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1<br />
-高速コーティング炉<br />
4本の ARCターゲットを同時使用可能<br />
®<br />
3x LARC :側面設置回転式ターゲット<br />
ターゲットサイズ: Ø96 x 510 mm<br />
®<br />
1x CERC :中心設置回転式ターゲット<br />
ターゲットサイズ: Ø110 x 510 mm<br />
許容プラズマ領域: Ø500 mm x H460 mm<br />
シャンク工具、インサート、ホブのコーティングで<br />
極めて高い生産性を実現<br />
4<br />
2<br />
®<br />
GD<br />
®<br />
SCiL -オプション<br />
3<br />
®<br />
LARC<br />
•<br />
•<br />
グロー放電<br />
®<br />
GD<br />
二つの機能と併用します。<br />
and<br />
• カソード1(又は3)とカソード2間のエレ<br />
• LGD源パルスによる安定した工程、マイ<br />
LARC ®<br />
LARC ®<br />
LARCグロー放電は特許工法で、以下<br />
• 基板反体側ターゲットプラズマ洗浄・チューブ式シャッ ター<br />
®<br />
GD<br />
LARCグロー放電は、精巧な表面形状をもつ<br />
特殊基板(ホブ、金型等) に高効率アルゴン ボンバードを生成します。<br />
クトロンの流れが高密度プラズマイオンを<br />
生み複雑な基板表面に効果があります。<br />
クロアークの抑制に寄与します。<br />
ドア側回転式ターゲットによる高効率アルゴンボンバー<br />
ドが導くスパッタコーティング<br />
カソード:<br />
®<br />
• 3x LARC : 側面設置回転式ターゲット<br />
®<br />
• 1x SCiL : 中心設置回転式スパッタターゲット<br />
® ®<br />
• SCiL と CERC はユーザーの作業による交換が可能<br />
プロセス<br />
•<br />
•<br />
利点<br />
•<br />
•<br />
LARC-GDによる最高の密着性<br />
ボンバード後にチューブ式シャッターを閉じ、<br />
SCiLカソードだけによる成膜<br />
密着性に優れるスパッタ被膜<br />
ドロップレットフリーの平滑性<br />
主な用途<br />
•<br />
•<br />
タップ、溝なしタップ<br />
ドリル、深穴加工、ガンドリル<br />
CERC ®<br />
® ®<br />
SCiL ®<br />
3
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