Elektronenmikroskop - Mikroskopfreunde-Nordhessen

entsprechende elektrische Elemente ersetzt sind: Lichtquelle - durch Elektronen'quelle, Glaslinsen - durch elektromagnetische Linsen'Als Elektronenbündelquelle dient eine Elektronenkanone' die aus Kathode,fokussierender Elektrode und Anode besteht'DieE|ektronenkanoneerzeuSteinElektronenbünde|,dasmitHi|fevonKondensorlinsengeformt und auf das zu untersuchende objekt gerichtet wird' Das Elektronenbünde|,dasdurchdasobjekthindurchgegangenist,ge|angtindieobjektiv|inse'die die vergrößerte Abbildung des Oblekts erzeugt' Darauf geraten die Elektronenin die Zwischenlinse, die dazu dient, die Vergrößerung des Mikroskops stufenlos zuändernundeinBeugungsbildvonTei|abschnittenderzuuntersuchendenProbestückezu erzeugen.DienächsteLinse(Projektiv)entwirftdieendgü|tigevergrößerteAbbi|dungderobiekteaufdemLeuchtschirm.DieVergrößerungdesEndbi|desaufdemBi|dschirmläßt sich als Produkt der Vergrößerungen bestimmen, die Objektiv-, Zwischen- undProiektivlinse geben.Zum Betrieb mit hoher Auflösung muß das Gerät sorgfältig iustiert, AstiSmatis'musdesObjektivsamStigmatoraufMinimumherabgesetzt'aufstabileArbeitdesSpeisungsblocks geachtet, Vibration und andere Störungen behoben werden'DaszuuntersuchendeobjektmußauchmitRücksichtaufdieForderunSendesBetriebs mit hoher Auflösung vorbereitet werden (kleine GeschwindiSkeitsstreuungderElektronen,diedurchdasObiekthervorgerufenwird'hoherBildkontrast'Strahlenbündelfestigkeitu. a. m.).DieJustierungdesE|ektronenmikroskopsverfo|gtzweiZie|e:ErhaltunghöchsterBildhelligkeit und schaffung von Bedingungen, bei denen sphärische und chromatischeAberration aufs Minimum herabgesetzt wären'A|sE|ektronenque||ewirdimMikroskopeineV-artigeWolfram-Glühkathodeverwendet,ZwischenKathodeundfokussierenderElektrodeisteinenesativeSpannung(Gittervorspannung) angelegt, deren Wert stufenlos geändert werden kann' DieKathode ist in der fokussierenden Elektrode angeordnet, wodurch eine gute Lenkungdes Elektronenbündels erreicht wird.Die Dichte des Elektronenbündels auf dem obiekt ist gruncsätzlich durch folgendeFaktoren begrenzt: TemPerature der Kathode; Kathodenergiebigkeit; Beschleunigungsspannung;Konvergenzwinkel des auf das Obiekt fallenden Strahlenbündels(Apertur); Aberration des Fokussiersystems'Der Wert der BeschleunigungssPannung ist fürs gegebene Mikroskop festgelegt'Die Dichte des Elektronenbündelstroms kann durch Steigerung der Kathodenergiebigkeiterhöht werden. Die Steigerung der Wolframkathodenergiebigkeit ist nurdurchErhöhungderGlühtemPeraturmöglich,wasseinerseitsiedochzurKürzungihrer Lebensdauer führt. Die Stromdichte des Bündels hängt auch von der Lage der Kathodebezüg|ichfokussierenderE|ektrodeab.DieStromdichtekanngesteigertwerden,indem die Vorspannung geregelt wird. Hierbei erreicht die Stromdichte den Höchstwertnur bei einer gewissen tptimalen Vorspannung' Dieses ist auf die Wirkung derchromatischen Aberration zurückzuführen, die durch die Feldinhomogenität an derKathodenspitze hervorgerufen wit d'Um die Beleuchtung des Obiekts in weitem Bereich ändern zu können' wird insBestrah|ungssystemeinKondensoreingeführt.IneinemKondensorsystemmiteinerLinse kann der Strahldurchmesser, der auf dem Obiekt fokussiert ist' auf etwa