permettant d’améliorer considérablement<br />

la productivité.<br />

Le module ITC (Intelligent Thermal Control)<br />

permet à l’utilisateur <strong>de</strong> se concentrer uniquement<br />

sur les exigences spécifiques à<br />

l’outil (la machine dispose <strong>de</strong> connaissances<br />

<strong>de</strong> processus thermique). Le module OSS<br />

R O b O T I q u E / M a c h I n E S - O u T I L S<br />

Dans les PMI, la robotisation est freinée<br />

par la nécessité <strong>de</strong> générer les programmes<br />

pour chaque pièce ainsi que par le coût<br />

lié à cette programmation. De plus, l’autoapprentissage<br />

<strong>de</strong>s trajectoires par le robot<br />

constitue un problème récurrent <strong>de</strong>s opérateurs<br />

qui fait perdre beaucoup <strong>de</strong> temps<br />

lors <strong>de</strong>s changements <strong>de</strong> campagne.<br />

ABB présente une fonction brevetée<br />

d'auto-apprentissage <strong>de</strong> trajectoire par<br />

le robot pour les opérations d'ébavurage<br />

ou <strong>de</strong> polissage (parachèvement). Cette<br />

fonction combine le pilotage en effort du<br />

robot associé à une interface utilisateur<br />

simplifiée. L'opérateur ne réalise plus qu'un<br />

apprentissage <strong>de</strong>s points caractéristiques<br />

d'une trajectoire en déplaçant le robot<br />

"à la main" et non plus avec le pupitre <strong>de</strong><br />

programmation. L'apprentissage final <strong>de</strong><br />

la trajectoire est réalisé sur une pièce <strong>de</strong><br />

"Smart machine" pour plus d’intelligence<br />

en fraisage chez Agie Charmilles<br />

(Operator Support System) optimise le<br />

processus d’usinage à l’ai<strong>de</strong> d’une interface<br />

intuitive permettant <strong>de</strong> modifier à tout<br />

moment la priorité parmi les gran<strong>de</strong>urs<br />

cibles entre vitesse, précision et état <strong>de</strong><br />

<strong>surface</strong>. Le système Sigma FM génère et<br />

gère les données associées aux ordres <strong>de</strong><br />

référence avec l'outil final, en appliquant un<br />

effort constant sur la pièce pour mémoriser<br />

<strong>tous</strong> les points nécessaires à la trajectoire<br />

finale. L’opérateur est en sécurité<br />

pendant la phase d’apprentissage, car le<br />

robot reste toujours en mo<strong>de</strong> manuel sous<br />

contrôle <strong>de</strong> l'opérateur. Cette fonction est<br />

compatible avec les différents types <strong>de</strong><br />

robots ABB pouvant être utilisés (robots<br />

<strong>de</strong> 5 à 650 kg), l’effort pour déplacer le<br />

robot en mo<strong>de</strong> d’apprentissage reste le<br />

même pour l’opérateur (< 500 g).<br />

La solution mise en œuvre se résume à<br />

un capteur d’effort (6 axes) et un logiciel<br />

d’interface homme-machine spécialisé. A<br />

titre d’exemple, <strong>dans</strong> une petite fon<strong>de</strong>rie<br />

produisant <strong>de</strong>s petites séries <strong>de</strong> pièces<br />

complexes à ébavurer, avec <strong>de</strong>s bavures<br />

très variables, le gain <strong>de</strong> temps entre <strong>de</strong>ux<br />

lancements est <strong>de</strong> 60%. ■<br />

Le module SPS (Spindle Protection System)<br />

permet un contrôle en temps réel <strong>de</strong> la broche.<br />

Source : Agie-Charmilles<br />

fabrication <strong>de</strong>stinés à une cellule d’usinage.<br />

Il est directement installé sur la comman<strong>de</strong><br />

principale et permet d’optimiser la gestion<br />

<strong>de</strong>s données, <strong>de</strong>s pièces et <strong>de</strong>s outils liés<br />

aux ordres <strong>de</strong> fabrication ouverts. Avec le<br />

module RNS (Remote Notification System),<br />

il est possible d’obtenir, indépendamment<br />

du lieu, <strong>de</strong>s informations sur l’état <strong>de</strong><br />

fonctionnement du centre d’usinage ainsi<br />

que sur le processus lui-même. Le module<br />

SPS (Spindle Protection System) permet un<br />

contrôle en temps réel <strong>de</strong> la broche. Enfin,<br />

le module APS (Advanced Process System)<br />

est un système <strong>de</strong> surveillance qui permet<br />

(entre autre) <strong>de</strong> visualiser <strong>de</strong>s vibrations<br />

dues à un processus <strong>de</strong> fraisage en tant que<br />

“charge G”. ■<br />

<strong>Micronora</strong> inforMations - juillet 2008


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