Elektronový mikroskop

Interakce PES s hmotou z pohledu REMPředpoklad – masivnější preparát (do 100 nm)• část elektronů se absorbuje (= teplo)• část se odrazí – odražené elektrony, (informace o topografii (reliéfu) vzorku a omateriálovém složení, rozlišovací schopnost je 50-200 nm, materiálový kontrast – signálodražených elektronů závisí na průměrném atomovém (protonovém) čísle Z. Pro větší Z jeintenzivnější.– sekundární elektrony s malou energií (předávání energie primárníchelektronů atomům vzorku, poskytují informaci převážně topografickou. Rozlišovacíschopnost je 5-15 nm.)• používá se mnohem nižší urychlovací napětí než u TEM (SEM obvykle 20 kV, TEMobvykle 80kV)