Kari tájékoztató, tanterv - BME Központi Tanulmányi Hivatal
Kari tájékoztató, tanterv - BME Központi Tanulmányi Hivatal
Kari tájékoztató, tanterv - BME Központi Tanulmányi Hivatal
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
szorozók stb.). Alkalmazások: fényforrások, lézerek, ionforrások, plazmahegesztés, plazma<br />
reaktorok, CVD. Töltött részecskék manipulálására alkalmas berendezések. Energia analizátorok<br />
(párhuzamos síkú PPA, hengeres tükör CMA, fékezőteres RFA). Tömeg analizátorok<br />
(lineáris, Dempster, Wien, TOF, kvadrupol, ioncsapda). Centrális erőtér fókuszálása, általános<br />
pályagörbe megfontolások, vibrációs átlagerőtér.<br />
Jegyzet, tankönyv, irodalom:<br />
Raizer, Yu.P.: Gas Discharge Physics. Springer-Verlag, 1991.<br />
Arcimovics, L.A. – Szaggyejev, R.C.: Plazmafizika fizikusoknak. Akadémiai Kiadó, 1985<br />
Hárs György: Fizikai elektronika (Elektron és ionoptikák) Műegyetemi kiadó 1992. (05007)<br />
tárgykód előadás gyakorlat labor követelmény kredit tárgytípus<br />
szakirányon<br />
<strong>BME</strong>TE12AF08 2 0 0 félévközi jegy 2<br />
köt. vál.<br />
Mikro- és nanotechnológiák<br />
Előkövetelmény: Kísérleti fizika 3 ÉS Szilárdtestfizika alapjai<br />
Tematika:<br />
Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása,<br />
egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.<br />
Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási<br />
módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras<br />
epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú<br />
leválasztás).<br />
Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).<br />
Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras).<br />
Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó<br />
elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektronspektroszkópia,<br />
Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.<br />
Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor. Vastagréteg<br />
technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.<br />
Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló<br />
eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők. Molekuláris<br />
nanotechnológia.<br />
Jegyzet, tankönyv, irodalom:<br />
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.<br />
C.Y. Chang – S.M. Sze (Ed.): VLSI Techjnology. McGrew Hill, 1996.<br />
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology. Wiley-VCH, 2003.
Change language