PhD Thesis - á¡áá¥áá áááááá¡ á¢áá¥áááá£á á á£ááááá á¡áá¢áá¢á
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• mTeli rigi firmebis mier 70-iani wlebis bolos damuSavebulisamrewvelo teqnologia - siliciumis moculobiTiTxevadi mowamvla - membranebis, simebis, wnevis maCveneblebisdetalebis da sxvaTa formirebisaTvis;• 70-iani wlebis dasarulsa da 80-iani wlebis dasawyisSi q.karlsrueSi (germania) birTvul kvlevebis centrSi sinqronuligamosxivebis, galvanuri daleqvis da preciziuli polimerebisdawnexvis gamoyenebiT moculobiTi struqturebisformirebis teqnologiis damuSavebam, romelmac miiRosaxelwodeba LIGA – teqnologia (LIGA _ germanuli sityvebisabreviaturaa da ase iSifreba: litographia – litografia,galvanoforming – galvanodamuSaveba, abformung – dawnexva);axali Taobis mikrosistemuri teqnikis yvelaze naTelkonstruqciul-teqnologiur gansakuTrebulobas warmoadgens:• mesame ganzomilebis aqtiuri gamoyeneba (3 Dsistemebi);• eleqtruli da optikuri kavSirebis meqanikurTan integracia;• mikro da biotenologiis da fiziko-qimiuri teqnologiuribazisebis integracia;• mikromoculobaSi da myari tanis zedapirze Semsrulebelteqnologiurida kontrol-diagnostikuri procedurebisintegracia;mikrosistemuri teqnikis msoflio dinamikis ganviTarebisanalizi mocemulia naxazze 1. igi Sesrulebulia organizaciaNEXUS mier da naCvenebia, rom 1996-2002 wlebSi mikrosistemuriteqnikis nakeTobebis bazari saSualod 18%-iT gaizarda da 2002wels 38 miliard dolars miaRwia. xolo 2002 wlidan dRemde esmaCveneblebi ormagdeba yovelwliurad.crilSi 3 mocemulia mikrosistemuri teqnikis mimarTulebissaerTo struqtura, xolo cxrilSi 4 _ axali Taobis mikrosistemuriteqnikis damuSavebis mimarTulebebi da gamoyenebissferoebi.31
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