法 。 使 用 監 控 器 對 鍍 膜 之 光 學 特 性 及 厚 度 提 供 程 序 中 之 測 量 , 亦 是 這 些 程 序之 特 色 。特 定 之 TE-PVD 程 序 , 如 下 :1. 電 子 束 PVD 係 使 用 電 子 束 加 熱 並 蒸 發 形 成 鍍 膜 材 料 ;2. 離 子 輔 助 電 阻 加 熱 式 PVD 係 利 用 電 阻 熱 源 配 合 衝 擊 離 子 束 , 以 產 生 均 勻且 可 控 制 流 量 之 蒸 發 鍍 膜 物 質 ;3. “ 雷 射 ” 蒸 發 係 使 用 脈 波 或 連 續 波 “ 雷 射 ” 光 束 以 蒸 發 形 成 鍍 膜 之 材 料 ;4. 陰 極 電 弧 沈 積 係 利 用 由 形 成 鍍 膜 之 材 料 所 製 造 之 消 耗 式 陰 極 , 並 藉 一 接 地觸 發 器 之 短 暫 接 觸 , 在 陰 極 表 面 形 成 電 弧 放 電 。 受 到 控 制 之 電 弧 移 動 侵 蝕陰 極 表 面 , 產 生 高 度 離 子 化 之 電 漿 。 陽 極 可 為 一 透 過 絕 緣 體 連 接 於 陰 極 周邊 之 圓 錐 , 或 可 為 該 真 空 室 。 基 材 偏 壓 用 於 非 視 線 式 沈 積 之 進 行 。說 明 : 本 定 義 不 包 含 非 偏 壓 基 材 之 隨 機 陰 極 電 弧 沈 積 。5. 離 子 鍍 膜 為 一 般 TE-PVD 程 序 之 特 殊 改 良 , 係 利 用 電 漿 或 離 子 源 使 鍍 膜 材料 離 子 化 , 再 對 基 材 施 加 負 偏 壓 , 以 便 從 電 漿 中 抽 取 出 鍍 膜 成 分 。 此 程 序之 常 用 之 改 良 方 法 包 括 引 入 反 應 物 , 在 反 應 室 內 蒸 發 固 體 , 及 使 用 監 控 器對 鍍 膜 之 光 學 特 性 及 厚 度 提 供 程 序 中 之 測 量 。c. 包 覆 滲 入 係 指 將 基 材 浸 於 粉 末 混 合 物 ( 包 裝 ) 內 之 表 面 修 飾 或 鍍 膜 程 序 , 該 粉 末混 合 物 由 下 列 組 成 :1. 欲 沈 積 之 金 屬 粉 末 ( 通 常 為 鋁 、 鉻 、 矽 或 其 組 合 );2. 誘 發 劑 ( 通 常 為 鹵 化 物 鹽 類 ); 及3. 惰 性 粉 末 , 最 常 使 用 氧 化 鋁 。基 材 及 混 合 物 粉 末 係 置 於 蒸 餾 器 內 , 將 該 蒸 餾 器 加 熱 至 介 於 1,030 K(757℃)與 1,375 K(1,102℃) 之 間 , 並 維 持 足 夠 之 時 間 以 沈 積 鍍 膜 。d. 電 漿 噴 射 為 一 鍍 膜 程 序 , 其 噴 霧 槍 ( 噴 霧 火 炬 ) 能 產 生 並 控 制 電 漿 , 將 粉 末 或 線狀 鍍 膜 材 料 熔 化 並 推 向 基 材 , 形 成 整 體 結 合 之 鍍 膜 。 電 漿 噴 射 包 括 低 壓 電 漿噴 射 或 高 速 電 漿 噴 射 。說 明 1: 低 壓 係 指 低 於 周 遭 大 氣 壓 。164
說 明 2: 高 速 係 指 在 293 K(20℃) 及 0.1 Mpa 下 , 其 噴 嘴 出 口 之 氣 體 速 度 超 過750 m/s。e. 熔 漿 沈 積 為 一 表 面 修 飾 或 鍍 膜 程 序 , 係 將 金 屬 或 陶 瓷 粉 末 以 有 機 結 合 劑 結合 , 懸 浮 於 液 體 中 , 以 噴 霧 、 浸 泡 或 塗 抹 施 加 於 基 材 上 , 再 以 空 氣 或 烘 箱 乾燥 , 並 以 熱 處 理 製 備 所 需 之 鍍 膜 。f. 濺 鍍 沈 積 為 基 於 動 量 轉 移 現 象 之 鍍 膜 程 序 , 係 以 電 場 將 正 離 子 加 速 , 使 其 朝 向靶 ( 鍍 膜 材 料 ) 之 表 面 移 動 。 入 射 離 子 之 動 能 足 以 使 靶 面 原 子 釋 出 並 沈 積 於 適當 定 位 之 基 材 上 。說 明 1: 本 表 僅 指 用 以 增 加 鍍 膜 黏 附 力 及 沈 積 速 率 之 三 極 管 式 、 磁 控 管 式 、或 反 應 式 濺 鍍 沈 積 , 及 可 供 蒸 發 非 金 屬 鍍 膜 材 料 之 射 頻 (RF) 增 強 濺鍍 沈 積 。說 明 2: 低 能 量 離 子 束 ( 小 於 5 keV) 可 用 於 誘 發 沈 積 。g. 離 子 植 入 為 一 表 面 修 飾 鍍 膜 程 序 , 係 將 一 元 素 離 子 化 , 藉 由 一 電 位 梯 度 將 其加 速 並 植 入 於 基 材 表 面 區 域 , 使 之 形 成 合 金 。 此 亦 包 含 與 電 子 束 物 理 氣 相 沉積 或 濺 鍍 沈 積 同 時 進 行 之 離 子 植 入 程 序 。165
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性 等 予 以 彙 整 編 排 成
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全 氟 碳 氫 聚 合 物 ), 其
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“ 軟 體 ” 之 “ 技 術 ”
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、 模 組 、 積 體 電 路 ,
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7A001 加 速 器 及 其 特 別
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磨 擦 力 產 生 之 壁 溫 ,
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軍 商 兩 用 項 目 與 技 術
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“CW 雷 射 ”( 第 6 類 ) 指
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“ 等 效 密 度 ”( 第 6 類
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“ 單 絲 ”( 第 1 類 ) 或
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“ 個 人 化 智 慧 卡 ”(
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說 明 : 上 述 定 義 不 包
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譜 之 技 術 。“ 展 頻 ”
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“ 毒 素 ”( 第 1、2 類 )
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字 首 集 合 字 與 縮 寫字
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SLARSMPTESRASRAMSRMSSBSSRTCSECTIRUV
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0A系 統 、 設 備 及 零 件0A
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1. 氣 體 離 心 機 ;2. 完 整
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第 1 類材 料 、 化 學 品
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纖 維 狀 或 絲 狀 材 料 ”
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1A227 高 密 度 ( 鉛 玻 璃 或
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控 制 性 能 之 批 次 混 合
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技 術 註 解 :塔 之 “ 內
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未 被 列 舉 於 本 清 單 之
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1C009 未 處 理 之 氟 化 物 ,
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. “ 比 模 數 ” 超 過 10.15
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. 為 減 少 或 裁 造 電 磁
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器 ;5. 當 設 計 在 水 深 超
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之 玻 璃 , 具 有 下 列 所
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Run-out偏 擺Scale factor尺 度
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歐 盟 一 般 軍 用 貨 品 清
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註 解 2:ML7.d. 不 管 制 經
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甘 脲 或 酮 - 二 環 之 HMX)(
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d. BDNTA([ 雙 - 二 硝 基 三
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空 器 ’ 訓 練 器 、 地 面
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固 定 翼 、 旋 動 翼 、 旋
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c. 裝 有 三 個 或 三 個 以