Untersuchung topographischer Strukturen verschiedener - OPUS ...

4 Ergebnisse
Zur Erklärung: Die Auflösung des AFM ist indirekt proportional zu der
Rauhigkeit der Oberfläche, daher erscheinen die 1x1 µm Ausschnitte oftmals
unscharf.
4.3 Oberflächencharakterisierung mit IP Auto Probe
Ra [nm]
600
500
400
300
200
100
0
-100
Rauigkeit nach Ätzen mit B1
1 2 4 6 10
Ätzzeit in min
39
10x10 µm
1x1 µm
Abbildung 8 Rauhigkeit nach Ätzen mit B1 über einen Zeitraum von 10 min
Abbildung 8 zeigt die Rauhigkeit in nm über eine Ätzdauer von 10 min mit V2A-
Beize auf 1x1 µm und 10x10 µm Ausschnitten der Probe. Auf dem 1x1 µm-
Ausschnitt erreicht die Rauhigkeit nach 4 min und nach 10 min ihr Maximum
von etwa 12 nm, wohingegen dieses bei dem größeren Ausschnitt nach einer
Ätzzeit von 2 min und 10 min mit einem Wert von etwa 50 nm auftritt.