高濃度ボロンドープ試料の 角度分解X線光電子分光による 濃度分布解析
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Lg<br />
Plasma<br />
Doping<br />
SIMS profiles of plasma doped (PD) samples<br />
K. Tsutsui et al., JAP, 104 (2008) 093709.<br />
w/o RTA<br />
Anneal<br />
Diffusion<br />
Xj<br />
after spike-RTA<br />
year 2011 2012 2013 2014 2015<br />
L g<br />
(nm) 24 22 20 18 17<br />
Xj (nm) 10.5 9.5 8.7 8.0 7.3<br />
(ITRS 2010 update, High performance)<br />
+FLA<br />
<br />
2
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