Elektronische Druckmesstechnik
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ein Belüftungsröhrchen, das auf die Rückseite<br />
der Sensormembran führt. Wird der Raum hinter<br />
dem Sensorelement evakuiert und das Belüftungsröhrchen<br />
verschlossen, lassen sich so<br />
mit einem piezoresistiven Sensor Absolutdrücke<br />
messen, da das Vakuum des Hohlraums als<br />
Druckreferenz dient. Bei Sensoren für relative<br />
Druckmessungen bleibt das Belüftungsröhrchen<br />
offen und sorgt dadurch für eine dauernde<br />
Belüftung der Rückseite der Membran,<br />
sodass immer relativ zum lokalen Luftdruck<br />
gemessen wird. Die Belüftung erfolgt ins Innere<br />
des Druckmessgeräts oder über das belüftete<br />
Kabel ins Freie. Das Belüftungsröhrchen<br />
ist sorgfältig vor Verschmutzung, insbesondere<br />
vor eindringender Feuchtigkeit zu schützen, da<br />
der Sensor darauf überaus empfindlich reagieren<br />
würde und unter Umständen sogar funktionsunfähig<br />
werden könnte.<br />
Sensorprinzipien im Vergleich<br />
Es gibt kein ideales Sensorprinzip, denn jedes<br />
besitzt bestimmte Vor- und Nachteile (Tab. 2).<br />
Welcher Sensor für eine Anwendung geeignet<br />
Sensorprinzipien im Vergleich 19<br />
Anforderung Sensorprinzip<br />
Messung des<br />
Absolutdrucks<br />
Bereiche sehr niedriger<br />
Drücke<br />
Bereiche sehr hoher<br />
Drücke<br />
Schock- und<br />
Vibrationsfestigkeit<br />
Langzeitstabilität<br />
Metall-<br />
Dünnfilm-<br />
Sensor<br />
Keramik-<br />
Dickschicht-<br />
Sensor<br />
Messung von<br />
Absolut- oder<br />
Relativdrücken<br />
Tab. 2:<br />
Sensorprinzipien im<br />
Vergleich<br />
Piezoresistiver<br />
Sensor<br />
Anforderung erfüllt Anforderung bedingt erfüllt Anforderung nicht erfüllt
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