IMR 265 Betriebsanleitung
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AnhangA: Beziehung zwischenMesssignal und DruckUmrechnungsformelnMessbereich Heißkatode:p = 10 U-c 1⇔ U = c 1 + log 10 pp = 10 4(U-c 2)Messbereich Pirani:⇔ U = c 2 + 0.25 log 10 pU p c 1 c 2 U p c 1 c 2[V] [mbar] 7.5 9 [V] [micron] 4.625 8.281[V] [µbar] 4.5 8.25 [V] [Pa] 5.5 8.5[V] [Torr] 7.625 9.031 [V] [kPa] 8.5 9.25[V] [mTorr] 4.625 8.281wobeip DruckU Messsignalc1, c2 Konstante (abhängigvon der Druckeinheit)gültig im BereichHeißkatode:1.50 V ≤ U ≤ 7.50 VPirani:8.50 V ≤ U ≤ 9.75 VUmrechnungskurveDruck p [mbar]1E+031E+021E+011E+001E–01overrange1E–021E–031E–041E–051E–060.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.010.2Messsignal U [V]BG 5172 BDE (2011-10) <strong>IMR</strong><strong>265</strong>.bet 25
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