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Compte-rendu de TP

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IV.2IV.2.aDifférences liées à la tailleObservationsFigure 9 – Vue globale <strong>de</strong>s motifs<strong>de</strong> test <strong>de</strong> dose (grandissement×500).Nous pouvons voir que les motifs <strong>de</strong> gran<strong>de</strong>s dimensions sont sortis a peu près <strong>de</strong> la même façon,c’est à dire que l’on commence à voir apparaître <strong>de</strong>s défauts grosso modo pour les mêmes doses : autour<strong>de</strong> 0,9 fois la dose <strong>de</strong> référence D 2 12 pour les disques et 1, 0 × D 2 pour les triangles, les <strong>de</strong>ux types <strong>de</strong>motifs ne sortant pas du tout pour <strong>de</strong>s doses inférieures à 0,5 ou 0,6 fois la dose <strong>de</strong> référence.Nous remarquons au passage que la valeur <strong>de</strong> D 2 est loin d’être aberrante.(a) Les grands disques sortent bien pourD > 0, 9 × D 2 (grandissement ×1000).(b) Les grands triangles sortent bien pourD > 1, 0 × D 2 (grandissement ×1000).Figure 10 – Comparaison entre les motifs <strong>de</strong> gran<strong>de</strong>s dimensions.Comme en témoigne la Figure 11 page suivante, la situation n’est pas du tout similaire en ce quiconcerne les motifs <strong>de</strong> dimensions plus réduites. Dans ce cas, nous constatons que les disques sont sortis 13pour <strong>de</strong>s doses faibles, autour <strong>de</strong> 0, 4 × D 2 , tandis que nous ne parvenons même pas à sortir les petitstriangles avec une dose <strong>de</strong> 1, 3 × D 2 . . .12. Rappel : D 2 = 175 µC.cm −213. Pas nécessairement sans défaut mais encore une fois, avec <strong>de</strong> telles dimensions, nous ne pouvons pas vraiment l’affirmervia microscopie optique.11

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