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10<br />
ブローチ専用コーティング装置<br />
ブローチ用PL1401-HUT<br />
• ご要望に応じた受注生産<br />
• プラティットプレート式アーク技術採用<br />
• ブローチ片側の処理後、次のバッチで<br />
別の片側を処理<br />
ハードウェア<br />
• 許容プラズマ領域:<br />
Ø700 x 高さ700 mm + Ø150 x 高さ700 mm<br />
• ブローチ最大長さ:2’000 mm<br />
• ブローチコーティング最大可能長さ: 2 x 700 mm<br />
• 最大基板荷重: 400 kg<br />
• PL1001 COMPACT ターゲットと完全互換<br />
クィックチェンジ<br />
• プラティットターゲット4枚<br />
• モジュール式回転機構サテライト 1, 2, 3, 4, 6, 8<br />
ブローチ用シングル炉洗浄システム<br />
• ブローチ最大長さ: 2'500 mm<br />
• 最大荷重: 600 kg<br />
• サイクルタイム: 1時間以内<br />
ロングブローチ用 PL1901<br />
• ご要望に応じた受注生産<br />
• プラティットプレート式アーク技術採用<br />
• 1バッチでロングブローチの全域を処理<br />
ハードウェア<br />
•<br />
•<br />
•<br />
•<br />
•<br />
•<br />
許容プラズマ領域:<br />
Ø700 x 高さ700~1'900 mm<br />
ブローチ最大長さ:2’300 mm<br />
最大基板荷重: 600 kg<br />
PL1001 COMPACT ターゲットと完全互換<br />
クィックチェンジ・プラティットターゲット6<br />
モジュール式回転機構サテライト 1, 2, 4, 6, 8<br />
コーティング装置とローディングシステムは<br />
フロアへの組み込み式
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