Die Mikrokammer ist im unteren Teil der Oblektpatrone 2 angeordnet'Die Mikrokammer ist in Strahlrichtung oben und unten durch zwei Blenden 5und / begrenzt. Die zueinander gerichteten Oberflächen der Blenden sind mit einemSchutzfilm bedeckt, der das Ausströmen des Gases in die Mikroskopröhre verhindert.Zwischen den Blenden ist der geschlitzte Ring 6 angeordnet, durch den das Gasin die Mikrokammer einströmt. Durch die Höhe des Ringes wird die Höhe der Gasschichtin der Mikrokammer geregelt (ca. 0,2 mm).Die Mikrokammer wird mittels Gummidichtungen abgedichtet. Um Ladungskonzentrationauf den Dichtungen zu verhüten, die in unmittelbarer Nähe des Strahlenbündelsliegen, werden diese Dichtungen abgeschirmt.Ein wesentliches Element der Konstruktion bilden die Formwarschutzfilme. Siesind so dünn (250 Ä), Caß sie keine wesentliche Streuung der Elektronen hervorrufen,sind aber widerstandsfähig genug, um der nöti8en Drucl
Das Gasverteirsystem der Einrichtung zum untersuchen von objekten in Gasatmosphäreerlaubt:die Mikrokammer mit Luft, irgendeinem Gas oder einer Gasmischung aufzufüten;die Mikrokammer bis auf nötiges Vakuum zu evakuieren:die objektschleuse beim Einführen oder Wechsern des objekts zu evakuieren.-,_, D", Vermittlungssystem ist als heraustragbarer pult ausgeführt, der am Mikro_skopstand befestigt wird.Auf dem Pult sind drei steuerungshähne, die miteinander über Gummischräuchenverbunden sind, und zwei vakuumrn-ete.r angeordnet. Gesamtschrrapiun'aä'mutationr".-zeigt Bild 2. Alle Hähne sinC der K-ückenhahnbauarr, was äi"gibt'märti.f,t"itdie Pumpceit in Abhängigkeir von der Große a_ei Du*hi"ääri"r"s'Der.i,t'r"g"rn.Hauptteir des Hahns isiier hohre H"hnkegei (Bird 3). r- Huh;k;;"f]inaBoh.rungenar"ivorhanden. Zwei dieser öffnungen iind'auf eiler uotre an!?ärin".,im Hahngehäuseai"dem stutzen 3 entsoricht, äer aen Hahn mit der Mikrokammerbindet,ver_die dritte.öffnung riegt auf äer u6ne do ctrt."n, 4, der zur oul"r...inr"ur"führt. Eine der öffnungen iit keirförmig, *oai,i.n das pumpzeitverhärtnißobjektschteusevonund Karimer geändert wörden L"nn. dä;ä;5inöfr;;i'ili',rnr".der Horizontare. Dieses erlaubt nur die objektslhr;";"-t;;;k-"1;;;;:Hahn;;""um"".15o gedreht wird,und, aus. der stettrnj-,,u.nro3. Ka'€pa" (obiektschreuse)stellungin.,:ynf3" (Schreuse) gebracht wira, aa "hieiuei die öfinuni ini-i"hng;naur",die zur Mikrokammer führt; überdeckt wird.Die dritte Öffnung dient zur Zuführung von Gas in die Mikrokammer.Der Druck in der schreuse und in der Kammer wird mit zweivermessen;vakuummeternder eine zeigt den Druck in der Kammer, der zweite - in a". sct i"uru un.Die Differenz der vakuummeterangaben während der Evakuation dergibtoblektschreusedie Druckdifferenz auf den ichutzfirmen der obiektkam.".- "n.-'-'-'--'I.t.ITBild 2, Kommutotionsscholtplan :1 - Kommer;2-schleuse;3,4,5-Hohn. l_Luft; ll _ EvokuationI
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