IMR 265 Betriebsanleitung

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UmrechnungstabelleMesssignal U[V][mbar]Druck p[Torr][Pa]0 … 0.5 Sensorfehler (sensor error)0.5 … 1.5 Messbereichsunterschreitung (underrange)1.52.53.54.55.56.57.57.5 … 8.0HP Heißkathoden-Ionisations-System1.0×10 -61.0×10 -51.0×10 -41.0×10 -31.0×10 -21.0×10 -117.5×10 -77.5×10 -67.5×10 -57.5×10 -47.5×10 -37.5×10 -27.5×10 -1 1.0×10 -41.0×10 -31.0×10 -21.0×10 -1110100Messbereichsüberschreitung (overrange)8.0 … 8.5 Messbereichsunterschreitung (underrange)8.58.759.09.259.59.759.75 … 10.2Pirani-System1.0×10 -21.0×10 -111010010007.5×10 -37.5×10 -27.5×10 -17.575750110100100010000100000Messbereichsüberschreitung (overrange)B: GasartabhängigkeitUnter 10 -1 mbar,HP Heißkatoden-MessbereichFür andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnungermittelt werden:p eff = K × angezeigter Druckwobei Gasart KLuft (N 2 , O 2 ) 1.0Xe 0.4Kr 0.5Ar 0.8H 2 2.4Ne 4.1He 5.9Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.26 BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265
Über 10 –2 mbar,Pirani-Messbereichp (mbar)10 2864H 2He NeLuftN 2O 2CO2CO 210 1AnzeigenbereichAr86über 10 -2 mbar4Kr2Xe10 0864210 –18642H 2O-Dampf10 –2 10 –3 2 4 6 810 –2 2 4 6810 –1 2 4 6810 0 2 4 6810 1 2 4 6810 2Freon 12p eff(mbar)VorsichtOft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Einegenaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgerätenmöglich.BG 5172 BDE (2011-10) IMR265.bet 27
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Seite 19 und 20: Stift durch die Öffnung führen u
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