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2<br />
高速コーティング<br />
高耐荷重<br />
高速コーティング装置<br />
主要機能<br />
• ターゲット4本同時利用可能<br />
®<br />
3x LARC 側面設置回転式ターゲット<br />
®<br />
1x CERC 中心設置回転式ターゲット<br />
• 優れた蒸着レート<br />
• 高速加熱<br />
• 冷却<br />
• サイクルタイム短縮<br />
• 最高6バッチ/日<br />
• 高剛性、簡単ローディング<br />
最高の密着性を生むサポーター<br />
• and<br />
®<br />
•<br />
GD<br />
QuadCoating<br />
® 4 工程曲線<br />
® ®<br />
• ドア・ツー・ドア 3.5 時間以内<br />
3時間<br />
®<br />
SCiL -オプション<br />
Sputtered Coatings induced by<br />
4®<br />
nACRo ®<br />
4<br />
nATCRo<br />
4®<br />
AlCrTiN<br />
4®<br />
nACoX<br />
• ドア側回転式円筒ターゲットによる高効率<br />
アルゴンボンバードが導くスパッタコーティング<br />
• SCiL-TiN, SCiL-TiCN<br />
®<br />
GD<br />
• 炉内中心配置のカソード(CERC)<br />
に換わりスパッタ リングカソードを利用
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