TEMA 15 - Materials Science Institute of Madrid

Sección eficaz de dispersión: sensibilidad elemental
Sección eficaz diferencial de dispersión: probabilidad de observar una
partícula dispersada por unidad de ángulo sólido (cono de observación)
flujo dispersado
unidad de superficie
d
flujo incidenteid
d unidad de ángulo sólido
qZ 1
RBS: “PROYECTÍL”
2
m
1
cos
1
sin
2 2 4
m
2
d
Z1
Z2e
RBS
2 2 4
d
4(4
) sin
2
0
E1
m
1
1
sin
m 2
ERDA: “RECOIL”
2 2 4
d
ERD
Z1
Z2e
m1
m
2 2 3
4 4
d
( 0)
E1
cos m2
2
2
2
m1
m2
r
2 2 4
Z1
Z2e
16(4
)
2
0
Rutherford:
Coulomb
potential
2
q Z1Z
2
F
2
qZ 2 4
r
Z Z
4(
4
2
1
2
2
4
2 2
0)
E1
1
4
E sin
rgago@icmm.csic.es Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC) 23/62
2
1
~10 -24 cm 2 (barn)/sr
10 6 -10 8 ions/event
e m
3
cos m
1
2
0
2
Resolución y análisis en profundidad
Perfil de composición:
transformar escala de energía a
profundidad (integración de capas)
x
E 2
d out
Resolución en profundidad:
E
E E x [ S]
E
x
E
d in
[S] S
β
E 1 = k E 0
Surface Energy Approximation (SEA):
x
dE
E E0
cos
dx
x dE
E2
kE kE0
x[
S]
cos dx out
1 dE 1 dE
[ S]
k
cos
dx in
cos dx out
in
E 0,i
2
x E ΔE detector, x (straggling),…
x [S] -1 “path length” (α,β) y/o E loss
STRAGGLING: x aumenta con “x”
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