Elektronenmikroskop - Mikroskopfreunde-Nordhessen

MA=iH PF|I ETCI FlI NTclFIGi M clSHVA.

I n den letzten Jahren wird in verschieden-I sten Gebieten wissenschaftlicher und cechnischerForschung die Methode der Elektronendurchstrahlungsmikroskopie sehr intensivangewendet, was hauptsächlich durchzwei Umstände berJingt tis. Erstens durchdie Modernisierung der Elektronenmikroskope,deren Standardmodelle mit Be-Quadratmikrometer) geben, zweitensdurch die Entwicklung und Verbesserungder Präparationstechnik, wodurch dieVorbereitung der zu untersuchenden Obiektewesentlich erleichtert und die Möglichkeitgeboten wurde, direkte elektronenmikroskopischeUntersuchung verschiedenartigsterObiekte - von organischenStrukturen bis zu schweren Metallen -durchzuführen. Dank moderner Ausrüs'tung (Mikroskope, Einrichtungen zur Erhaltungelektronendurchsichtiger Obiekteusw.) können sogar kleine Labors elektronenmikroskopischeUntersuchungen ausführen.Da hierbei solche Kenndaten desObiekts untersucht werden können, diezur Zeitdurch andere her kömmlicheMethoden nicht erforscht wer den können'ist anzunehmen, daß die Elektronen-Durchleuchtungsmikroskopieeine der verbreitestenU ntersuchungsmethoden werdenwird.Die Information, die mit Hilfe einesmodernen E-Mikroskops erhalten wird,beschränkt sich nicht nur auf Daten überden geometrischen Aufbau des Obiekts -was der Lichtmikroskopie eigen ist -sondern enthält auch Angaben über Kristallografie(infolge spezifischer Eigenheitender Ausstrahlung) und Defekte im Gefüge(Aufbau) des Obiekts, Das Letztere erwiessich als sehr wichtig bei der Untersuchungkristalliner Stoffe, da Mikrodefekte derKristallgitterperiodizitätuntersucht werdenkonnten und umfassende UntersuchungsarbeitenüberWechselbeziehungenzwischen Mikroeigenschaften des Objektsund, z, B. der Linienversetzung ausgeführtwerden können.schleunigungsspannunten von 100 kV und Diese in allem hervorragenden Eigenschaftenführten dazu, daß die Methodikmehr betrieben werden, ein Auflösungsvermögenvon 3...g Ä gewährleisten und der E-Mikroskopie als eine der wichtigstenein Beugungsbild des gewählten Teilabschnittsdes Obiekts (Fläche etwa einige der Wissenschaft angewandtU ntersuchu ngsmethoden in vielen Gebietenwird.Die Anwendung des Elektronenmikroskops,bei all seiner Bedeutung, ist jedochbegrenzt. Da die Elektronen genau sowie die Lichtstrahlen im Lichtmikroskopdas zu untersuchende Objekt durchstrahlenmüssen, muß das letztere in überdünneScheibchen zerteilt oder auf andereArtund Weise bearbeitet werden, wasunweigerlich zur Deformation des Obiektsführt. Hierbei erhält man eine zweidimensionalemonotone Abbildung. Es wärejedoch wünschenswert zu wissen, was unterder Oberf läche geschieht, die im E-Mikroskopbeobachtet wird.Dieses Problem -die Beobachtung desgesamten Objekts und aller kleinsten Einzelheiten- wird dankldem Elektronenrastermikroskopgelöst, das eine räumlicheAbbildung gibt.Das Anwendungsgebiet des E-Mikroskopsist sehr verschiedenartig und umfaßtweit voneinander liegende Gebietewie Metalluntersuchung und Medizin.V/O,,Mashpriborintorg"bietet folgendeElektronenmikroskope an, die anhandlangjähriger Erfahrung im Betriebvaterländischer und ausländischer Mikroskopesowie auf Grund von Forderungenverschiedenster Gebiete der Wissenschaftentwickelt wurden.

INHALTELEKTRONENMIKROSKOPE1. ElektronenmikroskoP 9MB'100n2. ElektronenmikroskoP ygMB'100K3. ElektronenmikroskoP 9M'9ZUBEHöR ZUM ELEKTRON EN MIKROSKOP Y9MB.IOOK4. Objekthalter AO-2 zum Elektronenmikroskop YOMB'IüIK5. Einrichtung ry-2 zum Elektronenmikroskop zur_Y3MB-100KUntersuchüng Yon Obiekten in GasatmosPhäre6. Einrichtung nPOH-2SPEZI ELLE ELEKTRO N EN MIKROSKOPE7. Niederspannungs-ElektronenrastermikroskoP PgM H8. Elektronenbeugungskammer 9P-100ZUBEHöR ZU ELEKTRONENMIKROSKOPEN9. Kombinierte Vakuumanlage Byn-2Ky3AH'l10. N iederfrequenz-UltraschalldisPergator1,|. Gerät [lTK zum Atzen mit aktivem Sauerstoff12. f onen-Punktzerstäubet V1TP13. Pjezoelektrisches Uttramikrotom YMTI'l'2Wneschtorgisdot. Auftrog N r. 252 77 4 lO

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ELEKTRO N EN M I KROSKOP 9M B.IOOflDas Elektronenmikroskop 3MB-,toon (Bild 1) dient zur visuel|en und fotografischenUntersuchung von Oblekten'Das Gerät erlaubt:ö;i"G mitlels Durchrtrahlung in we_item Vergrößerungsbereich zu untersuchen;ÄUÜitaungun von weißen Spuien auf schwarzäm Bild oder umgekehrt zu erhalten;Beugungsuntersuchungen mittels Durchstrahlung auszuführen;.^Mikiobäugungsuntersüchungen von Obiektteilbereichen mit Durchmesser1...2Vm -auszuführen.oie'Elektronenmikroskopie wird mit Erfolg zur untersuchung biologischerobiekte, viren, Katalisa.or"n, Kolloidlösungen, Fa-rbstoffen, Silikaten, dünner Metallrirri",--Ji"ar.it' v".a"rpfen im Vakuum oder durch Kathodenzerstäubung usw'erhalten -".- werden, angewandt.l m M ikroskoP 3-M B-1 OOn wi rd elektromagn€tis-che.9Pli[ i"q:*",nd"t: -,Das grundsätiliche optische schaltbild deJ Geräts (Bild 2.) Schaltbild.ist .demeines Lichtmikroskops anaiog, in dem alle optischen Lichtelemente durch entspreschenlBitd 1. Elektronenmikroskop 3MB-100n

durch Elektronenquelle, Glas-de elektrische Elemente erserzt sind: [,ichtquelle-linsen - durch elektromagnetische Linsen.Als Elektronenstrahlquelle dient eine Elektronenkanone, die aus Kathode. fokussierenderElektrode und Anode besteht.Die Elektronenkanone erzeugt einen Elektronenstrahl, der mit Hilfe von Kondensorlinsenformiert und auf das zu untersuchende objekt gerichtet wird. DerElektronenstrahl, der durch das obiekt hindurchgegangen ist, gelangt in die Linsedes obiektivs, die die vergrößerte Abbildung aeJ öulätts erzJugt.-Nach der objektivlinsegeraten die Elektronen in die ZwisChenlinse, die dazu diänt, die vergrößerungdes Mikroskops stufenlos zu ändern und ein Beugungsbild der Teilabschnitteder zu untersuchenden Probestücke zu erzeugen (elektronische Mikrobeugung),Di-e nächste Linse (Projektiv) bildet die endgültige;vergrößerte Abbildung des o-bjek1sauf dem Leuchtschirm.Zum Betrieb mit hoher Auflösung muß das Gerät sorgfältig iustiert, Astigmatismusdes oblektivs am Stigmator aufs Minimum herabgesÄtzt, äut ai" stabile-Arbeitdes elektrischen speisungsblocks geachtet und vibrationen und andere störungenbehoben werden.Als Elektronenquelle wird eine V-artige Wolfram-Glühkathode verwendet.Wird die Glühkathode bis auf etwa 2900oc erhitzt, entstehen infolge von Glühemissionfreie Elektronen, die daraufvom elektrostatischen Feld beschleunigt werden,Zwischen Kathode und fokussierender Elektrode ist eine negative spannunt(Gittervorspannung) angelegt, deren Wert stufenlos geändert weiden kann. DiäBild 2. OPtisches Schemo des Mikroskops 3MB-10011:1 - Kothodengruppe:2- Anode;3 -erster Kondensor:4-Elende des ersten Kondensors; 5 - zweiter Kondensor: 6 -Blende des zweiten Kondensors; 7 - Stigmotor des zweitenKondensors; 8 - Prismen zum lustieren des Beleuchtungsgerdts;9 - Objekttisch; 10 - Objektivlinse; 11 - Blende für Objektivlinse;12 - Stigmator fh Objektivlinse; 13 - Zwischenlinse;14 - Prciektivlinse; 15 - Bildschirm

Kathode ist im Inneren der fokussierenden Elektrode angeordnet, wodurch eine guteLenkung des Elektronenstrahls erreicht wird.Die Dichte des Elektronenstrahls auf dem Objekt ist lm Prinzip durch folgendeFaktoren begrenzt: Temperatur der Kathode, Kathodenergiebigkeit, Beschleunigungsspannung,Konvergenzwinkel des auf das Objekt fallenden Elektronenstrahls, Aberrationdes fokussierenden Systems.Der Wert der Beschleunigungsspannung ist fürs gegebene Mikroskop festgelegt.Die Dichte des Elektronenstrahls kann durch Steigerung der Kathodenergiebigkeiterhöht werden. Die Steigerung der Wolframkathodenergiebigkeit ist nur durchErhöhung der Glühtemperatur möglich, was jedoch zur Kürzung der Lebensdauerder Kathoden führt.Sehr hohe und niedrige Gittervorspannungen führen zur Elektronenstrahlendivergenz.Nur im Bestfall Seraten die von der Kathode ausgestrahlten Elektronen inein gleichförmiges Feld und bilden einen parallelen Strahl. Um die Durchstrahlungdes Oblekts in weitem Bereich ändern zu können, wird ins Durchstrahlungssystem einKondensor eingeführt. ln einem Kondensorsystem mit einer Linse kann der Strahldurchmesser,der auf dem Objekt fokussiert wird, auf etwa 50 g. m gebracht werden.Bei starken Vergrößerunge.n muß das Objekt von Strömen großer Dichte durchstrahltwerden, was zu seiner Uberhitzung führt. Die Temperatur des Obiekts kannherabgesetzt werden, indem der Durchmesser des durchstrahlten Teilabschnitts biszu einigen Mikronen verkleinert wird. 7u diesem Zweck wird ein Zweilinsenkondensorverwendet. Mit einem Zweilinsen-Feinstrahlkondensor ist es möglich, kleinsteTeilbereiche des Obiekts zu durchstrahlen und zwar bis zu etwa 2 g. m Durchmesser.Ein Zweilinsenkondensor besteht aus der ersten - kurzbrennweitigen undzweiten - langbrennweitigen Linse.Um bestmögliche Beleuchtung zu gewährleisten, ist im Mikroskop eine Vorrichtungzum Justieren der Elemente des Beleuchtungssystems bezüglich Obiektivachsevorgesehen. Außerdem ist die Möglichkeit vorgesehen, die Kathode und die fokussierendeElektrode bezüglich der Anode zu iustieren. Diese Justierung gewährleistetmaximale Helligkeit auf dem Oblekt.lm Mikroskop ist eine Anlage vorhanden, die ermöglicht, das Beleuchtungssystemzur Objektivachse zu neigen. Von der richtigen Einstellung dieser Anlage hängtdas Auflösungsvermögen des Mikroskops ab.Das Auflösungsvermögen des Mikroskops wird häufig durch den Achsastigmatismusder Obiektivlinse begrenzt. Die Hauptursache des Astigmatismus ist die Abweichungder geometrischen Form der Polschuhe von der Symmetrieachse infolge ungenauerFertigung und magnetischer Inhomogenität des Polschuhwerkstoffs. Wert des Ausgangsastigmatismuskann am Stigmatorstrom bewertet werden, bei dem Kompensationei ntritt.Das Elektronenmikroskop emöglicht die Ausführun8 tiefer und umfassenderUntersuchungen des feinsten Aufbaus der Substanz. Die elektronografische Untersuchungsteht, was Genauigkeit und weite praktische Anwendungsmöglichkeit betrifft,der röntgenografischen Untersuchung in keiner Beziehung nach.Der Aufban des Elektronenmikroskops sieht die Möglichkeit vor, Beugungsbilderderselben Objekte zu erhalten, die im E-Mikroskop untersucht werden.Das Elektronenmikroskop ist auch für örtliche Strukturanalyse ungepaßt. Hierbeigelingt es, in einigen Fällen Elektronogramme von Teilbereichen des Obiektes bisetwa 1 trr m Durchmesser zu erhalten. Die Methode der Mikrobeugung gibt dieMöglichkeit, Kristalle zu identifizieren, die im Mikroskop betrachtet werden, Habitusder Kristalle, Netzebenenabstand und Orientierung der Kristallachsen zu bestimmen,sowie wichtige Daten über denrVorgang des Kristallwachstums, seiner polymorphenund anderen Umwandlungen zu erhalten,Um Mikrobeugungsbilder zu erhalten, wird das gesamte optische System desElektronenmikroskops verwendet. Infolge des Einflusses der sphärischen Aberrationder Obiektivlinse und ungenauen Koinzidenz der Abbildungsebene des Objektivs mitder Ebene der Aperturblende, erscheinen auf dem Elektronogramm Reflexe benachbarterTeilbereiche. Diese Erscheinung läßt bei Mikrobeugung die Wahl einesTeilbereichs unter 1 pm Durchmesser nicht zu.

Beim untersuchen einer Reihe kontrastarmer objekte (dünne Filme, biologischePräparate u. a.) kann die Durchzeichnung bedeutend'erhöhi werden, wenn diL Abbildungauf dunklem Grund betrachtet wird. Jedoch ist das Auflösungsvermögen vonNegativfotografie (weiße Spuren auf schwarzem Grund) niedriger, als bei -weißemGrund (Positiv).Dem Aufbau nach besteht das Elektronenmikroskop gMB-100n aus Stand,Röhre, Vakuumanlage, Steuerpulten und Speisungsblöcken.Die Eigenart des Standes besteht darin, daß die Röhre des Mirkoskoos mit Hilfeder Grundplatte der Aufnahmekammer am Ständer mit Stoßdämpfer befestigt ist,der vom Tisch abgesondert ist, auf dem Steuerpulte und Armstützen angeordnei sind.Dieser Aufbau des Standes erhöht die vibrationsfestigkeit und gibt die Möglichkeit,das hohe Auflösungsvermögen des Mikroskops voll ausnutzen iu können.Die.l'likroskopröhre (Bild 3.) umfaßt das gesamte elektronenoptische System,das- aus Beleuchtungsgerät, obiektivlinse, Zwischenlinse, projektivlinse, Tubus unoAufnahmekammer besteht, die besonders starr miteinander verbunden sind. was dasGerät vibrationsfester macht.Das Beleuchtungsgerät strahlt Elektronen aus, formiert sie zu einem Strahl undrichtet ihn auf das zu untersuchende objekt. Das Beleuchtungsgerät besteht aus derElektronenkanone und dem Kondensorlinsenblock.Die.Beschleunigungspannung wird über ein Hochspannungs-Dreileiterkabel mitbewehrtem Anschluß eingeführt, was stabilen und gefahrlosen Betrieb des Gerätsunabhängig von der Luftfeuchtigkeit im Raum gewährleistet.Elektronenquelle. 4Jrdient ein Wolframdraht der Kathodenbaugruppe, der anElektroden9enangeschweißt ist. Die Elektroden sind in einer lsolierplatiä befestigt.Zum Wechseln der Kathode wird die lsolierplatte samt Elektroden'und Wolframdrahtausgewechselt.Um die Kathode zur Bohrungsachse der Steuerblende zu zentrieren, kann dieKathode samt Halter und Keramikscheibe bezüglich der Steuerblende in horizontalerEbene mit Hilfe von vier Schrauben verstellt werden. Der 0,6 mm Luftspalt zwischenKathode und Steuerblende wird der Höhe nach an Stellringen eingestelit. Die fokussierendeElektrode ist am Gehäuse der ElektronenkanonJ angeschraubt.Der Kondensorlinsenblock stellt ein zylindrisches Gehäuse dar, das aus dreeinzelnen Teilen besteht, die durch stiftschrauben verbunden sind. lm Inneren oesGehäuses sind zwei spulen angeordnet, die zusammen mit Einzelteilen des Gehäusesdie beiden Kondensorlinsen bilden. Beide spulen werden über Stutzen durch umlaufendesWasser gekühlt.Der Kondensorblock, der aus zwei Linsen besteht, gestattet die Beleuchtungsverhältnissedes objekts in weitem Bereich zu ändern. Durch Verwendung des DJppelkondensorswird außerdem die Thermobelastung des objekts bedeJtend vermindert.Das obere Bauteil des Kondensorblocks trägt einen Ring, auf dem die Elektronenkanoneund die Anode angeordnet sind. Die Anode kann am Gewinde der Höhe nachverstellt werden. lm Kanal des zweiten Kondensorpolschuhs liegt eine Buchse, rnder ein stigmator eingebaut ist. Der stigmator steilt zwei gescÄlitzte Röhren mitFlanschen zum .speisungsanschlußdar, die ineinander geschobln und gegeneinanderund Buchse elektrisch isoliert sind. Die geschlitzten Röhren stellen Wick-iungen dar,die zueinander .geneigtangeordnet sind. Die Speisung wird zum Stigmato-r überhermetisierte Anschlüsse eingeführt, die an der Steckverbindung ängeschlossenwerden. An dieser steckverbindung werden auch die Herausführungen b-eider Kondensorblockspulenangeschlossen.unter den stigmator lassen sich austauschbare Aperturblenden verschiedenenDurchmessers (0,2; 0,3; 0,4 mm) einführen. Die Blenden können in zwei zueinanaersenkrechten Richtungen an entsprechenden Trieben verstellt werden, Schnelle EinundHerausführung des Blendenhalters aus dem Polschuhkanal wird durch einen Blendenschieberruckweise verwirklicht. Die Quervertstellung des Blendenhalters wirdbeim Drehen einer Buchse verwirklicht, die über ihre exze-ntrisch angeordnele ober-

Bild 3. MikroskoPröhre :1 - Stond ; 2 - Aufnohmekommer ; 3 - Tubus ; 4 - Lichtmikroskop ; 5 - P'ojektivlinse ;L -2iiiin.rtirt"i7 - obi.ktirlinse; 8 - Kondensotlinsenblock;9-ElekÜonenkonone;10 - Vokuumschronk

fläche den Brendenharter- in Schwingsbewegunt versetzt. Der Drehpunkt der Brendelieget im zen*um ihrer Kugerfräc[e. Die- B[ndenbohrung *h*ils;"-rn' die por_schuhachse um * 0,2 mm.Das Ablenksvstem stett eine serbständige Baugruppe dar,Kondensorbrocksdie am unterteirdudesrch s.rrrru u"n-iu]ä'igit;t-;"ä ü bLr den' stonru!"iwird' Dasäing"rp"irtAbrenksvstem di.ent. zum Justie"ren a"r e"r"".tir;g;;;;;r"i";8richobjektivs' Das Sysiemdesist in. drei riti;;tlr;;""-'L"n"ur"n erngebaut,Paareinelektromagnetischerdenen viernutent

Mo_ntage_und Justierung der Gerätewerden in speziell ausgerüsteten und dafür angepaßtenRäumen unter Leitung hochqualifizierter Fachmdnner ausgeführt.Anmerkung._Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können laurErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.

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LIEFERSATZElektronenmikroskop 3MB-100fi in transportbereitemZustandWerkzeug- und WerkstoffsatzErsatzteil- und ZubehörsatzTransportkistensatzLi nsenkü hlan lageTechnische Beilagen, SatzWneschtorgisdot. Auftrag Nr. 25277411

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ELEKTRON EN MIKROSKOP YEMB.IOOKDas Mehrzweck- Elektronenmikroskop mithoher Bildauflösung y3MB-100Kdient zur visuellen und fotografischen Untersuchung von Obiekten.Das Gerät erlaubt:Objekte auf Durchstrahlung in weitem Vergrößerungsbereich zu untersuchen;stereoskopische Aufnahmen zu erhalten;Negativ- und Positivbilder zu erhalten;Beugungsuntersuchungen des gewählten Teilabschnitts auf Durchstrahlung auszuühren:mit Hilfe eines in der Obiektivlinse eingebauten Goniometers Mikrobeugungs'untersuchungen von Oblektteilbereichen mit Durchmesser 1.'.2pm auszuführenHierbei können Objekte untersucht werden, die unter verschiedenen Winkeln zurAchse geneigt sind, die in der Obiektebene liegt, sowie bei Drehung bezüglich Achseder Objektpatrone.Mit Hilfe eines Satzes von Zusatzgeräten, die laut Zusatzvertrag mit dem Auftraggebergeliefert werden, erlaubt das Gerät Obiekte bei Erwärmung, Streckungund in Gasatmosphäre zu untersuchen und Beugungsbilder der Obiektoberflächezu erhalten,Bild L Gesomtonsicht des MikroskoDs

4-----.- -ßl1fv6ffiEs-*-----14tlttIJffi----.--t6t7t6Jt9Btid 2. O|tisches Schemo des MikroskoDs:1 -fokussierende Elektode: 2 - Blende fürersten Kondensor,' 3 - Blende ffu zweitenKondensor; 4 - Stigmotor für zweiten Kondensor:5 - Objekt; 6 - Obiektivlinse; 7 -Stigmotor für Objektivlinse; I - Stigmotor lnfüt Zwischenlinse;9 - Zwischenlinse: 1O - 'vBildfeldblende; 11 - Kothode: 12 - Anode:t3 - erster Kondensor: 14 - zweiter Kondensor: 15-Prismen zum Justieten der Beleuchtungsouloge;16 - Objekttisch; 17 -Apetturblende; 18 - Wahlblende; 19 -lustiervorrichtung für Objektiv; 20 - Projektivlinse;21 - Bildschrmm.2lDas Wirkungsprinzip des Mikroskops beruht auf der Intensitätsmodulation desElektronenstrahls in Abhängigkeit von der Dichte und Dicke des Obiekts.Das Elektronenmikroskop besteht aus Röhre, Stand, Vakuumanlage, Steuerpultund Speisungsblöcken.Konstruktiv sind Mikroskopröhre, Vakuumanlage und Steuerpulte auf dem Tischdes Mikroskopstands angeordnet.Das grundsätzliche optische Schaltbild des Geräts ySMB-100K (Bild 2) ist demSchaltbild eines Lichtmikroskops analog, in dem alle optischen Lichtelemente durch

entsprechende elektrische Elemente ersetzt sind: Lichtquelle - durch Elektronen'quelle, Glaslinsen - durch elektromagnetische Linsen'Als Elektronenbündelquelle dient eine Elektronenkanone' die aus Kathode,fokussierender Elektrode und Anode besteht'DieE|ektronenkanoneerzeuSteinElektronenbünde|,dasmitHi|fevonKondensorlinsengeformt und auf das zu untersuchende objekt gerichtet wird' Das Elektronenbünde|,dasdurchdasobjekthindurchgegangenist,ge|angtindieobjektiv|inse'die die vergrößerte Abbildung des Oblekts erzeugt' Darauf geraten die Elektronenin die Zwischenlinse, die dazu dient, die Vergrößerung des Mikroskops stufenlos zuändernundeinBeugungsbildvonTei|abschnittenderzuuntersuchendenProbestückezu erzeugen.DienächsteLinse(Projektiv)entwirftdieendgü|tigevergrößerteAbbi|dungderobiekteaufdemLeuchtschirm.DieVergrößerungdesEndbi|desaufdemBi|dschirmläßt sich als Produkt der Vergrößerungen bestimmen, die Objektiv-, Zwischen- undProiektivlinse geben.Zum Betrieb mit hoher Auflösung muß das Gerät sorgfältig iustiert, AstiSmatis'musdesObjektivsamStigmatoraufMinimumherabgesetzt'aufstabileArbeitdesSpeisungsblocks geachtet, Vibration und andere Störungen behoben werden'DaszuuntersuchendeobjektmußauchmitRücksichtaufdieForderunSendesBetriebs mit hoher Auflösung vorbereitet werden (kleine GeschwindiSkeitsstreuungderElektronen,diedurchdasObiekthervorgerufenwird'hoherBildkontrast'Strahlenbündelfestigkeitu. a. m.).DieJustierungdesE|ektronenmikroskopsverfo|gtzweiZie|e:ErhaltunghöchsterBildhelligkeit und schaffung von Bedingungen, bei denen sphärische und chromatischeAberration aufs Minimum herabgesetzt wären'A|sE|ektronenque||ewirdimMikroskopeineV-artigeWolfram-Glühkathodeverwendet,ZwischenKathodeundfokussierenderElektrodeisteinenesativeSpannung(Gittervorspannung) angelegt, deren Wert stufenlos geändert werden kann' DieKathode ist in der fokussierenden Elektrode angeordnet, wodurch eine gute Lenkungdes Elektronenbündels erreicht wird.Die Dichte des Elektronenbündels auf dem obiekt ist gruncsätzlich durch folgendeFaktoren begrenzt: TemPerature der Kathode; Kathodenergiebigkeit; Beschleunigungsspannung;Konvergenzwinkel des auf das Obiekt fallenden Strahlenbündels(Apertur); Aberration des Fokussiersystems'Der Wert der BeschleunigungssPannung ist fürs gegebene Mikroskop festgelegt'Die Dichte des Elektronenbündelstroms kann durch Steigerung der Kathodenergiebigkeiterhöht werden. Die Steigerung der Wolframkathodenergiebigkeit ist nurdurchErhöhungderGlühtemPeraturmöglich,wasseinerseitsiedochzurKürzungihrer Lebensdauer führt. Die Stromdichte des Bündels hängt auch von der Lage der Kathodebezüg|ichfokussierenderE|ektrodeab.DieStromdichtekanngesteigertwerden,indem die Vorspannung geregelt wird. Hierbei erreicht die Stromdichte den Höchstwertnur bei einer gewissen tptimalen Vorspannung' Dieses ist auf die Wirkung derchromatischen Aberration zurückzuführen, die durch die Feldinhomogenität an derKathodenspitze hervorgerufen wit d'Um die Beleuchtung des Obiekts in weitem Bereich ändern zu können' wird insBestrah|ungssystemeinKondensoreingeführt.IneinemKondensorsystemmiteinerLinse kann der Strahldurchmesser, der auf dem Obiekt fokussiert ist' auf etwa

50 pr. m gebracht werden. Bei starken Vergrößerungen muß das Objekt von Strömengroßer Dichte durchstrahlt werden, was zu seiner überhitzung führt. Die Temperaturdes Objekts kann herabgesetzt werden, indem der Durchmesser des bestrahltenTeilabschnitts bis zu einigen Mikronen verkleinert wird.Zu diesem Zweck wird ein Zweilinsenkondensor verwendet. Mit einem Zweilinsen-Feinstrahlkondensor ist es möglich, kleinste Teilbereiche des Obiekts zu durchstrahlen und zwar bis zu etwa 2 p m Durchmesser bei wesentlich höherer Inren--sität.Ein Feinstrahlkondensor besteht aus der ersten - kurzbrennweitigen Linse, diedie Abbildung des engsten Strahlquerschnitts verkleinert, und zweiten - langbrennweitigenKondensorlinse, die die etwas vergrößerte Abbildung in die Objektebeneüberträgt. Es empfiehlt sich, einen Feinstrahlkondensor in Fällen zu verwenden, wenndas zu untersuchende Objekt unter Einwirkung des Bündels leichr zerstört wird.Verwendung eines Feinstrahlkondensors gewährleistet höhere Bildgüte. Diesesstimmt auch nicht nur, wenn die Oblektabbildung betrachtet, wird, sondern auchbeim Erhalten von Beugungs- und Mikrobeugungsspektren.Um bestmögliche Beleuchtungsverhältnisse zu erzielen, sind im Mikroskop Vorrichtungenzum Justieren der Elemente des Beleuchtungssystems bezüglich Objektivachsevorgesehen. Diese Vorrichtungen erlauben das Lichtbündel in einer Ebenezu verstellen, die zur Oblektivachse senkrecht ist. Außerdem ist die Möglichkeitvorgesehen, Kathode und fokussierende Elektrode bezüglich Anode zu iustieren.Diese Justierung gewährleistet höchstmögliche Helligkeit auf dem Oblekt.Inr Mikroskop ist eine Einrichtung vorhanden, die ermöglicht, das Beleuchtungssystemum die Objektivachse zu schwenken. lm Gegensatz zu vorhergehenden Justierungenbeeinflußt sie nicht die Helligkeit der Abbildung, aber von ihrer richtigenEinstellung hängt das Auflösungsvermögen des Mikroskops ab.Das Elektronenmikroskop ermöglicht die Ausführung tiefer und umfassenderUntersuchungen der feinsten Struktur der Substanz. Die elektronografische Untersuchungsteht, was Genauigkeit und weite praktische Anwendungsmöglichkeitenbetrifft, der röntgenografischen Untersuchung in keiner Beziehung nach.Der Aufbau des Elektronenmikroskops sieht die Möglichkeit vor, Elektronenbeugungsbilderderselben Objekte zu erhalten, die im Elektronenmikroskop untersuchtweroen.Das Mikroskop ist auch für örtliche Strukturanalysen angepaßt. Hierbei gelingtes, in einigen Fällen Elektronenbeugungsdiagramme von Teilbereichen des Objektesbis etwa 1 gm Durchmesser zu et halten. Die Mikrobeugungsmethode gibt die MöglichkeitKristalle zu identifiiieren, die im Mikroskop beobachtet werden, Habitus derKristalle, Netzebenenabstand und Orientierung der Kristallachsen zu bestimmensowie wichtige Daten über den Vorgang des Kristallwachstums, seiner polymorphenund anderen Umwandlungen zu erhalten,Um Mikrobeugungsbilder zu erhalten, wird das gesamte optische System desElektronenmikroskops verwendet.Beim Durchgehen der Elektronen durch das Obiekt wird in der hinteren Brennpunktebeneder Objektivlinse das erste Beugungsbild des Objekts entworfen, oasvon der Zwischenlinse in die Projektivlinsenebene übertragen wird. Die Proiektivlinseentwirft auf dem Leuchtbildschirm das vergrößerte Beugungsbild des Objekts. ZumAuswählen eines Teilabschnitts des Obiekts ist in der Bildebene des Objektivs einebewegliche Wahlblende vorgesehen.

Beim Untersuchen einer Reihe kontrastarmer Obiekte (dünne Schichten, biolo'gische obiekte u. a. m.) kann die Durchzeichnung bedeutend erhöht werden, wenndie Abbildung auf dunklem Grund betrachtet wird.Mit Hilfe eines Elektronenmikroskops können gute stereoskopische Aufnahmenerhalten werden, da seine Linsen über eine sehr hohe Tiefenschärfe verfügen.Der Aufbau des Geräts gewährleistet vollen Schutz der Bedienungskraft gegenRöntgenstrah I u ng.Dem Aufbau nach besteht das Elektronenmikroskop aus Stand, Röhre, vakuumanlage,Steuerpulten und Speisungsanlageblöcken.Die Mikroskopröhre (Bild 3.) schließt das ganze elektronenoptische system ein'das aus E!ektronenkanone, Kondensorlinsen, obiektiv mit obiektschleuse, Prolektivblockund Aufnahmekammer besteht, die starr miteinander verbunden sind, wasdas Gerät schwingungsfester macht. In der Mik-roskopröhre ist auch die goniometrischeEinrichtung FC-1 angeordnet'Die Elektronenkanone mit bewehrter Kabeleinführung ist konstruktiv im Gehäuseangeordnet, in dem sich der Hochspannungsisolator mit dem Kathodenbaugruppebefi ndet, Porzellanisolator nebst Hochspannungseinführung sind im okreren Kanonengehäuseeingebaut, das mittels drei Schrauben mit dem unteren Gehäuse verbundenist. vakuumdichtheit der verbindung wird durch einen Gummidichtring gewährleistet.Zum Wechseln und Justieren der Kathode kann das obere Kanonengehäuse aneiner Achse abgekippt werden. Der Kathodenwechsel besteht darin, d!e Tafel mitdem durchgebrannten Faden auszubauen und durch eine neue zu ersetzen'Der Kondensorlinsenblock besteht aus zwei elektromagnetischen Linsen, die ineinem Gehäuse eingeschlossen sind. Er Sestattet die Beleuchtung des Oblekts in weitemBereich zu ändern. Die Verwendung eines Zweilinsenkondensors gestattet' die Thermobelastungdes Objekts wesentlich herabzusetzen. Die Verbindung des Kondensorblocksmit der Elektronenkanone und dem Obiektiv ist starr ausgeführt. Dichtheitder Verbindung mit Elektronenkanone und Oblektiv ist durch Dichtungen sichergestelt.Der erste Kondensor kann mit Schrauben in zwei zueinander senkrechten Rich'tungen in horizontaler Ebene zur Elektronenkanone und zweitem Kondensor bewegtwerden.Die zweite Kondensorlinse ist am Gehäuse unbeweglich befestigt und besitzteinen Halter für auswechselbare Blenden. Die Blenden können zur Symmetrieachsedes Mikroskops zentriert werden.Das Ablenksystem stellt eine gesonderte Baugruppe dar, die mit einer Mutteram unteren Teil des Kondensorblocks befestigt ist. Das Ablenksystem dient zumJustieren der Beleuchtungsvorrichtung bezüglich Objektiv. Das System ist im Gehäuseeingebaut und besteht aus drei Paaren elektromagnetischer Spulen und zwei Paarenelektrostatischer AblenkPlatten.Dank der Zusammenwirkung der magnetischen und elektrostatischen Ablenksystemebesteht die Möglichkeit den Elektronenstrahl um beliebigen Azimutalwinkelzu neigen.Der Obiektivblock besteht aus Linse, Obiekttisch und obiektschleuse. Die Obiektivlinseist eine der Hauptbaugruppen, die die Arbeit des Geräts bestimmt. lm oberenTeil der Linse (objektkammer) ist die obiektschleuse mit der Einrichtung zum Einstellenund Wechseln der Obiekte angeordnet.

Bild 3. Mikroskopröhrc:1 - Elektrcnenkonone;2 - Kondensor;3 -Ot,jektiv; 4 - Prcjektivbtock; 5 - Aufnohmekommer;6 - Binokulormikroskob

Die Eiririchtung zum Einstellen und Wechseln des Obiekts stellt eine Linse dar,In der an einem Schieber sich die vorrichtung der obiektpatrone verschiebt. DieHülse wird mit Hilfe einer Mutter über einen Dichtungsring an der Obiektkammerangeschraubt.Hierbei entsteht in der Hülse ein Gasvolumen mit einer Luftportion. Die Objektpatronegleitet in einen besonderen Kegelsitz der Brücke, die unbeweglich am Schie'ber befestigt ist.Wird der Stangenkopf bis zum Anschlag im uhrzeigersinn gedreht, so gleitet dieOblektpatrone in den Kegelsitz der Brücke, auf dem sie dicht aufsitzt. Darauf mußder stangenkopf gegen uhrzeigersinn gedreht werden, was die obiektpatrone befreit,damit sie zur untersuchung des oblekts mit dem Schieber bewegt werdenkann.Um das zu untersuchende obiekt ohne Störung des Vakuums in der Mikroskopröhreauswechseln zu können, ist die Obiektschleuse mit dem Oblekthalter vorgesehen.Für stereoskopische Aufnahmen wird eine spezielle vorrichtung verwendet,die zum Einstellen einer speziell vorgesehenen Stereopatrone dient. Zur Orientierungdes Obiekts in der Ebene dient ein Schlitten, der die Möglichtkeit 8ibt, das Obiekt inbeliebigem Punkt der Ebene im Bereich des zu untersuchenden Probestücks einzustellen.über hermetische Einführungen und Klemmleiste wird die Anlage zum Erwärmenund Strecken der Probestücke mit elektrischer Spannung eingespeist.lm oberen Teil des objektivs befindet sich eine Einrichtung zum schutz desObiekts gegen Verschmutzung.lm mittleren Teil der Linse liegt die Erregerwicklung, der Polschuh und die Vorrichtungder Aperturblende. Einstellen der Aperturblenden zur oPtischen Achse desElektronenmikroskops sowie die schnelle Ein- und Herausführung des Blendenhaltersaus dem Polschuhkanal wird ruckweise mit Hilfe des Aufschiebers, in dem Nutenmit Fixierbohrungen vorhanden sind, und der Fixierungsschraube ausgeführt.Die Aperturblende (Kontrastblende) kann zur Strahlsymmetrieachse iustiertwerden.Bei Betrieb mit obiekten, die durch Thermobelastung leicht zerstört \Merden,wird eine Schutzblende verwendet, die im Halter befestiSt ist.lm unteren Teil des objektiys (Tubus) ist die Mikrobeugungsanlage, stiSmatorder obiektivlinse, stigmator der Zwischenlinse und die Justieranlage anSeordnet.Auf diesem Abschnitt wird der Elektronenstrahl mit Hilfe zylindrischer Schirmeabgeschirmt.Zur Auswahl eines Teilabschnitts des zu untersuchenden oblekts in der Mikrobeugungsarbeitsweisedienen Wahlblenden, die in besonderen Nuten einer F'artigenPlatte angeordnet sind.Platte samt Blenden kann in Quer- und Längsrichtung verstellt werden. Aufdiese Weise kann die Blende in einer der Bündelachse senkrechten Ebene verstellt.d. h. der nötige Teilabschnitt bei Mikrobeugung gewählt und eine beliebige dersechs Blenden eingestellt werden.Der elektromagnetische Stigmator der Zwischenlinse besteht aus vier wicklungen,Die gegenüberliegenden Wicklungen sind paarweise verbunden'Zu dieser Gruppe gehört auch die Justiereinrichtung. Sie besteht aus einemDauermagneten, das ein Magnetfeld erzeugt, welches senkrecht zur oPtischen Mikroskopachseliegt.

Der elektromagnetische stigmator der objektivlinse stellt zwei geschlitzteRöhren dar, mit Flanschen zur Einspeisung. Die Röhren sind ineinandergeschobenund elektrisch voneinander und dem polschuh isolrerc.Der Projektivblock besteht aus zwei Linsen: Zwischenlinse und projekrivlinse,die konstruktiv in einem Gehäuse vereinigt sind. Die Zwischenlinse gewährleistetzusammen mit den anderen Linsen eine 200000fache vergrößerung der zu untersuchendenobjekte und gestattet eine stufenlose Anderung der vergrößerung, lnder Zwischenlinse ist ein Polschuh mit großem Innenkanaldurchmesser eingebaut,was die Möglichkeit gibt, ein Mikrobeugungsbild des objekts auf Durchstrahlung(voller Beugungswinkel - 60) zu erhalten.Die Projektivlinse ist mit einer Einrichtung versehen, die das Entfernen oesPolschuhs aus der Linse zuläßt, ohne das Vakuum im Gerät zu stören.Der Zurtitt zu den objekriv- und projektivpolschuhen und dem obiektivblockist über besondere Luken vorgesehen.Der Projektivblock isr am Tubus der Aufnahmekammer befestigt, der als Grundplatteder Mikroskopröhre dient.Die Aufnahmekammer dient zurn visuellen Betrachten und Aufnehmen aesEndbildes des objekts. sie besteht aus dem Tubus und dem Kasettenteil. Der Tubusist über dem Tisch des Mikroskopstands angeordnet; der Kasettenteil der Aufnahmekammerbefindet sich unter dem Tubus und ist im Tisch auf gleicher Höhe mitden Armstutzen versenkt.lm Tubus sind drei Fenster zum Betrachten des vergrößerten Endbildes oesobjekts vorhanden. Um das Endbild besser betrachten zu können und zu seinemgenaueren scharfstellen, ist ein auf einem Ring schwenkbares Binokularmikrosropvorgesehen, das zusätzliche eine sechsfache vergrößerung des Endbildes gibt.lm unteren Teil des Tubus ist eine öffnung vorhanden, die zum Evakuieren derRöhre aufs vorvakuum sowie zum Evakuieren der Aufnahmekammer arrfs vorvaruumbei ihrem Schleusen dient.lm oberen Teil des Tubus ist eine öffnung vorhanden, über die die Aufnahmekammerbei offener Schleusenklappe auf hohes Vakuum evakuiert wird.lm Deckel der Aufnahmekammer ist ein Fenster vorhanden, unter dem ineinem speziellen Magazin die Kasetten mit den platten angeordnet sind.An der vorderseite der Aufnahmekammer ist eine Luke angeordnet, die zumWechseln des Kasettenmagazins dient.Das Kasettenmagazin stellt eine lichtdichte Schachtel dar, die durch eine senkrechteScheidewand in zwei reile geteilt ist. In der linken Hälfte des Magazinsliegen auf einer besonderen gefederten unterlage vierundzwanzig Fotoplatten inoffenen Kasetten. Diese Hälfte des Magazins ist durch einen beweglichen Deckelverschlossen. Beim Öffnen des Magazins faßt der am Deckel befestigte federnde Greiferden Rand der oberen Kasette und verschiebt sie in die zweite Abteilung des Magazins.Die federnde unterlage hebt darauf das Kasettenpaket um die Dicke einer Kaserrenach oben, und die nächste Kasette nimmt die stelle der abgeworfenen Kasette ein.An der vorderwand des Magazins ist ein Handtriff angeordnet, der zum Tragen undHerausziehen des Magazins aus der Aufnahmekammer dient.Das Goniometer fC-1 dient zur visuellen und fotografischen Untersuchunt vonobjekten, die unter verschiedenem Winkel zum Elektronenstrahl geneigt werden,bei einer Beschleunigungsspannung bis 100 kv. Mit Hilfe des Goniometers wircl dasObiekt im Elektronenmikroskop geneigt und gedreht.

Die Vakuumanlage (Bild 6.) gestattet während des Betriebes in der Mikroskop'röhre ein Arbeitsvakuum von I . . .2.10 4 mm HgS zu erzeugen und aufrechtzuerhalten,die obiekt- und Aufnahmekammer während des Plattenwechsels zu durch'schleusen. Außerdem gewährleistet die Vakuumanlage den Betrieb des Geräts imLaufe von nicht weniger als 8 Stunden bei ausgeschalteter mechanischer Pumpe' wasnotwendig ist, um Schwingungen der Mikroskopröhre während des Aufnehmens undBeobachtung der Abbildung zu Yerhüten.Die Vakuumanlage ist auf einer Platte montiert. Dieses gestattet sie nötiSenfallsvon der Befestigung zu lösen und aus dem Stand herauszuführen. Der zutritt zu allenTeilen der vakuumanlage wird ermöglicht, indem die Rückwand des standes und dasobere Ventil abgenommen werden.Alle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassiSen werkstoffen undelektronischen Elementen sowietischer Herstellung gefertigt. Montage und Justierungder Geräte werden in speziell ausgerüsteten und hierzu angepaßten Räumen unterLeitung hochqualifizierter Fachmänner ausgeführt'Anmerkung' Ersatzteile, die eventuell benötigt werden' können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.10

Bild 4. Goniometer, in Objektivlinse des Elektronenmikroskops oufgestellt,w''8Bild 5. Aufbou des Coniometers:1. - Spezialpolschuh der Projektivl)nse; 2 - Speziolpolschuh der Objektivtinse;3 - Sch,eusungsvorricnung:4 - Leuchte; 5 - Neigungsvorrichtung zum Schutz des Objekts gegen Veßchmutzung; 6 - Objekttischschlitten; 7 - goniomettische Einrichtung ; 8 - Ablesungsvor richtung11

Bild 6. Vokuumontoge:1 -Stönder:2-Überwutmutter;3 - Reduzierstück;4 - magnetischer lonengeber;5 - Vokuumrelais:6 - Gebet I1M-2; 7 - Geber ni:4k; 8'*";i;;;;;;;"'^'"'ti!;.9'- Mutter:10 - Steuerungsventit; 11 -Gosentlodungsröhre; 12 - kombi;;;;;t'iati'-iz'--iit'uu-liitun'"t 14 -- vokuumkommer; 15 - Teilunssbehälter;16 - umteitungsv"'rü'i tl-"-'viirdaiung.sfolle.;- Hvdrorelois: 19 - DiffusionsDumpe,lipumpeill_iöri'i'iö -' uttr"-oin,"nnip"Äill ,:-#!7.,,:",:i,i/*!ti::!r":i*'22 - mechonisrhe pBH-2o:12

HAUPTDATENAuflösungsvermögen, ÄElektronische VergrößerungArbeitsvakuum, mm HgSKühlwasserdurchf lußmenge, //minAnzahl der Platten im MagazinAusmaß der Platten, cmBeschfeunigungsspannung, kV .Instabilität der Beschleunigungsspannung während einer MinuteSpeisu ng :Spannung, VFrequenz, HzLeistungsaufnahme, kV. A .Aufrechterhaltung des Arbeitsvakuums bei ausgeschalteter mechanischerPumpe (ohne Objektwechsel), hAuflösungsvermögen bei Ob.jektuntersuchungen im Elektronenmikroskopmit Hilfe des Goniometers, ÄNeigung des Probestücks zur Achse, die in der Obiektebene liegtGenauigkeit der NeigungDrehung des Probestücks um Achse der ObjektpatroneGenauigkeit der DrehungBereich der elektronenoptischen VergrößerungAusmaß des zu beobachtenden Teilabschnitts des Oblekts von derPolschuhkanalachse, mmSkalenteilung des NeigungslimbusSkalenteilung des DrehungslimbusDurchmesser des zu untersuchenden Objekts, mmHauptabmessungen, mm:Masse, kg:MikroskopEnergieversorgu ngsschran kHochspan nu ngsgleichrichterM i kroskopE nergieversorgu ngssch ran kHochspann u ngsgleich richterGesamtmasse des Geräts mit Energieversorgungseinrichtung, kgI300. ..200000x1 ...2.'10-45246,5x9s0, 75, 100

LIEFERSATZElektronenmikroskop mit Goniometer FC-1Elektrizitätsversorgung des MikroskopsEinrichtung zum Schutz des Objekts gegen VerschmutzungObjektschleuseReservewerkzeug- und ZubehörsatzTransportkistensatz für Teile und BaugruppenTechnische Beilagen von Mikroskop und Goniometer, Satz

MASi H P Fl I EI CI FI I NTEI Ft Gi MEtSiH\'A- SiSiSiFt

ELEKTRONENMIKROSKOP 9M.9Das Elektronenmikroskop 3M-9 ist für Labor- und Untersuchungsarbeiten voreesehen,die kein hohes Auilösungsverrnögen benöti'en' Das M.ikroskoP kann inierschieienen Gebieten der Wissenschaft und Technik angewendet werden.ou, Mikroskop gibt die Möglichkeit die vergrößerte obie-ktabbildung im Durchstrahlungsverfahren-- -zu beobachten oder zu fotografieren'-visuellöur'llit .oskop 9M-9 ist für Betrieb in stationären Arbeitsbedingungen vorgesehen,in g"r.hlorr"n"n Rär."n, bei UmgebungstemP-eratur + 25 + 10oC' relativer Luftf"rifrtigt"lt---65 + 'l5o/; und atmosphärischem Druck 720 ' ' ' 780 mm HgS'O"', umgebJnde Medium muß stäubfrei sein und keine chemischen Mittel enthalten.Das grtindsätzliche optische Schema des Mikroskops.SM-9, das in Bild 2 gezeigtist, unteÄcheidet sich väm Schema eines üblichen Lichtmikroskops dadurch, daßalle optischen Elemente durch entsprechende elektrische Elemente ersetzt sindiii.t tqL"tt" - durch Elektronenquelle, optische Linsen - durch elektronische Linsen.Ä1, El"ktron"nstrahlquelle dlent eine Elektronenkanone, die aus Kathode, Steuere-Iektrode, Anode und Anodenblende besteht'

,il------'.=l-$Bild 2. Optisches Schemo des Elektronenmikroskops 3M_9:1 - Kothode,2 -Steuere/ektrode;3 - Anode;4 _ Begrenzungsblende; S _Ablenksystem: 6.- Objektiv ; 7 - Objekt; g _ Aperturb-lende; ö _ pr;jektiv :1 0 - Fotof i I m ; 1 1 - Bi I dschi r m : 1 2_ Objektiv : 1 3 _ Li chtm ikrosko' : 1 4 _ ökuto;

Die Elektronenkanone erzeugt einen schmalen Elektronenstrahl, der aufs Obiektgerichtet wird. Der Elektronenstrahl, der durch das Oblekt hindurchgegangen ist,gelangt in die Obiektivlinse, die die erste vergrößerte Abbildung des Objekts entwirft.Alsdann gelangen die Elektronen in die Proiektivlinse, die die elektronische Abbildungdes Objekts auf den Leuchtschirm überträgt. Unter Einwirkung der Elektronenleuchtet der Bildschirm auf und erzeugt ein sichtbares Bild des Obiekts, das durchein Lichtmikroskop oder Lupe betrachtet werden kann.Der Bildkontrast im Elektronenmikroskop ist dadurch bedingt, daß verschiedeneTeile des zu untersuchenden Obiekts die durch sie dringenden Elektronen verschiedenstreuen.Durch die Aperturblende der Obiektivlinse werden nur dieienigen Elektronengehen, die beim Durchdringen des Objekts um verhältnismäßig kleine Winkel abgelenktwerden (2. B. Winkel a in Bild 3). Die entsprechenden Abschnitte auf dem Bildschirmwerden hell sein. Der gesamte Streuwinkel der Elektronen p > cr, und darum gelangenauf die Stellen, die im Bereich des größeren Streuungswinkels liegen, nicht alle Elek-\\Bild 3. Entstehung des Bildkontrostes

tronen' die durch das oblekt durchgedrungen sind, und die entsprechenden Elementeder Abbildung auf dem Bildschirm sind dunkler. Da die Elekironen von der LuftSestreut werden, muß sie während des Betriebes des Mikroskops dauernd evakuiertwerden, um in der Mikroskopröhre einen Unterdruck "on j . .lO a mm HgS aufrechtzuerhalten,Das Elektronenmikroskop besteht aus folgenden Hauptteilen:Ständer:Aufnahmekammer;Vaku u man lage;Speisungsanlage mit Steuerpult.Der Ständer des Elektronenmikroskops wird als selbständige Baugruppe zusammengebautund am Mikroskoptisch mit Hilfe von vier Schrauben belesiigt. Er istunter 45o geneigt.In der Mikroskopröhre.(Bild 4) sind folgende Hauptbaugruppen angeordnet(von unten nach oben gehend):der. .InBeleuchtungsanlage des Mikroskops dient als Elel

ä:ii€iiiäiäiei:+irlititliiiligili

ildung kann das zweifache Lichtmikroskop 19 oder eine Lupe mit 3facher Vergrößerungverwendet werden.Zur Vakuumanlage gehören :mechanische Pumpe, die zum Erzeugen des Vorvakuums 5. 10 2 mm HgS dient;Öldiffusionspumpe, die im System das Arbeitsvakuum 3. 10-s mm HgS erzeugt;Vorvakuumbehälter, der die Möglichkeit gewährleistet, bei ausgeschalteter mechanischerPumpe zu arbeiten;Blockierung für Elektroheizer der Öldiffusionspumpe, die den Elektroheizerausschaltet und ein Schallsignal einschaltet, sobald die Wasserzufuhr zur Kühlanlageunterbrochen wird;Steueranlage, die dazu dient, die nötigen Vakuumverhältnisse zu schaffen. Dieseswird durch Umschalten von Ventilen mit entsprechendem Schaltgriff während desBetriebes des Mikroskops erzielt.Um beim Aufnehmen des Obiektbildes Vibrationen zu verhüten, muß die mechanischePumpe ausgeschaltet werden. Bei ausgeschalteter mechanischer Pumpe wirddas Arbeitsvakuum in der Mikroskopsäule im Laufe von mindestens 9 min aufrechterhalten.Zur Elektrospeisungsanlage gehören: Hochspannungsblock, Niederspannungsblöcke,Verteilerkasten, Leitungssystem und Steuerpult.Das Mikroskop wird durch einen Dreiphasen- Wechselstromkreis gespeist;Frequenz 50 Hz, Spannung 220 V oder 380 V mit Nulleitung.Der Aufbau des Geräts gewährleistet Schutz des Bedienungspersonals gegenRöntgenstrahlen, die während des Betriebes entstehen.Die Konstruktion des Elektronenmikroskops 3M-9 bürgt für höchste Zuverlässigkeitund Handlichkeit im BetriebAlle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassiten Werkstoffen undelektronischen Elementen sowjetischer Herstellung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte werden in besonders ausgerüsteten und dazu angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner ausgeführt.Anmerkung. Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.

HAUPTDATENAuflösungsvermögen, AElektronische Vergrößerung (stufenweise)Vergrößerung des LichtmikrosropsVergrößerung der LupeAusmaß des Films, mmAusmaß der Aufnahme, mm20x3 " '4t3624x24Anzahl der Aufnahmen 45Beschfeunigungsspannung, kV . 35Arbeitsvakuum in der Mikroskopröhre, mm HgS 3' 10-4PumDzeit zum Erreichen des Arbeitsvakuums in der Mikroskopröhre(vom Einschaltmoment der PumPen gerechnet), min 40. . . 50Pumpzeit nach Druckausgleich in der Mikroskopröhre bei warmeröldiffusionspumpe, min < 10Aufrechterhaltung des Arbeitsvakuums in der Mikroskopröhre bei502500x, 5500x,7000xausgeschafteter mechanischer Pumpe, min > 9Speisungsspannung des Dreiphasenstromkreises mit Nulleitung, V 2201390Frequenz, Hz 50Leistungsaufnahme, kWHauDtausmaße des MikroskoPs' mmMasse des MikroskoPs, kg1,81100x700x950300LIEFERSATZMikroskop 3M-9 in transportbereitem ZustandErsatzteil- und WerkzeugsatzZubehör- und WerkstoffsatzReservetei lsatzTechnische Beilagen, SatzWneschtorgisdot. Auftrog N r. 252774 | 3

o ; o1jj o öoütI4t oOM]V|ASHPFIIEIEtFt I NTOF|G; MO SiHVA. S SiSi FtI|BJEIfiIIATTER l|t|.2 ZUMEt Et(TR0ltEltMtf(R0st(0p ySMB-t00H

F'Fii=r'${=ä i-*iä*[qFä$ä:1qg fi3 grg:äil 198ä8m?3tlisii9ä€l.:{ö o: -:-.Ä':; m6-c;-3 j:-ä f j.., T:41..I llt*: ä; *;;; e$tä gti19:T"qIäSu'9r -aEFi9 ^'=t -c='otaä--üe:r.ä [ää]iiää+l3*iä;siail= riää# ä e[=*äsFl1* äFpe idl3Fi äei fä,;qä; s+ä ;nEr:ö :+F- ' = '"'l ^ 5 t rS '-'' 1F r; :. dtärä id i d;-,*:* äfiq q{ov@oHz7m{ZT3>^{vfnot9l6g!N'

HAUPTDATENVerstellung des Objekts in horizontaler Ebene, mrn:LängsverstellunC+ 4,5Querverstellun1 .+ 3Drehwinkel des Objekttisches:in horizontaler Ebene 3600in vertikaler Ebene360oLIEFERSATZObjekthalter ,QO-2Ersatzteil-, Werkzeug- und ZubehörsatzTechnische Beilagen, SatzWneschtorgisdot. Auftrog Nr. 252774 t4

o;ti) oootootost of,DMASHFFlIEItrTFl INTclFIGi MclSH\/A.SSSR.qryBtcHTultc ly-] zuR UI{TERSUCHUI|vol{ oBJEKTEII ll{ ansntmo6F-H-Ä-R'-"*

EINRICHTUNG TY.z ZUI4ELEKTRONENMIKROSKOP YgMB'IOOK ZURuNTERSUCHUNG VON -OBJEKTEN lNGASATMOSPHAREEinrichtung l-Y-2 dient zur Untersuchung leberdiger Mikroorganism-en'- feuchterobiekte und prozesse .t"rir.tr* nu"ttionei im Elek-tronenmikroskop.Y3MB-100K.".-"i.r,,;;; l,ioiri.i["n"ure"rro.knete untersuchen zu können wird"ob1"tt,i.tr .obiektea"aur.t g""r?tit"irt"r, aaß aaiin einer Atmosphäre von Gas und Feuchii"l"i.raa'Äpf"nbefinäet. Druck und Zusammensetzung des Gases in der Kammer*iri Jrt.tt' ein spezielles Vermittlungssystem .geregelt'Das Auflösungrv"rtog"i ä". iiniititt'ng ilt ei; vrenig niedriger'. als-bei .Unter-,r.nJ,if ä", öLJ"i.. im Vituum. Dieses ist dädurch zu erklären, daß der Elektronenstrahlzusätzlich eine cassfhichi un.i zw"l Schutzschichten durchdringen muß, die deni;"; J;. Gasatmosphäre vom Vakuurn der Mikroskopröhre scheiden'Zur Einrichtung gehören:Einrlcfttung zui Üntersuchung eines Objekts in Gasatmosphäre;Sch utzbl end entrieb ;Vakutmanlage;Polsuuh;Tragarm'Der Gasraum in der Obiektivlinse, in dem sich das zu untersuchende Obiektubefindet, ist in einer hermetiichen Mikrokammer eingeschlossen. Die konstruktiveÄrtfühtung der Parone mit der Mikrokammer zeigt Bild 1'IMl0 :lBild 1, Patrone ntit Mikrogoskammer:1 - Konol ; 2 - Ob jektpatrone; 3 - Stutzen : 4 - Gummidichtung ; 5 - Blende: 6 - geschl itzterRing'; 7 - Blende : 8 - Gummidichtung : 9 - Buchse; 10 - Muttel

Die Mikrokammer ist im unteren Teil der Oblektpatrone 2 angeordnet'Die Mikrokammer ist in Strahlrichtung oben und unten durch zwei Blenden 5und / begrenzt. Die zueinander gerichteten Oberflächen der Blenden sind mit einemSchutzfilm bedeckt, der das Ausströmen des Gases in die Mikroskopröhre verhindert.Zwischen den Blenden ist der geschlitzte Ring 6 angeordnet, durch den das Gasin die Mikrokammer einströmt. Durch die Höhe des Ringes wird die Höhe der Gasschichtin der Mikrokammer geregelt (ca. 0,2 mm).Die Mikrokammer wird mittels Gummidichtungen abgedichtet. Um Ladungskonzentrationauf den Dichtungen zu verhüten, die in unmittelbarer Nähe des Strahlenbündelsliegen, werden diese Dichtungen abgeschirmt.Ein wesentliches Element der Konstruktion bilden die Formwarschutzfilme. Siesind so dünn (250 Ä), Caß sie keine wesentliche Streuung der Elektronen hervorrufen,sind aber widerstandsfähig genug, um der nöti8en Drucl

Das Gasverteirsystem der Einrichtung zum untersuchen von objekten in Gasatmosphäreerlaubt:die Mikrokammer mit Luft, irgendeinem Gas oder einer Gasmischung aufzufüten;die Mikrokammer bis auf nötiges Vakuum zu evakuieren:die objektschleuse beim Einführen oder Wechsern des objekts zu evakuieren.-,_, D", Vermittlungssystem ist als heraustragbarer pult ausgeführt, der am Mikro_skopstand befestigt wird.Auf dem Pult sind drei steuerungshähne, die miteinander über Gummischräuchenverbunden sind, und zwei vakuumrn-ete.r angeordnet. Gesamtschrrapiun'aä'mutationr".-zeigt Bild 2. Alle Hähne sinC der K-ückenhahnbauarr, was äi"gibt'märti.f,t"itdie Pumpceit in Abhängigkeir von der Große a_ei Du*hi"ääri"r"s'Der.i,t'r"g"rn.Hauptteir des Hahns isiier hohre H"hnkegei (Bird 3). r- Huh;k;;"f]inaBoh.rungenar"ivorhanden. Zwei dieser öffnungen iind'auf eiler uotre an!?ärin".,im Hahngehäuseai"dem stutzen 3 entsoricht, äer aen Hahn mit der Mikrokammerbindet,ver_die dritte.öffnung riegt auf äer u6ne do ctrt."n, 4, der zur oul"r...inr"ur"führt. Eine der öffnungen iit keirförmig, *oai,i.n das pumpzeitverhärtnißobjektschteusevonund Karimer geändert wörden L"nn. dä;ä;5inöfr;;i'ili',rnr".der Horizontare. Dieses erlaubt nur die objektslhr;";"-t;;;k-"1;;;;:Hahn;;""um"".15o gedreht wird,und, aus. der stettrnj-,,u.nro3. Ka'€pa" (obiektschreuse)stellungin.,:ynf3" (Schreuse) gebracht wira, aa "hieiuei die öfinuni ini-i"hng;naur",die zur Mikrokammer führt; überdeckt wird.Die dritte Öffnung dient zur Zuführung von Gas in die Mikrokammer.Der Druck in der schreuse und in der Kammer wird mit zweivermessen;vakuummeternder eine zeigt den Druck in der Kammer, der zweite - in a". sct i"uru un.Die Differenz der vakuummeterangaben während der Evakuation dergibtoblektschreusedie Druckdifferenz auf den ichutzfirmen der obiektkam.".- "n.-'-'-'--'I.t.ITBild 2, Kommutotionsscholtplan :1 - Kommer;2-schleuse;3,4,5-Hohn. l_Luft; ll _ EvokuationI

IEBild 3. Umscholten des Hohns:| - Cehöuse;2 -hohter Hohnkegel; j,4,5 _Stutzen. I ' _ --' zulKommer; Il _ zur Schleuse,. t'tt _ rrÄ-Uiin'Polschuh.Zur Untersuchung von objekten in Gasatmosphäre wird ein porschuh mit vergrößerterÖffnung (8 rnm) verwendet. Aile anderen Ausmaße entsprechen einemüblichen Polschuh.Der geschweißte Tragarm trägt die Vakuumanlage. Der Tragarm ist an derRückseite des rechten Mikroskoppults befestigt.Alle Einzel' und Komprettierungsteire sind aus erstkrassigen Werkstoffen undelektronischen Erementen sowjetischer Hersteilung gefertigt. Zusammenbau und

Justierung der Geräte wird in spezieil ausgerüsteten und dazu angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner ausgeführt.Anmerkung. Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatarog gewährt und genügend kunfristig rieferbar besteilt werden.HAUPTDATENAuflösungsvermögen bei Untersuchungen von Obiekten in Gasatmosphäre,Ä . .Vergrößeru ngsbereichGasdruck bei unmittelbarer Beobachtung lebendiger Mikroorganismen,feuchter Objekte, chemischer Reaktionen zwischen festen, flüs_30...40300. . 30000xsigen und gasartigen phasen, mm HgSAusmaß des zu betrachtenden Teilabschnitts des Objekts, mm:ohne Mikronetzmit MikronetzRAz 0,03. 90,3LIEFERSATZEinrichtung zur Untersuchung von Oblekten in Gasat_mosphäreErsatzteil-, Werkzeug- und VorrichtungssatzTechnische Beilagen, SatzWneschtorgisdot. Auftrog Nr. 2521 7 4 lS

MASH FFII EItrIFl I NTOFIG! MOSHVA. SiSiSi FIEI]IRICHTUIIG NPOH.zv olo'o ,' Oo oootto 6tt o

EINRICHTUNG NPOH-2Die Einrichtung l-lPoH-2 zur Streckung und Erwärmung eines obiekts im ElektronenmikroskopYSMB-100K dient zur untersuchung dünner metallischer und an'dererFolien-ObjektebeiihrerStreckungsowiezurUntersuchungVonObjektenwährend des Erhitzungsvorgangs'WIRKUNGSPRINZIPDas Objekt, das auf zwei Bimetallplättchen befestigt ist, wird infolge der verformungdieserPlättchengestreckt,wennsiedurchdendurchgehendenStromerhitzt werden,Das objekt wird während der untersuchung mittels eines elektrischen Mikroofenserwärmt.Zur Einrichtung FIPOH-2 gehören:Einrichtung zur Streckung des Obiekts;Einrichtung zur Erwärmung des Obiekts;Speisungsblock und Polschuh.EinrichtungzurStreckungdesob|ektssteIlteinenspezielIenHalterdar,derinBi|dlgezeigtist.AmGehäuse2istEinsatz4mittelsPerma||oybuchse3befestigt'die dazu dient, den Elektronenstrahl gegen Einwirkung der Magnetfelder abzuschirmen,die in den Wicklungen der Heizer erzeugt werden'Am Einsatz 4 der Einrichtung sind mit Schrauben 5 die Halter 6 mit zwei Bimeta|lplättchenbefestigt,aufdenendiebifilarenHeizwick|ungenangeordnetsind,dieBild 1. Einrichtung zur Streckung von Objekter'

von den Bimetallplättchen isoliert sind. Die Wicklungsenden sind an Leitungen imit Steckerstiften angeschlossen, die in die Buchsen der Vorrichtung zum Aufstellenund Wechseln des Objekts gesteckt werden. Die Wicklungsmitren werden überSchrauben 5 und Einsatz 4 an den Körper angeschlossen.Wird die Einrichtung zur Streckung des Oblekts auf die Brücke herabgelassen,so kommen die Steckerstifte mit den Federn der Obiektivlinsenklemmleiste in Berührung,die über hermetische Einführung des Obiektivs vom Speisungsblock eingespeistsind. An den Enden der Bimetallplättchen sind die Objekthalterschuhe Z befestigt,an denen das Oblekt angeklebt wird,Die Einrichtung zur Streckung des Oblekts sieht zwei Arbeitsweisen vor: ohneKompensation des Schwindens des zu untersuchenden Teilabschnitts aus dem Gesichtsfeldund mit Kompensation des Schwindens des Teilabschnitts des Oblekts beimStrecken.Die Einrichtung zur Erwärmung des Objekts stellt einen speziellen Halter dar,den Bifd 2 zeigt. Am Gehäuse 4 ist mittels Permalloybuchse 3, die zur magnetischenAbschirmung des Elektronenstrahls dient, Einsatz 7 befestigt.Das zu erwärmende Objekt wird am Ende des Rohrs 2 mittels Mutter 11 befestigt.Auf Rohr 2 wird der Mikroofen 10 aufgesetzt. Die Enden der Wolframspiraie oesMikroofens werden mittels Schrauben 12 an Stabe 13 angepreßt. Von den Stäbenführen Leitungen t mit Steckerstiften, die in die Buchsen der Vorrichtung zumAufstellen und Wechseln des Objekts gesteckt werden. Wird die Einrichtung zurErwärmung in die Brücke herabgelassen, so kommen die Steckerstifte mit den Klemmleistenfedernder Obiektivlinse in Berührung, die über hermetische Einführungendes Obiektivs vom Speisungsblock eingespeist sind.Die Temperatur des Objekts kann stufenlos mit Hilfe von Potentiometern groberund feiner Abstimmung geändert werden.Der Speisungsblock ist universal und dient zum Betrieb mit Einrichtungen zurStreckung und Erwärmung. Der grundsätzliche Schaltplan des Speisungsblockstellteinen zweipulsigen Gleichrichter dar bei Netzspeisung unter Verwendung einesfl-artigen Filters. Die Schaltung kann auch von einer Ba.tterie eingespeist werden,wozu der Kippschalter entsprechend umgeschaltet werden muß,Der Polschuh, der in der Einrichtung verwendet ist, unterscheidet sich voneinem übfichen Polschuh nur durch seine vergrößerte öffnung (Z I mm1.Alle Ersatz- und Komplettierungsteile sind aus erstklassigen Werkstoffen undelektronischen Elementen sowjetischer Herstellung gefertigt, Zusammenbau undjustierung der Geräte erfolgt in speziell ausgerüsteten und dazu angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner.Anmerkung,Ersatzteile, die eventuell benötigt werden,können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig Iieferbar bestellt werden.

Bild 2. Einrichtung zur Erwärmung von Objekten:1-Leitungen mitSteckerstiften;2-Rohr;3-Permolloybuchse;4-Gehöuse;5-Buchse,'6-Platte; 7 - Einsotz;8 -KäDDchen;, -tt:!,r1!Zt&* Mikroofen; 11 - Muttet; 12 - Schrou-HAUPTDATENAuflösungsvermögen, Ä 40...50Maximale Vergrößerung des Objekts bei Betrieb mit Einrichtungzur Streckung, p mRelative Dehnung des Obiekts bei Abstand zwischen Objekthalterschuhen0,5 mm, o/" < 15Maximafe Kraft an Objekthalterschuhen bei Strom 500 mA, g 80Ausmaß des zu beobachtenden Objektteilabschnitts, mm 0,5x1Höchste Erwärmungstemperatur des Oblekts, oC 1000Arbeitsdauer der Einrichtung bei Temperaturdes Mikroofens10000c, h < 2Speisung der Einrichtung:Frequenz, Hz 50Spannung, V . 220Speisung von Akkumulator:Ka'pazität, AlhSpannung, VLeistungsaufnahme bei Streckung, W < 15Speisungsblock der Einrichtung soll Stromänderung gewährleisten:bei Betrieb mit Streckeinrichtung, mA 0. . . 500bei Betrieb mit Heizeinrichtung, A 0...2,57510t1. . . t>

Hauptausmaße, mm:Masse, kg:Einrichtung zur Streckung und Erwärmung O 14x27,7Speisungsblock282x179x217Einrichtung zur Streckung und Erwärmung < 0,03Speisungsblock < 3,5LIEFERSATZEinrichtung zur Streckung und ErwärmungErsatzteil-, Werkzeug- und VorrichtungssatzTechnische Beilagen, Satz

M 1IMA=iHPF|II E l| ERSPA II IIUGS.MIIffiOSI(OP PSMHEIE I(TRO 1I EII RASTER-EttrIFI I NTEIRGI M trt=iHVA. Si EiSi FI

N I EDERSPAN N U NGS. ELEKTRON EN RASTERMIKROSKOP PSMHDas Mikroskop dient iur untersuchung von. oberflächen massiver Probestücke'die - - keine Licht- und Elektronenstrahlen durchlassen'ou, Gerät kann für Laboruntersuchungen verwendet werden sowie zur technolosisctrenBetriebskontrolle einiger Baueleäente von Funkanlagen (z' B' Halbleiterai3j"n,Trioden, Mikromodulschaltungen, Nichtleitern u' a')'Das Gerät erlaubt zu beobachten und aufzunehmen:Geometrie und Mikrometrie der Oberfläche, darunter ihre BearbeitungsSüte(glatt, 't'-'V";;;;i;ri; rauh, Porös);"inii". Stoffe auf dem Hintergrund anderer, dünne Oberflächenfilmeund Verschmutzungen;Potential rel i ef;magnetische Mikrofelder', !--_r--r^r-Das- wirkungsprinzip des Rastermikroskops beruht auf nacheinanderfolgendeiübe;;;gung aer"Äbbilaungselemente der zu. untersuchenden Oberfläche und ihrerWi"a"rfiUliaung auf dem Bildschirm der Bildkontrolleinrichtung'Die Elektronensonde tastet die zu untersuchende oberfläche Punkt nach Punktab.VonjedemPunkt,entsprechendseiner.Struktur,elektrischem.Potentialundchemischer zusammensetzung werden signale erhalten - vom obiekt absorbierte.ä"i ir'iü.d"Jrahlte Elektionen. Nach- entsprechender Verstärkung wird dasiisnat dem liodulator der Fernsehröhre zugefühit, um die Leuchthelligkeit des Bild-;;i;;;;;; ."auri"t"rr. Der Elektronenttra[l tn'itd synchron der Ablenkung der Elektronensondeauf der Obiektoberfläche abgelenkt'-Das Gerät besteht "ri d", Stand mitlder Vakuumanlage, Röhre, Ferrseheinrichtunqmit Signalvorverstärkung, Zusatzgerät zum Erwärmen und Abkühlen desObiäkts, eleitrischen Blöcken und Steuerpulten' .Das Rohr des Rastermikroskops stellt'eine elektronenoptische Anlage dar, died"ru ai"nt-"ut der OUerflalhe des zu unterruchenden Obiekts einen Elektronenfleckiu ".."ug"n, von dessen Dr..hm"tt". das Auflösungsvermögen,1"' -G"-iI:-1bhän8t'Das "opiirche system besteht aus der Elektrone-nq-uelle. (Elektronenkanone) undel"t

u. ntersu-chung von Halbleiterübergängen am objekt eine Greichspannung anzuregen,die im Bereich 0. . .8 y geregelt werden kann.Schwingu_ngen... 9rzu dämpfen, ist der Mikroskopstand auf vier Gummistoß_dämpfern aufgestellt. Vorne am Mikroskopstand ist ein kleiner technologischer Tischangeordnet.Z:,r, Vakuumanlage..gehören :,,,.Vorvakuumpumpe, öldiffusionspumpe, Stickstoflalle,Vakuumverteiler, Vorvakuumbehälter und Vakuumleitungen.Der vorvakuumbehälter gewährleistet einige Zeit den Betrieb der öldiffusronspumpebei ausgeschalteter mechanischer pumpe.Der Vakuumverteiler dient zum umschaiten der vakuumventile während desBetriebes des Mikroskoos.Die stickstoffalle ist dazu bestimmt, zu verhüten, daß öldampfe in die Mikroskopröhreeindringen.Alle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassigen Werkstoffen undelektronischem Zubehör sowjetischer Herstellung gefertigt. Zu-sammenbau unJ.;ustierungder Geräte_e,rfolgen in speziell ausgerüsteten und daiu angepaßten Räumen unterLeitung hochqualifizierter Fachmänner.Anmerkung._Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieierbar bestellt werden.* * .ü];.'D l ü a5..."'.-";**s-{)*.IIctBild 1. Niederspannungs-Elektronenrostermikrcskob p3MH

a4_2l22/JBild 2 Mikroskopröhre:1 - Gehäuse;2 - Spule;3 - S|ule;4 - Buchse;5 - Deckel mit Obiekthdlter;6 - Herousführungen:7 - Obiektkammer;8 - Polschuh;9 - Magnetleiter:1O - Ablenksystem;11 - Polschuh;12 - zweite Linse;13 -lustießbule;14 - Buchse:15 - Polschuh;16 - Polschuh;17 - erste linse,.18 - öußerer Mognetleiter:19 - Anode:20 - Steckerstifte;21 - Mutter;22 -fokussierende Elektrode:23 - Schrouben:24 - Elektronenpuelle;25 - Steckverbindungen

HAUPTDATENAuf lösungsvermögen, p mVergrößerung auf dem Bildschirm:kleinstehöchsteStrom der Elektronensonde am Obiekt, ABeschleunigungsspannung, V:kleinstehöchsteTemperatur, oC:der Objekterwärmungder ObjektabkühlungArbeitsvakuum in der Röhre, mm HgSSpeisung:Spannung, VFrequenz, HzLeistungsaufnahme des Geräts, kWHauptabmessungen, mmMasse des Geräts, kg

MMASHPFII EICI FT I NTCIFIGi M ctSHVA.si siSFIETEI(TROIIEIIBEUGUIIGSI{AMM3P.IOO

ELEKTRO N EN BEUG U NGSKAM M ER 3P-1OODieE|ektronenbeugungskammer3P.l00dienrzuStrukturuntersuchungenkristalliner,rnda.orpher 3toif" irn Elektronenbeugungsverfahren'Die Elektronenbeugungskammer läßt zu:Strukturuntersuchungei von Stoffen in durchgehenden und reflektierten Strahlen;Strukturuntersu.nung"nvonStoffenbeiErw-ärmung,AbkühIungundStreckung'd"n ,u ,nau.ruchend-en Stoff im Geräterohr aufzustäuben'Das WirkungsprinziP der Elektronenbeugungskammer beruht auf der Erscheinungder Beusuns und Interfereni der Elektronensirah-len an der Atomstruktur von Stoffen'ö"r opt'isch-e Schaltplan des Geräts ist in Bild 2 gezeigt'Der Charakter des Beugungsbildes hängt von der gegenseitigen Orientierungder kristalle und der kristallinen Struktur des Stoffes ab'Der Elektronenstrahl wird in einer Elektronenkanone erzeuSt' die eine ausKatnoJ", Steuerel"ttrode und Anode bestehende elektrostatische Linse darstellt'6"i iG[.ron"nstrahl, der von der Kathode emittiert wird, wird von der Beschleuni-;;s;;;;";"; t!,-id' 75 und 100 kv beschleunigt' die zwischen Kathode und Anodeangelegt ist, und zu einem scharfen strahl form'ürt, dessen Durchmesser ca. 100 . ' .150 prm beträgt.ZweiLinsen,diehinterderAnodeangeordnetsind'entwerfendieAbbildungdes kleinsten StrahldurcnÄerr".r, d",. in der'elektrostatischen Linse erhalten wurde'auf dem Leuchtschirm.DasobjektwirdindenkonvergentenE|ektronenstrah|geste|lt'Dasvomobiekt".h"lt"n" Bäugungsbild wird auf dem Leuchtschirm beobachtet'Bild 1. Gesamtonsicht der Elektronenbeugungskommet 2P'100

Bild 2. optisches schema der Erektronenbeugungskommer €p-10o: 1 - Erektronenkonone; 2 -ttonenbeugungskommer:3-Etektronenstrohl:4_Justiersputen;S_Xat"itor-il_-0.*uiiirnJ'st"na.;Rohr der Erek_7 - Hauptabrenkspuren; I - rineareStromverstärt"i;-i -'iriili^;10.- -i+spulen;Kortekturspuren; 1r -12 - Gleichstromyerstärker;.13 - Se/bstschiei6er; _'Zantunc"iu""f,*---j;gtül_i"*,lustrer-'lmpulsversterker lS _mit Diskriminotor ;^l t - rotovervieiliin"i;'tl' Forrodoy-Zyrinder ; 1a -19 - Aufnohmekommerschleuse; 20.- eufnonmepiiü"i; zi - zr"otrtpuren; 22 - proöestück; Erektrcnenfirtet ;23 - linse; 24 - -' --erste Linse: 25 _Stromstoiilisotor; zweiteii _'Hochsponnunerqu.lr--

Zwei alektromagnetische Linsen gewährleisten die Möglichkeit' das Obiekt ineinigen Arbeitsweisen des Geräts zu untersuchen'Arbeitsweise mit kleinem Strom der ersten Linse. ln dieser Arbeitsweise überträstdie erste Linse den Cross-over (kleinster Durchmesser des Strahls nach der"i""r.i..ri",ir.r,en Linsel ohne verkleinerung in die obiektebene der zweiten Linse.Die zweire Linse fokussiert Jiese Abbildunibei geringer Vergrößerung auf den Endschirm.In dieser Arbeitsweise ist die Inte-nsität des Elektronenstrahls maximal, dasÄuflösungsvermögen niedriger, als in der Kennkarte angegeben' aber vollkommengenug für die meisten Untersuchungen.Arbeitsweise mit großem Strom der ersten Linse. ln dieser Arbeitsweise verkleinertdie erste Linse den cross-over um etliche 10 Mal, wobei iedoch die Intensitätdes Elektronenstrahls sinkt. Diese Arbeitsweise gibt maximales Auflösungsvermögen.DieübrigenArbeitsweisenbeiMittelwertendesStromesdererstenLinse,gebender Bedienun-g die Möglichkeit, nötige Auflösung des Beugungsbildes und ihre Intensitätzu wählen.DasBeugungsbildwirdaufeinerFotop|atteodervoneinemE|ektronenempfänger"ufg*o..ö m'it nachfolgender Aufzeiihnung auf einem Selbstschreiberband.Die Elektronenbeugungskammer besteht aus:Stand mit Vakuumanlage und Rohr;Hochspanu ngsquel le;S peisu ngssch ran k.Das Rohr der Elektronenbeugungskammer (Bild 3) ist auf dem Stand aufgebautundenthä|tE|ektronenkanonel,E|ektronen|insenb|ock2,Kammer4,inderderili"u a"r-oui"kttisches 3 eingebaut ist, Tubus mit Se.gmenteinrichtung 6: d"tlui_1"tMikroskop 5'zum Betrachten"der Obiekte aufgestelli ist, und Aufnahmekammer 7mit Bildsihirm zur Beobachtung.SpeisespannungwirdderE|ektronenkanoneübereindreiadrigesHoch-spannungskabei'mitblwehrtär Einführung zugeführt, was stabilen und gefahrlosen Betrieb desGeräts unabhängig von der Luitfeuihtigkeit im Raum gewährleistet'ZumWechse|derKathodewirddasobereGehäusederKanoneumeineAchseuis .um Anschlag abgekippt. lm Gerät ist die Möglichkeit vorausgesehen,, die Elektronenquellein iwei.uÄinander senkrechten Riclitungen bezüglich der Anodenöffnungzu verstellen'DieKathodengruppevereinigtSteuere|ektrode-undKathode.A|sKathodedientein Faden, der an-den'Haltern ängeschweißt ist. Die Halter sind in SteckerstiftenU"f"raiii, äi" "uf einer Tafel montiJrt sind. Beim Wechsel der Kathode wird die Tafelmit deä durchgebrannten Faden abgenommen und durch eine neue ersetzt. Damitdie Kathode zu-r Achse der Steuere-iektrodenöffnung iustiert werden kann, ist dieMöglichkeit vorgesehen, die Steuerelektrode zur Katfode in zwei zueinander senkrechtEnRichtungen zu verstellen. Der Abstand zwischen Kathode und Steuerelektrodewird mit HilfJ einer Gewindeverbindung eingestellt'Die Elektronenkanone wird mit dem Linsenblock verbunden'Der Linsenblock besteht aus zwei elektromagnetischen Linsen' die miteinanderunbeweglich verbunden sind.Die erste Linse arbeitet mit einem Polschuh, der in der matnetischen unterbrechungder Linse eingestelh wird und eine beständige Blende o o,8 mm besitzt.Die zwe-he Linse besitzi einen Polschuh mit großem Durchmesser (40 mm) der In-""iOff"""i. ber polschuh wird in die Linse m-it-Spiel eingebaut. lm u.nmagnetischenö;;i J;t ?olschuhs wird eine auswechselbare Blende angeordnet' eine Platte-Öff*;;";{i9"'I;Jarstellt, deren Dmr' 0,2; 0,3 und 0,4 mm beträgt' D.ie Einführungvon Blende-n verschiedenen Durchmessers unter den Elektronenstrahl wird ohneStörung des Vakuums ausgeführt'unterhalb der auswechselbaren Blende ist eine beständige Blende_ angeordnet,deren Durchmesser 1 mm beträgt. In Betriebweise als schattenrnikroskop wird im,ugn"tir.h"n Spatt des Polschuhs der zweiten Linse ein Polschuh mit beständiSerBlende O 0,8 mm hineingestellt.

'3+Bild 3, Rohr der Elektronenbeugungskommer

Der Linsenblock ist starr an der Objektkammer befestigt' Die Objel

D.i" Elektronenbeugungskamme_r.kann mit Hilfsgerät f1-100 komplettiert werden,das den Betriebsbereich des Geräts erweitert.Alle Ersatz- und Komplettierungsteile werden aus erstklassigen Werkstoffenu nd elektronischen Elementen sowjetischer Herstellu ng gefertigt. Z-usam men bau u ncjustierung der Geräte erfolgen in speziell ausgerüsteten-uia a"t-, angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmännei.A n.T e r k_u n g. Ersatzteile, die eventuell benötigr werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieierbar bestellt werden.HAUPTDATENDie Elektronenbeugungskammer teilt Ref lexe mit Differenz derEbenenabstände (bei d:,l Ä, wo d - Ebenenabstand)Elliptizität der Ringe des Elektronenbeugungsdiagramms,/obeschleunigungsspannung, kVPulsation der Beschleunigungsspannung, mVStrom der ersten Kondensorlinse, mAStrom der zweiten Kondensorlinse. mAStrom der Ablenkspulen, mAVakuum im Rohr des Geräts, mm HgSPumpzeit bis Arbeitsvakuum im Rohr, minAbstand vom Objekt bis zur Platte, mmStabilität des Emissionsstroms während 30 min, /oAbtastzeit, minAnstiegslinearität des Abtastwinkels, /oErwärmungstemperatur des Objekts, bis oCAbkühlungstemperatur des Objekts, bis oCDehnung des Objekts, mmSpeisung:Spannung, V .3801220Frequenz, Hz50Leistungsaufnahme, kW 4Hauptabmessungen, mmlElektronen beugu ngskam merHochspann u ngsquelleS peisu ngssch ran kMasse (ohne Ersatzteil-, Werkzeug- und Zubehörsatz und Trans_portkisten), kg0,0020,325;50;75;100g 30040; 60;80; 1'10;140; 16018...160bis 200\ . ln-510600 und 200> 22,5;5; '10;15;20;30; 40; 60!1+ 1000- 150o,1 . ..202300x1220x9081036 x 620 x7311030x621 x731< 1000

LIEFERSATZElektronenbeugungskammer 3P-100Hochspanu ngsq uelleSpeisu ngssch rankSpeisungsquelle der HilfsgeräteRegistrierstandKabelsatzVakuummeter BhT-2Lüfter BH-8, 220 VErsatzteil- und WerkzeugsatzTechnische Beilagen, SatzI23Wneschtorgisdat Aufttog Nr. 25277418

o -oco ot,O t l' Oo otOatt oOMMASHFFII ETOFI I NTEF|C! M OSI+VA. S5=iFII(OMBIIIIERTE UAITUMAIIIAGE BYII.2I[

KOMBINIERTE VAKUUMANLAGE BYN.2KDie kombinierte vakuumanlage BYfl-2K dient zur verwirklichung von -Arbeitsgängenelektronenmikroskopische-n Präparierens,. d.ie mit zerstäuben von stoffe imVak-uum verbunden sind. Dai Gerät kann zu physikalisch-chemischen Untersuchungenvon Diffusionsmetallisierung im Vakuum und zur Lösung einer ganzen Reihe andererAufgaben verwendet werden.Das Gerät gestattet:die Vorbere-itung von Tragfilmen und Oberflächenabdrücken der zu untersuchendenObiekte;mit Kohlenstoff oder ,,schweren" Metallen obiekte mit schwacher Kontrastwirkungabzutönen;die Erriärmung und Abkühlung von Probestücken beim Aufstäuben;Bild 1. Kombiniefter vokuumstond BYll-2K (Gesamtonsicht): 1 - Heiz- und Kühlblock; 2 - vaku'umstönder:3-vokuummeter;4 - Quorz-Dickenmesser; 5 - Hochsponnungsgleichrichter

Rechts am Gestell sind angeordnet: euarz-Dickenmesser,gleichrichterHochspannungs_und Vakuummeter.speisungsblock,.für Heiz- und Kühlanlage ist auf einem SchwenkarmIinken Seitean dermontiert.Die Vakuumanrase. die zum Erze_ugen und Aufrechterharten desimnötigenArbeitsraumvakuumsundln der vakuumkimmer a"r-ö"rat, dient, gibtbeimdieBetriebMögrichkeit,des Geräts sechs verschiedene Arbertsweisen einzuhalten.1. ,,8K" - Luft in der Glocke.2',,Konnor" (Grocke) - Evakuieren der Grocke auf vorvakuum.3. ,,88" - Evakuieren der Glocke "ut tto.tu"*uurn.4. ,O" - Stillstand.5. Evakuieren der Vakuumkammer auf Vorvakuum.6.,,8H" - Belüften der Vorvakuumpumoe.Die nötige vakuumbetriebsweise wiri Ju?.n einrt"rten dersprechende Handgriffe in ent_Stellung erzielt,Die Schalttafer ist in einem serbständigen Gehäuse montierteingebaut.und ins GerätAuf der schalttafer sind Netzanschrußkremmen, überbrückungensrhaltenzumin Abhängigkeitum-von der tt"t.rp.nnrn!, Schmerzsicherunl"l..,,""in-ü"'lisations- undsign"-Schutzelemente der -Hochvakuumf,umpe angeordnet., 7.'e^.ntzur scharttafer beim Wechsei uon 5i.hu.rngen wirdderüberVorderwandeine Tür andes Gerätegestells gewahrteisä'schalttafel und BlöckeBaugruppendes unoGerät sind mitei-nander a"urctr (abJ-u"J1,".-r."".ui"i""gäi'"JIu'r"a"".und Kontrorre des Geräts i- Äui.iuilfun.jt"'"runtwird vom si.*r'prit'"uJ'"urg"-Der elektrische Schaltplan des Geräts gewährleistet Speisungund Blöckeder Baugruppendes Geräts. Sienärisation, ron.ioil8l"i li"up.uo.grng"Elektrischeund Betriebsweisen.Baugruppen ..äa Brock"'sini uu"r rJ"r'n,,ia steckverbindungen,entsprechende_Gravierungendie durchbezeichnet sind, verbunoen,Are Einzer' und Komprettierungsteire sind aus erstkrassigenelektronischen werkstoffen undBauerementen sowjetiicher Herst-eilung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte werden in ,'p"ri"ii-irig;;-ü;;;"" und dazuunterangepaßtenLeitungRäumenhochqualifizierter Fachmännei "ur""lünr,.An merku ns. .Ersatzteile, die eventr-räll benötigt werden,Ersatzteilkatalogkönnen lautgewahrt ,na g.nJg"nd r.'".ä.i"ig rieferbar besteilt werden,HAUPTDATENDruck in der Vakuumkammer zum Trocknen, mm HgS 8. 10-2Pumpzeit, rninIArbeitsdruck unter der Glocke bei Abkühlung der Vakuumanla_gefalle mittels Wasser und flüssigen Stickstoffs, mm HgS 5. 10-6Verdam pferanzah I3Abstand zwischen Verdampfer und Obiekttisch beim Aufdampfen,Verdampferheizstrom, A;mm30...150bei Spannung 12 Vbei Spannung 24 VNeigungswinkel des Tisches bezüglich Verdampfer0...,t000...500. . . 90oAnzahf der Objekte (D 2 mm1 bei gleichzeitigem Aufstäuben < 25

die Kathodenzerstäubung von Stoffen ;die. lonenätzung der zu untersuchenden objekte und die lonenreinigung desArbeitsrau ms;die vorbereitung von Kohlenwasserstoff ilmen mittels Entladung in Benzoldämpfen;Aufdampfen der zu untersuchenden obiekte nach lonenätzung (ohne störungdes Vakuums);Entgasung, Trocknung und Aufbewahrung im vakuum von präparaten und Fotomaterial;Messung der aufzustäubenden Filmdicke.Das Gerät besitzt eine.Reihe von Einrichtungen zur vorbereitung dünner Filmeverschiedener Stoffe im Vakuum.Aufdampfen._Das verfahren des Aufdampfens beruht auf Kondensation oerDämpfe dieser stoffe auf oberflächen von Gegehständen, die sie umströmen.Das Aufdampfen.geschieht im Arbeitsraum t (Bild 2), der auf ein hohes Vakuumevakuiert ist. Der zu verdampfende sto{f wird in den Verdampfer 2 untergebracht,du.rch den strom durchgelassen wird, der den Stoff bis zur veriampfungr."äp"r"tu.erhitzt. Die Dicke der aufzustäubenden S.chicht hängt von der Menge deJzu verdampfendenStoffes und dem Abstand zwischen verdampfer und proiestück 3 ab. oasGefüge der aufgestäubten- Schicht hängt weitgehend von der Temperatur de,. oberflächeab, auf die der stoff aufgedämpfiwird. lm Gerät isr die Mögli:hkeit vorgesehen,die Erwärmungs- oder Abkührungstemperatur des objekttischei zu regern.'.Kohlenstoffaufdampfen. Das Aufdampfen von Kohlenstoff wird im Gerät mitHilfe einer Einrichtung verwirklicht, die gestattet, die Enden der sich berührenoenKo-h.lenstäbe_infolge des großen übergangswiderstandes der Berührungrriuil" bi,auf verdampfuntstemperatur zu erhitzen, wenn durch sie Strom durchgeüssen wird,Die Kohlenstäbe werden mittels Federn gegeneinander gedrückt.lonenätzung und Kathodenzerstäubung. lonenätzung von Stoffen, lonenreinigungvon unterlagen, Zerstäubung abgekühlter Stoffe u. a. wird im Hilfsgerät verwirkl-kht]das in Bild 3 gezeigt ist.Als- .lonenquelle dient das Plasma einer Gasentladung, die in Entladungskammer6 durch_ein beständiges elektrisches Hochspannungsfeld lehalten wird, das'zwischenAnode 5 und Kathode 2 angelegt ist. Das bas wiä übei Rohr I in die Entlaoungskammereingelassen.. Pu..obiekt3 wird auf der Kathode angeordnet, der oblekthalter 4 in der Näheder Kathode.Die Konstruktion des Tisches sieht die Möglichkeit vor, Höhenlage und Aufstäubungswinkeldes Objekts zu ändern.Durch hermetische Abdichrung der Entladungskammer 6 wird ein Druckgefällezwischen dem Raum unter der Glocke 7 und dei Entladungskammer sichergestellt,wodurch .d.ieGasentladung in der Entladungskammer lokalisiärt werden kannl7ur vorbereitung.von -Abdrückengeitzter oberflächen ist in der Entlaoungskammerein Verdampfer aufgestellt. Kathode und objekte, die auf ihm angeordretwerden, können auf niedrige Temperaturen abgekühlt werden. Dazu wird diekathodeüber ein-e Kälteleitung mit einem Dewarschäm Gefäß verbunden, in das flüssigerStickstoff eingefüllt wird.vorbereitung von Kohlenwasserstoffimen. Das verfahren beruht auf dem Niederschlagenvon Kohlenwasserstoffsplittern aus dem Gasentladungs- und Benzoldämpfplasmaauf eine unterlage, die in der Entladungskammer des Hiifsgeräts zur lonenätzunguntergebracht ist.Konstruktiv besteht das Gerät aus einigen selbständigen Blöcken und Geräten,die Bifd 1 zeigt' lm vakuumständer ist das Vakuumsystem, speisungsblöcke, Einlaßsystemund Verbindungskabel angeordnet.An der linken Seite des Gestells ist der Arbeitstisch zum vakuumpräparierenaufgestellt, am vorderteil - die Steuertafeln und rür zu den Sicherungen dei s.h"lttafelangeordnet. An den Seitenwänden und Rückwand des Gestells siid abnehmbareTafefn vorhanden, die freien zugang zu Innenteilen des Geräts bei Durchprüfungenund Reparaturen gewährleisten,

Bild 2. Aut-dompfen:i - 8e/üften-0+t2+24V,Eild 3. lonenötzung:I - zum Einloßsystem:Il - Evokuieren

Rechts am Gestell sind angeordnet: Quarz-Dickenmesser, Hochspannungsgleichrichterund Vakuummeter.Speisungsblock für Heiz- und Kühlanlage ist auf einem Schwenkarm an derlinken Seite montiert.Die Vakuumanlage, die zum Erzeugen und Aufrechterhalten des nötigen Vakuumsim Arbeitsraum und in der Vakuumkammer des Geräts dient, gibt die Möglichkeit,beim Betrieb des Geräts sechs verschiedene Arbeitsweisen einzuhalten.'1. ,,BK" - Luft in der Glocke.2.,,Konnor" (Glocke) - Evakuieren der Glocke auf Vorvakuum.3. ,,8B" - Evakuieren der Glocke auf Hochvakuum.4. ,,O" - Stillstand.5. Evakuieren der Vakuumkammer auf Vorvakuum.6. ,,8H" - Belüften der Vorvakuumpumpe.Die nötige Vakuumbetriebsweise wird durch Einstellen der Handgriffe in entsprechendeStellung erzielt.Die Schalttafel ist in einem selbständigen Gehäuse montiert und ins Geräteingebaut.Auf der Schalttafel sind Netzanschlußklemmen, Überbrückungen zum Umschaltenin Abhängigkeit von der Netzspannung, Schmelzsicherungen, einige Signalisations-und Schutzelemente der Hochvakuumpumpe angeordnet.Zugang zur Schalttafel beim Wechsel von Sicherungen wird über eine Tür ander Vorderwand des Gerätegestells gewährleistet. Schalttafel und Baugruppen undBlöcke des Geräts sind miteinander durch Kabel und Steckverbindungen verbunden.Steuerung und Kontrolle des Geräts im Betrieb wird vom Steuerpult aus ausgeführt.Der elektrische Schaltplan des Geräts gewährleistet Speisung der Baugruppenund Blöcke des Geräts, Signalisation, Kontrolle der Hauptvorgänge und Betriebsweisen.Elektrische Baugruppen und Blöcke sind über Kabel mit Steckverbindungen, die durchentsprechende Gravierungen bezeichnet sind, verbunden.Alle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassigen Werkstoffen undelektronischen Bauelementen sowjetischer Herstellung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte werden in speziell ausgerüsteten und daiu angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner ausgeführt.Anmerkung. Ersatzteile, die eventuell benötitt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.HAUPTDATENDruck in der Vakuumkammer zum Trocknen, mm HgSPumpzeit, minArbeitsdruck unter der Glocke bei Abkühlung der Vakuumanlagefallemittels Wasser und flüssigen Stickstoffs, mm HgSVerdam pferanzah IAbstand zwischen Verdampfer und Obiekttisch beim Aufdampfen,Verdam pferheizstrom, A :bei Spannung 12 Vbei Spannung 24 VNeigungswinkel des Tisches bezüglich VerdampferAnzahf der Objekte (0 2 mm1 bei gleichzeitigem Aufstäuben8. 10-285. 10-6330...1500...1000...500...900

Abkühlungstemperatur des Tisches zum Aufdampfen von Objekten,oCAbkühlungszeit, minAbkühlungstemperatur des Tisches für lonenätzung, oCAbkühlungszeit, minHeiztemperatur des Oblekttisches des Heizers, oCHeizzeit, minGlühentladungsstrom, mABereich der zu vermessenden Filmdicke, Ä . .Speisu ng :Spannung, V .Frequenz, HzLeistungsaufnahme, kV. A .Hauptausmaße, mm;Vaku u mstan dHochspannu ngsgleichrichterSpeisungsblock des Heizers und KühlersMasse, kg

.-O'-oooo ' Oo otoatt aOMMASHFFIIEIEIF| INTCIFIEI M EISH\,A. =iSiSiRIIIEI| ERFNEQUEIIZ.UITRASGIIATI.l| ISPERGAySllH-l

N I EDERFRES U ENZ. U LTRASCHALLDISPERGA-TOR y3,4H-lDer Dispergator Y3AH-1 dient zum Präparieren elektronenmikroskopischerObjekte aus'kristallinen, pulverförmigen, faserigen und anderen Stoffen und zu ihremAuftragen auf eine Filmunterlage'Aüßer der Elektronenmikroskopie kann das Gerät Y3AH-1 zum Vorbereitenvon suspensionen und Emulsionen ius verschiedenen Stoffen, Abschlämmen kleinerTeile, Bäarbeiten harter und spröder Stoffe mittels beigelegten Strahlers verwendetweroen.Der Ultraschalldispergator y3AH-1 stellt ein Tischgerät dar, das aus ein-em Elek'tronenstrahlgenerator, sieben Ultraschallstrahlern mit exPonentiellen und Rohrkonzentratorenund Stativ besteht.Die vom Röhrengenerator erzeugten elektrischen schwingungen mit_Arbeitsfrequenzen15, 22 undJ5 kHz werden vom magnetostriktiven Wandler der Dispergatoränin mechanische elastische Schwingungen entsprechender Frequenz umgesetzt'die auf das zu dispergierende Medium einwirken.weiter Freouenzbereich und verschiedene Bauarten der Strahler geben dieMöglichkeit, den Einsatz des Geräts zu erweitern. Die Verwendung einer exPonentiellenitrahlerformgestattet, die akustische Leistung bis auf 100 Wlcmzzu konzentrierettund das Arbeitstäil - zaplen (Bild 2) ins Gefäß mit dem zu dispergierenden Stoffzu tauchen. Falls Vorschriften der Hygiene besonders streng eingehalten werden müssenund sogar unbedeutende Beimerlgung von Fremdstoffen unzulässig ist, wird dasDispergieren in einem chemisch reinen, Gefäß ausgeführt, das in einem Rohrkcnzentraior-(Bild 3) mit sphärischem Boden untergebracht wird, um die akustischen Schwingungenim Reagenzglas zu fokussieren.Bild 1. Gesamtonsicht des Ceröts

i.:5 q? o ;ü E-:q ! *;:E i&eSo * \; E:5E9FEh rsii ;(€=e

Der exponentielle Konzentrator Sestattet die erhaltene Suspension auf denr Filmaufzurrag_e.n,um die Aggregation der:ii!",l,i|-N"belTeilchen 'beim Verdamffen derFlussigkeit zu verhüten (Bild 4).Der Röhrengenerator wirj zur Erzeugung elektrischer Schwingungen im Frequenzbereich12 . . .40 kHz und Ausgangsleistun g 400 w verwendet.-De"r Generarorbesteht aus dem Muttergenerator', Leistungsverst-ärker, dem vormagnetiriu-ngr- ,naSpeisu ngsblockDer Bereich der vom Generator erzeugten Schwingungen ist in drei unterbereiche- 15' 22 und 35 kHz unterreilt, mit stuJenloser Reigelüng der Frequenz inunterbereich. ;edemDie Unterbereiche werden rr "ntrpr"ih"ndän Schalter umlesctattet.D_er_Leistungsverstärker stellt die Ausgangsstufe des Generators dar. Er ist aufzwei Röhren in Gegentaktschaltung monti,ert. Als Verbraucher des Leistungsver_stärkers dient der Ausgangstransformator, dessen Sekundärwicklung zur Steckverbin_dl-ng herausgeführt ist, die zum Anschrießen der Wicklung d"r".agnetoJriktiu"nWandler dient.um verluste im Ultraschallfrequenzbereich zu verhüten, ist der Kern des Ausgangstransformatorsaus Stahlband XBfl, Dicke O,0g mm gefertigt.Die stufenlose Regelung der Ausgangsleistung wird mit Hilfe eines Regelwiderstandsverwirklicht. Konstruktiv ist der Röhrengenerator auf einer horizonta]en Montageplattemontiert und in einem MetallgehäusJeingeschlossen, aus dem er an Griffen,die an der vorderen Tafel angeordnet i"i.d, herarisgezogen wird. Das Gehäuse istmit zwei Handgriffen zum Tragen versehen.Di" Lüftung ist. .zwangsläufig und wird durch einen Lüfter BH-g verwirkrichr, cersich gleichzeitig mit der Röhrenaufheizung einschattet.Die Luft wird über Jalousien an den seitenluken der hinteren Gerätegläsereingesautt. Die warme Luft wird über eine öffnung im oberen Deckel des Giräts,die durch ein^Netz abgedeckt ist, herausgeführt. AlIe Steuergriffe sind auf der vordertafeldes Geräts angeordnet.Dispergatoren.Die dienen zum umsetzen der erektrischen Schwingungen inmechanische.Drei der sieben Strahler.(Frequenz 15,22 und 35 kHz) sind mit exponentiellenKonzentratoren ausgerüstet, die in die auszustrahlende FIüssi!keit eingetaucht wercen;drei andere (Frequenz 15,22 und 3s kHz) - mit Rohrkorizentrato-ren zur Bestrahfungvon stoffen, die im Reagenz€ras unteigebracht sind; der retzte stratter Qz *u.1tlt mit einem exponentiellen Konzentrator versehen, an dessen Endstück mittelsGewinde M6 Aufsätze verschiedener Form befestigt werden können. um verrusteder Ultraschallenergie am übergang Konzencratoi-Werkzeug herabzusetzen, mußman darauf achten, daß zuverlässigei Kontakt über der g"ruÄt"n Berührungsflächegewährleistet ist.Als zweckmäß,igste Ausmaße des Arbeitsteirs des Werkzeugs kann angenommenwerden: Länge 10 ...12 mm, Durchmesser bis 10 mm.AIs Werkstoff zur Fertigung von Arbeitswerkzeug kann Stahr, Messing usw.verwendet werden.Dem Aufbau nach besteht der Dispergator aus einem magnetostriktiven Zweistab\/andler,einem Konzentrator, der an iiner der Magnetost"riktorstirnflächen ansgelötetist, und einer Gummizwischenlage, die zur Erzeugung einer einseitig gerichtetenstrahlung an der entge-gengesetztän Magnetostriktörsirrnfläche festtellät ist.Der Zweistabwandler ist aus o,ts mm dickem liickelband gefertigt, das ein'22,5x22,5mm großes Paket bildet, mit aktivem euerschnitt 3 cÄ2.Die. Wicklungen, die auf .beidenKernen des magnetostriktiven wandlers angeordnetsind, sind in Reihe seschaltet, damit die durci sie im paket erzeugten Magnetflüssesich summieren.Das Stativ dient zur Befestigung des Arbeitsdispergarors.Auf der massiven Grundplatte ist über einem Ring ein ständer befestigt, aufdem sich der Halter verschiebt. Der Halter wird auf deä ständer durch eine-Sperrschraubefixiert. Auf der Grundplatte des Stativs sind die Erdklemmen angeordnet.

Alle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassigen Werkstoffen undelek-tronischen Bauelementen sowjetischer Herstellung gefertigi. Zusammenbau undJustierung der Geräte wird in speziell ausgerüsteten u;d daz-u angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner ausgeführt._Anmerkung. Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieierbar bestellt werden.HAUPTDATENArbeitsfrequenzen, kHzAusgangsleistung des Generators, WResonanzfrequenz der Strahler, kHzAkustische Leistung des Strahlers, Wlcmz:RohrstrahlerExponentialstrah lerSpeisung des Geräts:Spannung, V .Freguenz, HzLeistungsaufnahme, WHauptausmaße des Generators, rnmMasse, kg1s, 22, 3s> 4001s, 22, 3sbis 50bis't0022050< 1400315x340x501

o -ot' oooto r lo ot,O ,o ott oOMMASHPFI I ET O R I NTEIFI Gi M CISiHV/\. =i 5=i FlGENÄI NTil ZUM ÄUN MlT AIfiIUEMSAUERSTOFI

GERAT nTK zU}4 ATzeru MIT AKTIVEMSAU ERSTO FFDas Gerät dient zum erektronenoptischen präparierenvon Gummi, Rauhgummi,Polymeren und biologischen obiekten, Untersuchungen in aktiver Sauerstoffatmosphäre,Abscheren von Porymeren und ronenkristailen im vakuum, Aufdampfen vonKohle und Metallen im Varuum.Das Gerät kann in denjenigen Gebieten der Wissenschaft und rechnik eingesetztwerden, die die feine struktur organischer verbindungen mirtels Elektronenmikro_skopie ermitteln müssen.Der Bestimmung nach ist das Gerät vierseitig und verfügt über eine Reihe vonEinrichtungen, deren Wirkungsprinzipien gesondert betrachtet werden müssen.Atzen mit aktivem sauerstoff. Das wirkungsprinzip der vorrichtung zum Atzenorganischer Strukturen mit aktivem Sauerstoff besteht darin, daß durch verbinoung$Jnimt-tt a F-rtHo'hJ. .

atomaren und ionisierten Sauerstoffs mit einzelnen Molekelelementen organischerVerbindungen gasartige Produkte erhalten werden, die mit Hilfe einer Vakuumanlageevakuiert werden.Aufdampfen im Vakuum. Vorbereitung dünner Filme verschiedener Stoffe durchAufdampfen im Vakuum beruht

Die Entladungskammer mit dem Verdampfer wird an der linken Seite des Gestellsmittels vier Schrauben an der Vakuumanlage befestigt.Die Entladungskammer stellt einen Glaszylinder mit an den Enden angelötetenKovarbechern dar, die in Pilzdichtungen einsesetzt werden. Die trichterartige Glasbecher-Blendein der Entladungskammer dient zum Fokussieren des Plasmadiffusionsstromsauf der Oberfläche des Objekts. Auf der Blende ist ein Ring angeordnet, derdazu dient. das Objekt gegen Einwirkung des Hochfrequenzfeldes zu schützen.Der obere Gehäuseteil der Entladungskammer ist auf vier Stiftschrauben montiert,um während der Evakuierung keinen Druck auf den Glaszylinder entstehen zu lassen.Zur Beobachtung des Verdampfers und der Abschervorrichtung sind zwei Fenstervorgesehen. Sauerstoff wird der Entladungskammer über einen Stutzen zugeführt,lm unteren Gehäuseteil der Entladungskammer ist eine bewegliche Klappe eingebaut,an der die Pumpgeschwindigkeit geregelt und ein Druckgefälle zwischen Arbeitsraumund Vakuumanlage gewährleistet wird, das groß genug ist, um normalenBetrieb der Öldiffusionspumpe sicherzustellen beim Einlassen von Sauerstoff in denArbeitsrau m.Die Schalttafel ist als gesonderter Block ausgeführt und im Inneren des Gerätsmontiert.Auf der Schalttafel sind Klemmen zum Anschluß ans Netz, Brücken zum Umschaltenin Abhängigkeit von der Netzspannung, Schmelzsicherungen, einige Signalisations-und Schutzelemente der Hochvakuumpumpe u. a. m. angeordnet.Zugang zur Schalttafel zum Wechsel von Sicherungen wird über eine Tür an derVorderwand des Gerätegestells 8ewährleistet.Elektrische Verbindung der Schalttafel mit Baugruppen und Blöcken des Gerätswird mittels Kabel und Steckverbindungen verwirklicht.Steuerung und Betriebskontrolle des Geräts wird vom Steuerpult aus ausgeführt.Der Röhrengenerator ist auf einer selbständigen MontaSeplatte aufgebaut undwird ins Gestell des Geräts montiert. Die vorderegeneigte Tafel des Generators dientgleichzeitig als rechtes Steuerpult des Geräts.Der Generator wird an der Schalttafel mit Hilfe eines biegsamen Kabels und speziellerSteckverbindung angeschlossen. Steuergriffe zum Regeln der Leistung undFrequenz, Kippschalter zum Einschalten des Anodengenerators und Milliamperemeterzum Andern des Generatorstroms sind an der Vordertafel angeordnet.Der elektrische Schaltplan gewährleistet Speisung der Blöcke, Signalisation undKontrolle der Hauptvorgänge und Arbeitsweisen des Geräts.Alle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassigen Werkstoffen undelektronischen Elementen sowjetischer Herstellung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte erfolgen in speziell ausgerüsteten und dazu angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner.Anmerkung.Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.

HAUPTDATENHöchstvakuum in der Entladungskammer bei Abkühlung der Hochvakuumfalledurch Wasser, mrn HgSHöchstvakuum in der Entladungskammer bei Abkühlung derHochvakuumfalledurch Wasser und flüssigen Stickstoff, mm HgSFrequenzbereich des Generators der ungedämpften Schwingungen,MHzAmplitudenwert der Hochfreguenzspannung, kVLeistung des Generators der ungedämpften Schwingungen, V.AHeizstrom des Verdampfers, A:bei Spannung 12 Vbei Spannung 24 Vzulässige Spannungsschwankungen,/oAbkühlungstemperatur des Objekttisches, oCNeigungswinkel des Obiekttisches bezüglich VerdampferSpeisu ng :Spannung, VFrequenz, HzLeistungsaufnahme,kV.A .Wasserdurchf I uß, I I minHauptausmaße, mmMasse, kg1 . 10-41 . 10-52,2...3,3>1> 1000...1000...s0+10q-1500...900220138050< 2,51,5...21130x640x130< 300LIEFERSATZGerät nTK zum Atzen mit aktivem SauerstoffErsatztei lsatzWerkzeug- und ZubehörsatzTechnische Beilagen, Satz

atomaren und ionisierten Sauerstoffs mit einzelnen Molekelelementen organischerVerbindungen gasartige Produkte erhalten werden, die mit Hilfe einer Vakuumanlageevakuiert werden.Aufdampfen im Vakuum. Vorbereitung dünner Filme verschiedener Stoffe durchAufdamofen im Vakuum beruht

Die Entladungskammer mit dem Verdampfer wird an der linken Seite des Gestellsmittels vier Schrauben an der Vakuumanlage befestigt'Die Entladungskammer stellt einen Glaszylinder mit an den Enden angelötetenKovarbechern dar, die in Pilzdichtungen eingesetzt werden' Die trichterartiSe Glasbecher-Blendein der Entladungskammer dient zum Fokussieren des Plasmadiffusionsstromsauf der Oberfläche des Oblekts. Auf der Blende ist ein Ring angeordnet, derdazu dient. das Objekt gegen Einwirkung des Hochfrequenzfeldes zu schützen.Der obere Gehäuseteil der Entladungskammer ist auf vier Stiftschrauben montiert,um während der Evakuierung keinen Druck auf den Glaszylinder entstehen zu lassen.Zur Beobachtung des Verdampfers und der Abschervorrichtung sind zwei Fenstervorgesehen, Sauerstoff wird der Entladungskammer über einen Stutzen zugeführt.lm unteren Gehäuseteil der Entladungskammer ist eine bewegliche Klappe eingebaut,an der die Pumpgeschwindigkeit geregelt und ein Druckgefälle zwischen Arbeitsraumund Vakuumanlage gewährleistet wird, das groß Senug ist, um normalenBetrieb der öldiffusionspumpe sicherzustellen beim Einlassen von Sauerstoff in denArbeitsrau m,Die Schalttafel ist als gesonderter Block ausgeführt und im Inneren des Gerätsmonciert.Auf der Schalttafel sind Klemmen zum Anschluß ans Netz, Brücken zum Umschaltenin Abhängigkeit von der Netzspannung, Schmelzsicherungen, einige Signalisations-und Schutzelemente der HochvakuumpumPe u. a. m. angeordnet.Zugang zur Schalttafel zum Wechsel von Sicherungen wird über eine Tür an derVorderwand des Gerätegestells gewährleistet.Elektrische Verbindung der Schalttafel mit Baugruppen und Blöcken des Gerätswird mittels Kabel und Steckverbindungen verwirklicht.Steuerung und Betriebskontrolle des Geräts wird vom Steuerpult aus ausgeführt'Der Röhrengenerator ist auf einer selbständiSen MontaSePlatte aufgebaut undwird ins Gestell des Geräts montiert. Die vorderegeneigte Tafel des Generators dientgleichzeitig als rechtes Steuerpult des Geräts.Der Generator wird an der Schalttafel mit Hilfe eines biegsamen Kabels und speziellerSteckverbindung angeschlossen. Steuergriffe zum Regeln der Leistung undFrequenz, Kippschalter zum Einschalten des Anodengenerators und Milliamperemeterzum Andern des Generatorstroms sind an der Vordertafel angeordnet.Der elektrische Schaltplan gewährleistet Speisung der Blöcke, Signalisation undKontrolle der Hauptvorgänge und Arbeitsweisen des Geräts.Alle Einzel- und Komplettierungsteile sind aus erstklassigen Werkstoffen undelektronischen Elementen sowjetischer Herstellung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte erfolgen in speziell ausgeriisteten und dazu angepaßten Räumenunter Leitung hochqualifizierter Fachmänner.Anmerkung.Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.

jlifol2o-- g ot oOMMA=;HPFlI EICIFI I NTEIFTGI MOSHVA. SiSiSFIIO]I E]I.PUIIIffZERSTAUBEN ITP

IONEN - PUNKTZERSTAUECN |i/.TPDer lonen-Punktzerstäuber lulTP dient zur Vorbereitung von Testobjekten' diedas Auflösungsvermögen von Elektronenmikroskopen bis 4 Ä bestimmen erlauben;Herstellung hochdurchsichtiger Filmunterlagen aus Kohlenstoff, Dicke 10 Ä undmehr; Abschattung von Repliken oder beliebiger elektronenmikroskopischer Präparatemittels ,,schwerer" zähflüssiger Metalle; Herstellung mehrschichtiger obiektezum Registrieren der Spuren von Kernzerfallsplittern schwerer Kerne; Herstellungvon Metallprobestücken, deren Dicke 50 . . . 2000 A beträgt, für Durchstrahlungsuntersucnu n8.Das Gerät kann auf allen Gebieten der Wissenschaft und Technik eingesetzt werden,die das Aufstäuben dünner durchsichtiger und homogener Schichten von Metallenund Halbleitern benötigen.Die Wirkung des vollen Punktzerstäubers beruht auf dem Zerstäuben des Kathodenstoffesdurch Edelgasionen, die ein elektrisches Feld bis auf einige Kiloelektronenvoltbeschleunigt und in Solenoidmagnetfeldern zu einer ,,Schnur" fokussiert wurden,deren Durchmesser 0,2. . .0,5 mm beträgt. Der Durchmesser des zerstäubten Abschnittsder Kathode stimmt mit dem Durchmesser der,,lonenschnur" überein. Diegroße Dichte des lonenstroms in der ,,Schnur" erlaubt hohe Aufstäubungsgeschwindigkeiten,,schwerer"Metalle und unterhält die Gasentladung in höherem Vakuum, alsbei gewöhnlicher Glimmentladung'Die kleine Fläche des Teilabschnitts, von der die Zerstäubung verwirklicht wird,erlaubt die Zerstäubungsstelle sogar bei kleiner Entfernung bis zum aufgestäubtenObjekt als Punkt zu betrachten, was bei Aufstäubung unter Winkel sehr wesentlichist.Die Vorrichtung der Kathodenzerstäubung erlaubt atomare Strahlenbündel deszu zerstäubenden Stoffes zu erhalten und dünne Filme vorzubereiten, die keine eigeneStruktur besitzen,Zur epitaksialen ZÜchtung von Filmen ist im Gerät ein Heizer und ein Kühlerder Objektkammer vorgesehen'Hauptelemente des Gerätes sind: Vakuumanlage, Entladungskamnter, Ein laß-system, Hochspannungsgleichrichter und Niederspannungsgleichrichter'Mit Hilfe der vakuumanlage wird die objektkammer auf hohes vakuum evakuiert.Der Aufbau der vakuumanlage läßt den Betrieb des Geräts in fünf verschiedenenArbeitsweisen zu.1. ..8K" - Luft in der Kammer.2. ,,Kamepa"- Evakuieren der Kammer auf Vorvakuum'3. Evakuieren der Glocke auf Hochvakuum.4. ,O" - Stillstand.5. ..8H" - Einlaß von Luft in die VorvakuumPumPe.Die nötige Arbeitsweise wird erzeugt, indem die steuergriffe in entsprechendeStellung gestellc werden.Das Vakuum in der Arbeitskammer wird mit Hilfe von Manometergebern fiT-2und IIM-2 geändert.In der Entladungskammer werden die zu fertigenden obiekte aufgestäubt. DasGehäuse der Kammer (s. Bild 2) ist auf der Vakuumanlage aufgestellt. Der Außenraum,

Esi q , . ' . b < F r , . i t r . '; !:1r ;ts-s ;i;....."-5:rI! ,,...t; s€ägä;g$är€äs3r3 ggsN l l t r t t r r r r r t l t t t t t t t t t t t t t t l- r t t t t t t t t t t t l< F N q $ h € N a 6 O F N q v b I N a 6 e: N o s h I N 6 6 e€ F NNNNNNNNNNqfl

der durch Gehäuse 2, Glaszylinder 14 und Deckel 17 gebildet wird, auf dem der zuerdende Schutzschirm 18 montiert ist, wird auf Hochvakuum evakuiert.In den Innenraum wird über Rohr 30 Arbeitsgas mit Hilfe der Einlaßanlageingelassen.Da die Stoßflächen der Innenraumteile eingeschliffen sind, herrscht während desBetriebes der Entladungskammer im Innenraum ein höherer Druck als im Außenraum.Dieses ist notwendig, um die Entladung anzuzünden und ihre Arbeitsweise zu regeln.Bei Hochspannung zwischen Kathoden lI undl und zylindrischer Anode 10 entstehteine Gasentladung, die in eine ,,Schnur" zusammengedrückt wird, die mit Hilfedes Magnetfeldes der solenoide 9 längs der Anodenachse gerichtet wird. Der Höhenach können die Solenoide eingestellt werden.lm,,Berührungspunkt" der Entladungsschnur mit der Kathode wird der Kathodenstoffzerstäubt. Teilchen des zerstäubten Stoffes gelangen über die öffnung inder Anode auf den Objekttisch 8.Die Jalousie 25 schirmt die Obiekttische vom aufstäubenden Bündel ab.Die Kathode ist bezüglich Anodenachse beweglich. Sie kann mit Hilfe von vierGriffen 21 in zwei zueinander senkrechten Richtungen um :t 3 mm zur Mitte verstelltwerden. Dieses gibt die Möglichkeit, ohne das vakuum zu stören und den Zerstäubungsprozesszu unterbrechen, die Zerstäubung mehrerer Stoffe nacheinander auszuführenund Mehrschichtobiekte zu fertigen.Um ein besseres vakuum im Entladungsraum zu erreichen und die Temperaturder objel

An der Hinterwand befinden sich Steckverbindungen für Kabelanschluß undKlemme ,,Erde".Der Block steht auf Gummipuffern.Alle Einzel- und Komplettierungsteile werden aus erstklassigen Werkstoffen undelektronischen Elementen sowietischer Herstellung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte werden in speziell ausgerüsteten und dazu angepaßten Räumenunter Leitung erstklassiger Fachmänner ausgeführt.Anmerkung.Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.HAUPTDATENArbeitsvakuum in der Kammer ohne Stickstoffalle der VakuumanlageBA-0,5-4 einzuschalten, mm HgS 1 ' 10-5Pumpzeit, min 10Höchste Beschleunigungsspannung am Ausgang des Hochspannungsgleichrichtersohne Belastung, kV 12Bereich der Solenoidstromregelung, Ä 0. . .7,5Maximaler Gasentladungsstrom bei Spannung 10 kV' nA 0,2Gesamtfläche des aufzustäubenden Abschnitts yon vier Tischen,mmL 320N eigu ngswin kelbereich des Obiekttisches bezüglich des aufzutäubendenBündels0. ..900Speisung:Spannung, V . 220/380Frequenz, Hz 50Leistungsaufnahme,kV'A .

LIEFERSATZlonen-Pu n ktzerstäu berHochspan nu ngsgleichrichterN ied erspan n u ngsg leich richterlonisationsvakuummeter mit Thermoelement Bl4T-1AErsatzteil- und VorrichtungssatzWerkzeug- und ZubehörsatzTechnische Beilagen, Satz

'tl'-ooo o , Oo otoatt of,)MMASiHPFII EItrI Fl I n|TctFtG: M trI SHVA. =i SiS FTPJEZOETEI(TRISCHES UTTRAMIIffiOTOyMTn-2

PIEZO ELEKTRTSCH ES ULTRAMTKROTOMyMTn-2Das plezoelektrische Ultramikrotom YMTfl-2 (Bild 1) dlent zur Erzeugung ultradünnerund dünner Schnitte histologischer, biologischer und dichterer Objekte zurnachfolgenden Untersuchung und Erforschung ihrer Struktur mit Hilfe von ElektronenundLichtmikroskopie.Der weite Bereich der im Gerät zu erhaltenden Schnitte der zu präparierendenObjekte nach Dicke und Härte gibt die Möglichkeit das Gerät in der Medizin, Biologieund Chemie zum Präparieren zu verwenden, um histologische und biologische Objekte,technische Faser, Absorbtionsmittel, Katalisatoren und weiche Mineralien zu untersucnen.Die goniometrische Einrichtung gibt die Möglichkeit das Oblekt beim Schneidenunter verschiedenen Winkeln zu orientieren,Der überfeine Vorschub der Obiektkapsel mit dem Obiekt im Ultramikrotomwird dadurch verwirklicht, daß der piezokeramische Block der MikroverstellungenBild 1, Pjezoelektrisches UltromikrotomYMTIl-2

unter Einwirkung der zugeführten Treppenspannung seine Länge ändert, d. h. eswird der reziproke Pjezoeffekt ausgenutzt.Das Wirkungsprinzip des Geräts kann am Getriebeplan des YMTfl-2 (Bild 2)verfolgt werden,Am unbeweglichen Ständer 1 ist an Feder 2 Metallstab 3 befestigt, auf dem derpjezoelektrische Kopf 4 angeordnet ist. Die Schnitte werden ausgeführt, wenn dievom E-Motor angetriebene Patrone 6 des Objekts sich am Messer 7 vorbeibewegt.Bei direcktem Gang des Objekts wird dem plezoelektrischen Kopf 4 beständigeSpannung vom Treppenspannungsformer 8 zugeführt, Die Vorschubgröße des Ob,jektshängt von der zugeführten Spannung ab.Rückwärtsgang des Oblekts vollzieht sich beim Spannungslosmachen des p.jezoelektrischenKoofes,Der Vorschubswert wird durch die Differenz der Spannungsstufen bei den zuuntersuchenden Schnitten bestimmt.Die Konstruktion des Ultramikrotoms gestattet selbsttätig Schnittserien von ie256 Schnitten sowie Einzelschnitte auszuführen (nötigenfalls können Schnitte derDicke über 0,1 pm erhalten werden). Durch Anderung der Spannungsstufen im Treppenspannungsformer8 kann der nötige Vorschubswert erzielt werden.Die Schnittgeschwindigkeit wird durch Anderung der Drehzal des Motors geregelt.Um maximale Leistungsfähigkeit zu erzielen, bewegt sich der Schwinghebel aufdem Leerlaufabschnitt mit beständiger erhöhter Geschwindigkeit, auf der 5 mm lan-8en Schnittstrecke - mit vorgegebener regelbarer Geschwindigkeit.lm Konstruktionsprinzip des Geräts liegt die Verwendung der Pjezostriktionder Keramik zur Verwirklichung der Mikroverstellungen, wodurch gewährleistetwird:Trägheitslosigkeit im Betrieb;hohe Wiederholungsfähigkeit der Schnittserien;Unabhängigkeit der Spandicke von der Schnittgeschwindigkeit;Unempfindlichkeit gegenüber der Umgebung-stemperatur;Teilung der Vorschubwerte unmittelbar in l.Das Gerät ist in Form von zwei Blöcken - Schnittblock und Steuerblocr -ausgeführt, die auf dem gemeinsamen Tisch montiert sind.Der Schnittblock stellt eine massive Graugußgrundplatte dar, die speziell dazuentworfen wurde, SchwinSungen zu absorbieren und dem gesamten Schnittblockhohe Starrheit zu verleihen.An der Vorderseite der Grundplatte ist der Werkzeugträger befestigt, der allemöglichen Verstellungen des Messers gewährleistet.Am Ständer, der am hinteren Teil der Grundplatte angeordnet ist, ist übereiner breiten Bandfeder ein Schwinghebel befestigt, an dessen freiem Ende der pjezoelektrischeKopf der Mikroverstellungen mit der goniometrischen Einrichtung undObjekthalter sitzt.Der besonders konstruierte Schwinghebeltrieb versetzt das Objekt in eine schwingungslosePendelbewegung.Der Schwinghebeltrieb besitzt ein Kurvengetriebe, das mit dem Steuerpult übereine Kontaktgruppe trlockeirt ist, die die Geschwindigkeit der Schwinghebelbewegungändern und den Vorschub einschalten kann.Der Schwinghebel stellt einen stabilen Stahlstab dar, der über eine Feder elastischmit der Grundplattensäule so verbunden ist, daß sein freies Ende in vertikaler Ebeneeinen Bogen beschreibt, ohne seitlichen Verschiebungen.Am freien Schwinghebelende sitzt der Blockhalter für Mikroverstellungen mitdem Kontaktsitz. Der Halter gewährleistet Verstellung des Mikroverstellungsblocks invertikaler Ebene und ist mit Hilfe des Kurventriebs starr befestigt.Der pjezokeramische Block für Mikroverstellungen dient zum überfeinen Vorschubder Kapsel mit dem Objekt aufs Messer. Er besteht aus pjezokeramischenScheiben, ö 25 mm, Dicke 1 mm, die als eine Säule zusammengeklebt sind. An denäußeren Scheiben sind Pfropfen angeklebt; der eine - zum Befestigen am Schwinghebel,der zweite mit dem Kurventrieb - zum Befestigen der goniometrischen Einrichtung.

Bild2,GeüiebeplondesGerätsYMT1-2:1-Ständer;2-Bondfeder;3-Stob;4-pjezoelektrischerKopf; 5 - E-Motor; 6 - p617pns zum Befestigen des Objekts; 7 - Messer;8 - TrcppensDonnungsformer; 9 - Umrechnungsblock auf Binarzellen; 10 - Schnittzöhler;11 - Steuersignolformer; 12 - Rege/b/ock der SchnittgeschwindigkeitZur Verleihung mechanischer Festigkeit und Dichtheit ist der völlig zusammengebauteBlock für Mikroverstellungen in einem Metallgehäuse untergebracht.Die goniometrische Einrichtung dient zur Orientierung des Objekts im Raumwährend des Schnittvorgangs und stellt ein Segment dar, auf dessen Führungen sichder Patronenhalter mit dem Objekt bewegt. Der Krümmungshalbmesser der Führungist so gewählt, das die Spitze der Objektpyramide sich im Drehpunkt befindet.Der Objekthalter besteht aus zwei Hälften, die mit einer Schraube verschraubtsind. Die Patronen mit dem zentralen zylindrichen Sitz, Dmr. 5,7 und I mm, gestattendie Befestigung von Blöcken, die in Kapseln ab Nr. 4 bis Nr. 10 geformt wurden.Der Patronenschaft paßt wie zum Patronenhalter der goniometrischen Einrichtung,so auch zum Spannfutter-Halter, das am Werkzeugträ8er beim Schleifen desBlocks angebaut wirC.Der Werkzeugträger dient zur Befestigung des Messers und seiner zügigenVerschiebung zum Oblekt.Die Konstruktion erlaubt:Einstellungswinkel der hinteren Schnittkante des Messers bezüglich Vertikalebeneim Bereich 0 . . . 10 Winkelgraden zu ändern;das Messer in Vorschubsrichtung grob und fein zu verstellen (Längsvorschub);das Messer in Richtung zu bewegen, die senkrecht der Vorschubsrichtungdes Objekts (Quervorschub); istdas Messer um die Vertikalachse zu drehen.

Um vom Schnittblock Schwingungen möglichst fernzuhalten, wird bei erhöhterGebäudeschwingung eine besondere schwingungsdämpfende Unterlage verwendet,die auf einer stoßdämpfenden Unterlage aufgestellt wird.Beobachtung des Schnittvorgangs, der Entfernung der Schnitte von der Lösungsoberflächeund ihre Beförderung aufs Netz, Vorbereitung der Kapsel mit dem Obiektund der Messerschneide, Zustellung des Messers zur Kapsel mit dem Objekt, Entfernungdefekter Schnitte usw. werden mit Hilfe eines stereoskopischen Binokularmikroskopsausgeführt, mit fixierter Brennweite.Das Mikroskop wird auf dem oberen Deckel des Schnittblocks aufgestellt, wassehr bequem ist wie bei unmittelbarer Arbeit am Ultramikr:otom, so auch bei Vorbereitungder Kapsel mit dem Oblekt für den Schnittvortang.Das Nachleuchten des Objekts wird durch eine Leuchtstoffröhre verwirklicht,die im Mikroskophalter eingebaut ist.Damit beim Schnittvorgang der Kontakt mit dem Schnittblock minimal ist, sindalle Steuergriffe des Geräts in einem gesonderten Steuerblock vereinigt, der in derTischplatte einmontiert ist,Die Steuergriffe betätigend, die an der Vordertafel des Blocks angeordnet sind,können Schnittdicke oder Arbeitsgangart genau und schnell geändert werden.Das Ultramikrotom ist zum Betrieb in Laborbedingungen bei relativer Feuchtigkeit60...80/o und Umgebungstemperatur + 20 + 15"C vorgesehen.Um stabilen Betrieb des Geräts zu gewährleisten, soll es nicht in der Nähe vonFenstern, Heizkörpern, Heizanlagen, Kühlschränken und anderen Wärme- ooerKälterquellen aufgestellt werden, die den Arbeitsablauf beeinflussen können.Alle Einzel- und Komplettierungsteile des Geräts sind aus erstklassigen Werkstoffenund elektronischen Elementen sowietischer Herstellung gefertigt. Zusammenbauund justierung der Geräte werden in speziell ausgerüsteten und dazu angepaßtenRäumen unter Leitung hochqualifizierter Fachmänner ausgeführt.Anmerkung. Ersatzteile, die eventuell benötigt werden, können lautErsatzteilkatalog gewählt und genügend kurzfristig lieferbar bestellt werden.HAUPTDATENGröße der Mikrovorschübe, ÄSchnittffäche, mm2Schnittleistung, SchnitteSchnittgeschwindigkeit (lineare), mm/sArbeitsschnttkraft, NHöchste Schnittzahl pro ZyklusVertikalhub des Objekts, mmWert der Pjezostriktion, pmSpeisung des Geräts:Frequenz, HzSpannung, V .Leistungsaufnahme, WHauptausmaße, mmMasse, kg50. . . 1002025613+3>2550220=< 1801175x610x1050

LIEFERSATZUltramikrotom yMTn-2Schnittblock yMTn-2TafelErsatzteil-, Werkzeug- und ZubehörsatzTechnische Beilagen, SatzEQQQQQQQ r.\ z=f=a=';zZJrg'-_'MASi H FFt r E\ZEr Fr I NTEI Fr cilZ,lZOOMASHPF TETORINTOFIG-SSSFt]vlOSHVAG-200lt.MOS|{VAMASHPRIETOFtWneschtorgisdot. Auftrog N r. 25277411 3