Les états de surface dans tous leurs états - Micronora

n a n O M É T R O L O G I E
nanoJura lance la commercialisation
de ses profilomètres d'ultra-haute précision
Le Laboratoire National de Métrologie et d'Essais (LNE) et nanoJura,
fabricant de profilomètres d'état de surface, annoncent un accord de fabrication
et de commercialisation de profilomètres d'ultra-haute précision.
Principe
et architecture
du profilomètre
d'ultra-haute
précision du LNE.
Source : nanoJura
Les profilomètres d'ultra-haute précision
de nanoJura ont une précision de mesure
d'état de surface supérieure d'un facteur
de 10 à 100 à celle des profilomètres classiques.
Pour étalonner des étalons de rugosité
ISO 5436-1, le LNE vient d’ailleurs de
s’équiper d'un tel profilomètre qui permet
d'atteindre une incertitude de 16 nm sur
des Ra (moyenne arithmétique des écarts à
la moyenne du profil étudié) de 1 µm.
Une chaîne métrologique fermée
qui réduit les incertitudes
Les composants de base du profilomètre
comprennent une table de déplacement de
l'échantillon munie d'un plan de verre en
Zerodur. Un interféromètre laser mesure
le déplacement de cette table dans la direction
X (et Y). Le profil est relevé au moyen
d'un capteur inductif à contact. Un interféromètre
laser mesure le déplacement relatif
en Z entre le bras support du capteur
et la table en mouvement. La mesure de
ce déplacement relatif implique que les
erreurs répétables (liées à la mécanique
du profilomètre) et les erreurs non-répé-
tables (liées aux perturbations mécaniques
aléatoires telles que les vibrations) peuvent
être corrigées en temps réel en utilisant la
technologie brevetée Digital Surf.
L'intégration des capteurs additionnels, qui
fournissent l'information sur la position
du capteur de mesure par rapport à
l'objet mesuré, forme une chaîne métrologique
fermée et réduit les incertitudes.
L'architecture permet également l'étalonnage
in situ du capteur en prenant pour
Profilomètre d'ultra-haute précision utilisé par le LNE pour
la calibration des étalons de rugosité. Source : nanoJura
référence l'interféromètre laser, tout en
respectant le principe d'Abbe. Cette particularité,
qui n'est pas disponible sur un
profilomètre conventionnel, fournit une
traçabilité directe vis-à-vis de l'unité de
longueur et évite l'utilisation des étalons de
hauteur ou des cales étalons qui requièrent
un étalonnage additionnel, et qui ne sont
pas d'une utilisation simple de par leur géométrie
imparfaite. C'est pour cette raison
que cette conception est tout spécialement
adaptée à l'usage des instituts nationaux de
métrologie.
Mesure de rectitudes,
d'ondulation ou de petits motifs
nanoJura est fabricant de profilomètres 2D
et 3D d'ultra-haute précision sur la base des
technologies Volcanyon de Digital Surf. Les
profilomètres sont disponibles avec les deux
technologies de capteurs à contact (inductif)
ou optiques (confocal chromatique). L'analyse
des données (2D ou 3D) est réalisée par
l'intermédiaire du logiciel MoutainsMap. Les
profilomètres d'ultra-haute précision peuvent
être utilisés pour toute application qui
exige l'ultra-haute précision, par exemple
pour la mesure de rectitudes, d'ondulation
ou de petits motifs sur de plus larges
surfaces, tels des cratères sur des surfaces
(allant jusqu'à 100 mm de côté) et qui ne
peuvent être mesurés avec des profilomètres
conventionnels sans incertitude significative.
“Nous sommes heureux d'ajouter ces
profilomètres basés sur le savoir-faire du LNE
à notre gamme de produits” explique Anne
Calvez, gérante de nanoJura. “Ceci implique
que nanoJura est en mesure dès à présent de
fournir des profilomètres de surface d'ultra-haute
précision de manière exclusive à des clients dans
le monde entier.”. ■
Jean-Yves Catherin
Micronora inforMations - juillet 2008