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Elektronische Druckmesstechnik

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Inhalt<br />

Einleitung 4<br />

Druck und Druckmessung 6<br />

Internationale Druckeinheiten ................................................................. 6<br />

Absolut-, Relativ- und Differenzdruck ................................................... 7<br />

Prinzipien der elektronischen Druckmessung ......................................... 8<br />

Sensortechnik 14<br />

Metall-Dünnfilm-Sensor ......................................................................... 14<br />

Keramik-Dickschicht-Sensor .................................................................. 15<br />

Piezoresistiver Sensor ............................................................................. 17<br />

Sensorprinzipien im Vergleich ................................................................ 19<br />

Druckmessgeräte 21<br />

Gerätebauarten im Überblick .................................................................. 21<br />

Gerätequalifikation und -zuverlässigkeit ................................................ 26<br />

Umwelteinflüsse und besondere Anforderungen .................................... 32<br />

Typische Anwendungen und Anforderungen 39<br />

Grenzwertüberwachung .......................................................................... 39<br />

Druckregelung ......................................................................................... 41<br />

Indirekte Messung von Prozessgrößen ................................................... 42<br />

Kriterien für die Geräteauswahl 49<br />

Messbereich ............................................................................................ 49<br />

Druckanschluss ....................................................................................... 52<br />

Elektrischer Anschluss ............................................................................ 54<br />

Ausgangssignale ..................................................................................... 55<br />

Kennlinie, Genauigkeit und Messfehler ................................................. 58<br />

Ausblick 68<br />

Glossar 69<br />

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