IMR 265 Betriebsanleitung

UmrechnungstabelleMesssignal U[V][mbar]Druck p[Torr][Pa]0 … 0.5 Sensorfehler (sensor error)0.5 … 1.5 Messbereichsunterschreitung (underrange)1.52.53.54.55.56.57.57.5 … 8.0HP Heißkathoden-Ionisations-System1.0×10 -61.0×10 -51.0×10 -41.0×10 -31.0×10 -21.0×10 -117.5×10 -77.5×10 -67.5×10 -57.5×10 -47.5×10 -37.5×10 -27.5×10 -1 1.0×10 -41.0×10 -31.0×10 -21.0×10 -1110100Messbereichsüberschreitung (overrange)8.0 … 8.5 Messbereichsunterschreitung (underrange)8.58.759.09.259.59.759.75 … 10.2Pirani-System1.0×10 -21.0×10 -111010010007.5×10 -37.5×10 -27.5×10 -17.575750110100100010000100000Messbereichsüberschreitung (overrange)B: GasartabhängigkeitUnter 10 -1 mbar,HP Heißkatoden-MessbereichFür andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnungermittelt werden:p eff = K × angezeigter Druckwobei Gasart KLuft (N 2 , O 2 ) 1.0Xe 0.4Kr 0.5Ar 0.8H 2 2.4Ne 4.1He 5.9Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.26 BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265