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プラティット<br />
概要<br />
・省スペース硬質系コーティング装置<br />
® ®<br />
®<br />
・側面設置LARC 及び炉内中心設置回転式ターゲットCERC 又はSCiL<br />
ドア側配置回転式ターゲット、炉内中心配置回転式ターゲット(アーク)<br />
®<br />
又はLARC -GDが導くスパッタコーティング<br />
・コーティング処理温度 工具鋼: 230 °C以上、<br />
高速度鋼: 350 - 500 °C 、超硬:350 - 550 °C<br />
・ユーザーにてカソード再配置可能<br />
® ®<br />
A: LARC 3本 +CERC 1本<br />
®<br />
B: LARC 3本<br />
®<br />
®<br />
C:LARC 3本 +SCiL 1本<br />
コーティング<br />
・単層、多層、ナノ傾斜層、ナノ層、ナノコン<br />
ポジット、トリプルコーティング、クアトロ<br />
コーティング、及びこれらのコンビネーション<br />
®<br />
・主要標準コーティング:TiN, AlTiN-G, nACo<br />
・標準コーティング21種<br />
・トリプルコーティング全種<br />
・クアトロコーティング全種<br />
・スパッタコーティング全種<br />
ハードウェア<br />
・設置寸法:幅2720 x 奥行1721 x 高さ2149 mm<br />
・真空炉、内部寸法:幅650 x 奥行670 x 高さ675 mm<br />
・許容プラズマ領域:Ø500 x 高さ460 mm<br />
・最大基板荷重:350 kg<br />
・ターボ分子ポンプ式システム<br />
・回転式円筒ターゲット合計最大4本<br />
® ®<br />
LARC 3本/CERC 1本<br />
・アーク制御用磁場閉じ込め機構(MACC)<br />
®<br />
・LARC :最大アーク電流200A<br />
®<br />
・CERC :最大アーク電流320A<br />
®<br />
・SCiL : 最大スパッタリング出力30kW<br />
®<br />
・LARC 交換に要する時間(熟練者の場合)<br />
®<br />
LARC ターゲット1本当たりおよそ15-30分<br />
・LARCターゲット全種対応<br />
® ®<br />
VIRTUAL SHUTTER 及びTUBE SHUTTER<br />
・イオンプラズマ洗浄:<br />
・ガス(Ar/H 2)ボンバード(グロー放電)<br />
・メタル(Ti又はCr)ボンバード<br />
® ®<br />
・LGD : LARC グロー放電<br />
・パルスバイアス電圧(350 kHz)<br />
・6 (+1)ガスチャンネル、6 MFC制御<br />
・ヒータ専用ダストフィルタ (24 kW)<br />
・電気接続:3x400 V, 160 A, 50-60 Hz<br />
・総消費電力:76 kW以下<br />
電気とソフトウェア<br />
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工業用PC、PLCシステム<br />
タッチ画面メニュー式コントロールシステム<br />
マニュアル<br />
自動のプロセスコントロール<br />
データログとプロセスパラメータの遠隔診断<br />
特別な知識不要の簡単なプロセスコントロール<br />
• CD-ROMによる取扱い説明書<br />
サイクルタイム<br />
標準膜厚で工具を連続ARC処理:<br />
・シャンク工具 (2 µm): ø10 x 70mm: 504個: 3.5時間<br />
・インサート (3 µm): ø20 x 6mm: 2940個: 4.0時間<br />
・ホブ (4 µm): ø80 x 180mm: 14個: 5.5時間
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