10.07.2015 Views

Hội nghị Khoa học thường niên ĐH KH Tự Nhiên ... - Website cá nhân

Hội nghị Khoa học thường niên ĐH KH Tự Nhiên ... - Website cá nhân

Hội nghị Khoa học thường niên ĐH KH Tự Nhiên ... - Website cá nhân

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

IX-O-2.1MÀNG ZnO VÀ ZnO:Sn TỔNG HỢP BẰNG PHƯƠNG PHÁP SOL GELCHO ỨNG DỤNG DÒ <strong>KH</strong>Í RƯỢUTrịnh Thanh Thuỷ,Từ Ngọc Hân, Lê Huy Hoàng, Lê Viết Hải, Trần Tuấn,Lê Khắc Bình<strong>Khoa</strong> <strong>Khoa</strong> học Vật liệu, Trường Đại học <strong>Khoa</strong> học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCMTóm tắtMàng mỏng ZnO và ZnO:Sn với những nồng độ pha tap khác nhau (0, 2, 4, 6, 8, 10% nguyên tử) được tạo bằng phương pháp sol gel từ vật liệu ban đầu là Zn(CH 3 COO) 2 .2H 2 Ovà SnCl 4 .5H 2 O với dung môi 2-methoxyethanol và chất ổn định monoethanolamine. Kết quảcho thấy nồng độ pha tạp Sn có ảnh hưởng mạnh mẽ lên cấu trúc và độ nhạy của màngmỏng ZnO (nồng độ pha tạp tối ưu là 6% nguyên tử). Màng ZnO:Sn với nồng độ 6 at% cóđộ nhạy rất tốt với khí rượu (C 2 H 5 OH) ở 350 o C, 300 o C và 250 o C (10-40 sccm), cho thấykhả năng giảm nhiệt độ hoạt động của màng ZnO. Các phép đo XRD, FESEM, TEM… chothấy màng ZnO và màng ZnO pha tạp có cấu trúc nano đồng đều với kích thước hạt trungbình trong khoảng từ 11 nm đến 28 nm. Các kết quả cho thấy khả năng chế tạo màng ZnOnhạy khí kích thước nano hoạt động trong vùng nhiệt độ thấp (200-300 o C).Từ khoá: màng ZnO, ZnO:Sn, cấu trúc nano, nhạy khí rượuALCOHOL SENSING OF ZnO AND ZnO:Sn THIN FILMS PREPAREDBY SOL-GEL PROCESSTrinh Thanh Thuy, Tu Ngoc Han, Le Huy Hoang, Le Viet Hai, Tran Tuan,Le Khac BinhFaculty of Material Science, University of Science-VNU HCMCAbstractZnO and ZnO:Sn thin films with different concentration dopants (0, 2, 4, 6, 8, and 10at.%) were prepared by the sol–gel method, used zinc acetate dihydrate, 2-methoxyethanoland monoethanolamine as the precursor, solvent and stabilizer, respectively. Theexperimental results show that the amount of dopant has a great influences on the filmgrowth process, grain size and sensitivity of the thin films (the optimum Sn concentrationvalue was 6 at.%). ZnO:Sn thin films with 6 at% dopant express the high sensitivity withethanol (from 10 - 40 sccm) at low temperature (250 o C). The XRD results and FESEM,TEM images demonstrated that ZnO thin films have the uniform nano structure withaverage grain size from 11 to 28 nm. All resuls show the ability to fabricate the sensitiveZnO thin films operated at low temperature (200-300 o C).Key words: ZnO: Sn thin films, nanostructure, high sensitivity with ethanol415

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!