TEMA 15 - Materials Science Institute of Madrid

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Sección eficaz de dispersión: sensibilidad elemental Sección eficaz diferencial de dispersión: probabilidad de observar una partícula dispersada por unidad de ángulo sólido (cono de observación) flujo dispersado unidad de superficie d flujo incidenteid d unidad de ángulo sólido qZ 1 RBS: “PROYECTÍL” 2 m 1 cos 1 sin 2 2 4 m 2 d Z1 Z2e RBS 2 2 4 d 4(4 ) sin 2 0 E1 m 1 1 sin m 2 ERDA: “RECOIL” 2 2 4 d ERD Z1 Z2e m1 m 2 2 3 4 4 d ( 0) E1 cos m2 2 2 2 m1 m2 r 2 2 4 Z1 Z2e 16(4 ) 2 0 Rutherford: Coulomb potential 2 q Z1Z 2 F 2 qZ 2 4 r Z Z 4( 4 2 1 2 2 4 2 2 0) E1 1 4 E sin rgago@icmm.csic.es Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC) 23/62 2 1 ~10 -24 cm 2 (barn)/sr 10 6 -10 8 ions/event e m 3 cos m 1 2 0 2 Resolución y análisis en profundidad Perfil de composición: transformar escala de energía a profundidad (integración de capas) x E 2 d out Resolución en profundidad: E E E x [ S] E x E d in [S] S β E 1 = k E 0 Surface Energy Approximation (SEA): x dE E E0 cos dx x dE E2 kE kE0 x[ S] cos dx out 1 dE 1 dE [ S] k cos dx in cos dx out in E 0,i 2 x E ΔE detector, x (straggling),… x [S] -1 “path length” (α,β) y/o E loss STRAGGLING: x aumenta con “x” rgago@icmm.csic.es Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC) 24/62 1 12
PARTE 3: Técnicas experimentales y ejemplos ilustrativos rgago@icmm.csic.es Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC) 25/62 RBS •(•,•)• rgago@icmm.csic.es Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC) 26/62 13
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