高濃度ボロンドープ試料の 角度分解X線光電子分光による 濃度分布解析
高濃度ボロンドープ試料の 角度分解X線光電子分光による 濃度分布解析
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Intensity ratio (Arb. Units)<br />
I(BO)<br />
I(SiO)<br />
after RTA<br />
before RTA<br />
0 30 60 90<br />
TOA (degree)<br />
RTA<br />
SiO 2<br />
SiO 2<br />
0.87nm<br />
0.87nm<br />
0.60nm<br />
1.5x10 20 cm -3 <br />
1.5x10 21 cm -3<br />
0.6nm<br />
Si<br />
11