Untersuchung topographischer Strukturen verschiedener - OPUS ...

4 Ergebnisse
Abbildung 4 Oberflächenstruktur und Höhendiagramme nach Inkubation in B1
Abbildung 4 zeigt in A die Oberflächenstruktur nach einer Ätzzeit von 1 min. In
A und A′ ist ein Ausschnitt von 1 µm x 1 µm dargestellt, in B und D 10 µm x
10 µm.
Schon nach einer Ätzdauer von 1 Minute zeigte sich eine deutlicher
akzentuierte Topographie (A, A′). Die Höhenunterschiede betrugen 3 nm,
anstatt 0,8 nm, wie aus den Höhenprofilen in A′ und B′ ersichtlich ist.
Um kurz die Entwicklung der Oberflächenstruktur bei Verlängerung der Beizzeit
zu beschreiben lässt sich zusammenfassen, dass sich nach einer Ätzzeit von
2 min auffallende Höhenunterschiede von bis zu 60 nm zeigen. Nach einer
Ätzzeit von 4 min die Höhenunterschiede ca. 12 nm betrugen. Bei einer Ätzzeit
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