99 - 明新科技大學[ 電子計算機中心]

實 驗 室薄 膜 製 程 單 站 實驗 室擴 散 製 程 單 站 實驗 室微 影 製 程 單 站 實驗 室電 性 與 奈 米 薄 膜特 性 量 測 實 驗 室表 一 電 子 材 料 製 程 整 合 實 驗 室 現 有 資 本 設 備設 備手 套 箱 與 蒸 鍍 機 整 合 系 統 、 金 屬 蒸 鍍 機 、 濺 鍍 鍍 膜 機 、 電 化 學 系統 與 電 流 源 供 應 器 、 旋 轉 塗 佈 機 、 微 波 化 學 氣 相 沉 積 器擴 散 高 溫 爐 、 氧 化 高 溫 爐 、 桌 上 型 高 溫 爐 、 氣 氛 爐 、 加 熱 平 台 、烘 箱 、 快 速 退 火 爐微 影 系 統 ( 矽 晶 圓 用 )、 純 水 系 統 、 旋 轉 塗 佈 機 、 濕 蝕 刻 化 學 台 、曝 光 機 ( 玻 璃 基 板 用 )、 恆 溫 系 統 、 光 學 顯 微 鏡 與 CCD 照 相 系 統四 點 探 針 、 表 面 粗 度 儀 、 太 陽 能 電 池 、 電 性 與 光 響 應 量 測 系 統 、原 子 力 顯 微 鏡 、 薄 膜 測 厚 儀肆 、 計 畫 目 標計 畫 預 期 目 標 在 於 充 實 工 學 院 電 子 材 料 製 程 資 本 設 備 , 有 效 支 援 與 整 合 相 關 教 師 之 製 程整 合 教 學 內 容 , 教 學 品 質 與 研 發 能 力 ; 促 進 學 生 學 習 興 趣 與 增 進 其 實 務 經 驗 與 對 產 業 界 認識 ; 增 加 工 學 院 平 面 顯 示 器 學 程 與 綠 色 科 技 學 程 課 程 內 容 與 進 階 實 驗 與 校 內 相 關 產 學 合 作 中心 ; 其 具 體 目 標 如 下 :1. 針 對 工 學 院 電 子 材 料 製 程 整 合 實 驗 室 之 資 本 設 備 予 以 精 進 , 使 其 製 程 之 整 合 能 力 進 ㄧ 步 提升 , 擴 充 其 製 程 彈 性 , 並 建 立 製 程 資 料 庫 與 設 備 操 作 規 範 。2. 電 子 元 件 與 材 料 製 程 整 合 課 程 及 平 面 顯 示 器 學 程 與 綠 色 科 技 學 程 實 習 的 建 立 與 實 施3. 提 升 工 學 院 教 師 教 學 品 質 和 研 發 能 量 與 增 強 產 學 合 作 平 台 支 援 能 力 , 並 扮 演 設 備 商 與 製 程廠 商 溝 通 橋 樑 工 作 。4. 支 援 工 學 院 平 面 顯 示 器 學 程 與 綠 色 科 技 學 程 , 新 增 電 子 材 料 製 程 整 合 課 程 與 進 階 半 導 體 製程 整 合 實 驗 與 太 陽 能 元 件 製 程 實 驗 , 並 提 供 工 學 院 相 關 系 所 學 生 電 子 元 件 單 站 與 製 程 整 合與 課 程 實 習 場 所 。5. 舉 辦 電 子 材 料 製 程 研 討 會 , 儀 器 訓 練 班 , 相 關 研 習 課 程 , 與 學 生 參 訪 電 子 材 料 製 程 ( 半 導體 , 平 面 顯 示 器 與 太 陽 能 電 池 ) 相 關 業 界 或 法 人 機 構 。6. 製 作 相 關 教 材 內 容 , 多 媒 體 教 材 與 製 程 整 合 實 驗 教 材 , 提 供 相 關 教 師 教 學 使 用 與 學 生 遠 距離 學 習 。 並 收 集 相 關 即 時 資 訊 , 提 供 相 關 教 師 與 同 學 。參 閱 圖 一 為 電 子 材 料 製 程 整 合 實 驗 室 精 進 計 畫 執 行 後 所 預 定 達 成 目 標 圖 。 本 實 驗 室 建 置完 成 後 , 可 提 供 更 完 整 教 師 教 學 研 究 , 學 生 專 題 實 習 , 產 學 中 心 之 服 務 , 同 時 擴 充 相 關 學 程內 容 , 實 驗 項 目 與 產 學 資 訊 。伍 、 具 體 內 容 及 配 套 措 施本 計 畫 重 點 在 於 提 升 電 子 製 程 整 合 領 域 相 關 教 師 教 學 內 容 與 品 質 及 其 研 發 能 量 之 增強 ; 學 生 實 習 與 臨 場 經 驗 增 加 , 相 關 教 材 內 容 規 劃 、 設 計 與 實 施 。 其 具 體 做 法 :1. 在 工 學 院 所 有 的 電 子 製 程 整 合 教 學 實 驗 室 資 本 設 備 作 整 合 與 擴 增 , 購 置 新 機 台 以 完 成 相 關在 薄 膜 製 程 , 微 影 與 濕 蝕 刻 , 電 性 與 奈 米 薄 膜 資 源 整 合 。 薄 膜 製 程 整 合 實 驗 室 , 增 購 電 子槍 鍍 膜 機 , 電 源 供 應 器 。 微 影 製 程 與 濕 蝕 刻 整 合 實 驗 室 , 增 購 化 學 操 作 台 。 電 性 與 奈 米 薄膜 特 性 量 測 實 驗 室 , 增 購 螢 光 光 譜 儀 及 未 來 將 增 購 探 針 座 與 電 磁 防 護 黑 箱 , 電 容 - 電 壓 - 電感 參 數 儀 , 低 雜 訊 電 源 電 表 , 霍 爾 效 應 量 測 系 統 。 新 增 半 導 體 製 程 與 元 件 模 擬 軟 體 實 驗 室 ,未 來 將 新 增 半 導 體 製 程 與 元 件 模 擬 軟 體 , 使 學