CleX - PLATIT

Think Twice. 

Go Triple . Even . 

高速コーティング炉と 

4® 

QuadCoatings 

p111-ECO / p311-ECO 

小中型コーティング炉の組み合わせ 

p603 / PL1401-HUT / PL1901 / PL2001 

ブローチ向け専用コーティング炉 

® 

CleX -V311 Clean Flexible 

洗浄及び脱膜用モジュール式ホルダシステム 

4 

3

2 

高速コーティング 

高耐荷重 

高速コーティング装置 

主要機能 

• ターゲット4本同時利用可能 

® 

3x LARC 側面設置回転式ターゲット 

® 

1x CERC 中心設置回転式ターゲット 

• 優れた蒸着レート 

• 高速加熱 

• 冷却 

• サイクルタイム短縮 

• 最高6バッチ/日 

• 高剛性、簡単ローディング 

最高の密着性を生むサポーター 

• and 

® 

• 

GD 

QuadCoating 

® 4 工程曲線 

® ® 

• ドア・ツー・ドア 3.5 時間以内 

3時間 

® 

SCiL -オプション 

Sputtered Coatings induced by 

4® 

nACRo ® 

4 

nATCRo 

4® 

AlCrTiN 

4® 

nACoX 

• ドア側回転式円筒ターゲットによる高効率 

アルゴンボンバードが導くスパッタコーティング 

• SCiL-TiN, SCiL-TiCN 

® 

GD 

• 炉内中心配置のカソード(CERC) 

に換わりスパッタリングカソードを利用

1 

-高速コーティング炉 

4本の ARCターゲットを同時使用可能 

® 

3x LARC :側面設置回転式ターゲット 

ターゲットサイズ: Ø96 x 510 mm 

® 

1x CERC :中心設置回転式ターゲット 

ターゲットサイズ: Ø110 x 510 mm 

許容プラズマ領域: Ø500 mm x H460 mm 

シャンク工具、インサート、ホブのコーティングで 

極めて高い生産性を実現 

4 

2 

® 

GD 

® 

SCiL -オプション 

3 

® 

LARC 

• 

• 

グロー放電 

® 

GD 

二つの機能と併用します。 

and 

• カソード1(又は3)とカソード2間のエレ 

• LGD源パルスによる安定した工程、マイ 

LARC ® 

LARC ® 

LARCグロー放電は特許工法で、以下 

• 基板反体側ターゲットプラズマ洗浄・チューブ式シャッター 

® 

GD 

LARCグロー放電は、精巧な表面形状をもつ 

特殊基板(ホブ、金型等) に高効率アルゴンボンバードを生成します。 

クトロンの流れが高密度プラズマイオンを 

生み複雑な基板表面に効果があります。 

クロアークの抑制に寄与します。 

ドア側回転式ターゲットによる高効率アルゴンボンバー 

ドが導くスパッタコーティング 

カソード: 

® 

• 3x LARC : 側面設置回転式ターゲット 

® 

• 1x SCiL : 中心設置回転式スパッタターゲット 

® ® 

• SCiL と CERC はユーザーの作業による交換が可能 

プロセス 

• 

• 

利点 

• 

• 

LARC-GDによる最高の密着性 

ボンバード後にチューブ式シャッターを閉じ、 

SCiLカソードだけによる成膜 

密着性に優れるスパッタ被膜 

ドロップレットフリーの平滑性 

主な用途 

• 

• 

タップ、溝なしタップ 

ドリル、深穴加工、ガンドリル 

CERC ® 

® ® 

SCiL ® 

3

4 

プラティット 

概要 

・省スペース硬質系コーティング装置 

® ® 

® 

・側面設置LARC 及び炉内中心設置回転式ターゲットCERC 又はSCiL 

ドア側配置回転式ターゲット、炉内中心配置回転式ターゲット(アーク) 

® 

又はLARC -GDが導くスパッタコーティング 

・コーティング処理温度工具鋼: 230 °C以上、 

高速度鋼: 350 - 500 °C 、超硬:350 - 550 °C 

・ユーザーにてカソード再配置可能 

® ® 

A: LARC 3本 +CERC 1本 

® 

B: LARC 3本 

® 

® 

C:LARC 3本 +SCiL 1本 

コーティング 

・単層、多層、ナノ傾斜層、ナノ層、ナノコン 

ポジット、トリプルコーティング、クアトロ 

コーティング、及びこれらのコンビネーション 

® 

・主要標準コーティング:TiN, AlTiN-G, nACo 

・標準コーティング21種 

・トリプルコーティング全種 

・クアトロコーティング全種 

・スパッタコーティング全種 

ハードウェア 

・設置寸法:幅2720 x 奥行1721 x 高さ2149 mm 

・真空炉、内部寸法:幅650 x 奥行670 x 高さ675 mm 

・許容プラズマ領域:Ø500 x 高さ460 mm 

・最大基板荷重:350 kg 

・ターボ分子ポンプ式システム 

・回転式円筒ターゲット合計最大4本 

® ® 

LARC 3本/CERC 1本 

・アーク制御用磁場閉じ込め機構(MACC) 

® 

・LARC :最大アーク電流200A 

® 

・CERC :最大アーク電流320A 

® 

・SCiL : 最大スパッタリング出力30kW 

® 

・LARC 交換に要する時間(熟練者の場合) 

® 

LARC ターゲット1本当たりおよそ15-30分 

・LARCターゲット全種対応 

® ® 

VIRTUAL SHUTTER 及びTUBE SHUTTER 

・イオンプラズマ洗浄: 

・ガス(Ar/H 2)ボンバード(グロー放電) 

・メタル(Ti又はCr)ボンバード 

® ® 

・LGD : LARC グロー放電 

・パルスバイアス電圧(350 kHz) 

・6 (+1)ガスチャンネル、6 MFC制御 

・ヒータ専用ダストフィルタ (24 kW) 

・電気接続:3x400 V, 160 A, 50-60 Hz 

・総消費電力:76 kW以下 

電気とソフトウェア 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

工業用PC、PLCシステム 

タッチ画面メニュー式コントロールシステム 

マニュアル 

自動のプロセスコントロール 

データログとプロセスパラメータの遠隔診断 

特別な知識不要の簡単なプロセスコントロール 

• CD-ROMによる取扱い説明書 

サイクルタイム 

標準膜厚で工具を連続ARC処理: 

・シャンク工具 (2 µm): ø10 x 70mm: 504個: 3.5時間 

・インサート (3 µm): ø20 x 6mm: 2940個: 4.0時間 

・ホブ (4 µm): ø80 x 180mm: 14個: 5.5時間

ホブ加工 

アプリケーション 

フライス加工超硬エンドミル、セミドライ切削での摩耗比較 

逃げ面摩耗 

AlCrSi系コーティング nACRo コーティング 

膜厚 3.9 µm 

73.87 µm 

Lf = 24 m 

(工具寿命まで) 

500 µm 

逃げ面摩耗 

4® 

膜厚 4.0 µm 

76.58 µm 

AlCrN new AlCrN new + Si 

143分後、コーナー摩耗 

69.80 µm 

nATCRo4 nACRo4 ネジ加工 

Coatings 4® 

62.34 µm 

Lf = 32 m 

(工具寿命まで) 

平均摩耗 [µm] 

ドライホブ加工での工具寿命比較 

工具寿命 [m/工具] 

120 

100 

80 

60 

40 

20 

35 

30 

25 

20 

15 

10 

5 

市販 AlCrN 市販 

Si含有AlCrN 

0 

0 50 100 150 200 250 

-20 

加工時間; Tc [分] 

ワーク材:工具鋼 - X33XrS16 - 1.2085 (JIS SUS420J2)- Rm=1000 N/mm2 

ap=5mm - ae=3.5 mm - 工具: Fraisa NX-V - d=8mm - z=4 

全刃測定平均摩耗値: (最大マージン摩耗 + VBmax + 刃先摩耗 + コーナー) / 4 

Vc= 110 m/min – n=4365 1/min – fz= 0.06 mm/z - f=0.24 mm/rev - MQL 

14 

0 

市販AlCrSiベース 

コーティング薄膜 

(3.3 µm) 

24 

市販AlCrSiベース 

コーティング厚膜 

(3.9 µm) 

22 

AlTiCrN3 

nATCRo4 nACRo4 セミドライ溝なしタップ加工での工具寿命比較 

1200 

1000 

800 

600 

400 

200 

工具寿命; Lm 

[良品歯数] 

480 

72 

0 

e-beam TiN 

(プラズマ電子ビーム溶解) 

1022 

48 

833 

ワーク材: 40CrMnMo7 (JIS SKT5)- Rm= 945 N/mm2 

工具: M8-6HX-InnoForm1-Z - HSSE 23/1 – Ø7.4 – ap=1.5xd - MQL 

ワーク材: 20 MnCrB5 - m=2.7 

工具: 2枚歯 - PM-HSS - vc=220 m/min - fa=3.6/ワーク回転 

14 

nACRo4 

薄膜(3.4 µm) 

vc=20 m/min 

vc=25 m/min 

800 

128 112 

CrTiN AlCrTiN4 SCiL-TiN 

(後処理なし) 

32 

nACRo4 

厚膜 (4 µm) 

5

6 

ターン・キー・ソリューション 

との組み合わせ 

• 省スペース硬質系コーティング装置 

• プラティットLARC側面設置回転式円筒ターゲット2本 

® 

• 最上の密着性 C GD 

• 一般的な窒化コーティングに加え 

• ナノ層、ナノコンポジット 

• トリプルコーティング数種 

2 

• OXI 及びDLC コーティング 

• 高耐荷重 

• 許容プラズマ容量 Ø355 x 460 mm 

• 最短サイクルタイム 3.5 時間 

システム開発によるECO商品の提案 

• 環境への配慮 

• 炉内中心配置回転式円筒ターゲット 

• 未使用によるエネルギー消費の抑制 

• 新洗浄機による水の消費量減 

• コスト節約 

• 専門的な用途の被膜による寿命向上 

• 炉内中心配置回転式円筒ターゲット未搭載 

によるイニシャルコストの低減 

脱膜処理 

® 

CleX - V311 

搬送用装置 

洗浄処理

コーティング処理 

前・後処理 

品質管理 

-ECOとの組み合わせ 

PQCS-ECO 

• 

• 

• 

• 

省スペース硬質系コーティング装置 

プラティットLARC側面設置回転式ターゲット3本 

最上の密着性 C 

® 

GD 

一般的な窒化コーティングに加え 

• ナノ層、ナノコンポジット 

• 全種トリプルコーティング 

• オプション 

2 

• OXI 及びDLC コーティング 

コーティング 

• 高耐荷重 Coatings 4 

• 許容プラズマ容量 Ø485 x 440 mm 

• 最短サイクルタイム 4 時間 

® 

3 

Triple Coatings ® 

7

8 

Triple 

Coatings 3 及び 

シリコン含有ナノコンポジット 

® Coatings 4® 

3® 

nACo : 幅広い用途 

TiN - AlTiN - nACo 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: AlSi+ 3: 未使用 4: AlTi 

p311ECO: 1: Ti 2: AlSi+ 3: Al 

3® 

nACRo : 超耐熱合金材加工用 

CrN - AlTiCrN - nACRo 

カーソド: 

p311/p411: 1:未使用 2: AlSi+ 3: Cr 4: AlTi 

p311 ECO: 1:AlSi+ 2: Al 3: Cr 

3® 

TiXCo : 超高硬度材加工用 

TiN - nACo – TiSiN 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: Al 3:TiSi 4: 未使用 

p311 ECO: 1: Ti 2: Al 3:TiSi 

4® 

nACoX : 高速ドライ旋削及び高速フライス加工 

TiN – AlCrN – nACo – AlCrO(N) 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: AlSi+ 3: AlCr-OXI 4: AlCr 

カスタマイズ用途 

A: カーソド: 1: Al - 2: AlSi+ - 3: Cr - 4: 未使用 

ホブ加工用最適化クアトロコーティング: 

CrN - AlCrN - AlCrN-ML/SiN - AlCrN/SiN 

B: カーソド: 1: Ti - 2: Al - 3: CrSi - 4: AlTi C: D: E: F:... 

軟鋼材フライス加工用最適化トリプルコーティング: 

TiN - AlTiN - CrSiN 

Triple Coatings 3® 


Triple Coatings 3®

シリコン未含有 

3® 

AlCrN : ドライ難削材切削用 

CrN - Al/CrN 多層/ナノ層 - AlCrN 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: Al 3: Cr 4: 未使用 

p311 ECO: 1: Ti 2: Al 3: Cr 

3® 

AlTiCrN : ドライ及び湿式切削用 

Cr(Ti)N - Al/CrN 多層/ナノ層 - AlTiCrN 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: Al 3: Cr 4: 未使用 

p311 ECO: 1: Ti 2: Al 3: Cr 

4® 

AlCrTiN : 潤滑カスタマイズ用途 

ネジ加工及び切削 

CrN - Al/Ti/CrN 多層/ナノ層 - AlCrN (CrCN: 潤滑性オプション) 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: Al 3: Cr 4: AlCr 

p311 ECO: 1: Ti 2: Al 3: Cr 

パンチ用カスタマイズ用途 

CrN - AlTiCrN - AlCrN - CrCN 

カーソド: 

p311/p411: 1: Ti 2: Al 3: Cr 4: 未使用 

p311 ECO: 1: Ti 2: Al 3: Cr 

p311とp411におけるカーソド配置 

1 

2 

3 

4 


3® 

TripleCoatings の3つの特性: 

• 最高の密着性 (TiN, CrN) 

• 高靭性中間層(多層、又はナノ層) 

• 耐摩耗の硬度表層(ナノコンポジット) 

4® 

QuadCoatings 追加される四つ目の特性: 

• AlON/AlCrONの酸化系被膜による 

優れた熱絶縁 

• CrCNによる潤滑効果 



9

10 

ブローチ専用コーティング装置 

ブローチ用PL1401-HUT 

• ご要望に応じた受注生産 

• プラティットプレート式アーク技術採用 

• ブローチ片側の処理後、次のバッチで 

別の片側を処理 


• 許容プラズマ領域: 

Ø700 x 高さ700 mm + Ø150 x 高さ700 mm 

• ブローチ最大長さ:2’000 mm 

• ブローチコーティング最大可能長さ: 2 x 700 mm 

• 最大基板荷重: 400 kg 

• PL1001 COMPACT ターゲットと完全互換 

クィックチェンジ 

• プラティットターゲット4枚 

• モジュール式回転機構サテライト 1, 2, 3, 4, 6, 8 

ブローチ用シングル炉洗浄システム 

• ブローチ最大長さ: 2'500 mm 

• 最大荷重: 600 kg 

• サイクルタイム: 1時間以内 

ロングブローチ用 PL1901 

• ご要望に応じた受注生産 

• プラティットプレート式アーク技術採用 

• 1バッチでロングブローチの全域を処理 


• 

• 

• 

• 

• 

• 

許容プラズマ領域: 

Ø700 x 高さ700~1'900 mm 

ブローチ最大長さ:2’300 mm 

最大基板荷重: 600 kg 

PL1001 COMPACT ターゲットと完全互換 

クィックチェンジ・プラティットターゲット6 

モジュール式回転機構サテライト 1, 2, 4, 6, 8 

コーティング装置とローディングシステムは 

フロアへの組み込み式

® 

CleX : 洗浄装置 

V80+, V311, V1011 

工業用シングル炉洗浄装置:全自動洗浄及び真空乾燥 

用途: 

• 切削工具、金型、機械部品、並びに洗浄の難しい空洞部品 

仕様: 

• シングル炉溶剤(アルカリ)タンク、脱塩水タンク、真空乾燥システム装備 

• 水の準備:軟化剤、逆浸透ユニット、純水(外部) 

• 溶剤、塩 

• pシリーズ同様、プログラミング及び操作の容易なタッチ画面 

• シャンク工具、インサート、ホブ用CleXモジュールホルダシステム 

洗浄サイクル (45分以内) 

1.粗洗浄 

油成分とダストの粗洗浄(V11シリーズ) 

各国地域の廃水規定に従うこと。 

洗浄する基板の最大サイズ: 幅x奥行x高さ [mm]: 

V80+ V311 V1011 

355 x 390 x 480 500 x 500 x 500 700 x 700 x 700 

2. 超音波 

洗浄 

液面に浮上する 

油成分回収 

(V11シリーズ) 

3. リンス 

4. 冷却トラップ付 

真空乾燥 

p < 1 bar 

11

12 

® 

CleX : 洗浄装置 

洗浄及び脱膜用モジュール式ホルダシステム 

® 

CleX シャンク工具用 

シャンク工具の洗浄、脱膜を行う汎用ホルダシステム 

長所: 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

異なる工具径を一緒に保持可能 

従来のシステムと比較し設置面積当たり150%の 

載能力を発揮 

工具を搭載した状態で持ち運び可能なCleXキャリア 

積み重ね対応なCleXバスケット 

影になる部分を抑制した設計 

接触面を抑え洗浄しにくいスポットに適応 

排水性を考慮した傾斜面 

耐高温、高剛性をもつステンレス鋼構造 

® 

CleX インサート用 

前処理、後処理、コーティングでの段取りを軽減する 

インサート用ホルダ 

長所: 

• 異なるタイプのインサートを一緒にクランプ可能 

• 穴付インサートのみ対応 

下記プロセスにおいて、最大500個のインサート 

再ローディング不要: 

• 洗浄 

• 刃先用湿式 

• 乾式マイクロブラスト処理 

• コーティング 

• 磨き湿式 

• 乾式マイクロブラスト処理(湿式 

• 乾式マイクロブラスト処理ではインサート 

® 

CleX ホブ用 

ホブの洗浄、脱膜用ホルダ 

長所: 

• 

• 

ての面に対応穴の無いインサートの場合、 

TongSシステムと共に使用 

異なる径及び長さのホブの保持可能 

積み重ね可能なCleXバスケット

CleX 

® 

® 

CleX シャンク工具用 

® 

CleX バスケット 

330x160mm 

® 

CleX キャリア 

® 

CleX -S-3 

® 


® 


® 


® 


® 


® 


® 


® 


® 


® 


® 


インチサイズも利用可能 

® 

CleX インサート用 

ø143x380mm 

サテライト用 

ポジション刃長サイズ㎜ 

® 

CleX -I-15R 15+サポート 

リング 14 2.4 

® 

CleX -I-15 

® 


® 

CleX ホブ用 

V80+ 

2セット/レベル 

シャンク径 

Ø3 

Ø5 

Ø6 

Ø8 

Ø10 

Ø12 

Ø14 

Ø16 

Ø18 

Ø20 

Ø25 

Ø32 

15 14 

18 

CleX holders Optimized for 

CleX-H: 

330x160㎜ 

1 x Ø 130 

2 x Ø 70 

3 x Ø 35 

CleX-H-XL: 

330x240㎜ 

1 x Ø 170 

2 x Ø 90 

3 x Ø 60 

V311 


® 

工具/CleX キャリア 

30 

26 

24 

20 

18 

16 

15 

13 

12 

11 

9 

7 

18 x 8.5 

9 x 19.0 

6 x 29.5 

V1011 


® 

工具/CleX バスケット 

270 

234 

168 

140 

126 

112 

75 

52 

48 

44 

36 

28 

インサート最小穴径 

ø㎜ 

3.7 

4.2 

5.2 

6.2 

3.7 

4.2 

5.2 

6.2 

® 

CleX -H ホブバスケット 

® 

CleX -I-15R 

CleX バスケット 

® 

CleX -S-3 キャリア、Ø3 mm用 

® 

CleX -S-18 キャリア、Ø18 mm用 

® 


® 


® 

CleX -H-XL ホブバスケット 

13

Service for the units 

PL70, p80 , p111, 

p300, and p311 

Design: 

Advanced Coating Systems 

S W I S S Q U A L I T Y 

www.platit.com 

Editor: Dr. Tibor Cselle 

CZECH REPUBLIC 

PLATIT PIVOT a.s. 


Prumyslova 3 

CZ-78701 Sumperk 

Phone: +420 (583) 241 588 

Fax: +420 (583) 241 304 

E-Mail: pivot@platit.com 

SHANGHAI, CHINA 

PLATIT Advanced Coating Systems 

No,161 Rijing Road, Waigaoqiao FTZ, 

Pudong, Shanghai, 200131 China 

Phone: +86-21-58673976 

Fax: + 86-21-58673953 

E-Mail: shanghai@platit.com 

CZECH REPUBLIC 

LISS Coating Center 

LISS a.s. 

Dopravni 2603 

CZ-75661 Roznov p. R. 

Phone: +420 (571) 842 681 

Fax: +420 (571) 842 681 

E-Mail: liss@platit.com 

GERMANY 

PLATIT Representative 

AR Industrievertretungen CDH 

Lautlinger Weg 5 / Postfach 810 169 

D-70567 Stuttgart / D-70518 Stuttgart 

Phone: +49 (711) 718 7634-0 

Fax: +49 (711) 718 7634-4 

E-Mail: germany@platit.com 

JAPAN 


YKT CORPORATION 

5-7-5, Yoyogi Shibuya-Ku 

Tokyo 151-8567, Japan 

Phone: +81 3 3467 1252 

Fax: +81 3 6368 4617 

E-Mail: japan@platit.com 

PAKISTAN 

S&G International: Sales agent 

301-A, Sea Breeze Plaza, 

Shahra-e-Faisal, Karachi-75530 

Phone: +92-213-2788 994 

Fax: +92-213-2789 233 

E-Mail: pakistan@platit.com 

SINGAPORE 

OMGA HiTool Pte Ltd: Sales Agent 

with PLATIT Service 

Blk 3014A Ubi Road 1, #06-11/13 

Singapore 408703 

Phone: +65 6858-1611 

Fax: +65 6284-1611 

E-Mail: singapore@platit.com 

© 2012 PLATIT AG. All rights reserved. Specifications subject 

to change. All ® signed trademarks are registered by the BCI 

Group. Several technologies described herein are protected 

by international patents. JIMTOF2012 

Service for the units 

PL50, PL200, Mo200, 

PL1000 and PL2000 

Headquarters 

Moosstrasse 68 

CH-2540 Grenchen / SO 

Switzerland 

Phone: +41 (32) 654 26 00 

SWITZERLAND 

PLANAR Technologie SA 

Rue de l'industrie 11 

CH-1632 Riaz 

Phone: +41 (26) 919 50 11 

Fax: +41 (26) 919 50 12 

E-Mail: planar@platit.com 

SOUTH KOREA 

PLATIT Support Center 

3th Floor, Gyoung-Sung B/D26, Youngtong-Ro 

501 Beon-Gil, Youngtong-Gu, Sunwon-City 

Gyounggi-Do, South Korea 443-809 

Phone: +82 (31) 447 4395-6 

Fax: +82 (31) 203 3494 

E-Mail: korea@platit.com 

BRAZIL 

PdB: Premium customer 

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Rua José e Maria, 264 

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HONG KONG, CHINA 

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INDIA 

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