IMR 265 Betriebsanleitung

Pirani (Kontrollbereich)Innerhalb gewisser Grenzen ist die Wärmeleitfähigkeit von Gasen druckabhängig.Diese physikalische Erscheinung wird im Wärmeleitungs-Vakuummeter nach Piranizur Druckmessung ausgenützt. Als Messschaltung wird eine selbstabgleichendeBrückenschaltung verwendet. Als Messelement wird ein dünner Wolframdrahtverwendet. Mit einer geeigneten Regelschaltung wird der Widerstand des Drahtesund damit seine Temperatur konstant gehalten. Die dem Draht zugeführteelektrische Leistung ist dann ein Maß für die Wärmeleitung und damit den Gasdruck.Das Grundprinzip der verwendeten selbstabgleichenden Brückenschaltungzeigt Figur 2.U B+ –IMR 265Figur 2Die Brückenspannung U B ist ein Maß für den Gasdruck und wird elektronischweiterverarbeitet (Linearisierung, Digitalisierung).Messbereich, SchaltschwelleDie IMR 265 deckt den Messbereich 2×10 -6 … 1000 mbar ab.Heißkatode HP2 × 10 -6 mbarPirani1000 mbar5 × 10 -2 mbar ... 1 mbar wählbareSchaltschwelle (Umschaltpunkt)• Das Pirani überwacht dauernd den Druck.• Die Heißkatode (gesteuert durch das Pirani) wird erst bei Drücken