26.01.2015 Views

VSLI Tasarım Notları.pdf - 320Volt

VSLI Tasarım Notları.pdf - 320Volt

VSLI Tasarım Notları.pdf - 320Volt

SHOW MORE
SHOW LESS
  • No tags were found...

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

Tabaka direnci: Katkılanmış bölgenin elektriksel karakterizasyonu<br />

için belirlenmiş bir büyüklüktür. Birim kare başına direnç olarak<br />

tanımlanır.<br />

Şekil 4-2’ de görüldüğü gibi düzgün difüzyon yapılmış uzunluğu L,<br />

genişliği W ve derinliği T olan bir difüzyon tabakasının tabaka<br />

direnci bağıntısı o bölgenin toplam direnci gözönüne alınarak<br />

çıkartılabilir.<br />

Şekil 4-2 : Direnci hesaplanan dikdörtgen tabaka<br />

Şekilde verilen tabakanın direnci<br />

L 1 L<br />

R = ρ =<br />

(4-1)<br />

A σ W.<br />

T<br />

bağıntısı ile bulunabilir. Eğer özgül direnci açarak yazarsak bağıntı<br />

1 L<br />

R = (4-2)<br />

qµ<br />

N W.<br />

T<br />

şekline dönüşür. Burada L/W çekildiğinde tabaka direnci ortaya<br />

çıkar ve<br />

R €=<br />

1<br />

qµ<br />

NT<br />

(4-3)<br />

18

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!