Rechts am Gestell sind angeordnet: euarz-Dickenmesser,gleichrichterHochspannungs_und Vakuummeter.speisungsblock,.für Heiz- und Kühlanlage ist auf einem SchwenkarmIinken Seitean dermontiert.Die Vakuumanrase. die zum Erze_ugen und Aufrechterharten desimnötigenArbeitsraumvakuumsundln der vakuumkimmer a"r-ö"rat, dient, gibtbeimdieBetriebMögrichkeit,des Geräts sechs verschiedene Arbertsweisen einzuhalten.1. ,,8K" - Luft in der Glocke.2',,Konnor" (Grocke) - Evakuieren der Grocke auf vorvakuum.3. ,,88" - Evakuieren der Glocke "ut tto.tu"*uurn.4. ,O" - Stillstand.5. Evakuieren der Vakuumkammer auf Vorvakuum.6.,,8H" - Belüften der Vorvakuumpumoe.Die nötige vakuumbetriebsweise wiri Ju?.n einrt"rten dersprechende Handgriffe in ent_Stellung erzielt,Die Schalttafer ist in einem serbständigen Gehäuse montierteingebaut.und ins GerätAuf der schalttafer sind Netzanschrußkremmen, überbrückungensrhaltenzumin Abhängigkeitum-von der tt"t.rp.nnrn!, Schmerzsicherunl"l..,,""in-ü"'lisations- undsign"-Schutzelemente der -Hochvakuumf,umpe angeordnet., 7.'e^.ntzur scharttafer beim Wechsei uon 5i.hu.rngen wirdderüberVorderwandeine Tür andes Gerätegestells gewahrteisä'schalttafel und BlöckeBaugruppendes unoGerät sind mitei-nander a"urctr (abJ-u"J1,".-r."".ui"i""gäi'"JIu'r"a"".und Kontrorre des Geräts i- Äui.iuilfun.jt"'"runtwird vom si.*r'prit'"uJ'"urg"-Der elektrische Schaltplan des Geräts gewährleistet Speisungund Blöckeder Baugruppendes Geräts. Sienärisation, ron.ioil8l"i li"up.uo.grng"Elektrischeund Betriebsweisen.Baugruppen ..äa Brock"'sini uu"r rJ"r'n,,ia steckverbindungen,entsprechende_Gravierungendie durchbezeichnet sind, verbunoen,Are Einzer' und Komprettierungsteire sind aus erstkrassigenelektronischen werkstoffen undBauerementen sowjetiicher Herst-eilung gefertigt. Zusammenbau undJustierung der Geräte werden in ,'p"ri"ii-irig;;-ü;;;"" und dazuunterangepaßtenLeitungRäumenhochqualifizierter Fachmännei "ur""lünr,.An merku ns. .Ersatzteile, die eventr-räll benötigt werden,Ersatzteilkatalogkönnen lautgewahrt ,na g.nJg"nd r.'".ä.i"ig rieferbar besteilt werden,HAUPTDATENDruck in der Vakuumkammer zum Trocknen, mm HgS 8. 10-2Pumpzeit, rninIArbeitsdruck unter der Glocke bei Abkühlung der Vakuumanla_gefalle mittels Wasser und flüssigen Stickstoffs, mm HgS 5. 10-6Verdam pferanzah I3Abstand zwischen Verdampfer und Obiekttisch beim Aufdampfen,Verdampferheizstrom, A;mm30...150bei Spannung 12 Vbei Spannung 24 VNeigungswinkel des Tisches bezüglich Verdampfer0...,t000...500. . . 90oAnzahf der Objekte (D 2 mm1 bei gleichzeitigem Aufstäuben < 25
die Kathodenzerstäubung von Stoffen ;die. lonenätzung der zu untersuchenden objekte und die lonenreinigung desArbeitsrau ms;die vorbereitung von Kohlenwasserstoff ilmen mittels Entladung in Benzoldämpfen;Aufdampfen der zu untersuchenden obiekte nach lonenätzung (ohne störungdes Vakuums);Entgasung, Trocknung und Aufbewahrung im vakuum von präparaten und Fotomaterial;Messung der aufzustäubenden Filmdicke.Das Gerät besitzt eine.Reihe von Einrichtungen zur vorbereitung dünner Filmeverschiedener Stoffe im Vakuum.Aufdampfen._Das verfahren des Aufdampfens beruht auf Kondensation oerDämpfe dieser stoffe auf oberflächen von Gegehständen, die sie umströmen.Das Aufdampfen.geschieht im Arbeitsraum t (Bild 2), der auf ein hohes Vakuumevakuiert ist. Der zu verdampfende sto{f wird in den Verdampfer 2 untergebracht,du.rch den strom durchgelassen wird, der den Stoff bis zur veriampfungr."äp"r"tu.erhitzt. Die Dicke der aufzustäubenden S.chicht hängt von der Menge deJzu verdampfendenStoffes und dem Abstand zwischen verdampfer und proiestück 3 ab. oasGefüge der aufgestäubten- Schicht hängt weitgehend von der Temperatur de,. oberflächeab, auf die der stoff aufgedämpfiwird. lm Gerät isr die Mögli:hkeit vorgesehen,die Erwärmungs- oder Abkührungstemperatur des objekttischei zu regern.'.Kohlenstoffaufdampfen. Das Aufdampfen von Kohlenstoff wird im Gerät mitHilfe einer Einrichtung verwirklicht, die gestattet, die Enden der sich berührenoenKo-h.lenstäbe_infolge des großen übergangswiderstandes der Berührungrriuil" bi,auf verdampfuntstemperatur zu erhitzen, wenn durch sie Strom durchgeüssen wird,Die Kohlenstäbe werden mittels Federn gegeneinander gedrückt.lonenätzung und Kathodenzerstäubung. lonenätzung von Stoffen, lonenreinigungvon unterlagen, Zerstäubung abgekühlter Stoffe u. a. wird im Hilfsgerät verwirkl-kht]das in Bild 3 gezeigt ist.Als- .lonenquelle dient das Plasma einer Gasentladung, die in Entladungskammer6 durch_ein beständiges elektrisches Hochspannungsfeld lehalten wird, das'zwischenAnode 5 und Kathode 2 angelegt ist. Das bas wiä übei Rohr I in die Entlaoungskammereingelassen.. Pu..obiekt3 wird auf der Kathode angeordnet, der oblekthalter 4 in der Näheder Kathode.Die Konstruktion des Tisches sieht die Möglichkeit vor, Höhenlage und Aufstäubungswinkeldes Objekts zu ändern.Durch hermetische Abdichrung der Entladungskammer 6 wird ein Druckgefällezwischen dem Raum unter der Glocke 7 und dei Entladungskammer sichergestellt,wodurch .d.ieGasentladung in der Entladungskammer lokalisiärt werden kannl7ur vorbereitung.von -Abdrückengeitzter oberflächen ist in der Entlaoungskammerein Verdampfer aufgestellt. Kathode und objekte, die auf ihm angeordretwerden, können auf niedrige Temperaturen abgekühlt werden. Dazu wird diekathodeüber ein-e Kälteleitung mit einem Dewarschäm Gefäß verbunden, in das flüssigerStickstoff eingefüllt wird.vorbereitung von Kohlenwasserstoffimen. Das verfahren beruht auf dem Niederschlagenvon Kohlenwasserstoffsplittern aus dem Gasentladungs- und Benzoldämpfplasmaauf eine unterlage, die in der Entladungskammer des Hiifsgeräts zur lonenätzunguntergebracht ist.Konstruktiv besteht das Gerät aus einigen selbständigen Blöcken und Geräten,die Bifd 1 zeigt' lm vakuumständer ist das Vakuumsystem, speisungsblöcke, Einlaßsystemund Verbindungskabel angeordnet.An der linken Seite des Gestells ist der Arbeitstisch zum vakuumpräparierenaufgestellt, am vorderteil - die Steuertafeln und rür zu den Sicherungen dei s.h"lttafelangeordnet. An den Seitenwänden und Rückwand des Gestells siid abnehmbareTafefn vorhanden, die freien zugang zu Innenteilen des Geräts bei Durchprüfungenund Reparaturen gewährleisten,
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