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Teil6 - Institut für Allgemeine Elektrotechnik, Uni Rostock

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Prinzipschema eines photothermischen Heterodynmeßsystems<br />

Erzeugung einer Thermowelle durch Einstrahlung<br />

von moduliertem Laserlicht<br />

- Wärmeleitfähigkeit, thermische Kontaktwiderstände<br />

- Dicke, stoffliche Zusammensetzung, Strukturdefekte<br />

- Mikrohärte, Ladungsträgerbeweglichkeit<br />

- Überwachung der Halbleiterfertigung<br />

Vorlesung Sensorsysteme <strong>für</strong> allgemeine Anwendungen<br />

Rainer Jaskulke

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