Elektronenmikroskop - Mikroskopfreunde-Nordhessen

Zwei alektromagnetische Linsen gewährleisten die Möglichkeit' das Obiekt ineinigen Arbeitsweisen des Geräts zu untersuchen'Arbeitsweise mit kleinem Strom der ersten Linse. ln dieser Arbeitsweise überträstdie erste Linse den Cross-over (kleinster Durchmesser des Strahls nach der"i""r.i..ri",ir.r,en Linsel ohne verkleinerung in die obiektebene der zweiten Linse.Die zweire Linse fokussiert Jiese Abbildunibei geringer Vergrößerung auf den Endschirm.In dieser Arbeitsweise ist die Inte-nsität des Elektronenstrahls maximal, dasÄuflösungsvermögen niedriger, als in der Kennkarte angegeben' aber vollkommengenug für die meisten Untersuchungen.Arbeitsweise mit großem Strom der ersten Linse. ln dieser Arbeitsweise verkleinertdie erste Linse den cross-over um etliche 10 Mal, wobei iedoch die Intensitätdes Elektronenstrahls sinkt. Diese Arbeitsweise gibt maximales Auflösungsvermögen.DieübrigenArbeitsweisenbeiMittelwertendesStromesdererstenLinse,gebender Bedienun-g die Möglichkeit, nötige Auflösung des Beugungsbildes und ihre Intensitätzu wählen.DasBeugungsbildwirdaufeinerFotop|atteodervoneinemE|ektronenempfänger"ufg*o..ö m'it nachfolgender Aufzeiihnung auf einem Selbstschreiberband.Die Elektronenbeugungskammer besteht aus:Stand mit Vakuumanlage und Rohr;Hochspanu ngsquel le;S peisu ngssch ran k.Das Rohr der Elektronenbeugungskammer (Bild 3) ist auf dem Stand aufgebautundenthä|tE|ektronenkanonel,E|ektronen|insenb|ock2,Kammer4,inderderili"u a"r-oui"kttisches 3 eingebaut ist, Tubus mit Se.gmenteinrichtung 6: d"tlui_1"tMikroskop 5'zum Betrachten"der Obiekte aufgestelli ist, und Aufnahmekammer 7mit Bildsihirm zur Beobachtung.SpeisespannungwirdderE|ektronenkanoneübereindreiadrigesHoch-spannungskabei'mitblwehrtär Einführung zugeführt, was stabilen und gefahrlosen Betrieb desGeräts unabhängig von der Luitfeuihtigkeit im Raum gewährleistet'ZumWechse|derKathodewirddasobereGehäusederKanoneumeineAchseuis .um Anschlag abgekippt. lm Gerät ist die Möglichkeit vorausgesehen,, die Elektronenquellein iwei.uÄinander senkrechten Riclitungen bezüglich der Anodenöffnungzu verstellen'DieKathodengruppevereinigtSteuere|ektrode-undKathode.A|sKathodedientein Faden, der an-den'Haltern ängeschweißt ist. Die Halter sind in SteckerstiftenU"f"raiii, äi" "uf einer Tafel montiJrt sind. Beim Wechsel der Kathode wird die Tafelmit deä durchgebrannten Faden abgenommen und durch eine neue ersetzt. Damitdie Kathode zu-r Achse der Steuere-iektrodenöffnung iustiert werden kann, ist dieMöglichkeit vorgesehen, die Steuerelektrode zur Katfode in zwei zueinander senkrechtEnRichtungen zu verstellen. Der Abstand zwischen Kathode und Steuerelektrodewird mit HilfJ einer Gewindeverbindung eingestellt'Die Elektronenkanone wird mit dem Linsenblock verbunden'Der Linsenblock besteht aus zwei elektromagnetischen Linsen' die miteinanderunbeweglich verbunden sind.Die erste Linse arbeitet mit einem Polschuh, der in der matnetischen unterbrechungder Linse eingestelh wird und eine beständige Blende o o,8 mm besitzt.Die zwe-he Linse besitzi einen Polschuh mit großem Durchmesser (40 mm) der In-""iOff"""i. ber polschuh wird in die Linse m-it-Spiel eingebaut. lm u.nmagnetischenö;;i J;t ?olschuhs wird eine auswechselbare Blende angeordnet' eine Platte-Öff*;;";{i9"'I;Jarstellt, deren Dmr' 0,2; 0,3 und 0,4 mm beträgt' D.ie Einführungvon Blende-n verschiedenen Durchmessers unter den Elektronenstrahl wird ohneStörung des Vakuums ausgeführt'unterhalb der auswechselbaren Blende ist eine beständige Blende_ angeordnet,deren Durchmesser 1 mm beträgt. In Betriebweise als schattenrnikroskop wird im,ugn"tir.h"n Spatt des Polschuhs der zweiten Linse ein Polschuh mit beständiSerBlende O 0,8 mm hineingestellt.