Compte-rendu de TP

Sachant que plus les dimensions des motifs à insoler diminuent, plus les effets de proximité deviennentnon négligeables 14 face aux effets d’insolation directe, nous pouvons donc expliquer que les petits disquessortent pour des doses bien plus faibles que les petits triangles par le fait que les effets de proximité sontrenforcés dans le cas des disques par rapport au cas des triangles (cf. le rapport des aires, sachant queles effets de proximité sont non négligeables).Ce n’est pas le cas pour les motifs de plus grandes dimensions car pour ces derniers, les effets deréinsolation sont comparables, les aires en jeu étant bien supérieures (le cœur des grands triangles estautant soumis aux effets de proximité que le cœur des grands disques). Ceci explique le fait que les grandsmotifs sortent plus ou moins de la même façon pour des doses similaires.IV.3IV.3.aDifférences liées à la formeObservationsSi les explications précédentes semblent convenir au moins dans les grandes lignes, notons cependantqu’elles n’expliquent pas la légère différence de dose qui demeure pour les motifs de grandes dimensions,entre les disques (D minronds = 0, 9 × D 2 ) et les triangles (D minronds = 1, 0 × D 2 ).Or nous pouvons observer sur la Figure 10b page 11 un phénomène qui se produit lorsque ladose commence à devenir insuffisante et dont nous n’avons encore pas discuté : nous constatons que lespointes des triangles semblent avoir davantage de difficultés à sortir que le cœur desdits motifs 15 . Etnous n’observons rien de semblable pour les disques de la Figure 10a. Il semble donc bien s’agir dequelque chose lié à la forme effilée des pointes.IV.3.bExplicationsUne façon de voir les choses consiste à remarquer que lorsque l’on se déplace du cœur d’un trianglevers l’une de ses pointes, les effets de proximité deviennent de moins en moins négligeable au fur et àmesure que l’on se rapproche de l’extrémité de la pointe en question. Du coup, nous retrouvons le mêmegenre de différence entre triangles et disques qu’à la section §IV.2 :– les points situés sur le pourtour d’un des grands disques possèdent un assez grand nombre devoisins, ce qui le réinsole d’autant plus en raison des effets de proximité ;– au contraire, un point situé non loin d’une extrêmité d’un des grands triangles possède relativementpeu de voisins 16 qui pourraient le réinsoler par effet de proximité.Les bouts des pointes des triangles sont donc moins réinsolés, et donc au final moins insolés tout court,que le reste. Ainsi, lorsque les doses commencent à être justes pour activer suffisamment la résine, cesont les premières structures à présenter des difficultés à sortir.Les disques doivent quant à eux réussir à compenser un peu mieux les faibles doses en raison d’uneplus grande réinsolation de son contour par effets de proximité (pour les raisons évoquées juste avant),ce qui pourrait expliquer la légère différence de dose minimale entre les triangles et les disques.Il est bon de remarquer que ce phénomène a, a priori, lui aussi lieu pour les motifs de faibles dimensions.Toutefois, vus les écarts de doses beaucoup plus importants, il semble judicieux de penser que cesont bien les effets de surface plus que de forme qui prennent le pas aux échelles en question.IV.4IV.4.aRaccords des champs d’écritureObservationsComme nous pouvons le voir sur la Figure 13 page suivante, il y a bien une différence entre lasituation avec calibration du champ d’écriture et celle sans cette procédure, à l’avantage de la première.Ceci justifie donc bien la mise en œuvre de cette procédure.14. Les effets de proximité ne dépendent que du faisceau d’électrons et du substrat, donc sont identiques quelle que soientles dimensions du motif à insoler.15. Ceci est plutôt bien visible sur le motif triangulaire correspondant à une dose de 0, 9×D 2 sur la Figure 10b page 11.16. En comparaison d’un point sur le pourtour des disques de mêmes dimensions, ou bien plus simplement d’un pointsitué au cœur du triangle en question. . .13