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INNOVAS<br />
180°<br />
90°<br />
Abb. 7: X-, Y-, Z-Kombination von drei<br />
Piezo-Positionierern.<br />
Abb. 5: Normale Phasenverschiebungen zwischen Antriebsspannungssignalen.<br />
bereitgestellt. Um mit dem reibungsbasierenden<br />
Motor eine Position geregelt<br />
anfahren zu können, ist ein Linearencoder<br />
mit Präzisionsglasmaßstab mit einer<br />
absoluten Genauigkeit von ± 1µm als<br />
Feedback integriert. Darin sind weiterhin<br />
ein Encodersensor und die Interpolationselektronik<br />
integriert, die ein hohe<br />
Auflösung von bis zu 2,44 nm ermöglicht<br />
und zusätzlich noch eine Lesefehlerüberwachung<br />
durchführt. In Kombination mit<br />
dem x.act-Commander Piezo, der einen<br />
speziellen dynamischen Regelaloritmus für<br />
diese Motoren besitzt, ist es nun möglich<br />
den Tisch so in einem weiten Geschwindigkeitsbereich<br />
von 1 nm/s bis 10 mm/s<br />
zu betreiben. Es werden die Kraft und das<br />
volle Auflösungsvermögen des Motors<br />
Abb. 6: Die Medizintechnik ist nur ein Anwendungsbeispiel<br />
für den Einsatz des miniaturisierten Piezo-<br />
Motors.<br />
ausgeschöpft. So kann der Motor auf<br />
eine Encoderflanke positioniert werden.<br />
Da die Motoren und die Elektronik eine<br />
sehr geringe Eigenwärme entwickeln, ist<br />
die thermische Drift sehr gering. Optional<br />
ist eine Vakuumausführung bis 10 -9 Torr<br />
herstellbar, die zum Ausheizen bis 100 °C<br />
geeignet ist. Die Elektronik ist dann extern<br />
untergebracht.<br />
Die Ansteuerung<br />
Der x.act Commander Piezo von LINOS ist<br />
eine intelligente und kompakte Motorsteuerung<br />
für drei Piezomotoren, die in einem<br />
Joystickgehäuse integriert wurde. Er lässt<br />
sich bequem vom PC aus parametrisieren,<br />
programmieren und bedienen. Nachdem<br />
der Commander Piezo seine Daten<br />
gespeichert hat, ist er stand-alone-fähig<br />
und kommt komplett ohne PC aus. Alle<br />
Funktionen und Parameter sind am x.act<br />
Commander Piezo zugänglich, am Display<br />
ablesbar und natürlich editierbar. Er eignet<br />
sich hervorragend für die Automatisierung<br />
von Montage- und Messvorrichtungen<br />
bzw. Fertigungslinien sowie Mikroskopen<br />
mit bis zu drei Piezomotoren. Beim Übergang<br />
von der Handarbeit zur Halb- oder<br />
Vollautomatisierung bildet der x.act Commander<br />
Piezo eine wichtige Brücke. Mit<br />
geringem Zeit- und Kostenaufwand erzielt<br />
er einen hohen Optimierungsgrad und<br />
wird daher in Forschung, Labor und Industrie<br />
gerne eingesetzt. Es können so Proben<br />
sehr feinfühlig und über einen weiten<br />
Bereich positioniert werden. Bei 40 mm<br />
Weg steht eine Positionsauflösung von<br />
2,44 nm zur Verfügung. Das entspricht<br />
7 Größenordnungen. <br />
Fokus auf den x.act Commander<br />
Piezo<br />
● einfaches Bedienen über Joystick<br />
und PC<br />
● schnelles Umschalten von Grob-,<br />
Fein- und Nanopositionieren<br />
● integrierte Endstufe für<br />
3 Positioniertische<br />
● Ansteuern der Positionierer im<br />
geschlossenen Regelkreis<br />
● dynamischer Regelalgorithmus<br />
Fokus auf den Positioniertisch<br />
● integrierter Encoder mit Lesefehlerüberwachung<br />
● Auflösung von 2,44 nm und 4,88 nm<br />
● Geschwindigkeiten von 1 nm/s<br />
bis 10 mm/s<br />
● Kraft bis 10 N, optional bis 20 N<br />
durch zweiten Motor<br />
● 40 mm und 60 mm Verfahrweg<br />
● in Tischmitte bis 50 N belastbar<br />
● hält Position auch bei abgeschalteter<br />
Spannung<br />
● Option Vakuumausführung<br />
Piezo LEGS ist eine Trademark von PiezoMotor.<br />
6 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
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