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Elektronenmikroskop - Mikroskopfreunde-Nordhessen

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Das Gasverteirsystem der Einrichtung zum untersuchen von objekten in Gasatmosphäreerlaubt:die Mikrokammer mit Luft, irgendeinem Gas oder einer Gasmischung aufzufüten;die Mikrokammer bis auf nötiges Vakuum zu evakuieren:die objektschleuse beim Einführen oder Wechsern des objekts zu evakuieren.-,_, D", Vermittlungssystem ist als heraustragbarer pult ausgeführt, der am Mikro_skopstand befestigt wird.Auf dem Pult sind drei steuerungshähne, die miteinander über Gummischräuchenverbunden sind, und zwei vakuumrn-ete.r angeordnet. Gesamtschrrapiun'aä'mutationr".-zeigt Bild 2. Alle Hähne sinC der K-ückenhahnbauarr, was äi"gibt'märti.f,t"itdie Pumpceit in Abhängigkeir von der Große a_ei Du*hi"ääri"r"s'Der.i,t'r"g"rn.Hauptteir des Hahns isiier hohre H"hnkegei (Bird 3). r- Huh;k;;"f]inaBoh.rungenar"ivorhanden. Zwei dieser öffnungen iind'auf eiler uotre an!?ärin".,im Hahngehäuseai"dem stutzen 3 entsoricht, äer aen Hahn mit der Mikrokammerbindet,ver_die dritte.öffnung riegt auf äer u6ne do ctrt."n, 4, der zur oul"r...inr"ur"führt. Eine der öffnungen iit keirförmig, *oai,i.n das pumpzeitverhärtnißobjektschteusevonund Karimer geändert wörden L"nn. dä;ä;5inöfr;;i'ili',rnr".der Horizontare. Dieses erlaubt nur die objektslhr;";"-t;;;k-"1;;;;:Hahn;;""um"".15o gedreht wird,und, aus. der stettrnj-,,u.nro3. Ka'€pa" (obiektschreuse)stellungin.,:ynf3" (Schreuse) gebracht wira, aa "hieiuei die öfinuni ini-i"hng;naur",die zur Mikrokammer führt; überdeckt wird.Die dritte Öffnung dient zur Zuführung von Gas in die Mikrokammer.Der Druck in der schreuse und in der Kammer wird mit zweivermessen;vakuummeternder eine zeigt den Druck in der Kammer, der zweite - in a". sct i"uru un.Die Differenz der vakuummeterangaben während der Evakuation dergibtoblektschreusedie Druckdifferenz auf den ichutzfirmen der obiektkam.".- "n.-'-'-'--'I.t.ITBild 2, Kommutotionsscholtplan :1 - Kommer;2-schleuse;3,4,5-Hohn. l_Luft; ll _ EvokuationI

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