EspectroscopÃa de electrones fotoemitidos (X-ray ... - CNyN - UNAM
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PRIMERA SEMANA DE CIENCIA, TECNOLOGÍA Y CULTURA<br />
CICATA-ALTAMIRA<br />
Perfil <strong>de</strong> profundidad<br />
Material<br />
erosionado<br />
Se asume una velocidad<br />
constante <strong>de</strong> erosión<br />
Análisis por XPS<br />
Erosión con iones <strong>de</strong> Ar +<br />
Análisis por XPS<br />
Área <strong>de</strong>l pico<br />
Tiempo <strong>de</strong> erosión<br />
Área <strong>de</strong>l pico<br />
Tiempo <strong>de</strong> erosión<br />
Concentración<br />
Profundidad<br />
Calibración <strong>de</strong> la escala <strong>de</strong> profundidad:<br />
• A partir <strong>de</strong> la velocidad <strong>de</strong> erosión, obtenida <strong>de</strong>l tiempo que<br />
se tarda en erosionar una capa <strong>de</strong>l mismo material, la cual<br />
tenga un grosor conocido.<br />
• A partir <strong>de</strong> medidas <strong>de</strong> perfilometría <strong>de</strong> la profundidad <strong>de</strong>l<br />
cráter <strong>de</strong>jado por la erosión.<br />
Wencel De La Cruz<br />
Centro <strong>de</strong> Nanociencias y Nanotecnología <strong>de</strong> la <strong>UNAM</strong>.<br />
Pag. 36
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