Elektronenmikroskop - Mikroskopfreunde-Nordhessen

IONEN - PUNKTZERSTAUECN |i/.TPDer lonen-Punktzerstäuber lulTP dient zur Vorbereitung von Testobjekten' diedas Auflösungsvermögen von Elektronenmikroskopen bis 4 Ä bestimmen erlauben;Herstellung hochdurchsichtiger Filmunterlagen aus Kohlenstoff, Dicke 10 Ä undmehr; Abschattung von Repliken oder beliebiger elektronenmikroskopischer Präparatemittels ,,schwerer" zähflüssiger Metalle; Herstellung mehrschichtiger obiektezum Registrieren der Spuren von Kernzerfallsplittern schwerer Kerne; Herstellungvon Metallprobestücken, deren Dicke 50 . . . 2000 A beträgt, für Durchstrahlungsuntersucnu n8.Das Gerät kann auf allen Gebieten der Wissenschaft und Technik eingesetzt werden,die das Aufstäuben dünner durchsichtiger und homogener Schichten von Metallenund Halbleitern benötigen.Die Wirkung des vollen Punktzerstäubers beruht auf dem Zerstäuben des Kathodenstoffesdurch Edelgasionen, die ein elektrisches Feld bis auf einige Kiloelektronenvoltbeschleunigt und in Solenoidmagnetfeldern zu einer ,,Schnur" fokussiert wurden,deren Durchmesser 0,2. . .0,5 mm beträgt. Der Durchmesser des zerstäubten Abschnittsder Kathode stimmt mit dem Durchmesser der,,lonenschnur" überein. Diegroße Dichte des lonenstroms in der ,,Schnur" erlaubt hohe Aufstäubungsgeschwindigkeiten,,schwerer"Metalle und unterhält die Gasentladung in höherem Vakuum, alsbei gewöhnlicher Glimmentladung'Die kleine Fläche des Teilabschnitts, von der die Zerstäubung verwirklicht wird,erlaubt die Zerstäubungsstelle sogar bei kleiner Entfernung bis zum aufgestäubtenObjekt als Punkt zu betrachten, was bei Aufstäubung unter Winkel sehr wesentlichist.Die Vorrichtung der Kathodenzerstäubung erlaubt atomare Strahlenbündel deszu zerstäubenden Stoffes zu erhalten und dünne Filme vorzubereiten, die keine eigeneStruktur besitzen,Zur epitaksialen ZÜchtung von Filmen ist im Gerät ein Heizer und ein Kühlerder Objektkammer vorgesehen'Hauptelemente des Gerätes sind: Vakuumanlage, Entladungskamnter, Ein laß-system, Hochspannungsgleichrichter und Niederspannungsgleichrichter'Mit Hilfe der vakuumanlage wird die objektkammer auf hohes vakuum evakuiert.Der Aufbau der vakuumanlage läßt den Betrieb des Geräts in fünf verschiedenenArbeitsweisen zu.1. ..8K" - Luft in der Kammer.2. ,,Kamepa"- Evakuieren der Kammer auf Vorvakuum'3. Evakuieren der Glocke auf Hochvakuum.4. ,O" - Stillstand.5. ..8H" - Einlaß von Luft in die VorvakuumPumPe.Die nötige Arbeitsweise wird erzeugt, indem die steuergriffe in entsprechendeStellung gestellc werden.Das Vakuum in der Arbeitskammer wird mit Hilfe von Manometergebern fiT-2und IIM-2 geändert.In der Entladungskammer werden die zu fertigenden obiekte aufgestäubt. DasGehäuse der Kammer (s. Bild 2) ist auf der Vakuumanlage aufgestellt. Der Außenraum,