Teil6 - Institut für Allgemeine Elektrotechnik, Uni Rostock
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Prinzipschema eines photothermischen Heterodynmeßsystems<br />
Erzeugung einer Thermowelle durch Einstrahlung<br />
von moduliertem Laserlicht<br />
- Wärmeleitfähigkeit, thermische Kontaktwiderstände<br />
- Dicke, stoffliche Zusammensetzung, Strukturdefekte<br />
- Mikrohärte, Ladungsträgerbeweglichkeit<br />
- Überwachung der Halbleiterfertigung<br />
Vorlesung Sensorsysteme <strong>für</strong> allgemeine Anwendungen<br />
Rainer Jaskulke