in positiven Fotolacken mit ultrakurzen Laserpulsen

Danksagungen
Die Verleihung meines Doktorgrades habe ich mit viel Freude und großem Stolz erlebt.
Dennoch habe ich all die Menschen nicht vergessen, die mich auf dem Weg dorthin begleitet
und unterstützt haben.
Zuerst danke ich meine Doktorvater Prof. Dr.-Ing. habil. Andreas Ostendorf, der mir
die Möglichkeit gab, diese Arbeit erstellen zu können und die Begutachtung der Arbeit
übernahm. Weiterhin möchte ich mich auch bei Prof. Dr.-Ing. Alfred Ludwig für die
Zweitbegutachtung bedanken. Seine Anregungen und kritischen Kommentare haben zum
Gelingen dieser Arbeit beigetragen.
In gleichem Maße bedanke ich mich bei Jun. Prof. Dr. rer. nat. Evgeny L. Gurevich für
die viele Zeit, die er für mich opferte und die zahlreichen Diskussionen und Anregungen.
Ohne seinen wertvollen Rat wäre diese Arbeit nicht entstanden.
Als Ansprechpartner für alle Fragestellungen die Programmierung betreffend war Dr.-Ing.
Dipl. Phys. Thomas Weigel immer für mich da, weswegen ich mich bei ihm ebenfalls
bedanken will. Ein Dank gebührt auch allen anderen Mitarbeitern des Lehrstuhls für
Laseranwendungstechnik für die zahlreichen zielführenden Diskussionen und das Ertragen
meiner ab und zu gestressten Laune. Besonders Dipl.-Ing. Ralf Nett war immer ein
zuverlässiger Ansprechpartner und Unterstützer, vor allem hinsichtlich der Laborarbeit.
Ein besonderer Dank gilt Dr. Christine Schuster und dem Team der micro resist technology
GmbH für die vielen Gespräche und Diskussionen sowie die Unterstützung in Bezug auf die
Verwendung der positiven Fotolacke.
Einen großen Dank auch an meine Freundin Katrin Sinha für das Lesen der Arbeit und
die langen Nächte im Kampf gegen den Rechner und die Textverarbeitungsprogramme.
Ohne Dich wäre das ganze hier nichts geworden.
Mein besonderer Dank gilt meinen Eltern und meinem Sohn, die immer ein Rückhalt waren
und mich vorbehaltlos unterstützt haben, sowie meinen Freunden für die Aufmunterungen
und die entgegengebrachte Nachsicht.
Abschließend liegt es mir noch am Herzen Holger Deimann und den Mitgliedern der Luta
Livre Akademie in Dortmund für die großartige Hilfe beim Stressabbau zu danken.