Rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen Werkstoffkunde ...

Fachbereich KMUB Werkstoffkunde Praktikum Rasterelektronenmikroskop
je höher die Ordnungszahl des Probenmaterials, umso geringer die
Eindringtiefe der PE, umso geringer die Austrittstiefe der RE.
D. h. je höher die Ordnungszahl, umso größer der Rückstreukoeffizient, umso größer
das detektierte Signal (Bildhelligkeit nimmt zu)
2.2.2 Unelastische Streuung (SE)
Es finden Wechselwirkungen zwischen PE und den Elektronen der Atomhülle statt.
Folgende Prozesse können ablaufen:
• Ionisation des Atoms durch herausschlagen von Elektronen der inneren Schalen
(PE verliert Ionisationsenergie und kin. Energie) = char. Röntgenstrahlung, Licht
• PE schlagen Elektronen der äußeren Schalen heraus unter Übertragung von
Energien von 0 bis 50 eV = Sekundärelektronen
• Anregung zu Gitterschwingungen = Wärme
Der Ablenkungswinkel der unelastisch gestreuten Elektronen ist wesentlich kleiner,
als der der elastisch gestreuten.
(Bild 3) unelastische Streuung
a) Sekundärelektronen 1.Ordnung b) Sekundärelektronen 2. Ordnung c) Röntgenstrahlung
Die Größe der Elektronendiffusionswolke
ist abhängig von der
Anregungsspannung (Energie der PE)
und vom angeregten Element.
Für Aluminium ergeben sich bei 20 keV
Anregung folgende Austrittstiefen:
• SE 0,005 µm
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