高濃度ボロンドープ試料の 角度分解X線光電子分光による 濃度分布解析
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(abruptness)<br />
Undrestimation of surface<br />
concentration, c 0 /c(z)<br />
1.0<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
λsinθ=0.5nm<br />
c<br />
c<br />
0<br />
= a a<br />
λsinθ=1.0nm<br />
( z) + ln( 10) λ sinθ<br />
0<br />
0 2 4 6 8 10<br />
Abruptness (a), (nm/decade)<br />
c<br />
B concentration (cm -3 )<br />
( z)<br />
= −<br />
10 22<br />
10 21<br />
10 20<br />
10 19<br />
10 18<br />
10 17<br />
1 dI<br />
Aσ<br />
dz<br />
( z)<br />
1<br />
+ I<br />
λσ sinθ<br />
steep profile at surface<br />
after RTA<br />
before RTA<br />
SIMS<br />
10 16 0 5 10 15 20 25 30 35<br />
Distance from surface (nm)<br />
( z)<br />
<br />
λsinθ<br />
Spike-RTA34nm/dec.<br />
5
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