Modulhandbuch Studiengang Micro Systems and Nano Technologies

Modulhandbuch 

Studiengang Micro Systems and Nano Technologies (22.12.2012) 

Master of Engineering 

Fachhochschule Kaiserslautern 

Standort Zweibrücken 

FB Informatik und Mikrosystemtechnik 

Amerikastr. 1 

66482 Zweibrücken 

Telnr.: +49 (0)631 / 3724-5301 

Faxnr.: +49 (0)631 / 3724-5305 

E-Mail: Christine.Huemer@fh-kl.de 

Homepage: http://www.fh-kl.de

Modulhandbuch - Micro Systems and Nano Technologies (MNT09-MA) - Master of Engineering 

Details zum Studiengang 

Abschluss Master of Engineering 

Studienort/-form Zweibrücken /Präsenzstudium 

Fachbereich Informatik und Mikrosystemtechnik 

Regelstudienzeit 3 Semester 

Studienbeginn Sommersemester und Wintersemester 

Akkreditierung 

Weitere Informationen 

Dekanat (Sekretariat) Christine Huemer 

Telnr.: +49 (0)631 / 3724 5301 

Faxnr.: +49 (0)631 / 3724 5305 

E-Mail: Christine.Huemer@fh-kl.de 

Fachstudienberatung Prof. Dr. Monika Saumer 

Telnr.: +49 (0)631 / 3724 5420 

Faxnr.: +49 (0)631 / 3724 5305 

E-Mail: Monika.Saumer@fh-kl.de 

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1. Semester Kondensierte Materie (MN 01) 

Modulnummer: MN 01 Prüfungsnummer: Kurzzeichen: 

Lernziele: Ziel des Moduls sind fundierte Kenntnisse in den wesentlichen 

Themengruppen der Festkörperphysik (Kristallografie, Elektronen im 

Festkörper, Frequenzabhängigkeit der Dielektrizitätskonstante, 

Gitterschwingungen). Die Lernziele umfassen das Verständnis der 

fundamentalen Konzepte, Anwendung und Übertragung dieser 

Konzepte auf spezifische Problemstellungen sowie das Lösen 

quantitativer Probleme. Im Hinblick auf die Bedeutung von 

Halbleitern in der Mikrotechnik und in der Mikroelektronik wird die 

Halbleiterphysik in einer gesonderten Vorlesung vertieft. 

Eingangsvoraussetzungen: Mathematik für Ingenieure und Naturwissenschaftler Physik für 

Ingenieure und Naturwissenschaftler Halbleitermaterialien und 

Halbleiterprozesse 

Prüfungsart: Prüfungsleistung 

Prüfungsform: Klausur Halbleiterphysik - Semiconductor Physics 

Umfang: Summe ECTS P.: 5 / Summe SWS: 4 

Gesamtprüfung - Anteil: 8,50 % 

zugehörige Veranstaltungen: Halbleiterphysik - Semiconductor Physics 2V 

Festkörperphysik - Solid State Physics 2V 

Modulverantwortlich: Prof. Dr. Hildegard Möbius 

Prof. Dr. Konrad Wolf 

Veranstaltung Halbleiterphysik - Semiconductor Physics (MN 01-1) 

Veranstaltungsnummer: MN 01-1 Kurzzeichen: Semester: 1 

Inhalt: Kristallgitter und Bänderschema von Halbleitermaterialien (direkte 

und indirekte Halbleiter); 

Zustandsdichte, Fermi-Dirac-Verteilung, Fermi-Energie, Intrinsic- 

Dichte; 

Elektronen, Löcher, effektive Masse von Ladungsträgern; 

Dotierung von Halbleitern: 

Donatoren und Akzeptoren, Quasi-Fermi-Niveaus; 

Ladungsträgerkonzentration und Leitfähigkeit in dotierten 

Halbleitern; 

Ladungsträgergeneration und -rekombination; 

Optische Übergänge in Halbleitern (Exzitonen, Absorption, 

Rekombination) 

Heterostrukturen (Band- und Kristallstruktur von Heterostrukturen, 

Gitterfehlanpassung, Verspannung, Relaxation, kritische 

Schichtdicke, band-gap engineering); 

Laserdioden als Anwendung von Heterostrukturen (Ladungsträger- 

Confinement, Licht-Confinement). 

Crystal structure and energy-bands of semiconductor materials 

(direct and indirect semiconductors); 

density of states, Fermi-Dirac distribution, Fermi-level, Intrinsic 

density of charge carriers; 

electrons, holes, effective mass of charge carriers; 

doped semicondcutors: 

Donors and acceptors; 

Quasi-Fermi levels; 

carrier concentration and conductivity in doped semiconductors; 

drift-velocity, mobility of charge carriers, scattering processes; 

generation- and recombination-processes at thermal equilibrium; 

optical processes in semiconductors (excitons, absorption, 

recombination) Heterostructures (band structure and crystal 

structure of heterostructures, lattice mismatch, strain, relaxation, 

critical thickness, band-gap engineering); 

laser diodes as application of heterostructures (charge carrier 

confinement and light confinement). 

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Studienbehelfe / Literatur: Recommended readings: 

1. Sima Dimitrijev: Understanding Semiconductor Devices; Oxford 

University Press 

2. Robert F. Pierret: Semiconductor Device Fundamentals; 

Addison-Wesley 

3. S.M. Sze: Phyics of Semiconductor Devices; Wiley 

4. S.M. Sze: Semiconductor Devices, Physics and Technology; 

Wiley 

5. H. Ibach &H. Lüth: Solid State Physics; Springer 

6. Bergmann-Schäfer: Lehrbuch der Experimentalphysik 

7. Festkörper; Walter de Gruyter 

8. Charles Kittel: Introduction to Solid State Physics 

Lehrsprache: Language of instruction: Englisch oder Deutsch (abhängig von 

Teilnehmern) English or German (dependent on participants) 

Präsenzzeit: 23 Stunden Präsenzzeit 

Umfang: ECTS P.: 2,50 / SWS: 2V 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Konrad Wolf 

Veranstaltung Festkörperphysik - Solid State Physics (MN 01-2) 


Inhalt: - Kristallographie (Kristallgitter, Punktgruppen, Raumgruppen, 

Symmetrieoperationen, Reziprokes Gitter, Millersche Indizes) 

- Röntgenstrukturanalyse (Beugung an periodischen Strukturen) 

- Elektronen im Festkörper (Modell des freien Elektronengases, 

Bändertheorie) 

- Dielektrische Eigenschaften (Elektronische Polarisation und 

optische Eigenschaften von Isolatoren, optische Eigenschaften von 

Metallen und Halbleitern) 

- Dynamik des Kristallgitters (Gitterschwingungen, Spezifische 

Wärme von Kristallen, Phononen Spektroskopie) 

- structure of solid matter (fundamental types of lattices, point 

groups, space groups, symmetry operations, reciprocal lattice, 

Miller indices) 

- X-ray diffraction (diffraction from periodic structures) 

- electrons in soild matter (the free electron model, band theory) 

dielectric properties (electronic polarizability and optical properties 

of insulators, optical properties of metals and semiconductors) 

- crystal dynamics (crystal vibrations, thermal properties, phonon 

spectroscopy) 

Studienbehelfe / Literatur: Kittel: Einführung in die Festkörperphysik, Oldenbourg 

Ibach-Lüth: Festkörperphysik, Springer Kittel: Introduction to Solid 

State Physics, Wiley 

Ibach-Lüth: Solid State Physics, Springer 

Ashcroft, Mermin, Solid State Physics, Saunders College 

Publications 

Lehrsprache: English or German 



Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Hildegard Möbius 

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1. Semester Simulation und Design (MN 06) 


Lernziele: CAE-Simulation Die Studierenden sollen in die Theorie und Praxis 

der CAE-Simulationsmethodik mittels der Finite-Elemente- 

Methode(FEM) eingeführt werden. Hierzu sollen sie zunächst in die 

Grundlagen der Kontiuumsmechanik (Boltzmannkontinuum) 

eingeführt werden. Das Verständnis für die Modellierung des 

Wekstoffverhaltens typischer Materialien der Mikro- und 

Nanotechnologie stehen dabei im Vordergrund. Weiterhin sollen die 

Studierenden in die Lage versetzt werden Simulationsaufgaben aus 

dem Bereich der Dynamik sowie Thermodynamik 

(Wärmeleitung/thermomechanische Kopplung) zu lösen. Anhand 

verschiedener ausgewählter Beispiele sollen die Studierenden das 

Erlernte in die Praxis umsetzen können. Hierzu wird auf das CAE- 

Softwarepaket I-DEAS zurückgegriffen und das speziell erworbene 

Fachwissen in speziellen Laborübungen vertieft. 

Eingangsvoraussetzungen: 

Biodesign: 

Beim BIODESIGN handelt es sich nicht nur um Methoden zur 

konstruktiven Gestaltung von Bauteilen, die sich an Vorbildern in der 

Natur orientieren, sondern vorangestellt ist der Grundsatz "Innovate 

for a Better World". Die Studierenden sollen bei Konstruktionen 

sowohl in der funktionalen Gestaltung als auch bei der Auswahl der 

Komponenten das biologische Umfeld mit einbeziehen. Zum Beispiel 

werden bei der Entwicklung eines Fahrzeuges zusätzlich zu den 

üblichen bekannten Entwicklungskriterien auch ergonomischen 

Gesichtspunkte und umweltbelastungsrelevante Detailfaktoren 

betrachten. Bei der Auswahl eines Dichtringes bedeutet dies 

CAE-Simulation: 

Kenntnisse in der Finiten Elemente Methode entsprechend der 

Veranstaltung B16-3/4 des aktuellen Bachelor Studiengangs 

Biodesign: 

-keine- 

Anmeldeformalitäten: Anmeldung zur Klausur gemäß Prüfungsordnung. 

Prüfungsmodalitäten: schriftlich 

Prüfungsart: 

Teilprüfung: 

Prüfungsleistung 

Prüfungsform Prüfungsnummer Kommentar Gewichtung 

Klausur 3211 CAE-Simulation und Optimierung 

I 

0 / 1 

Klausur 3323 Biodesign I 0 / 1 



zugehörige Veranstaltungen: CAE-Simulation und Optimierung I 2V/Ü 

Biodesign I 2V 

Modulverantwortlich: Prof. Dr.-Ing. Lutz-Achim Gäng 

Prof. Dr.-Ing. Patrick Klär 

Veranstaltung CAE-Simulation und Optimierung I (MN 06-1) 

Veranstaltungsnummer: MN 06-1 Kurzzeichen: CAE I Semester: 1 SS 

Inhalt: Einführung, Spannung und Formänderung im Boltzmann- 

Kontinuum, Spannungstensor, Gleichgewicht im Kontinuum, 

Spannungsinvarianten, Anisotropie, Quasiisotropie, Ansätze zur 

Modellierung des realen Werkstoffverhaltens, Lösungsprinzip und 

FE-Gleichungssystem für nichtlinearer Problemstellungen 

(geometrische Nichtlinearitäten, Plastizität und Kriechen), 

Herleitung des FE-Gleichungssystem zur Lösung dynamischer 

Problemstellungen (Modalanalysen, Transient dynamischen 

Analysen), Herleitung des FE-Gleichungssystem zur Lösung von 

Wärmeleitproblemen, Thermomechanische Kopplung. 

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Studienbehelfe / Literatur: Handreichungen, einschlägige Fachliteratur wie: 

Klein Bernd: FEM Grundlagen und Anwendungen der Finite- 

Elemente-Methode, Vieweg, Braunschweig, 3. Aufl. 1999. 

Woyand H.-B.; Heiderich H.: I-DEAS Praktikum CAE/FEM, Vieweg, 

Braunschweig, 1999. 

Steinbuch R.: Simulation im konstruktiveb Maschinenbau, Hanser 

Verlag, Leipzig, 2004. 

Steinbuch R.: Finite Elemente-Ein Einstieg, Springer-Verlag, Berlin, 

1998. 

Rieg F.; Hackenschmidt R.: Finite Elemente Analyse für 

Ingenieure, Carl Hanser Verlag, München Wien, 2000. 

Zienkiewicz O.C., Taylor R.L.: The finite element method, Vol. l, 

McGraw-Hill, 1989, Vol. 2, McGraw-Hill, 1991. 

Meißner U.; A. Menzel: Die Methode der finiten Elemente, 

Springer-Verlag, 1989. 

Argyris J.; H.-P. Mlejnek: Die Methode der Finnen Elemente, 

Vieweg, 1986. 

Bathe Klaus-Jürgen: Finne-Elemente-Methoden, Springer-Verlag, 

Berlin, 1986. 

Zienkiewicz O.C.: Methode der finiten Elemente, Carl Hanser 

Verlag, München Wien, 1984. 

Lehrsprache: Vorlesung in deutscher Sprache, 

Arbeitsmaterialien überwiegend in englischer Sprache. 


Umfang: ECTS P.: 2,50 / SWS: 2V/Ü 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr.-Ing. Patrick Klär 

Veranstaltung Biodesign I (MN 06-2) 

Veranstaltungsnummer: MN 06-2 Kurzzeichen: BIOD I Semester: 1 SS 

Inhalt: Erweiterung der "requirements list" bezüglich der 

# Anpassung an den Menschen 

# Integration in die Umwelt 

# Belastung der Umwelt bei der Herstellung und Entsorgung 

Erweiterung der Ermittlung des Standes der Technik durch 

# Vergleichen mit Lösungen in der Natur Einführung in die 

Biomechanik 

# Simulation des Rear-Impact-Crashs 

# Belastungen und Beanspruchungen 

Studienbehelfe / Literatur: Blüchel,Kurt G. u. Fredmund Malik: Faszination Bionik,Die 

Intelligenz der Schöpfung,Mcb Verlag 2006,ISBN 3-939314-00-5, 

Blüchel,Kurt G.: Bionik. Wie wir die geheimen Baupläne der Natur 

nutzen können,Goldmann 2006,ISBN 3-442-15409-X, 

Brickwedde/Erb/Lefevre/Schwake: Bionik und Nachhaltigkeit- 

Lernen von der Natur, Erich Schmidt Verlag,Berlin,2007,ISBN 978- 

3-503-10325-6, Cerman, Zdenek, Wilhelm Barthlott, Jürgen Nieder: 

Erfindungen der Natur.Rowohlt Reinbek bei Hamburg 2005,ISBN 

3-499-62024-3, Kesel,Antonia B.: Bionik,Fischer 2005,ISBN 978-3- 

596-16123-2, Kummer,B.: Biomechanik 2005.Deutscher Ärzte- 

Verlag,Köln 2007,ISBN 978-3-7691-1192-7(Form und Funktion des 

Bewegungsapparates), Law,Alma, Mel Gordon: 

Meyerhold,Eisenstein and Biomechanics. Actor Training in 

Revolutionary Russia,McFarland &Company Inc. Publishers.1996, 

Matthek,Claus: Design in der Natur.Rombach 

Verlag.Freiburg,1993, Meyer,Veronika R., Marcel Halbeisen: 

Warum gibt es in der Natur keine Räder? Biologie in unserer Zeit 

36(2),S.120-123 (2006),ISSN 0045-205X, Nachtigall,Werner, Kurt 

G. Blüchel:Das große Buch der Bionik. Neue Technologien nach 

dem Vorbild der Natur,DVA Stuttgart und München 2000,ISBN 3- 

421-05379-0 (Sonderausg. 2003 unter ISBN 3-421-05801-6), 

Nachtigall,Werner: Natur macht erfinderisch. Das große Buch der 

Bionik, Ravensburger Buchverlag 2.Auflage 2001,ISBN 3-473- 

35890-8, Rechenberg,Ingo: Evolutionsstrategie.Optimierung 

technischer Systeme nach Prinzipien der biologischen 

Evolution,1972,ISBN 3-7728-0374-1, Rechenberg, Ingo: 

Evolutionsstrategie 94, Frommann-Holzboog Stuttgart 1994,ISBN 

3-7728-1642-8, Rechenberg,Ingo: Photobiologische 

Wasserstoffproduktion in der Sahara,Frommann-Holzboog 

Stuttgart 1994,ISBN 3-7728-1643-6, Rossmann,T., C.Tropea: 

Bionik: Aktuelle Forschungsergebnisse in Natur-,Ingenieur- und 

Geisteswissenschaft.Springer Berlin 2004 

Lehrsprache: deutsch 

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Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr.-Ing. Lutz-Achim Gäng 

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1-2. Semester Nanopyhsik und ihre Anwendungen (MN 02) 


Lernziele: Kennenlernen von Kohlenstoffstrukturen wie Buckyballs und 

Nanoröhren sowie Kohlenstoffschichten mit Einlagerungen von 

Nanopartikeln, ihre Herstellung, ihre mechanischen und elektrischen 

Eigenschaften; 

Herstellung und Eigenschaften diamantartiger Kohlenstoffschichten 

sowie deren Charakterisierung; 

Herstellung anderer Nanopartikel, ihre Eigenschaften und 

Charakterisierung 

Physik und Technologie mikro- und nanoelektronischer Bauelemente 

Physics and technology of micro- and nanoelectronic devices 

Veranstaltung Nanophysik und Nanotechnologie (MN 02-1) 

Lernergebnis 

Die Studierenden sollen die Physik, das grundsätzliche Design und 

die Technologie zur Herstellung der wichtigsten mikroelektronischen 

Bauelemente verstehen, einschließlich der physikalischen Effekte, 

die durch die Miniaturisierung im Sub-100nm Bereich entstehen. 

Zusätzlich werden neuartige elektronische Bauelemente vorgestellt, 

die auf der Nanotechnologie beruhen. 


Specific learning targets: 

The students should be able to understand the physics, the principal 

design and the technological fabrication of most important 

microelectronic devices including physical effects caused by the 

scaling into the sub-100nm region. Additionally, new electronic 

devices, based on nanotechnology, are discussed. 

Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Schichten; 

Nanotechnologie I Mathematik für Ingenieure und 

Naturwissenschaftler Physik für Ingenieure und Naturwissenschaftler 

Halbleitermaterialien und Halbleiterprozesse Mathematics for 

engineers and natural sciences Physics for engineers and natural 

sciences Semiconductor materials and semiconductor processes 

Anmeldeformalitäten: Anmeldung zu der Klausur gemäß Prüfungsordnung 

Prüfungsart: 

Teilprüfung: 



Klausur 3202 Nanophysik und Nanotechnologie 0 / 1 

Klausur 3203 Mikro- und Nanoelektronische 

Bauelemente - Microelectronic 

and Nanoelectronic Devices 

0 / 1 



zugehörige Veranstaltungen: Nanophysik und Nanotechnologie 2V 

Modulverantwortlich: 

Mikro- und Nanoelektronische Bauelemente - Microelectronic and 

Nanoelectronic Devices 2V 

Prof. Dr. Peter Pokrowsky 

Prof. Dr. Konrad Wolf 

Veranstaltungsnummer: MN 02-1 Kurzzeichen: Semester: 1 SS 

Inhalt: Kohlenstoffstrukturen wie Buckyballs und Nanoröhren, ihre 

Herstellung und Eigenschaften; 

Mechanische, optische und elektrische Eigenschaften dünnster 

Kohlenstoffschichten mit und ohne Dotierung oder Einlagerung von 

Nanopartikeln sowie ihre Charakterisierung. 

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Veranstaltung Mikro- und Nanoelektronische Bauelemente - Microelectronic and Nanoelectronic Devices 

(MN 02-2) 

Studienbehelfe / Literatur: Richard Feynman: Es ist so einfach, Kap.5, Piper Verlag, ISBN: 3- 

492-04251-1 

Horst Günter Rubahn: Nanophysik und Nanotechnologie, Teubner 

Verlag, ISBN: 3-519-00331-7 

Michael Köhler: Nanotechnologie, Wiley-VCH, ISBN: 3-527-30127- 

5 

Wolfgang Fahrner: Nanotechnologie und Nanoprozesse, Springer 

Verlag, ISBN: 3-540-44212-X 

Flegler, Heckman, Klomparens: Elektronenmikroskopie, Spektrum 

Verlag, ISBN: 3-86025-3417 

Alexander, Physikalische Grundlagen der Elektronenmikroskopie, 

Teubner Verlag, ISBN-10: 351903221X, ISBN-13: 978-3519032212 

A practical Guide to Scanning Probe Microscopy, Park Scientific 

Instruments 

Lehrsprache: Deutsch 


Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2V 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Peter Pokrowsky 

Veranstaltungsnummer: MN 02-2 Kurzzeichen: Semester: 2 WS 

Inhalt: Ladungsträgerkonzentration und Leitfähigkeit in undotierten und 

dotierten Halbleitern; 

Driftströme und Diffusionsströme; 

Ableitung der Diodengleichung und Abweichungen von der idealen 

Diodengleichung; 

Kapazitäts-, Temperatur- und Durchbruchverhalten von Dioden; 

Metall-Halbleiter-Übergang (Schottky-Diode); 

Ohmsche Kontakte; 

Ableitung der Transistorgleichungen von Bipolar- und MOS- 

Transistoren; Abweichungen von den idealen 

Transistorgleichungen; 

Kapazitäts-, Temperatur- und Durchbruchverhalten von Bipolarund 

MOSTransistoren; 

Heterobipolartransistoren als Anwendung von Halbleiter- 

Heterostrukturen; Kurzkanaleffekte von MOSFETs, CMOS- 

Transistoren und CMOS-Scaling; 

Design und Technologie von Sub-100nm Transistoren; 

Elektronische Speicherbauelemente (flüchtig und nichtflüchtig); 

Quantum-Wells, Quantum-Wires, Quantum-Dots; 

Single-electron Devices; 

Resonante Tunnel-Elektroden. 

charge carrier concentration and conductivity in undoped and 

doped semiconductors; 

drift currents and diffusion currents; 

basic current-voltage equation, important second order effects, 

capacitance, temperature effects and breakdown phenomena of 

diodes; 

Schottky Diodes; 

metal-semiconductor contacts; 

Basic current-voltage equation, important second order effects, 

capacitance, temperature effects, and breakdown phenomena of 

bipolar-transistors and MOSFET-transistors; 

heterobipolar transistors as application of semiconductor 

heterostructures; 

short channel effects of CMOS-transistors and CMOS-scaling; 

Device design and technology of sub-100nm transistors; memory 

devices (volotile and nonvolotile) and device scaling; 

quantum-wells, quantum-wires, quantum-dots; 

resonant tunneling diodes. 

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Studienbehelfe / Literatur: Recommended readings: 

1. Sima Dimitrijev: Understanding Semiconductor Devices; Oxford 

University Press 

2. Robert F. Pierret: Semiconductor Device Fundamentals; 

Addison-Wesley 

3. S.M. Sze: Phyics of Semiconductor Devices; Wiley 

4. S.M. Sze: Semiconductor Devices, Physics and Technology; 

Wiley 

5. Charles P. Poole, Frank J. Owens: Introduction to 

Nanotechnology; Wiley 

6. Rainer Walser: Nanoelectronics and Information Technology, 

Wiley 

Lehrsprache: Language of instruction: 

Englisch oder Deutsch (abhängig von Teilnehmern) 

English or German (dependent on participants) 



Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Konrad Wolf 

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1-2. Semester Projekt (MN 09) 


Lernziele: Die Studierenden können ein kleineres wissenschaftliches Projekt 

selbständig bearbeiten. Sie können selbständig eine 

Literaturrecherche durchführen, wissenschaftilche Experimente 

planen und durchführen sowie einen wissenschaftlichen Bericht 

erstellen. Die Studierenden können einen Vortrag selbständig 

vorbereiten, einem fachkundigen Publikum in einer vorgegebenen 

Zeit vortragen sowie Fachfragen kompetent beantworten. 

Prüfungsart: Studienleistung 

Prüfungsform: Projektarbeit Projekt Teil 1 


zugehörige Veranstaltungen: Projekt Teil 1 5 

Projekt Teil 2 4 

Veranstaltung Projekt Teil 1 

Veranstaltungsnummer: Kurzzeichen: Semester: 1 SS 

Inhalt: Das Thema wird von dem betreuenden Dozenten gestellt. Die 

Arbeiten sind in der Regel integriert in Forschungsprojekte der FH 

und können nach Absprache mit dem betreuenden Dozenten in 

Kooperation mit externen Partnern durchgeführt werden. 

Themenauswahl: 

1. Möglichkeit: 

Die Professoren des Studiengangs schlagen jeweils zu Beginn des 

Semesters einige Themen vor. Die Studierenden vereinbaren mit 

dem betreuenden Dozenten die Aufnahme ins Projekt. 

Arbeitsaufwand: 55h Seminar/Labor 

2. Möglichkeit: 

Die Studierenden können Vorschläge machen und mit einem 

betreuenden Professor abstimmen. 

Anmerkungen: 

•Die praktischen Arbeiten können an der FH oder bei einem 

externen Partner durchgeführt werden. 

•Die praktischen Arbeiten können in Absprache mit dem 

betreuenden Dozenten auch im Block (z.B. in der vorlesungsfreien 

Zeit) durchgeführt werden. 

•Ein Thema kann von mehreren Studierenden bearbeitet werden, 

jedoch muss die Leistung des einzelnen getrennt bewertbar sein. 

•Der Vortrag wird vor einem sachkundigen Publikum in 

Anwesenheit des betreuenden Dozenten gehalten (z.B. in der 

jeweiligen Arbeitsgruppe und/oder in einer Veranstaltung mit 

mehreren vortragenden Studierenden). 

•Praktische Arbeiten, Vortrag und Bericht sind in enger Absprache 

mit dem betreuenden Dozenten nach wissenschaftlichen Methoden 

zu erstellen. 

•Der betreuende Professor erkennt nach erfolgreich 

abgeschlossener Bearbeitung durch den Studierenden das Projekt 

an und legt eine Note fest (benotete Studienleistung). Die Note wird 

vom Dekanat an das Studierendensekretariat weitergeleitet. 

95h Selbststudium 


Sonstiges: Termine: 

•Anmeldung: Die Studierenden melden sich im Prüfungsamt zur 

Erbringung der Studienleistung/Projekt an (Termin siehe 

Prüfungsplan). 

•Abgabe des schriftlichen Berichts: Ende des darauf folgenden 

Semesters beim Betreuer (Termin siehe Prüfungsplan). 

•Termin des Vortrags: Vor Abgabe des Berichts (mit Betreuer 

abzustimmen) 

Umfang: ECTS P.: 5 / SWS: 5 

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Veranstaltung Projekt Teil 2 

Veranstaltungsnummer: Kurzzeichen: Semester: 2 WS 

Inhalt: siehe Projekt Teil 1 

Arbeitsaufwand: 45h Seminar/Labor 




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1-2. Semester Mikrostrukturierung (MN 03) 


Lernziele: Die Studierenden haben vertiefte Kenntnisse auf dem Gebiet der 

Dünnschichttechnologie, insbesondere von Schichten aus der 

Speichertechnologie. Sie können Problemlösungsstrategien für die 

Herstellung und Charakterisierung dieser Schichten in der 

industriellen Fertigung selbständig entwickeln. Die Studierenden 

kennen die theoretischen Grundlagen und die Bedeutung von 

elektrochemischen Prozessen zur Herstellung von Mikrotechnik- 

Produkten. Sie können elektrochemische Prozesse charakterisieren, 

gezielt und sachkundig einsetzen sowie bewerten. 

Eingangsvoraussetzungen: Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Schichten 

Chemische Grundlagen Grundlagen der chemischen 

Mikrofertigungsverfahren (Lithografie, Ätzen, Galvanik) 

Anmeldeformalitäten: Anmeldung zu der Klausur gemäß Prüfungsordnung 

Prüfungsmodalitäten: Klausur 

Prüfungsart: 

Teilprüfung: 



Klausur 3205 Elektrochemische Methoden 0 / 1 

Klausur 3204 Spezielle Themen der 

Dünnschichttechnik 

0 / 1 



zugehörige Veranstaltungen: Elektrochemische Methoden 2V/L 

Spezielle Themen der Dünnschichttechnik 2V 

Modulverantwortlich: Prof. Dr. Peter Pokrowsky 

Prof. Dr. Monika Saumer 

Veranstaltung Elektrochemische Methoden (MN 03-2) 


Inhalt: Grundlagen und Anwendungen von elektrochemischen Methoden 

zur Herstellung von Mikroprodukten aus verschiedenen Materialien 

wie Silizium, Glas, Metalle und Legierungen durch additive und 

subtraktive Prozesse ausgehend von den Grundlagen der 

Elektrochemie: 

- Potentialeinstellung und Nernstgleichung für den 

außenstromlosen Zustand 

- Elektrodenprozesse und Strom-Potential-Kurven von 

ausgewählten Redoxsystemen 

- Elektrochemische Nebenreaktionen und deren Bedeutung 

- Einfluss von Prozessbedingungen auf Materialeigenschaften 

anhand ausgewählter Beispielen 

Labor: 

Charakterisierung elektrochemischer Prozesse mit Strom-Potential- 

Kurven 

Herstellung und Charakterisierung von Mikroprodukten aus 

Metallen und/oder Legierungen 

Studienbehelfe / Literatur: 1) C.H. Hammann, W. Vielstich: Elektrochemie, 3. Auflage 1998, 

Wiley VCH Weinheim 

2) H.Gerischer, Ch.W.Tobias: Advances in Eelctrochemical 

Science and Engineering, Volume 3, VCH Verlagsgesellschaft 

mbH, Weinheim/Germany, 1994 

3) M. Modou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 

Washington, 1997 

- Pattern Transfer with Additive Techniques (pp.89-125) 

- Wet Bulk Micromachining (pp. 145-194) 

4) M. Köhler: Ething in Microsystem Technology, Wiley-VCH- 

Weinheim, 1999 

5) M. Elwenspoek, H. Jansen: SiliconMicromachining, Cambridge 

University Press, 1988 

6) M. Schlesinger. M. Paunivic: Modern Electroplating, John Wiley 

&Sons, New York, 2000 

7) N. Kanani, Galvanotechnik, Carl Hanser Verlag, 2000 

Labor: Laborskript 

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Lehrsprache: deutsch oder englisch (abhängig von Teilnehmern) 


Umfang: ECTS P.: 2,50 / SWS: 2V/L 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Monika Saumer 

Veranstaltung Spezielle Themen der Dünnschichttechnik (MN 03-1) 


Inhalt: Ausgewählte Beispiele von Schichten insbesondere aus der 

optischen und magnetischen Speichertechnologie, Diskussion der 

Probleme bei der Herstellung und Charakterisierung dieser 

Schichten in der industriellen Fertigung. 





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1-2. Semester Signalverarbeitung (MN 05) 


Lernziele: Anwendung integrierter Signalverarbeitungsbausteine der analogen 

und digitalen Schaltungstechnik für die Sensorik 

Eingangsvoraussetzungen: Kenntnisse in: 

Grundlagen Signalverarbeitung und Systemdynamik, 

Elektronische Bauelemente, 

Elektrische Messtechnik, 

Sensoren und Aktoren 

Prüfungsart: 

Teilprüfung: 



Klausur 3209 Analoge Signalverarbeitung, ihre 

Bauelemente und Methoden 

0 / 1 

Klausur 3210 Digitale Signalverarbeitung, 

Methoden und Implementierung 

0 / 1 



zugehörige Veranstaltungen: Analoge Signalverarbeitung, ihre Bauelemente und Methoden 2V/L 

Digitale Signalverarbeitung, Methoden und Implementierung 2V/L 

Modulverantwortlich: Prof. Dr.-Ing. Joachim Ternig 

Veranstaltung Analoge Signalverarbeitung, ihre Bauelemente und Methoden (MN 05-1) 

Veranstaltungsnummer: MN 05-1 Kurzzeichen: M_ASV Semester: 1 SS 

Inhalt: Integrierte Schaltungen zur Aufbereitung von Sensorsignalen 

Stromquellen, Brückenverstärker, Photoverstärker, U/f-Wandler, 

U/t-Wandler Operationsverstärker für Single-Supply-Betrieb 

Eingangsbeschaltungen für A/D-Wandler (Anti-Aliasing-Filter, 

Transientes Verhalten) Programierbare Operationsverstärker 

Steuerung von Kleinstantrieben (Methoden und Elemente) 

Rauschen, Rauschzahlen, Rauschunterdrückung, Signaldynamik 

und Bandbreite 

Studienbehelfe / Literatur: E.Böhmer. "Elemente der angewandten Elektronik" 

Tietze, Schenk, "Halbleiterschaltungstechnik" 

Gerlach, Dötzel, "Grundlagen der Mikrosystemtechnik" 

Ron Mancini, "Op-Amps For Everyone", 

TI-Appl-Note SLOD006B weitere Application-Notes der Firmen TI, 

Analog-Devices, LTC, Maxim, STS u.a 

Lehrsprache: Deutsch, Unterlagen und Lehrmaterial teilweise in Englisch 



Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr.-Ing. Joachim Ternig 

Veranstaltung Digitale Signalverarbeitung, Methoden und Implementierung (MN 05-2) 

Veranstaltungsnummer: MN 05-2 Kurzzeichen: M_DSV Semester: 2 WS 

Inhalt: 1 Digitale Signale und Systeme im Zeit und Bildbereich 

2 Spektralanalyse 

3 Korrelation und spektrale Leistungsdichte 

4 Digitale Filtererung 

5 Digitale Regelung 

6 Digitale Systeme mit mehreren Taktraten 

7 Implementierungsaspekte, Quantisierung und Rundung 

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Studienbehelfe / Literatur: - J. G. Proakis, D. G. Manolakis: Digital Signal Processing - 

Principles, Algorithms and Applications; Prentice Hall; Upper 

Saddle River, NJ; 1996 

- A. V. Oppenheim, R. W. Schafer: Zeitdiskrete Signalverarbeitung; 

Oldenbourg Verlag; München, Wien; 1992 

- S. K. Mitra:Digital Signal Processing, A Computer Based 

Approach; McGraw-Hill; New York; 1998 

- A. Lacroix: Digitale Filter; Oldenbourg Verlag; München, Wien, 

1985 

- K.D. Kammeyer, K. Kroschel: Digitale Signalverarbeitung; 

Teubner Verlag; Stuttgart, 1998 

- D.Ch. von Grünigen: Digitale Signalverarbeitung; Fachbuchverlag 

Leipzig/ Hanser Verlag; München, Wien; 2001 

- M. Meyer: Signalverarbeitung; Vieweg Verlag; Braunschweig, 

Wiesbaden, 1998 

- U. Karrenberg: Signale, Prozesse, Systeme; Springer Verlag, 

Berlin, Heidelberg, New York; 2001 

- G. Schlüter: Digitale Regelungstechnik; Fachbuchverlag Leipzig/ 

Hanser Verlag; München, Wien; 2000 

- M. H. Hayes: Digital Signal Processing; McGraw-Hill Schaum‘s 

Outline Series; New York; 1999 

- H. P. Hsu: Signals and Systems; McGraw-Hill Schaum‘s Outline 

Series; New York; 1995 

- R. G. Lyons: Understanding Digital Signal Processing; Addison 

Wesley Longman; Reading MA; 1997 





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2. Semester Mikrosysteme: Konzeption, Herstellung und Test (MN 04) 


Lernziele: 1. Verstehen von sensorischen und aktorischen Wirkprinzipien 

2. Vertiefte Kenntnisse spezifische Probleme der Aufbau- und 

Verbindungstechnik 

3. Schulung des systematisch-analytischen Denkens 

4. Selbständige Bearbeitung von Problemlösungsstrategien für die 

Entwicklung von Mikrosystemen 

5. Förderung der interdisziplinären Forschungs- und 

Entwicklungskompetenz zur Analyse komplexer Abhängigkeiten in 

miniaturisierten Systemen 

6. Interdisziplinäre Projektarbeit 

7. Praktische Erfahrung 

Eingangsvoraussetzungen: Grundlegende Kenntnisse zur Fertigungsverfahren der 

Mikrosystemtechnik. 

Anmeldeformalitäten: Die Teilnahme an der Vorlesung zur "Mikrosensorik, Aufbau- und 

Verbindungstechnik" µSuA/AVT ist Voraussetzung für die Teilnahme 

am Seminar und den Laborveranstaltung: (Die Vorlesung wird in der 

ersten Semesterhälfte angeboten) Verbindliche Anmeldung für 

Seminar und Laborveranstaltung notwendig; Seminar findet nach 

Vereinbarung vor der Laborveranstaltung statt. Laborveranstaltung 

wird in der 2. Semesterhälfte angeboten. Unter Umständen besteht 

auch die Möglichkeit nach Vereinbarung die Laborveranstaltung im 

Laufe des Studienjahres zu absolvieren. 

Prüfungsmodalitäten: Prüfungsleistung setzt sich zusammen aus einer Klausur zu der 

Vorlesung und den Seminarinhalten sowie einer Hausarbeit zu 

speziellen Themen der begleitenden Laborveranstaltung. Die 

Zulassung zum Labor erfolgt erst nach erfolgreicher Vorprüfung. Das 

Labor wird abgeschlossen durch die Abgabe eines Berichtes sowie 

der Hausarbeit. 


Prüfungsform: Klausur Mikrosensoren und -aktoren, Aufbau- und 

Verbindungstechnik (Vorlesung) 



zugehörige Veranstaltungen: Seminar: Konzeption, Herstellung und Test 2S 

Labor: Konzeption, Herstellung und Test von Mikrosystemen 2L 

Mikrosensoren und -aktoren, Aufbau- und Verbindungstechnik 

(Vorlesung) 2V 

Modulverantwortlich: Prof. Dr. Antoni Picard 

Veranstaltung Seminar: Konzeption, Herstellung und Test (MN 04-2) 


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Inhalt: 1. Betrachtung spezifischer Aspekte der Sensorherstellung in 

Bezug auf Entwurf, Aufbau und Integration. 

2. Herausarbeiten des Systemgedankens anhand der 

Wechselbeziehung zwischen Sensorkonzept, Sensordesign, 

Fertigung/Aufbautechnik und Signalauswertung sowie der 

Schnittstellen zwischen verschiedenen Komponenten eines 

Mikrosystems 

3. Analyse und Strukturierung von Systemen, insbesondere 

Techniken der Systemanalyse und Systementwicklung wie Bottom- 

Up, Top-Down, Prototypen-Entwicklung 

4. Planungsmethoden (Dokumentation der Konzeption und 

Beschreibung der geplanten Funktion in einer 

Leistungsbeschreibung, 

5. Fortschreibung des Entwicklungsprozesses mit Fertigungs- und 

Prüfunterlagen einschließlich der Werksprüfung, der 

Realisierungsdokumente und der Wartungshandbücher, Terminund 

Kostenüberwachung über eine strukturierte, 

komponentenorientierte Vorhabensbeschreibung) 

6. Definition und Auswahl technischer Komponenten unter dem 

Gesichtspunkt der Funktion; Analyse der Ressourcen und 

Verfahren zur Herstellung und Rückwirkungen auf die Auswahl der 

Komponenten 

Vorlesung &Seminar: 

- Der Charakter der Veranstaltung erfordert eine aktive Beteiligung 

der Studierenden und intensive Vor- und Nachbereitung der 

Präsenzveranstaltung. Der zusätzliche Arbeitsaufwand wird mit 

mindestens 2 SWS abgeschätzt. 

Studienbehelfe / Literatur: 1. M. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 

Washington, 1997: 

2. G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, 

München; Wien, Hanser-Verlag, 1997, 

3. W. Menz, J. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH 

Verlagsgesellschaft, Weinheim, 1997. 

4. Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik : Konzepte und 

Anwendungen ; mit 21 Tabellen / von Ulrich Mescheder - 2000 

5. Schaumburg, Hanno: Sensoren; 1992 

6. Ljubisa Ristic: Sensor technology and devices, Boston, MA, 

Artech House, 1994 

7. Hans-Rolf Tränkler (Hrsg.)Sensortechnik, Berlin, Springer, 1998 

Lehrsprache: 


Umfang: ECTS P.: 4 / SWS: 2S 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Antoni Picard 

Veranstaltung Labor: Konzeption, Herstellung und Test von Mikrosystemen (MN 04-3) 


Inhalt: Aufbauend auf zughöriger Vorlesung und Seminar wird die 

Herstellung einer mikrotechnischen Sensors oder Aktors praktisch 

umgesetzt. 

1. Selbständiges Erarbeiten bzw. Recherchieren von 

Detailkenntnissen, 

2. Gemeinsame Planung des Gesamtsystems in Gruppenarbeit; 

Prozessablauf, Ressourcen- und Personalplanung in 

Arbeitsteilung: 

3. Realisierung und Charakterisierung eines einfachen 

Sensorsystems (alt. Aktorsystem) 

4. Konzeption und Aufbau einer Signalauswertung 

5. Erstellen von Fertigungs- und Prüfunterlagen einschließlich Test 

und Charakterisierung (Datenblatt). 

6. Termin- und Kostenüberwachung 

7. Aufbereitung und Präsentation (Vortrag, Ausarbeitung) 


- Als zeitlichen Arbeitsaufwand zusätzlich zu der 

Laborveranstaltung sollte - abhängig von den Vorkenntnissen - 

mindestens 3 SWS eingeplant werden. Der zusätzliche 

Arbeitsaufwand beinhaltet insbesondere die Punkte: 

(A) Selbständiges Erarbeiten bzw. Recherchieren 

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Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2L 


Veranstaltung Mikrosensoren und -aktoren, Aufbau- und Verbindungstechnik (Vorlesung) (MN 04-1) 

Veranstaltungsnummer: MN 04-1 Kurzzeichen: µS&A/AVT Semester: 2 WS 

Inhalt: 1. Betrachtung allgemeiner sensorischer und aktorischer 

Wirkprinzipien 

2. Einführung in MST-spezifische Probleme der Aufbau- und 


3. Exemplarische Betrachtung spezieller mikromechanischer 

Sensoren und Aktoren und deren Anwendungen sowie der 

zugehörigen Fertigungstechniken insbesondere der Aufbau- und 


Studienbehelfe / Literatur: 1. M. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 

Washington, 1997: 

2. Chang Liu: Foundations of MEMS, Prentice Hall, 2006 

3. M. Elwenspoek; R. Wiegerink: Mechanical Sensors, Springer, 

Heidelberg, 2001, 

4. Friedemann Völklein ; Thomas Zetterer: Einführung in die 

Mikrosystemtechnik, Vieweg, 2000 

5. Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik : Konzepte und 

Anwendungen ; mit 21 Tabellen / von Ulrich Mescheder - 2000 

6. Schaumburg, Hanno: Sensoren; 1992 

7. Ljubisa Ristic: Sensor technology and devices, Boston, MA, 

Artech House, 1994 

8. Hans-Rolf Tränkler (Hrsg.)Sensortechnik, Berlin, Springer, 1998 

9. Diverse aktuelle Publikationen, Firmenschriften und Patente 

Lehrsprache: Deutsch / Englisch 

Arbeitsaufwand: Vor- und Nachbereitung erforderlich 


Sonstiges: Vorlesung wird zu Anfang des Semesters angeboten und wird für 

die Zulassung zum Labor vorausgesetzt. 



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2. Semester Bio-Nano-Oberflächen (MN 07) 


Lernziele: Chemische Nanotechnologie: 

Die Studierenden haben sowohl gute Kenntnisse zu aktuellen 

Themen der chemischen Nanotechnologie als auch ausreichendes 

Grundlagenwissen erworben, um sich schnell in neue Themen 

einarbeiten zu können. 

Prüfungsart: 

Teilprüfung: 

Physik und Chemie der Grenz- und Oberflächen 

Die Studierenden sollen einen Überblick über das breite 

Themengebiet der Ober- und Grenzflächen erlangen. Es werden 

dabei Effekte wie Oberflächenspannung, Kontaktwinkel und 

Benetzung, Selbstorganisation von Molekülverbänden, Effekte an 

geladenen Grenzflächen, Elektroosmose, Elektrophorese, Fest- 

Flüssig Grenzfläche, Fest-Gasförmig Grenzfläche, Adsorption and 

Oberflächen, Elektronische Oberflächenzustände sowie die 

jeweiligen Messmethoden zur Charakterisierung dieser Effekte aus 

chemischer und physikalischer Sicht behandelt. Beim allgemeinen 

Trend in der Wissenschaft zu immer kleineren Dimensionen 

(Stichwort Nanotechnologie) gewinnen die Oberflächen- und 

Grenzflächeneffekte immer mehr an Bedeutung und sind in diesen 

Größenordnungen meist dominierend. 



Klausur 3213 Chemische Nanotechnologie I 0 / 1 

Klausur 3214 Physik und Chemie der Grenzund 

Oberflächen 

0 / 1 


Gesamtprüfung - Anteil: 10 % 

zugehörige Veranstaltungen: Chemische Nanotechnologie I 2V 

Physik und Chemie der Grenz- und Oberflächen 2V 

Modulverantwortlich: Prof. Dr. rer. nat. Sven Ingebrandt 

Veranstaltung Chemische Nanotechnologie I (MN 07-1) 


Inhalt: Die chemische Nanotechnologie verbindet die klassischen Welten 

der organischen und anorganischen Materialien mit den vielfältigen 

Eigenschaften der Nanomaterialien. Sie ist ein stark 

interdisziplinärer und innovativer Bereich, der Kompetenzen im 

Bereich Chemie, Werkstoff- und Ingenieurwissenschaften verbindet 

und befasst sich insbesondere mit den Themen 

-Nanomaterialien/Nanokomposite/Nanoformulierungen 

-Nanostrukturen/Nanodevices/Nanomachining 

- Kolloidchemie, Kolloidale Prozesse, Sol-Gel-Chemie 

- Selbsorganisierende Systeme 

- Nanobiotechnologie/Nano for Life 

Studienbehelfe / Literatur: Aktuelle Literatur aus wissenschaftlichen Zeitschriften 

Lehrsprache: deutsch oder englisch 



Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Veith (Universität des Saarlandes) 

Veranstaltung Physik und Chemie der Grenz- und Oberflächen (MN 07-2) 


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Inhalt: Themodynamische Beschreibung von chemisch-physikalischen 

Vorgängen an Grenzflächen (Oberflächenspannung, Kontaktwinkel 

und Benetzung, Selbstorganisation von Molekülverbänden, Effekte 

an geladenen Grenzflächen, Elektroosmose, Elektrophorese, Fest- 

Flüssig Grenzfläche, Fest-Gasförmig Grenzfläche, Adsorption and 

Oberflächen, Elektronische Oberflächenzustände, ...) Des weiteren 

behandelt die Vorlesung auch die jeweiligen Messmethoden zur 

Charakterisierung dieser Effekte aus chemischer und 

physikalischer Sicht. 

Studienbehelfe / Literatur: Studienbehelfe/Literatur: 

Physics and Chemistry of Interfaces, H.-J. Butt, Wiley-VCH, 2. 

Auflage (Januar 2006), ISBN-13: 978-3527406296 

Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films, H. Lüth, Springer, Berlin; 

4. Auflage (September 2001), ISBN-13: 978-3540423317 




Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. rer. nat. Sven Ingebrandt 

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2. Semester Seminar mit externen Referenten (MN 08) 


Lernziele: Die Studierenden haben einen umfassenden Einblick in die aktuelle 

Berufswelt der Mikrosystem- und Nanotechnik.The students have a 

comprehensive overview of current career profiles in Miicro Systems 

and Nano Technologies. 

Prüfungsmodalitäten: Leistungsnachweis (mit Erfolg bestanden): Anwesenheitspflicht 

Certificate of achievement (successfully completed): Compulsory 

attendance 



zugehörige Veranstaltungen: Seminar mit externen Referenten (1. SS und 2. WS Semester) 1V 

Modulverantwortlich: Prof. Dr. Monika Saumer 

Veranstaltung Seminar mit externen Referenten (1. SS und 2. WS Semester) (MN 8-1) 


Inhalt: Vortragsreihe mit externen Referenten aus Wissenschaft, Industrie 

und Wirtschaft zu aktuellen Themen der Mikrosystem- und 

Nanotechnik 

Lehrsprache: deutsch oder englisch 

Arbeitsaufwand: Anwesenheit Seminarvorträge 



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3. Semester Kolloquium zur Masterarbeit (MN 12-2) 

Modulnummer: MN 12-2 Prüfungsnummer: Kurzzeichen: 

Lernziele: Die Studierenden sind in der Lage, die Inhalte der Masterarbeit in 

einer vorgegebenen Zeit kompetent vorzutragen sowie 

die fachspezifischen Fragen zum Thema der Masterarbeit sowie zu 

angrenzenden Themen differenziert zu beantworten. 


Prüfungsform: mündlich 

Umfang: Summe ECTS P.: 5 


zugehörige Veranstaltungen: Kolloquium zur Masterarbeit 


Veranstaltung Kolloquium zur Masterarbeit (MN 13-1) 


Inhalt: Die Studierenden bereiten einen Vortrag zum Thema ihrer 

Masterarbeit vor. Hierzu gehören eine umfangreiche 

Literaturrecherche sowie das Ausarbeiten der Präsentation in 

deutscher oder englischer Sprache. Der Vortrag soll das Thema 

der Masterarbeit in das Themenumfeld einordnen, einen vertieften 

Einblick in die Arbeiten zur Masterarbeit sowie einen Ausblick 

geben. Der Vortrag soll möglichst frei in der vorgegebenen Zeit 

gehalten werden. Anschließend findet eine Diskussion zum Vortrag 

sowie zu angrenzenden Themengebieten mit den Prüfenden 

und Beisitzern statt. 

Arbeitsaufwand: 1 h Halten eines Vortrags 

149 h Selbstudium (Literaturrecherche, Vorbereitung Vortrag) 

Umfang: ECTS P.: 5 

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3. Semester Masterarbeit (MN 12-1) 

Modulnummer: MN 12-1 Prüfungsnummer: Kurzzeichen: 

Lernziele: Erlernen von selbständigem Arbeiten: 

Die Studierenden sind in der Lage innerhalb einer vorgegebenen 

First ein Fachproblem der Mikrosystemtechnik durch die Anwendung 

der erlernten wissenschaftlichen Methoden selbständig zu 

bearbeiten und schriftlich darzustellen. 

To learn to work independently 

Specific learning targets: Students are able to work independently on 

a microtechnological topic by using the scientific methods learned 

and are able to depict their work in a written thesis. 

Eingangsvoraussetzungen: ECTS-Punkte gemäß aktueller Prüfungsordnung. 

Prüfungsmodalitäten: Prüfungsleistung (Note): Prüfungsarbeit (25 ECTS) und Kolloquium 

(mündliche Prüfung) (5 ECTS) 

Examination performance (graded): Thesis (25 ECTS) and oral 

exam (5 ECTS) 


Umfang: Summe ECTS P.: 25 


zugehörige Veranstaltungen: Masterarbeit 


Veranstaltung Masterarbeit (MN 12-1) 


Lehrsprache: Deutsch oder Englisch German or English 

Arbeitsaufwand: 6 Monate 

Sonstiges: Schriftliche Masterarbeit 

Umfang: ECTS P.: 25 

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Modulgruppe: Nichttechnische Wahlpflichtfächer 1. Semester 

1. Semester Nichttechnische Wahlpflichtfächer 1. Semester (MN 11) 



Lernziele: Erwerb von Schlüsselqualifikationen Acquisition of key 

qualifications 

Eingangsvoraussetzungen: Gute Grundkenntnisse der deutschen Sprache. Nützlich: 

Grundkenntnisse über Kultur und Geschichte Deutschlands. 

Prüfungsmodalitäten: Die Studierenden müssen 4 SWS aus den angebotenen 

Lehrveranstaltungen auswählen. Benoteter Leistungsnachweis 

("mit Erfolg bestanden") für jede belegte Lehrveransatltung. The 

students have to choose 4 HPW from the Module subjects. Graded 

certificate of achievment ("successfully completed") for each 

subject. 



zugehörige Veranstaltungen: Deutsch Konversation 2V 

Englisch Konversation 2V 

Kommunikations- und Führungstechniken I (Communication and 

LeadershipTechniques I) 2V 

Technisches Deutsch 2V 

Wirtschafts- und Sozialwissenschaften 2V 

Französisch Fortgeschrittene 2V 

Marketing 2 

Kommunikative Kompetenz - Möglichkeiten und Ansatzpunkte zur 

persönlichen Weiterentwicklung 2S 

Französisch Grundkurs 2V 

Veranstaltung Deutsch Konversation (MN 11-1-2) 

Veranstaltungsnummer: MN 11- 

1-2 

Kurzzeichen: Semester: 1 SS 

Inhalt: Diskussion von Themen zu Kultur, Geschichte und Gesellschaft 

Deutschlands auf der Grundlage von kurzen Texten und Videos 1. 

Simulierte Gruppengespräche auf der Grundlage eines vorher 

festgelegten Szenarios. 2. Vorbereitung einer Bewerbung und 

Simulation eines Vorstellungsgespräches. 3. Kurze Wiederholung 

ausgewählter Gebiete der Grammatik 

Studienbehelfe / Literatur: Ein Skript mit einer Kurzgrammatik, den behandelten Texten und 

einer ausführlichen Literaturliste wird zum Selbstkostenpreis 

angeboten 



Sonstiges: Gruppen- oder Einzelgespräch nach einem vorher festgelegten 

Szenario und schriftliche Prüfung; Note wird gemittelt. 

(Leistungsnachweis) 


Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Markus Groß 

Veranstaltung Englisch Konversation (MN 11-1-1) 


1-1 


Inhalt: 1. Diskussion von Themen zu Kultur, Geschichte und Gesellschaft 

der englischsprachigen Welt auf der Grundlage von kurzen 

Texten und Videos. 

2. Simulierte Gruppengespräche auf der Grundlage eines vorher 

festgelegten Szenarios. 

3. Vorbereitung einer Bewerbung und Simulation eines 

Vorstellungsgespräches. 

4. Kurze Wiederholung ausgewählter Gebiete der Grammatik. 

Studienbehelfe / Literatur: Ein Skript mit einer Kurzgrammatik, den behandelten Texten und 

einer ausführlichen Literaturliste wird zum Selbstkostenpreis 

angeboten 

Lehrsprache: Englisch 

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Modulhandbuch - Micro Systems and Nano Technologies (MNT09-MA) - Master of 

Engineering 

Veranstaltung Kommunikations- und Führungstechniken I (Communication and LeadershipTechniques 

I) (MN 11-1-5) 

Arbeitsaufwand: Gruppen- oder Einzelgespräch nach einem vorher festgelegten 

Szenario und schriftliche Prüfung; Note wird gemittelt. 

(Leistungsnachweis) 





1-5 


Inhalt: Erarbeiten und Üben von relevanten Vortrags- und 

Präsentationstechniken, Selbststudium, mediengestützte 

Feedbackgespräche Der Schwerpunkt der Lehrveranstaltung liegt 

im Bereich "Vortrags- und Präsentationstechnik" 

1. Grundlagen des Vortragens und Präsentierens 

2. Systematische Präsentationsvorbereitung 

3. Stichworttechnik und Präsentationsskript 

4. Visualisierung und Medieneinsatz 

5. Foliengestaltung mit MS Powerpoint 

6. Rhetorik und Präsentationstechnik 

Studienbehelfe / Literatur: 1. Herbig, A.F. (2004), Vortrags- und Präsentationstechnik, Books 

on demand, GmbH, Norderstedt, Germany 

2. Hartmann, M./Funk, R./ Nietmann, H., Präsentieren: 

Präsentationen: zielgerichtet und adressatenorientiert. Weinheim 

und Basel 2000/ 6. Aufl. (Beltz-Weiterbildung: Training) 

3. Herbig, A.F. (2001), CBT Präsentationstechniken 

(Kommunikationstechniken: Präsentationstechniken, Multimediale 

Einheiten des Fernstudiengangs Vertriebsingenieur, Nr. 33/1) 


German 



max. Teiln.: 15 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. phil. Claudia Münz 

Veranstaltung Technisches Deutsch (MN 11-1-3) 


1-3 


Inhalt: 1. Lektüre von Fachtexten aus den Bereichen Natur- und 

Ingenieurwissenschaften (Artikel aus Fachzeitschriften und 

Lehrbüchern der jeweiligen Fachgebiete, Presseartikel zu neuen 

technischen Entwicklungen, Bedienungsanleitungen). 

2. Besprechung von Fernseh- und Hörfunkberichten zu neuen 

Technologien 

3. Verfassen kurzer Zusammenfassungen der besprochenen 

Artikel und Sendungen 

4. Erste Einführung in Präsentationstechniken; Aufbau und Halten 

eines Vortrages, Verwendung von Hilfsmitteln 

(Computerprogramme, Flipcharts, Overheadfolien etc.) 

Studienbehelfe / Literatur: Es wird ein Skript mit ausführlicher Literaturliste zum 

Selbstkostenpreis angeboten. 



Sonstiges: Schriftliche Prüfung (Fachtext mit Fragen) und Fachvortrag; Note 

wird gemittelt. (Leistungsnachweis) 



Veranstaltung Wirtschafts- und Sozialwissenschaften (MN 11-1-4) 

Seite 26


Engineering 

Veranstaltung Französisch Fortgeschrittene 

Veranstaltung Marketing 

Veranstaltung Kommunikative Kompetenz - Möglichkeiten und Ansatzpunkte zur persönlichen 

Weiterentwicklung 


1-4 


Inhalt: Es wird ein Modul zum Themengebiet Wirtschafts- und 

Sozialwissenschaften in Zusammenarbeit mit dem Fachbereich 

Betriebswirtschaft angeboten. Zum Beispiel: -International 

Management - Marketing - Organisation und Personalführung 

Studienbehelfe / Literatur: Wird vor Beginn der Lehrveranstaltung bekanntgegeben. 





Inhalt: •Grundwortschatz 

•Aussprache 

•Grammatik 

•Lektüre, Dialoge 

•Infos über Land, Leute 




Verantwortliche Dozenten: Francoise Dauer 


Inhalt: Im Marketing werden Instrumente aus vier Bereichen eingesetzt: 

Produktpolitik - Preispolitik - Kommunikationspolitik - 

Distributionspolitik 

Die einzelnen Instrumente werden aufeinander abgestimmt und 

zu einem Marketing-Mix zusammengefügt. 

In dem Kurs werden die Vorgehensweisen der absatzpolitischen 

Bereiche dargestellt und anhand von Beispielen illustriert. Es 

werden kreative Aspekte der Marken-Neueinführung ebenso 

beleuchtet wie die Maßnahmen eines Unternehmens zur 

Signalisierung der Preiswürdigkeit seiner Produkte. Die 

Gestaltung von Werbebotschaften wird in Zusammenhang mit 

unterschiedlichen Absatzkanälen wie Handel, e-commerce oder 

Direktvertrieb aufgegriffen. 


Sonstiges: Eine erfolgreiche Bearbeitung des Lehrprogramms im 

Wahlpflichtfach Marketing erfordert Vertrautheit mit 

wirtschaftlichem Denken sowie Kenntnisse zu Grundlagen des 

Marketing. 

Nach Abschluss des Lehrprogramms sind die Teilnehmer in der 

Lage die wichtigsten begrifflichen und konzeptionellen Elemente 

des Marketing zu erläutern und anzuwenden. 



Verantwortliche Dozenten: Dr. rer. nat. Martina Wesselhöft 


Seite 27


Engineering 

Inhalt: Die Inhalte des Seminars basieren auf der Erfahrung, dass 

kommunikative Kompetenz auf drei Ebenen weiterentwickelt 

werden kann: 

1. Erlangung einer höheren Fachkompetenz durch Erweiterung 

des Wissens, 

2. Förderung der kritischen Distanz durch Selbstreflexion und 

3. Erweiterung des eigenen Handlungsspielraumes und des 

Vertrauens in die eigene Person durch Selbsterfahrung in 

ungewohnten Rollen und Situation. 

Voraussetzung hierfür ist, dass die Teilnehmer bereit sind, sich 

auf diesen Prozess 

einzulassen und ihre Erfahrungen einzubringen. Letzteres wird im 

Seminar geschehen und ist vorzubereiten, indem jeder 

Teilnehmer vor Beginn eine selbst erlebte 

Kommunikationssituation beschreibt, die aus seiner Sicht offene 

Fragen in sich birgt. Diese werden, in anonymisierter Form, 

Gegenstand der gemeinsamen Besprechung sein. 

Inhalt: 

- Gesprächsituationen im beruflichen Alltag: Situationsanalyse 

und Konsequenzen 

- Die Techniken der aktiven Gesprächsführung in der praktischen 

Anwendung 

- Die Rückmeldung als Grundlage für persönliche und betriebliche 

Veränderungsprozesse 

- Gespräche und Besprechungen vorbereiten und durchführen 

- Praktische Einführung ins interkulturelle Management 





Veranstaltung Französisch Grundkurs 



•Aussprache 

•Grammatik 


•Infos über Land und Leute 

Studienbehelfe / Literatur: Powerkurs für Anfänger Französisch“, Klett Nr 56 11 86 3 (s. FH 

Bibliothek Nr E-310- 30) entsprechen 





Seite 28


Modulgruppe: Technische Wahlpflichtfächer 1. Semester 

1. Semester Technische Wahlpflichtfächer 1. Semester (MN 10) 



Lernziele: Hier werden verschiedene Wahlpflichtfächer angeboten, aus denen 

sich die Studenten - nach den Vorgaben im Studienplan - die 

benötigte Anzahl an SWS auswählen können. 

Ziel ist es, das vorhandene und neu erworbene Wissen in den 

speziellen Gebieten der Mikro- und Nanotechnologie zu vertiefen 

und zu festigen. 

Die angebotenen Fächer können - je nach Bedarf - variiert werden. 




zugehörige Veranstaltungen: Biomedizinische Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologie I 

2V 

Biomedizinische Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologie II 

2L/S 

Chemische Nanotechnologie II 2V/L 

Funktionsmaterialien - Advanced Materials 2V 

Optimale Systeme und adaptive Signalverarbeitung 2V/L 

Simulation von µ-Systemen 

Einführung in die Finite-Elemente Methode und deren Anwendung 

4 

Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosensorik und -Aktorik 2 

Nanotechnology and Energy Applications 2 

Simulation von Mikro-Systemen 2 

Grundlagen digitale Signalverarbeitung 2 

Mathematik 5 2 

MEMS und NEMS für Anwendungen der Mikro- und 

Nanotechnologien und im Life Science Bereich 2 

Modulverantwortlich: Prof. Dr. Peter Pokrowsky 


Veranstaltung Biomedizinische Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologie I (MN 10-1-2) 


1-2 


Inhalt: Allgemeines zum Thema Mikro- und Nanotechnik in Biologie und 

Medizin: allgemeine Prinzipien Materialien theoretische und 

praktische Möglichkeiten Probleme und Grenzen Anwendungen in 

der Analytik: Spezielle Anwendungen der Mikroarrays (DNA-, 

Protein-Arrays) 

Anwendungen in der Diagnostik und in der Therapie: 

Quantumdots Hyperthermietherapie Multiplex ELISA 

Oberflächenmodifikation (Mikro- und Nanonprinttechniken) 

Nanotoxizität Microdevices für diagnostiche Analysen Spikes and 

Seeds für Strahlen-, Mikrowellen- und Hyperthermietherapie 

Zukunft der Mikro- und Nanotechnologie in der Biomedizin: 

Nanomotor molekulare Kopplungen molekulare Datenspeicher 

molekularer Computer 

Praktischer Teil: 

Übungen zur Oberlächenmodifikation: Beschichtung von 

Oberflächen mit Mikroprint, kovalente Ankopplung von Molekülen 

an Oberflächen Modifikation von Hydrogelen durch 

Extracellulärmatrixproteine Quantumdots in der Zellkultur 

Seite 29


Engineering 

Studienbehelfe / Literatur: Empfohlene Literatur: 

Nanoparticles in Biomedical Imaging: Emerging Technologies and 

Applications (Fundamental Biomedical Technologies) 

(Fundamental Biomedical Technologies) (Hardcover) by Jeff W.M. 

Bulte (Editor), Michael M.J. Modo (Editor) 

Nanomedicine, Vol. I: Basic Capabilities (Paperback) by Robert A. 

Freitas (Author) 

Nanomedicine, Vol. IIA: Biocompatibility (Paperback) by Robert A. 


Nanotechnology. Volume 5: Nanomedicine and 

Nanobiotechnology (Hardcover) by Carole Vogel (Author) 

Lehrsprache: deutsch oder englisch (je nach Teilnehmer) 



Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. med. Karl-Herbert Schäfer 

Veranstaltung Biomedizinische Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologie II (MN 10-1-3) 


1-3 


Inhalt: Die in der Parallelveranstaltung (Biomedizinische Anwendungen 

der Mikro- und Nanotechnologie) erworbenen theoretischen 

Kenntnisse sollen mit praktischen Übrungen anhand von 

konkreten Beispielen veranschaulicht werden. Beschichtung von 

Oberflächen mit Mikroprint kovalente Ankopplung von Molekülen 

an Oberflächen Modifikation von Hydrogelen durch 

Extracellulärmatrixproteine Quantumdots in der Zellkultur 

Studienbehelfe / Literatur: Empfohlene Literatur: 

Nanoparticles in Biomedical Imaging: Emerging Technologies and 

Applications (Fundamental Biomedical Technologies) 

(Fundamental Biomedical Technologies) (Hardcover) by Jeff W.M. 

Bulte (Editor), Michael M.J. Modo (Editor) 

Nanomedicine, Vol. I: Basic Capabilities (Paperback) by Robert A. 


Nanomedicine, Vol. IIA: Biocompatibility (Paperback) by Robert A. 


Nanotechnology. Volume 5: Nanomedicine and 

Nanobiotechnology (Hardcover) by Carole Vogel (Author) 

Lehrsprache: deutsch oder englisch (je nach Teilnehmer) 


Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2L/S 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. med. Karl-Herbert Schäfer 

Veranstaltung Chemische Nanotechnologie II (MN 10-1-5) 


1-5 


Inhalt: Prozesse und Charakterisierungsmethoden zur Chemischen 

Nanotechnologie werden erarbeitet, diskutiert und durchgeführt. 


Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2V/L 

Verantwortliche Dozenten: NAMED NOT 

Veranstaltung Funktionsmaterialien - Advanced Materials (MN 10-1-1) 


1-1 


Inhalt: Magnetismus, Supraleitung, Photonische Kristalle, 

piezoelektrische Materialien, nichtlineare Effekte in Festkörpern 

Magnetism, Superconductivity, Photonic Crystals, Piezoelectric 

Materials, Non-linear Effects in Solid Material 


Kittel: Introduction to Solid State Physics, Wiley 


Publications 


Seite 30


Engineering 


Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. rer. nat. Herbert Freimuth 

Veranstaltung Optimale Systeme und adaptive Signalverarbeitung (MN 10-1-4) 


1-4 


Inhalt: 1 Statistische Signale 

Studienbehelfe / Literatur: 

2 Zustandsraum-Darstellung von digitalen Systemen 

3 Einführung in die Signalschätzung und Systemidentifikation 

4 Grundlagen der linearen optimalen Systeme 

5 Wiener-Filter 

6 Kalman-Filter 

7 Adaptive FIR-Systeme 

- E. Hänsler: Statistische Signale; Springer Verlag, Berlin; 2001 

- H. Kronmüller: Digitale Signalverarbeitung; Springer Verlag, 

Berlin, 1991 

- S. J. Orfanidis: Optimum Signal Processing; McGraw-Hill, New 

York; 1988 

- E. W. Kamen, J. K. Su: Introduction to Optimal Estimation; 

Springer, London; 1999 

- G. S. Moschytz, M. Hofbauer: Adaptive Filter; Springer, Berlin; 

2000 

- D. Manolakis, V. Ingle, S. Kogon: Statistical and Adaptive Signal 

Processing : Spectral estimation, Signal Modeling, Adaptive 

Filtering and Array Processing; McGraw-Hill, Boston, 2000 - S. 

Haykin: Adaptive Filter Theory, 2nd ed.; Prentice-Hall, London; 

1991 

- W. Lechner, N. Lohl: Analyse digitaler Signale; Vieweg, 

Braunschweig, 1990 

- Arthur Gelb (ed.): Applied Optimal Estimation; MIT-Press, 

Cambridge, MA; 1974 

- V. Blobel, E. Lohrmann: Statistische und numerische Methoden 

der Datenanalyse; Teubner, - Stuttgart; 1998 - R. Isermann: 

Digitale Regelsysteme Band II, 2. Aufl.; Springer, Berlin; 1987 - J. 

G. Proakis, D. G. Manolakis: Digital Signal Processing “Principles, 

Algorithms and Applications; Prentice Hall; Upper Saddle River, 

NJ; 1996 

- A. V. Oppenheim, R. W. Schafer: Zeitdiskrete 

Signalverarbeitung; Oldenbourg Verlag; München, Wien; 1992 

- S. K. Mitra:Digital Signal Processing, A Computer Based 

Approach; McGraw-Hill; New York; 1998 





Veranstaltung Simulation von µ-Systemen 

Veranstaltungsnummer: Kurzzeichen: Semester: 1 

Umfang: ECTS P.: 

Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Kubitzki 

Veranstaltung Einführung in die Finite-Elemente Methode und deren Anwendung 



Sonstiges: Eingangsvoraussetzung zur Vorlesung "CAE Simulation und 

Optimierung I" 

(Sonderveranstaltung für ALS-Bachelor-Absolventen) 




Veranstaltung Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosensorik und -Aktorik 

Seite 31


Engineering 


Inhalt: Vertiefung von Themenstellungen der AVT in Anwendungen der 

Mikrosensorik-/ Aktorik anhand aktueller Entwicklungen und 

Produkte 




Veranstaltung Nanotechnology and Energy Applications 

Veranstaltung Simulation von Mikro-Systemen 

Inhalt: 

Ziel ist eine vertiefte Einsicht in den Aufbau von Mikrosensoren 

und –aktoren durch exemplarische Betrachtung konkreter 

Produktbeispiele bzw. aktueller Entwicklungen. (Beispiele: 

Drehratensensoren, DLP Mikrospiegel, MOEMS, SAW, 

Gassensoren, …) 

Diese exemplarische Betrachtung geht einher mit einer Vertiefung 

der physikalischen Wirkprinzipien und der zugrundeliegenden 

Fertigungstechniken inklusive AVT. Die exemplarische Analyse 

aktueller Lösungen soll den Teilnehmern Grundlagen für eigene 

Lösungsansätze eröffnen. 

Ergänzend zur Vorlesung werden aktuelle Veröffentlichungen zum 

Thema diskutiert. Studierende werden im Rahmen eines 

Vortrages ein Themenfeld vertieft bearbeiten und vorstellen 

(Seminarvortrag). 


Inhalt: Nanomaterials attract the attention of energy production and 

storage applications due to their extraordinary physical and 

chemical properties. The main challenges for the application of 

nanomaterials in energy sector are the efficiency, reliability and 

reduction of the cost. This lecture covers a brief introduction to the 

nanomaterials and applications in the field of energy. Basically 

solar energy, hydrogen storage, insulation materials, etc. will be 

covered. 


Sonstiges: •Written exam (80%) 

•Worksheets (20%) 



Inhalt: 

1. Introduction 

2. Synthesis and Characterization of Nanomaterials 

•Nanoparticles 

•Nanowires-Nanotubes 

•Thin Films 

3. Nanomaterials-Energy Production 

•Hydrogen as renewable energy 

•Thermoelectric materials 

•Solar photovoltaics 

•Solar thermal energy 

4. Nanomaterials-Energy Storage 

•Hydrogen storage 

•Battery technologies 

•Hi-tech capacitors 

5. Nanomaterials-Energy Saving 

•Insulation (Thermal and Electrical) 

•Lightweight composites 

•Frictionless surfaces 

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Engineering 

Veranstaltung Grundlagen digitale Signalverarbeitung 

Veranstaltung Mathematik 5 

Veranstaltung MEMS und NEMS für Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologien und im Life 

Science Bereich 


Inhalt: 1 Lösung gewöhnlicher Differentialgleichungen höherer Ordnung 

-Umformung in Cauchy-Form, in Zustandsraumdarstellung 

-Integrationsverfahren, 

-Lösung mit numerischen Methoden (ODE-Solver) in Scilab 

-Musterbeispiel mit DGL-2.Ordnung (Feder-Masse-Dämpfer- 

System) 

-Formulierung linearer, nichtlinearer DGL's 

-Grafische Darstellungen der Ergebnisse 

-Einbeziehung externer Eingangssignale (gemessene Verläufe) 

-Export der Ergebnisse für andere Programme 

-Numerische Randbedingungen und Fehlerbetrachtung 

2 Beschleunigungssensor 

-Funktionsprinzip, Grundgleichungen, Eckdaten 

-Simulation und Auswertung mit einem ODE-Solver 

-Randbedingungen aus der Signalverarbeitung 

•Bodediagramm Sensor 

•Filterentwurf 

•Antwortverhalten 

3 Umsetzung in eine Simulation mit grafischen Editor 

-Umformung in Strukturbild des Sensor 

-Formulierung der Filter-Übertragungsfunktion 

-numerische Randbedingungen 

-Umgang mit dem Programm als Ingenieurwerkzeug zur Planung 

-Vorgabe von Beschleunigungsprofilen und Auswertung des 

Antwortverhaltens 






Sonstiges: Sonderveranstaltung für ALS-Bachelor-Absolventen 




Inhalt: Nichtlineare Optimierungsprobleme: 

- Ableitungsfreie Verfahren 

- Unrestringierte Probleme 

- Probleme mit linearen Restriktionen 

- Probleme mit nichtlinearen Restriktionen 

Studienbehelfe / Literatur: Walter Alt: Nichtlineare Optimierung, Vieweg Verlag, ISBN: 3-528- 

03193-X 


Arbeitsaufwand: 2 SWS 




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Engineering 


Inhalt: Die Studierenden setzen sich konkret mit einzelnen 

wissenschaftlichen Arbeiten auseinander, die im Rahmen einer 

internationalen Tagung (Juli 2013, Campus Zweibrücken) 

präsentiert werden. 

Es stehen zwei Themenbereiche zur Auswahl: 

Studienbehelfe / Literatur: www.fh-kl.de/m6-conference 

1) Materialwissenschaften und Prozesstechnologien („Material 

Sciences and Fabrication Processes“) 

2) Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologie im Life Science 

Bereich (“Bioapplications of Micro- and Nanotechnologies?) 

Die Studierenden bearbeiten ein bis zwei Poster-Präsentationen 

aus einem der beiden Themenbereiche oder ein Workshop- 

Thema folgendermaßen: 

- themenbezogene Vorab-Recherche, 

- Erstellen eines Abstracts (Hausarbeit 1. Teil), 

- Erstellen und Halten eines Vortrags. 

Die Vorträge werden im Rahmen der Lehrveranstaltung (Juni 

2013) gehalten. 

Zusätzlich formulieren die Studierenden mindestens zwei Fragen, 

die sich kritisch mit dem Inhalt der Poster-Präsentation bzw. des 

Workshops auseinandersetzen. Diese Fragen diskutieren sie mit 

den entsprechenden Wissenschaftlern vor Ort, fassen die 

Diskussionsergebnisse zusammen und bewerten diese 

(Hausarbeit 2. Teil). 

International Conference in Advanced Manufacturing for 

Multifunctional Miniaturised Devices (M6 Conference), July 15 to 

July 16, 2013 in Zweibrücken, Germany 

Sonstiges: Lernziele: 

Erlernen von wissenschaftlichem Arbeiten anhand der Analyse 

wissenschaftlicher Publikationen (Zeitschriftenartikel, Poster, 

Vorträge) und der Interaktion mit internationalen Wissenschaftlern 

Vertiefung des Fachwissens bezüglich Herstellungsmethoden und 

Anwendungen anhand konkreter Beispiele 


Registrierung M6 Conference 

(Anmerkung: Teilnehmer des WPF sind von der Konferenzgebühr 

befreit) 

Prüfungsleistung: 

Hausarbeit, Vortrag 

Umfang der Veranstaltung: 

2 SWS (Zeitraum: Mai bis Juli 2013) 



Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. rer. nat. Sven Ingebrandt 


Prof. Dr. med. Karl-Herbert Schäfer 

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2. Semester Nichttechnische Wahlpflichtfächer 2. Semester (MN 11) 



Lernziele: Erwerb von Schlüsselqualifikationen Acquisition of key 

qualifications 

Eingangsvoraussetzungen: Interesse an der Thematik 

Anmeldeformalitäten: Es muss eine Lehrveranstaltung von 2SWS belegt werden. 

Anmeldeformalitäten s. Aushang Schaukasten 

Prüfungsmodalitäten: Benoteter Leistungsnachweis ("mit Erfolg bestanden"): Die von den 

Studierenden gewählte Lehrveranstaltung wird gewertet. Graded 

certificate of achievement ("successfully completed"): The subject 

chosen by the student is evaluated. 



zugehörige Veranstaltungen: Kommunikations- und Führungstechniken II (Communication and 

Leadership Techniques II) 2V 

Wissensmanagement (Knowledge Management / Sense-making) 

2V 

Französisch Grundkurs 2V 

Wirtschaftspsychologie 2V 

Vertragsrecht; Vertiefung 2V 

Französisch Aufbaukurs 2V 

Altertum-Mittelalter-Neuzeit: Die Entwicklung des kritischen 

Denkens 2 

Französisch Fortgeschrittene 2V 

Englische Konversation 2 

Veranstaltung Kommunikations- und Führungstechniken II (Communication and Leadership 

Techniques II) (MN 11-2-2) 


2-2 

Kurzzeichen: Semester: 2 WS 

Inhalt: Betreute Gruppenarbeiten, Gruppenpräsentationen, Diskussion, 

Rollenspiel u.a. Auf dem Arbeitsmarkt wird von den Bewerbern 

neben der inhaltlich-fachlichen Qualifikation zunehmend 

Kommunikations- und Führungskompetenz erwartet. Dazu zählt 

u.a., 

1. seine Argumente überzeugend vorzutragen, 

2. sein Wissen und seine Ideen verständlich zu präsentieren, 

3. die Fähigkeit, in Teams zu arbeiten und diese zu leiten und 

4. die effektive Gesprächsführung an den "Schnittstellen" zu 

Kunde, Kollege oder Mitarbeiter. Vor diesem Hintergrund 

beschäftigt sich die Veranstaltung u.a. mit den Grundlagen der 

Kommunikation und Führung, der Bedeutung von verbaler und 

nonverbaler Kommunikation, den Besonderheiten der 

Kommunikation im Unternehmen, den spezifischen Formen der 

Kommunikation wie Besprechungen, Meetings, 

Mitarbeitergesprächen, Verhandlungen und darauf bezogenen 

Arbeitsmitteln bzw. Techniken sowie Führungskonzepten und 

Führungsstilen. 

Studienbehelfe / Literatur: 1. Blom, H., Kommunikationstraining für Studium und Praxis. Köln 

1999. 

2. Pepels, W. (Hrsg.), Schlüsselqualifikationen im Marketing. Köln 

u.a. 2000. 

3. Staehle, W. H., Management: eine verhaltenswissenschaftliche 

Perspektive. München 1999. 

1. Herbig, A.F. (2004), Vortrags- und Präsentationstechnik, Books 

on demand, GmbH, Norderstedt, Germany. 





Veranstaltung Wissensmanagement (Knowledge Management / Sense-making) (MN 11-2-1) 

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Engineering 

Veranstaltungsnummer: MN 11- Kurzzeichen: Semester: 2 WS 

2-1 

Inhalt: Teil 1: Ideenfindung 

1. Methoden zur Ideenfindung und Bedarfsermittlung: Intuitive und 

diskursive Methoden, Methoden der Negation; etc. 

2. Analyse des Standes der Technik: Möglichkeiten der 

Recherche im Internet und bei den Informationszentren für 

Patente, Literaturrecherche, Möglichkeiten des Zugriffs auf 

Diplom- und Doktorarbeiten 

3.Trendanalyse: "Design - oder nicht sein" 

Veranstaltung Französisch Grundkurs 

Veranstaltung Wirtschaftspsychologie 

Teil 2: Realisierung 

1. Kombinieren von einzelnen Ideen zur komplexen 

Gesamtlösung. Transparente Darstellung aller Möglichkeiten im 

morphologischen Kasten. Auswählen geeigneter Lösungen. 

Verifikation der Funktion durch Simulation. 

2. Herstellung von Funktionsmustern durch rapid prototyping. 

Teil 3: Gewerbliche Schutzrechte 

1. Vergleich Patent, Gebrauchsmuster, Geschmacksmuster und 

Marken. Exkursion zu einer Patentauslegestelle. Durchführen von 

Recherchen, Teilnahme an einer Erfinderberatung. In den 

Übungen wird eine aktuelle Aufgabe im Team bis zur 

Patentanmeldung realisiert 

Studienbehelfe / Literatur: Pahl, Gerhard; Beitz, Wolfgang: Konstruktionslehre, Springer- 

Lehrbuch, Berlin 1997 


German 


Sonstiges: Ausarbeitung und Vorstellung der Teamarbeit und Klausur; Note 

wird gemittelt. (Leistungsnachweis) 

Project work and Presentation, Written exam (Certificate of 

achievement) 




Inhalt: •Erlernen des schriftlichen und mündlichen Ausdrucks 

•Erfahren von Informationen zur französischen Kultur 

•Übungen, Rollenspiele 

•Grundwortschatz 

•Aussprache 

•Grammatik 


•Infos über Land und Leute 

Studienbehelfe / Literatur: „Powerkurs für Anfänger Französisch“, Klett Nr 56 11 86 3 (s. FH 

Bibliothek Nr E-310-30) entsprechen 






Seite 36


Engineering 

Inhalt: Das Forschungsgebiet der Wirtschaftspsychologie beschäftigt 

sich mit dem subjektiven Erleben und dem Verhalten von 

Menschen im ökonomischen Umfeld sowie den sozialen 

Zusammenhängen. Wirtschaftspsychologie überträgt 

wissenschaftliche Erkenntnisse der angewandten Psychologie auf 

wirtschaftliche Fragestellungen. Dadurch wird versucht 

wirtschaftliches Verhalten zu erklären und vorherzusagen. 

Veranstaltung Vertragsrecht; Vertiefung 

Inhalt: 

Organisationspsychologie und Personalpsychologie 

Dieses Forschungsgebiet beschäftigt sich mit dem Erleben und 

Verhalten von Personal in Beruf und in Organisationen. Es geht 

dabei um Personalentwicklung, Personalauswahl, 

Personaleinsatz, Personalbeurteilung und Coaching. 

Marktpsychologie 

Hierbei geht es um Erleben und Verhalten von Menschen, die an 

einem Markt teilnehmen. Hierunter fallen u. a. 

Verkaufspsychologie, Handelspsychologie, Konsumpsychologie, 

Werbepsychologie und Marktforschung. 

Arbeitspsychologie 

Psychologischen Analyse, Bewertung und Gestaltung von 

Arbeitstätigkeiten und Arbeitsorganisationen. 

Führungspsychologie 




Verantwortliche Dozenten: Dr. rer. nat. Martina Wesselhöft 

Ziel- und situationsbezogenen Beeinflussung durch 

Führungskräfte im Führungsprozess. Das Hauptziel der 

Führungspsychologie besteht in der Gewinnung aussagefähiger 

Führungstheorien. 


Inhalt: Einzelheiten zu wichtigen Vertragsarten 

(Ansprüche und Haftung) 

Inhalt: 




Verantwortliche Dozenten: DirAG Klaus Biehl 

•Verzug und seine Rechtsfolgen 

•Allgemeine Geschäftsbedingungen (Wirksamkeit und Folgen) 

•Rechte und Pflichten aus Kaufvertrag 

•Rechte und Pflichten aus Werkvertrag 

•Rechte und Pflichten aus Leasingvertrag 

•Kreditsicherung 

•Abtretung und Factoring 

Seite 37


Engineering 

Veranstaltung Französisch Aufbaukurs 


Inhalt: Inhalte: 

Veranstaltung Altertum-Mittelalter-Neuzeit: Die Entwicklung des kritischen Denkens 

Veranstaltung Französisch Fortgeschrittene 

Veranstaltung Englische Konversation 

•Aspekte des aktuellen Frankreichsbilds 

•Wortschatzerweiterung 

•Schriftlicher und mündlicher Ausdruck 

•kurze Grammatikwiederholung 

Lern- und Handlungsziele: 

•Sich in Französisch unterhalten zu können 

•Presseartikel, Audios und Videos verstehen 

•Grammatikauffrischung 

Methoden : 

•Authentisches Material aus den Medien : Lektüre, Hörverstehen, 

Rollenspiele 


Sonstiges: Voraussetzungen : 




Französischkenntnisse, die in Wortschatz und Grammatik z.B. 

dem Buch „Powerkurs für Anfänger Französisch“, Klett Nr 56 11 

86 3 (s. FH Bibliothek Nr E-310-30) entsprechen 




Verantwortliche Dozenten: Ailsa Boyce, BA d. hons. T.E.F.L. 

Prof. Dr. Markus Groß 



•Aussprache 

•Grammatik 


•Infos über Land, Leute 






Seite 38


Engineering 

Studienbehelfe / Literatur: Themen von Brian Cox und der unten erwähnten DVD als Basis 

der Diskussionen: 

DVD Description 

“Fantastic television, the BBC at its best.? Sunday Express 

“A sense of wonder underscores every Cox sentence and it’s 

utterly 

contagious.? The Guardian 

Wonders of the Solar System 

With incredible images and CGI footage this spellbinding series 

explains how the laws of physics carved natural wonders across 

the 

solar system. Witness giant ice fountains rising over 100km high; 

an 

ocean hidden beneath a crust of ice; blood red storms twice the 

size 

of our planet and immense volcanoes that could rip a planet apart. 

Wonders of the Universe 

Who are we? Why are we here? Where do we come from? These 

are among 

the most enduring and profound questions we can ask and it is an 

essential part of human nature to want to find the answers. Our 

journey began 13.7 billion years ago with the beginning of our 

universe and in this series Prof. Brian Cox tells the epic story of 

our universe and shows how its story is also our story. 

This special edition release features exclusive audio 

commentaries and 

includes a bonus disc featuring nearly 3 hours of material brand 

new 

to DVD, including hilarious out-takes, the Horizon films What On 

Earth 

is Wrong with Gravity? Do You Know What Time It Is? and Can 

We Make a 

Star on Earth? 

Extras 

•Audio Commentaries 

•What on Earth is Wrong with Gravity? 

•Can We Make a Star on Earth? 

•Do You Know What Time It Is? 

•Blunders of the Universe 

Lehrsprache: Englisch 



max. Teiln.: 2 x 10 Teilnehmer 

Verantwortliche Dozenten: Ailsa Boyce, BA d. hons. T.E.F.L. 

Seite 39



2. Semester Technische Wahlpflichtfächer 2. Semester (MN 10) 



Lernziele: Hier werden verschiedene Wahlpflichtfächer angeboten, aus denen 

sich die Studenten - nach den Vorgaben im Studienplan - die 

benötigte Anzahl an SWS auswählen können. 

Veranstaltung Biodesign II (WPF) (MN 8-2-3) 

Ziel ist es, das vorhandene und neu erworbene Wissen in den 

speziellen Gebieten der Mikro- und Nanotechnologie zu vertiefen 

und zu festigen. 

Anmeldeformalitäten: 

Die angebotenen Fächer können - je nach Bedarf - variiert werden 

gemäß Prüfungsordnung 

Prüfungsart: 

Teilprüfung: 



Klausur 3223 µC-Anwendungen in Sensorik 

und Aktorik 

0 / 1 

Klausur 3320 Lasertechnik III 0 / 1 

Klausur 3393 Grundlagen digitale 

Signalverarbeitung - 

Sonderveranstaltung für ALS- 

Bachelor-Absolventen 

0 / 1 

Klausur 3319 Oberflächenmesstechnik 0 / 1 



zugehörige Veranstaltungen: Biodesign II (WPF) 2V 

CAE-Simulation und Optimierung II 2V/L 

Spezielle Themen der Analytik - Special topics of surface and bulk 

analytics 2V 

Lasertechnik III 2V 

Mathematik 4 2V 

µC-Anwendungen in Sensorik und Aktorik 2V/Ü 

Spezielle Übungen zur 3D-CAD 4S 

Spezielle Übungen zur Finiten-Elemente-Methode 4S 

Oberflächenmesstechnik 2V 

NANOMATERIALS: Synthesis, Properties and Applications 2V 

Funktionsmaterialien - Advanced Materials 2 

Fertigungsprozesse in der MST - Sonderveranstaltung für ALS- 

Bachelor-Absolventen 4V/S 

Grundlagen Festkörperphysik - Sonderveranstaltung für ALS- 

Bachelor-Absolventen 2V/L 

Chemische Mikrofertigungsverfahren - Sonderveranstaltung für 

ALS-Bachelor-Absolventen 2V/L 

Grundlagen digitale Signalverarbeitung - Sonderveranstaltung für 

ALS-Bachelor-Absolventen 2V/L 

Mathematik 5 - Teil 2 2 



2-3 

Kurzzeichen: BIOD II Semester: 2 WS 

Inhalt: Das Wahlpflichtfach BIODESIGN II ermöglicht eine Vertiefung der 

Inhalte aus dem Modul BIODESIGN I mit praktischem Anteil, 

welcher, je nach der zu bearbeitenden aktuellen Aufgabe, an der 

eigenen Crashbahn, im Design Center von Luigi Colani in 

Karlsruhe, am Olympiastützpunkt in Saarbrücken ( Prof. Dr. 

Felder) oder an den Universitätskliniken des Saarlandes (Dr. 

Krick) stattfinden wird. 

Durchführen einer aktuellen Aufgabe aus einem 

Forschungsprojekt mit theoretischen und praktischen Anteilen. 

Gemeinsames Planen der Vorgehensweise und Ermitteln des 

Standes der Technik sowie Vergleichen von ähnlichen Prozessen 

in der Natur. 

Seite 40


Engineering 

Studienbehelfe / Literatur: Blüchel, Kurt G. und Fredmund Malik: Faszination Bionik, Die 

Intelligenz der Schöpfung, Mcb Verlag 2006, ISBN 3-939314-00- 

5; Blüchel, Kurt G.: Bionik. Wie wir die geheimen Baupläne der 

Natur nutzen können, Goldmann 2006, ISBN 3-442-15409-X; 

Brickwedde/Erb/Lefevre/Schwake: Bionik und Nachhaltigkeit - 

Lernen von der Natur, Erich Schmidt Verlag, Berlin, 2007, ISBN 

978-3-503-10325-6; Cerman, Zdenek, Wilhelm Barthlott, Jürgen 

Nieder: Erfindungen der Natur. Rowohlt Reinbek bei Hamburg 

2005, ISBN 3-499-62024-3- Kesel, Antonia B.: Bionik, Fischer 

2005, ISBN 978-3-596-16123-2; Kummer, B.: Biomechanik 2005. 

Deutscher Ärzte-Verlag, Köln 2007, ISBN 978-3-7691-1192-7 

(Form und Funktion des Bewegungsapparates); Law, Alma, Mel 

Gordon: Meyerhold, Eisenstein and Biomechanics. Actor Training 

in Revolutionary Russia, McFarland &Company, Inc. Publishers. 

1996; Matthek, Claus: Design in der Natur. Rombach Verlag. 

Freiburg, 1993 -Meyer, Veronika R., Marcel Halbeisen: Warum 

gibt es in der Natur keine Räder? Biologie in unserer Zeit 

36(2),S.120-123 (2006), ISSN 0045-205X; Nachtigall, Werner, 

Kurt G. Blüchel: Das große Buch der Bionik. Neue Technologien 

nach dem Vorbild der Natur, DVA Stuttgart und München 2000, 

ISBN 3-421-05379-0, (Sonderausgabe 2003 unter ISBN 3-421- 

05801-6); Nachtigall, Werner: Natur macht erfinderisch. Das 

große Buch der Bionik, Ravensburger Buchverlag 2. Auflage 

2001, ISBN 3-473-35890-8 - Rechenberg, Ingo: 

Evolutionsstrategie. Optimierung technischer Systeme nach 

Prinzipien der biologischen Evolution, 1972, ISBN 3-7728-0374-1; 

Rechenberg, Ingo: Evolutionsstrategie 94, Frommann-Holzboog 

Stuttgart 1994, ISBN 3-7728-1642-8; 

Rechenberg, Ingo: Photobiologische Wasserstoffproduktion in der 

Sahara, Frommann-Holzboog Stuttgart 1994, ISBN 3-7728-1643- 

6; Rossmann, T., C. Tropea: Bionik: Aktuelle 

Forschungsergebnisse in Natur-, Ingenieur- Und 

Geisteswissenschaft. Springer Berlin 2004 






Veranstaltung CAE-Simulation und Optimierung II (MN 10-2-2) 


2-2 


Inhalt: Einleitung, Optimierungsproblematik, Methodenübersicht, 

mathematische Parameteroptimierungsverfahren, 

Parametervariationsverfahren selektive Kräftepfadoptimierung, 

Biotechnische Strategien CAO, SKO, Lösen von 

Optimierungsproblemen mit I-DEAS 

Studienbehelfe / Literatur: Handreichungen, einschlägige Fachliteratur wie: 

Klein Bernd: FEM Grundlagen und Anwendungen der Finite- 

Elemente-Methode, Vieweg, Braunschweig, 3. Aufl. 1999. 

Steinbuch R.: Simulation im konstruktiveb Maschinenbau, Hanser 

Verlag, Leipzig, 2004. 

Zienkiewicz O.C., Taylor R.L.: The finite element method, Vol. l, 

McGraw-Hill, 1989, Vol. 2, McGraw-Hill, 1991. 

Meißner U.; A. Menzel: Die Methode der finiten Elemente, 

Springer-Verlag, 1989. 

Argyris J.; H.-P. Mlejnek: Die Methode der Finnen Elemente, 

Vieweg, 1986. 

Bathe Klaus-Jürgen: Finne-Elemente-Methoden, Springer-Verlag, 

Berlin, 1986. 

Silber G.; Steinwender F.: Bauteilberechnung und Optimierung mit 

der FEM,Teubner-Verlag, Leipzig, 2005. 

Matteck C.: Design in der Natur, Rombach Ã–kologie (1997). 

Lehrsprache: Vorlesung in deutscher Sprache, Arbeitsmaterialien überwiegend 

in englischer Sprache. 

Arbeitsaufwand: 15h Vorlesung 

15h Labor 


Seite 41


Engineering 





Veranstaltung Spezielle Themen der Analytik - Special topics of surface and bulk analytics (MN 10-2-1) 


2-1 


Inhalt: Vertiefung der theoretischen Kenntnisse mathematischer und 

physikalischer Hintergründe analytischer Verfahren 

Knowledge of mathematics and physics behind analytical 

methods 

Veranstaltung Lasertechnik III (M 10) 

Zusammenfassung der Grundlagen der Quantenmechanik 

Mathematische Grundlagen (z.B. Fouriertransformation, 

Faltung...) Theorie der spektroskopischen Methoden 

(Mikroskopie, Streumethoden, Emissions- und 

Absorptionsspektroskopie) 

Summary of fundamentals of quantum mechanics Mathematical 

tools (e.g. Fourier transformation, Faltung) Theory of spectrocopic 

methods (microscopy, diffraction, emission and absorption 

spectroscopy) 

Studienbehelfe / Literatur: P.A. Tipler: Physik, Spektrum Verlag 

R. P. Feynmann, Quantum Mechanics, Addison Wesley 

L.I. Schiff, Quantum Mechanics, MCGraw Hill 

N.V. Richardson, S. Holloway, Handbook of Surface Science, 

Elsevier 

Skoog, Holler, Niemann, Principles of Instrumental Analysis, 

Saunders College Publishers 

Recent Publications 

Lehrsprache: Englisch oder Deutsch (abhängig von Teilnehmern) English or 

German (depending on participants) 




Veranstaltungsnummer: M 10 Kurzzeichen: Semester: 2 WS 

Inhalt: Entwicklung der wichtigsten Eigenschaften von Laserstrahlung 

aus den Maxwellschen gleichungen und der Matrizenoptik: 

Erzeugung, Eigenschaften und Ausbreitung von Laserstrahlung, 

Umsetzung der theoretischen Kenntnisse auf die 

Lasermaterialbearbeitung, Selbständiges Design optischer 

Aufbauten 

Erkennen und Beurteilen von Gefahren durch Laserstrahlung und 

ihre Beseitigung 

Studienbehelfe / Literatur: Kneubühl, Sigrist: Laser, Teubner Verlag, ISBN: 3-519-33032-6 

Lange: Einführung in die Laserphysik, Wissenschaftliche 

Buchgesellschaft, ISBN: 3-534-06835-1 

Bauer: Lasertechnik, Vogel Fachbuch; ISBN: 3-8023-0437-3 

Donges, Noll: Lasermesstechnik, Hüthing Verlag, ISBN: 3-7785- 

2216-7 

Donges: Physikalische Grundlagen der Lasertechnik, Hüthing 

Verlag, ISBN: 3-7785-1320-6 

Young: Optik, Laser, Wellenleiter, Springer Verlag, ISBN: 3-540- 

60358-1 

Meschede: Optik, Licht und Laser, ISBN: 3-519-03248-1 

Niemz: Laser - Tissue Interactions, Springer, ISBN: 978-3-540- 

72191-8 


Arbeitsaufwand: 30h Vorlesung 45h Selbststudium 


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Engineering 



Veranstaltung Mathematik 4 (M 10) 

Veranstaltungsnummer: M 10 Kurzzeichen: Semester: 2 WS 

Inhalt: Analysis: - Potenz- und Fourier-Reihen - Fourier-Transformation - 

Linien- und Oberflächenintegrale - Integralsätze von Gauß und 

Stokes - Differentialgleichungen 

Studienbehelfe / Literatur: - Lothar Paula: Mathematik für Ingenieure, Band I, II und III, 

Wiesbaden, Vieweg Verlag, 

Lehrsprache: Deutsch , German 


15h Übung 



Sonstiges: Prüfungsleistung (Note): Klausur Examination performance 

(graded): Written exam 



Veranstaltung µC-Anwendungen in Sensorik und Aktorik 


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Engineering 

Inhalt: 1 Linearisierung und Formatierung von Analogsignalen 

1.1 Look-Up-Tabelle 

1.2 Funktion mit Integerarithmetik 

1.3 Linearisierung mit stückweise stetigen Kennlinien 

2 Ausgabe von Informationen 

2.1 Allgemeines zum Thema Portausgabe 

2.1.1 Parametrierung und Bedienung eines Port-Pins zur Ausgabe 

2.1.2 Ansteuerung einer LED, eines Relais 

2.1.3 Steuerung von Verbrauchern mit Leistungshalbleitern 

2.1.4 Motorsteuerung für Gleichstromkleinmotoren im 4- 

Quadrantenbetrieb 

2.1.5 Lageregelung mit Motorpotenziometer 

2.1.6 Signalerzeugung mit D/A-Wandler-Baustein 

2.1.7 Ausgabe binärer Informationen über I2C-Bus 

3 Einlesen binärer Informationen 

3.1 Sichere Beschaltung eines Ports für Ein- , Ausgabebetrieb 

3.2 Zyklisches Einlesen (Polling-Betrieb) mit HW-Entprellung 

3.3 Zyklisches Einlesen (Polling-Betrieb) mit SW-Entprellung 

3.4 Einlesen bei Signaländerung (Interruptbetrieb) mit HW- 

Entprellung 

3.5 Drehrichtungserkennung über Inkrementalgeber mit 2 

Taktspuren 

3.6 Tastatureingaben über Analogeingang 

4 Anwendungen Timer 

4.1 Auslösen periodischer Vorgänge 

4.2 Beispiel 1, periodische Ausführung mit ISR 

4.3 Beispiel 2, periodische Ausgabe mit Compare-Interrupt 

4.4 Beispiel 3, periodische Ausgabe PWM-Signal mit variablem 

Tastverhältnis 

4.5 Beispiel 4, Frequenzmessung an einer externen Quelle mit 

zwei Timern 

5 Literaturverzeichnis 

Studienbehelfe / Literatur: Skript zur Vorlesung unter http://www.fh-kl.de/~kubitzkimit 

ausführlichem Literaturverzeichnis und allen Links auf wichtige 

Webseiten, 

Beispielprogramme zum Skript sind ebenfalls unter der URL als 

zip-Archivdatei zu finden. 


Arbeitsaufwand: 30h Vorlesung/Übung 

45h Eigenarbeit und Prüfungsvorbereitung 


Sonstiges: Mindestteilnehmerzahl: 3 

Seite 44


Engineering 

Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2V/Ü 



Veranstaltung Spezielle Übungen zur 3D-CAD 


Inhalt: Bearbeitung und Lösung ausgewählter Konstruktionsaufgaben 

mittels des 3D-CAD Programmsystems I-DEAS. 

Veranstaltung Spezielle Übungen zur Finiten-Elemente-Methode 

Veranstaltung Oberflächenmesstechnik 

Inhalt: 

Einleitung, Modellierungstechniken, erweiterte 

Baugruppenmodellierung (Assembly Technologie, assoziative und 

nichtassoziative Zeichnungserstellung, fortgeschrittene 

Konstruktionsprojekte. 






Inhalt: Bearbeitung und Lösung ausgewählter Aufgabenstellungen 

mittels der Finiten-Elemente-Methode (FEM). 

Inhalt: 

Einleitung, Vernetzungsstrategien, Auswahl geeigneter Finite- 

Elemente für MST-Anwendungen, Reduzierung des 

Modellierungsaufwandes durch Ausnutzung von Symmetrien, 

Gebrauch von Balkenelementen, Berechnung Thermischer 

Eigenspannung, Anisotrope Werkstoffmodellierung, 

Auswertestrategien. 






Inhalt: Kennenlernen der wichtigsten Methoden zur mikroskopischen 

Charakterisierung von Oberflächen: Optische Mikroskopie, 

Elektronenmikroskopie, Rastersondenmikroskopie; 

Kennzahlen zur Charakterisierung von rauen Oberflächen und ihr 

Einfluß auf optische Messungen. 

Studienbehelfe / Literatur: Schröder: Technische Optik, Vogel Fachbuch, ISBN: 3-8023- 

0067-X 

Naumann, Schröder: Bauelemente der Optik, Hanser Verlag, 

ISBN: 3-446-17036-7 

Flegler, Heckman, Klomparens: Elektronenmikroskopie, Spektrum 

Verlag, ISBN: 3-86025-341-7 

Alexander: Grundlagen der Elektronenmikroskopie, Teubner 

Verlag, ISBN: 3-519-03221-X 

A practical Guide to Scanning Probe Microscopy, Park Scientific 

Instruments 

Skoog, Leary: Instrumentelle Analytik, Springer Verlag, ISBN:3- 

540-60450-2 

Ehrfeld (Hrsg.) Handbuch Mikrotechnik. Hanser Verlag, ISBN: 3- 

446-21506-9 

Sorg: Rauheitsmessung und Oberflächenbeurteilung, Hanser 

Verlag, ISBN: 3-446-17528-8 


Seite 45


Engineering 






Veranstaltung NANOMATERIALS: Synthesis, Properties and Applications 


Inhalt: This course will present an overview of nanomaterials. At the 

beginning a brief introduction will be given and this will highlight 

the need for the nanomaterials and their applications. The main 

emphasis will be given to the material science and engineering 

approach of these smart materials. The introduction will be 

followed by the detailed description of the synthesis methods of 

nanomaterials. In this context, nanomaterials are classified into 

three main groups: 

zero dimensional (0D), 

one dimensional (1D) and 

two dimensional (2D) nanomaterials. 

In addition to synthesis approaches, chemical and physical 

properties of nanomaterials will be covered briefly. Finally, 

superior properties of nanomaterials will be introduced with some 

technological applications. In summary the course is designed to 

form a bridge between nanoscience and nanotechnology for 

graduate and advanced students. 

Aim: 

The aim of this course is to gain an overview on nanomaterials 

and their applications. 

Lecture topics: 

Introduction to nanomaterials 

“Nano? and material science 

Synthesis of nanomaterials 

•Zero dimensional (0D) nanomaterials: Nanoparticles 

•One dimensional(1D)nanomaterials: Nanowires, Nanotubes, 

Nanorods 

•Two dimensional nanomaterials (2D): Thin films and coatings 

Properties of nanomaterials 

•Chemical properties 

•Magnetic properties 

•Optical properties 

•Electrical properties 

•Thermal properties 

•Mechanical properties 

Characterization of nanomaterials 

Application of nanomaterials 

•Nanoelectronics 

•Nanocatalysis 

•Nanobiotechnology/Nanomedicine 

•Nanomechanics 

•Nanophotonics 

Studienbehelfe / Literatur: •PowerPoint presentations 

•Printed lecture notes 

•Worksheets 

•Handouts 

•Lab visits (optional-will be announced later) 


Sonstiges: •Written exam (80 %) 

•Handouts (20 %) 


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Engineering 

Veranstaltung Funktionsmaterialien - Advanced Materials 

Veranstaltung Fertigungsprozesse in der MST - Sonderveranstaltung für ALS-Bachelor-Absolventen 

Veranstaltung Grundlagen Festkörperphysik - Sonderveranstaltung für ALS-Bachelor-Absolventen 

Veranstaltung Chemische Mikrofertigungsverfahren - Sonderveranstaltung für ALS-Bachelor- 

Absolventen 

Veranstaltung Grundlagen digitale Signalverarbeitung - Sonderveranstaltung für ALS-Bachelor- 

Absolventen 


Inhalt: Magnetismus, Supraleitung, Photonische Kristalle, 

piezoelektrische Materialien, nichtlineare Effekte in Festkörpern 

Magnetism, Superconductivity, Photonic Crystals, Piezoelectric 

Materials, Non-linear Effects in Solid Material 


Kittel: Introduction to Solid State Physics, Wiley 


Publications 



Verantwortliche Dozenten: Dr. Freimuth 


Inhalt: Inhalte sind Voraussetzung für MN04 "Konzeption, Herstellung 

und Test von Mikrosystemen" 

Vorbereitung auf und Ergänzung zur Laborveranstaltung 

"Drucksensor" 


Umfang: ECTS P.: 4 / SWS: 4V/S 



Inhalt: Inhalte sind Voraussetzung für "Festkörperphysik" 





Inhalt: Inhalte sind Voraussetzung für "Elektrochemische Methoden" 





Inhalt: Inhalte sind Voraussetzung für "Digitale Signalverarbeitung, 

Methoden und Implementierung" 




Veranstaltung Mathematik 5 - Teil 2 


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Engineering 

Inhalt: Nichtlineare Optimierungsprobleme: 

- Ableitungsfreie Verfahren 

- Unrestringierte Probleme 

- Probleme mit linearen Restriktionen 

- Probleme mit nichtlinearen Restriktionen 

Studienbehelfe / Literatur: Walter Alt: Nichtlineare Optimierung, Vieweg Verlag, ISBN: 3-528- 

03193-X 



Sonstiges: Für Teilnehmer aus SS2012 



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Modulhandbuch Studiengang Micro Systems and Nano Technologies

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