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Konstruktion<br />
Optischer<br />
Tischplatten<br />
optolines<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005<br />
Fachmagazin für Optomechanik und Optoelektronik<br />
Großes<br />
Weihnachtsrätsel<br />
Seite 18<br />
Teil II der Serie über Optische<br />
Tische von LINOS und TMC:<br />
Nachgiebigkeit, Vibration,<br />
Resonanz, Dämpfung | Seite 14<br />
Piezo-Antrieb im Nanoformat<br />
Erster „gehender“ Motor, keramische „Muskeln“<br />
GRIN-Linsen und 4fach bm.x<br />
Neue kostensparende und flexible Systeme<br />
WinLens: neue Tools, mehr Leistung<br />
Das kostengünstige Programm für Einsteiger und Profis<br />
Automatisierte Plattformen<br />
In Serie: Qualitätsprüfung mikrooptischer Bauteile
EDITORIAL<br />
CONTENT<br />
Liebe Leserin, lieber Leser,<br />
Das Jahr ist fast vorbei und es ist schon wieder<br />
Zeit für einen Jahresrückblick.<br />
Erfreulicherweise lässt sich für die Optikbranche<br />
eine deutliche Aufwärtstendenz erkennen.<br />
Es gibt immer neue Entwicklungen, die<br />
auf optischen Technologien basieren. Dieser<br />
Trend wurde auf den führenden internationalen<br />
Messen bestätigt.<br />
LINOS hat in diesem Jahr einige Weichen für<br />
die Zukunft gestellt, um weiterhin für Sie<br />
kompetenter Partner zu sein. So haben wir –<br />
für Sie weitestgehend unbemerkt – unser<br />
Warenwirtschaftssystem auf den neuesten<br />
Standard umgestellt. Dadurch sind wir in der<br />
Lage, Ihnen einen perfekten Rund-um-Service<br />
zu bieten!<br />
Um noch engeren Kontakt zu Ihnen – unseren<br />
Kunden – aufzubauen, haben wir darüber<br />
hinaus unser Vertriebsnetz konsequent<br />
ausgebaut und konnten mit wzw-Optik AG<br />
für die Schweiz, BFi OPTiLAS für Nordeuropa<br />
und MICOS IBERIA für Spanien engagierte<br />
und professionelle Partner gewinnen.<br />
Nun möchte ich Ihre Aufmerksamkeit vor<br />
allem auf die Artikel unserer Gastautoren lenken,<br />
für deren Beiträge wir uns sehr herzlich<br />
bedanken! Interessant auf Seite 4, was der<br />
erste „gehende“ Motor mit bahnbrechender<br />
Piezo-Antriebstechnik im Nanoformat zu<br />
leisten vermag oder auf Seite 12 wie die<br />
Qualitätsprüfung optischer Bauteile in Serie<br />
durch automatisierte Plattformen eine neue<br />
Dimension bekommt.<br />
Wir bedanken uns für das entgegengebrachte<br />
Vertrauen und wünschen Ihnen ein<br />
erfolgreiches neues Jahr!<br />
Eine schöne Vorweihnachtszeit wünscht<br />
Ihnen<br />
INSIGHT<br />
Measurement-Valley-Messe 2006: Kongress<br />
in Göttinger Lokhalle | Gauß-Weber-<br />
Telegraphenweg wird per Laser sichtbar<br />
gemacht | Göttinger Fachhochschule<br />
verabschiedet 41 technische Ingenieure |<br />
Seite 3<br />
INNOVAS<br />
Erster gehender Motor – Piezo-<br />
Antriebstechnik im Nanoformat |<br />
Seite 4<br />
INNOVAS<br />
4fach Beamexpander bm.x |<br />
GRIN-Linsen – Neue LINOS Produkte<br />
flexibel integrierbar | Seite 7<br />
INNOVAS<br />
WinLens: neue Tools, mehr Leistung –<br />
Das kostengünstige Programm für<br />
Einsteiger und Profis | Seite 8<br />
CHECKUP<br />
Automatisierte Plattformen – Qualitätsprüfung<br />
optischer Bauteile in Serie |<br />
Seite 12<br />
BASICS<br />
Design Optischer Tischplatten –<br />
Optische Tischsysteme von LINOS<br />
und TMC, Teil II |<br />
Seite 14<br />
LIVE<br />
Tolle Preise zu gewinnen: LINOS<br />
Weihnachtsrätsel 2005 | Sonderpreisaktion:<br />
Breadboards | Literaturtipp |<br />
Messen und Roadshows | Impressum |<br />
Seite 18/19<br />
Andreas Hädrich<br />
Business Unit Katalog<br />
LINOS Photonics GmbH & Co. KG, Göttingen<br />
2 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
INSIGHT<br />
Messe-Event im „Measurement Valley“<br />
Kongress in der Göttinger Lokhalle mit regionalen Hightech-Firmen –<br />
Workshop „Optisches und Taktiles Messen“<br />
Unter dem Titel „Measurement 2006 – enabling<br />
processes“ bietet Göttingen im nächsten Februar<br />
Fachbesuchern ein umfangreiches Messe-, Kongressund<br />
Workshopprogramm an. In der multifunktionellen<br />
Lokhalle, gleich hinter dem ICE-Bahnhof gelegen,<br />
wird der Göttinger Unternehmensverband „Measurement<br />
Valley e.V.“ erstmals mit den in und um Göttingen<br />
angesiedelten Hightech-Firmen einen Kongress<br />
veranstalten. Eine Workshop-Reihe hat taktile und<br />
optische Messtechniken bei der Qualitätssicherung<br />
in der industriellen Serienfertigung zum Thema.<br />
Weitere Workshops behandeln verschiedene, auf<br />
die Messtechnik bezogene Support-Funktionen im<br />
Universeller Veranstaltungsraum – die Lokhalle in<br />
Göttingen.<br />
Unternehmen wie Kenntnisse in Produkthaftung und<br />
Lizenzrecht bis zu Marketing- und Vertriebsaufgaben.<br />
Göttingen ist in mehrfacher Hinsicht der optimale<br />
Standort für eine solche Veranstaltung: Nirgendwo<br />
in Deutschland ist die Dichte an Messtechnikunternehmen<br />
so hoch wie in der südniedersächsischen<br />
Universitätsstadt. Von den bundesweit etwa 40.000<br />
Arbeitsplätzen in der Messtechnikbranche sind mehr<br />
als 6.800 in und um Göttingen beheimatet. Die<br />
Messtechnik-Kompetenz in den Unternehmen wird<br />
unterstützt durch die Zusammenarbeit mit großen<br />
Forschungsabteilungen an der Universität, am Deutschen<br />
Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) und an<br />
der Fachhochschule HAWK Hildesheim/Holzminden/<br />
Göttingen. Allein im Verein „Measurement Valley“<br />
sind 37 Göttinger Unternehmen und Forschungseinrichtungen<br />
zusammengeschlossen.<br />
www.measurement2006.de<br />
www.lokhalle.de<br />
Gauß-Weber-Telegraph Göttingen<br />
Laser-Lichtstrahl zeichnet Weg nach – Impulse an „Messtechnikmeile“<br />
2005 ist Gauß-Jahr. Deshalb gab und gibt es in Göttingen,<br />
der Stadt, in der der Forscher 50 Jahre wirkte,<br />
zahlreiche Ausstellungen, Events und Vorlesungen.<br />
Ein Event wird sich auf das Jahr 1833 beziehen:<br />
Die beiden Göttinger Physiker Carl Friedrich Gauß<br />
und Wilhelm Weber erfanden und installierten den<br />
Eine Gedenktafel an der Göttinger Gauß’ Sternwarte<br />
erinnert an das historische Ereignis, jetzt<br />
lebt der Kommunikationsweg per Laser noch<br />
einmal auf.<br />
elektromagnetischen Telegraphen – die erste elektrische<br />
Datenfernübertragung der Welt. Um diese<br />
wissenschaftliche und technische Pionierleistung zu<br />
würdigen, wird der Verein „Measurement Valley“ im<br />
Rahmen der Göttinger Messtechnikmeile am 14. Februar<br />
2006 eine Nachbildung einrichten. Dazu soll die<br />
Übertragungsstrecke, die 1833 aus gespannten Drähten<br />
bestand, mit Laserlicht nachgezeichnet werden.<br />
Diese Strecke kann vom Dach der örtlichen Volksbank<br />
in zwei Teilstücken zu 520 m und 310 m dargestellt<br />
werden. Dabei erwartet die Betrachter eine besondere<br />
Aktion: Durch nachvollziehbar langsames Takten<br />
des Lichtes werden verschiedene Nachrichten in<br />
der von Gauß und Weber verwendeten Kodierung<br />
übertragen.<br />
Das Projekt wird u.a. unterstützt durch die „Measurement<br />
Valley“ Mitgliedsunternehmen LINOS, dikon<br />
und Messwert.<br />
www.measurement-valley.de<br />
www.gaussjahr.de<br />
41 technische<br />
Ingenieure<br />
verabschiedet<br />
Duale Ausbildung erhöht<br />
Chancen im Berufsleben<br />
Feierlich erhielten die Studenten Ihre Diplom- und<br />
Masterurkunden. Prof. Martin Thren, Präsident der<br />
HAWK betonte dabei, dass „die gute Ausbildung an<br />
der Göttinger Fachhochschule für eine hohe berufliche<br />
Einstellquote der Absolventen“ sorge. 35 Diplomanden<br />
und sechs Master verabschiedet die Fakultät Naturwissenschaften<br />
und Technik der FH Hildesheim/Holzminden/Göttingen.<br />
Die betreuenden Professoren stellten die Themen vor<br />
und lobten das hohe Niveau der Abschlussarbeiten.<br />
Diese verfassten die jungen Ingenieurtechniker in der<br />
Elektro- und Feinwerktechnik, Informatik, Optical Engineering/Photonik<br />
und Physiktechnik.<br />
Sechs herausragende Diplom- und Masterarbeiten prämierte<br />
die Fakultät mit Buchpreisen. Die praxisnahen<br />
Themen schöpften die Diplomanden aus den berufspraktischen<br />
Studiensemestern und studienbegleitenden<br />
Ausbildungsplätzen an zumeist regionalen Optik-,<br />
Photonik- und Messtechnik-Firmen.<br />
Als Vorsitzender des „Förderverein Fachhochschule<br />
Göttingen e.V.“ erinnerte Prof. Dr. Gerd Litfin daran,<br />
dass auch in einer Dienstleistungsgesellschaft die Basis<br />
allen Wohlstands die Technik bleibe. Sie befriedige viele<br />
Alltagsbedürfnisse. Litfin unterstrich: „Zusammen mit<br />
Naturwissenschaftlern leisten Ingenieure dazu den<br />
wichtigsten Beitrag“.<br />
www.foerderverein-fh-goe.de<br />
www.hawk-hhg.de<br />
Prof. Dr. Gerd Litfin, Mitte, mit sechs von 41 Absolventen<br />
der HAWK, deren Diplom- und Masterarbeiten<br />
prämiert wurden, (v.l.): Matthias Müller, Jan-Erich<br />
Lohrberg, Christian Mohr, Christian Gillmann, Marcel<br />
Jung und Sven Finke.<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 3
INNOVAS<br />
Revolutionäre Piezo-Antriebstechnik im Nanoformat<br />
Erster „gehender“ Motor<br />
Von Dipl.-Ing. Arne Hauberg, NANOS Instruments, Hamburg<br />
Elektrische Motoren gibt es in allen Größen und Formen. „PiezoMotor“, eine kleine schwedische Firma, nutzt<br />
das Phänomen der Piezoelektrizität und hat nun den kleinsten und präzisesten Linearmotor der Welt entwickelt.<br />
Möglich wurde dieser wegweisende Miniaturantrieb durch Vielschicht-Piezoelemente und ein neues<br />
Motorkonzept. Wie der „Piezoeffekt“ die Dinge in Bewegung bringt, erfahren Sie in diesem Beitrag.<br />
nieure von PiezoMotor haben sich dieses<br />
Problems angenommen und mit dem Piezo<br />
LEGS einen völlig neuartigen elektrischen<br />
Motor entwickelt.<br />
„Gehen“ mit Piezo LEGS<br />
Klein aber kraftvoll – mit einer Schrittzahl von bis zu 3.000 Schritten pro Sekunde kann der Motor eine<br />
Geschwindigkeit von mehreren Millimetern pro Sekunde erreichen.<br />
Obwohl es uns oftmals nicht bewusst ist,<br />
sind Piezomaterialien in vielen Produkten<br />
des täglichen Lebens zu finden. Dazu<br />
gehören medizinisches Equipment, Laborinstrumente,<br />
Telekommunikation oder<br />
einfache elektronische Feuerzeuge. Piezokeramiken<br />
vereinen Festigkeit, Geschwindigkeit,<br />
Kraft und Genauigkeit in einem<br />
Material. Das Funktionsprinzip eines Piezomotors<br />
beruht auf dem „Piezoeffekt“.<br />
Das Wort „Piezo“ kommt aus dem Griechischen<br />
und bedeutet „Druck“. Beim „Piezoelektrischen<br />
Effekt“ entsteht bei Ausübung<br />
von Druck auf einen besonderen Kristall<br />
eine elektrische Spannung. Die umgekehrte<br />
Erscheinung, eine Verformung bei Anlegen<br />
einer elektrischen Spannung, wird als inverser<br />
piezoelektrischer Effekt bezeichnet.<br />
Die Kraft, die hierbei entsteht, zwingt ein<br />
mehrlagiges Piezomaterial schon bei geringer<br />
Spannung sich ausreichend zu verformen.<br />
Die Piezokeramiken dehnen sich um<br />
rund 0,1 Prozent aus und ziehen sich beim<br />
Entladen wieder zusammen. Diese einzigartigen<br />
Eigenschaften sind bereits seit über<br />
einem Jahrhundert bekannt und werden<br />
seitdem in verschiedensten Anwendungen<br />
genutzt. Die einzige Einschränkung beim<br />
Gebrauch von Piezomotoren war bislang<br />
die limitierte Reichweite der Bewegung,<br />
welche in direktem Zusammenhang mit der<br />
Länge der Piezoelemente steht. Die Inge-<br />
Der Piezo LEGS Motor wird in einem<br />
Stück gefertigt und hat eine Sandwichstruktur<br />
aus dünnen keramischen Ebenen<br />
und leitenden Materialien. Einer dieser<br />
Motoren kann aus mehr als 100 Ebenen<br />
bestehen, die wie die Beine einer Ameise<br />
angeordnet sind. Ein Motorelement<br />
misst in der kleinsten Ausführung nur<br />
5 x 1 x 2 mm (l x b x h). Durch den Piezoeffekt<br />
stellt sich ein Dehnen und Zusammenziehen,<br />
Heben und Senken ein – eine<br />
Bewegung, die dem „Gehen“ ähnelt. Mit<br />
stufenloser Geschwindigkeit werden die<br />
linearen Elemente direkt angetrieben. Ein<br />
Getriebe ist überflüssig und reduziert die<br />
Systemkosten. Die an die keramischen<br />
„Muskeln“ angelegte Spannung kontrolliert<br />
die synchronisierte Bewegung<br />
der Beinpaare, wodurch Vorwärts- und<br />
Rückwärtsbewegungen möglich sind. Die<br />
einzigartige Bauweise des Piezo LEGS<br />
lässt den Motor in einer präzisen linearen<br />
Bewegung laufen, mit Schrittlängen von<br />
weniger als ein paar Mikrometern. Durch<br />
die Ansteuerung im Mikroschrittbetrieb,<br />
ähnlich wie bei Schrittmotoren, ist eine<br />
Auflösung von unter 1 Nanometer möglich.<br />
Mit Ansteuerfrequezen bis 4 kHz<br />
kann der Motor eine Geschwindigkeit von<br />
zehn bis zwanzig Millimeter pro Sekunde<br />
<br />
> Kontakt:<br />
www.nanos-instruments.com<br />
4 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
INNOVAS<br />
Abb. 1: Piezo LEGS.<br />
erreichen. Die Kraft des Motors beträgt<br />
dabei 7 N bis 10 N. Mit anderen Worten,<br />
der Motor kann den Stab mit einer<br />
Kraft bewegen, als ob er 1000 g heben<br />
würde, welches dem 1000-fache seines<br />
Eigengewichts gleichkommt. Da der Piezomotor<br />
keine Magnetfelder hat, treten<br />
auch keine magnetischen oder induktiven<br />
Störungen auf. Außerdem besitzt er keine<br />
Lager, Spindeln oder Getriebestufen. Er ist<br />
dadurch wartungs- und fettfrei und frei<br />
von Spiel, Taumeleffekten, Hysterese und<br />
Drifteffekten.<br />
Der Antrieb<br />
Der Motor besteht aus zwei Antriebsschenkelpaaren.<br />
Jedes Paar wird von<br />
analogen Signalen gesteuert, die eine<br />
Spannungsweite von 48 V haben. Durch<br />
das Anpassen der Layerschichtdicke ist es<br />
möglich, die Betriebsspannung kundenspezifisch<br />
einzustellen. Das verwendete<br />
Antriebssystem des Motors ist ein nichtdynamisches<br />
Prinzip, d.h. die Position der<br />
Antriebsschenkel ist zu jedem Zeitpunkt<br />
bekannt. Zwei Phasen sind erforderlich,<br />
um eine Bewegung zu erzeugen und zwei<br />
weitere Phasen für die zwei voneinander<br />
unabhängigen Antriebsschenkelpaare im<br />
Motor. Die Phasenverschiebung ist auf 90°<br />
Abb. 3: Funktionsprinzip der „Piezo-Beine“.<br />
eingestellt und die Phasenverschiebung der<br />
beiden Antriebschenkel auf 180°. (Abb.5)<br />
Um Schrittweiten im Nanometerbereich zu<br />
erreichen, muss das gesamte System präzise<br />
zusammenspielen, und es braucht eine<br />
Ansteuerung, die dieser anspruchsvollen<br />
Aufgabe gerecht wird. Jedoch ist die elektronische<br />
Ansteuerung eines Piezomotors<br />
nicht deutlich komplizierter, als die Ansteuerung<br />
eines gewöhnlichen Schrittmotors.<br />
Mit dem neuen x.act Commander Piezo<br />
von LINOS lassen sich Piezomotoren präzise<br />
anzusteuern. Der Trend geht zu Motoransteuerungen<br />
in kompletten Subsystemen,<br />
die als „Embedded Module“ ausgeführt<br />
werden und mit einer leistungsstarken<br />
Software versehen sind. Der x.act Commander<br />
Piezo erlaubt die direkte Steuerung<br />
von drei Piezo LEGS Antriebsschenkeln.<br />
Benutzerdefinierte Steuerprogramme können<br />
über die CAN oder RS232 Schnittstelle<br />
in den x.act Commander Piezo geladen<br />
werden. Programme lassen sich mit einem<br />
komfortablen Editor erstellen. Ein Assembler<br />
prüft die Syntax sowie den Wertebereich,<br />
und eine Onlinehilfe unterstützt die<br />
Programmierung eigener Bewegungen.<br />
Eine Grafikanzeige stellt Positionen und<br />
Statusanzeigen dar. Umfangreiche Softwaremodule,<br />
eine DLL und verschiedene<br />
Treiber bieten dem Anwender eine Fülle<br />
äußerst nützlicher Funktionen, die besonders<br />
im Labor gefragt und hilfreich sind.<br />
Der Piezomotor ist vielseitig einsetzbar<br />
und erzeugt schnelle und präzise Bewegungen<br />
mit hoher Auflösung. Der Trend<br />
zur Miniaturisierung geht heute über den<br />
Konsumerbereich hinaus: Medizintechnik,<br />
Luftfahrt, Laborautomation und Telekommunikation<br />
fragen nach immer kleineren<br />
Komponenten von Motoren und Antriebselektronik.<br />
Hier ermöglichen Piezomotoren<br />
das Design von sehr kleinen, präzisen,<br />
einfach kontrollierbaren und verlässlichen<br />
Antrieben. Ein Beispiel für den Einsatz der<br />
Piezo LEGS mit der Ansteuerelektronik<br />
vom x.act Commander Piezo findet sich in<br />
medizinischen Mikroskopen. Jedes Mikroskop<br />
verfügt über mehrere Linsen, die je<br />
nach Einsatz unterschiedlich eingestellt<br />
und positioniert werden müssen. Piezomotoren<br />
positionieren die Linsen mit hoher<br />
Präzision im Nanometerbereicht. Ihre<br />
geringe Größe lässt sie platzsparend in die<br />
Anwendung integrieren, Batterie betrieben<br />
finden sie sich auch in transportablen<br />
Instrumenten.<br />
Piezo-Positioniertisch<br />
Einsatz findet dieser Piezomotor zum<br />
Beispiel in der neuen Gerätegeneration<br />
von LINOS Positioniertischen. Hier sind<br />
wahlweise 1 oder 2 Motoren integriert, die<br />
als Tandem parallel angesteuert werden.<br />
Somit wird die Kraft von 10 N oder 20 N <br />
Abb. 2: Der Piezo-Motor.<br />
Verwendung des Piezo LEGS<br />
Abb. 4: Das Ansteuerungsmodul x.act Commander<br />
Piezo von LINOS erlaubt die direkte Steuerung von<br />
drei Piezo LEGS Antriebsschenkel.<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 5
INNOVAS<br />
180°<br />
90°<br />
Abb. 7: X-, Y-, Z-Kombination von drei<br />
Piezo-Positionierern.<br />
Abb. 5: Normale Phasenverschiebungen zwischen Antriebsspannungssignalen.<br />
bereitgestellt. Um mit dem reibungsbasierenden<br />
Motor eine Position geregelt<br />
anfahren zu können, ist ein Linearencoder<br />
mit Präzisionsglasmaßstab mit einer<br />
absoluten Genauigkeit von ± 1µm als<br />
Feedback integriert. Darin sind weiterhin<br />
ein Encodersensor und die Interpolationselektronik<br />
integriert, die ein hohe<br />
Auflösung von bis zu 2,44 nm ermöglicht<br />
und zusätzlich noch eine Lesefehlerüberwachung<br />
durchführt. In Kombination mit<br />
dem x.act-Commander Piezo, der einen<br />
speziellen dynamischen Regelaloritmus für<br />
diese Motoren besitzt, ist es nun möglich<br />
den Tisch so in einem weiten Geschwindigkeitsbereich<br />
von 1 nm/s bis 10 mm/s<br />
zu betreiben. Es werden die Kraft und das<br />
volle Auflösungsvermögen des Motors<br />
Abb. 6: Die Medizintechnik ist nur ein Anwendungsbeispiel<br />
für den Einsatz des miniaturisierten Piezo-<br />
Motors.<br />
ausgeschöpft. So kann der Motor auf<br />
eine Encoderflanke positioniert werden.<br />
Da die Motoren und die Elektronik eine<br />
sehr geringe Eigenwärme entwickeln, ist<br />
die thermische Drift sehr gering. Optional<br />
ist eine Vakuumausführung bis 10 -9 Torr<br />
herstellbar, die zum Ausheizen bis 100 °C<br />
geeignet ist. Die Elektronik ist dann extern<br />
untergebracht.<br />
Die Ansteuerung<br />
Der x.act Commander Piezo von LINOS ist<br />
eine intelligente und kompakte Motorsteuerung<br />
für drei Piezomotoren, die in einem<br />
Joystickgehäuse integriert wurde. Er lässt<br />
sich bequem vom PC aus parametrisieren,<br />
programmieren und bedienen. Nachdem<br />
der Commander Piezo seine Daten<br />
gespeichert hat, ist er stand-alone-fähig<br />
und kommt komplett ohne PC aus. Alle<br />
Funktionen und Parameter sind am x.act<br />
Commander Piezo zugänglich, am Display<br />
ablesbar und natürlich editierbar. Er eignet<br />
sich hervorragend für die Automatisierung<br />
von Montage- und Messvorrichtungen<br />
bzw. Fertigungslinien sowie Mikroskopen<br />
mit bis zu drei Piezomotoren. Beim Übergang<br />
von der Handarbeit zur Halb- oder<br />
Vollautomatisierung bildet der x.act Commander<br />
Piezo eine wichtige Brücke. Mit<br />
geringem Zeit- und Kostenaufwand erzielt<br />
er einen hohen Optimierungsgrad und<br />
wird daher in Forschung, Labor und Industrie<br />
gerne eingesetzt. Es können so Proben<br />
sehr feinfühlig und über einen weiten<br />
Bereich positioniert werden. Bei 40 mm<br />
Weg steht eine Positionsauflösung von<br />
2,44 nm zur Verfügung. Das entspricht<br />
7 Größenordnungen. <br />
Fokus auf den x.act Commander<br />
Piezo<br />
● einfaches Bedienen über Joystick<br />
und PC<br />
● schnelles Umschalten von Grob-,<br />
Fein- und Nanopositionieren<br />
● integrierte Endstufe für<br />
3 Positioniertische<br />
● Ansteuern der Positionierer im<br />
geschlossenen Regelkreis<br />
● dynamischer Regelalgorithmus<br />
Fokus auf den Positioniertisch<br />
● integrierter Encoder mit Lesefehlerüberwachung<br />
● Auflösung von 2,44 nm und 4,88 nm<br />
● Geschwindigkeiten von 1 nm/s<br />
bis 10 mm/s<br />
● Kraft bis 10 N, optional bis 20 N<br />
durch zweiten Motor<br />
● 40 mm und 60 mm Verfahrweg<br />
● in Tischmitte bis 50 N belastbar<br />
● hält Position auch bei abgeschalteter<br />
Spannung<br />
● Option Vakuumausführung<br />
Piezo LEGS ist eine Trademark von PiezoMotor.<br />
6 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
INNOVAS<br />
Neue LINOS Produkte flexibel integrierbar<br />
GRIN-Linsen in Nanobank-Fassung<br />
Konventionelle Sammellinsen stoßen in der Miniaturisierbarkeit an ihre Grenzen und treiben Produktionskosten<br />
in die Höhe. Eine interessante Alternative sind GRIN-(Gradient-Index-)Linsen, die LINOS schon seit<br />
längerem in seinem Produktportfolio anbietet – nun auch in Fassungen.<br />
Gradienten-Index-Linsen gewinnen aufgrund<br />
ihrer guten optischen Eigenschaften<br />
und des günstigen Preises zunehmend<br />
an Bedeutung in der Faserkopplung oder<br />
Laserkollimation. LINOS bietet ein umfangreiches<br />
Programm an Gradienten-Index<br />
Stab- und Zylinderlinsen an. Zur Integration<br />
dieser miniaturisierten Optiken im<br />
Laboraufbauten sind die Gradienten-Index-<br />
Linsen jetzt auch direkt in einer Fassung<br />
mit 16 mm Durchmesser erhältlich, und<br />
damit direkt in den LINOS Aufbausystemen<br />
Mikrobank und Nanobank zu verwenden.<br />
In der nächsten Ausgabe von optolines<br />
Kostengünstig: Gradienten-Index-Linsen.<br />
werden wir Ihnen in einem ausführlichen<br />
Artikel die Eigenschaften und Möglichkeiten<br />
von GRIN-Linsen erläutern.<br />
Fokus auf LINOS GRIN-Linsen<br />
● in Fassung kompatibel zu Mikrobank<br />
und Nanobank<br />
● zur Faserkopplung, Kollimation oder<br />
Strahlformung<br />
● gute Abbildungseigenschaften<br />
4fach Beamexpander bm.x<br />
Der neue 4fach Beamexpander bm.x hat die Flexibilität des Systems und der bm.x-Reihe weiter verbessert.<br />
Die Reihe von Einsätzen für das modulare<br />
Strahlaufweitungssystem bm.x hat eine<br />
neue Ergänzung: die 4fach-Aufweitung.<br />
Mit dieser Neuentwicklung hat LINOS die<br />
bm.x-Reihe konsequent erweitert und die<br />
Flexibilität des Systems weiter verbessert.<br />
Passend zu den anderen Systemteilen<br />
erlaubt das spezielle Optik-Design den<br />
Einsatz mit minimaler Wellenfrontdeformation<br />
bei Wellenlängen von 458 nm bis<br />
1064 nm. Speziell für diesen Bereich sind<br />
alle Linsen mit einer Antireflexvergütung<br />
von R < 0,5% für 458 nm bis 635 nm<br />
und R < 0,3% für 1064 nm versehen. Die<br />
bewährte Kombination aus Beschichtung<br />
und absorptionsarmen Materialien führt zu<br />
hohen Zerstörschwellen, die besonders für<br />
den Einsatz mit Lasersystemen interessant<br />
sind.<br />
Der 4fach Beamexpander bm.x ergänzt<br />
modulare Strahlaufweitungssysteme.<br />
Fokus auf den LINOS 4fach<br />
Beamexpander bm.x<br />
● zur Reduzierung der Strahldivergenz<br />
● Antireflex-Beschichtung für hohe<br />
Laserleistung<br />
● Eintrittsoptik aus Quarzglas<br />
> Kontakt:<br />
sales@linos.de<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 7
INNOVAS<br />
Das kostengünstige Programm für Einsteiger und Profis<br />
WinLens: neue Tools, mehr Leistung<br />
von Thomas Thöniß, LINOS Göttingen<br />
Die Entwicklung optischer Systeme läuft trotz ihrer hohen Komplexität in wesentlichen Elementen immer<br />
gleich ab. Ausgehend von einer optischen Problemstellung werden bestimmte Phasen der Entwicklung durchlaufen,<br />
bis ein finales optisches Design als Grundlage für ein reales optisches System entstanden ist (siehe<br />
Abb. 1). Schon seit vielen Jahren stellt LINOS mit seinem Programmpaket WinLens leistungsfähige Tools zur<br />
Verfügung, die den Weg der Optikentwicklung ermöglichen.<br />
Was WINLENS-Programme leisten<br />
Die kostenlosen Programme PREDESIG-<br />
NER und WINLENS 4.3 unterstützen die<br />
Analyse optischer Probleme und die Suche<br />
nach einem geeigneten Systemansatz und<br />
dessen geometrisch optische Bewertung.<br />
WINLENS PLUS beinhaltet zusätzliche Tools<br />
zur professionellen Optimierung und Analyse<br />
von komplexen optischen Systemen.<br />
Mit dem TOLERANCER kann auf einfache<br />
Art und Weise ein optisches System hinsichtlich<br />
seiner Herstellbarkeit untersucht<br />
werden. In übersichtlichen Grafiken und<br />
Tabellen werden empfindliche Stellen im<br />
optischen System angezeigt, und durch<br />
eine Monte-Carlo-Analyse wird die nach<br />
einer realen Fertigung erreichbare optische<br />
Performance dargestellt.<br />
Die Programme GLASS MANAGER und<br />
MATERIAL EDITOR ersparen dem Optikentwickler<br />
die Suche nach geeigneten Gläsern<br />
in diversen Katalogen und Datenbanken.<br />
Gläser unterschiedlichster Hersteller können<br />
bequem hinsichtlich optischer, chemischer<br />
und mechanischer Eigenschaften<br />
grafisch und tabellarisch analysiert werden.<br />
Oft ist der Einfluss jahrelanger optischer<br />
Design-Erfahrung im Hause LINOS zu<br />
erkennen. Um die Entwicklung optischer<br />
Systeme gerade für Neu- und Quereinsteiger<br />
aber auch für erfahrene Optikdesigner<br />
noch verständlicher und einfacher zu<br />
gestalten, wurden in der neuesten Version<br />
des Softwarepaketes eine Reihe weiterer<br />
Funktionen hinzugefügt.<br />
Die Programme WINLENS PLUS, TOLERAN-<br />
CER, GLASS MANAGER und MATERIAL<br />
EDITOR können mit nur einer einzigen,<br />
äußerst kostengünstigen Lizenz freigeschaltet<br />
werden. <br />
Einfach bedienbar, klare Grafiken<br />
Von Anfang an wurde bei der Entwicklung<br />
der einzelnen Programme auf eine<br />
möglichst einfache Bedienbarkeit und eine<br />
transparente und didaktisch sinnvolle Darstellung<br />
von Daten und Grafiken geachtet.<br />
Abb. 1: Prinzipieller Ablauf einer Optikentwicklung.<br />
© LINOS<br />
> www.winlens.de<br />
8 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
INNOVAS<br />
Abb. 2: Neu im PREDESIGNER: Apertur-Feld-Diagramm mit Systembeispielen.<br />
PREDESIGNER (Freeware)<br />
Dieses nützliche Programm unterstützt<br />
die erste paraxiale Analyse des optischen<br />
Problems und erspart dem Entwickler die<br />
Suche nach geeigneten Abbildungsformeln<br />
und deren Umstellen nach gesuchten<br />
Größen. Sind einige grundlegende, in der<br />
Aufgabenstellung enthaltene Parameter<br />
eingegeben, werden alle, für eine weitere<br />
Entwicklung notwendigen Größen<br />
übersichtlich tabellarisch ausgegeben.<br />
Erste prinzipielle grafische Darstellung z.B.<br />
nach Listing veranschaulichen die Abbildungsverhältnisse<br />
(sicherlich noch aus der<br />
Schulzeit bekannt: „… Achsparallelstrahl<br />
wird zu Brennpunktstrahl …“). Oftmals<br />
ist es dem Neueinsteiger ein Rätsel, wie<br />
erfahrene Optikdesigner von der Aufgabenstellung<br />
zu einem geeigneten realen<br />
Linsendesign kommen. Überraschend mag<br />
die Tatsache sein, dass nur in seltenen<br />
Fällen optische Systeme komplett neu<br />
erfunden werden. Auch erfahrene Optikrechner<br />
nutzen neben ihrem Wissen, ihrer<br />
Erfahrung und Intuition bereits bekannte<br />
Grunddesigns und<br />
suchen in Systembibliotheken<br />
(wie<br />
z.B. der im WINLENS<br />
Paket enthaltenen<br />
WINLENS Library),<br />
Patentdatenbanken<br />
und anderen Veröffentlichungen<br />
nach<br />
möglichst naheliegenden<br />
Startsystemen.<br />
Für den Laien<br />
geht dabei aber<br />
recht schnell der<br />
Überblick verloren,<br />
wo er denn gezielt<br />
suchen soll.<br />
Lösungsansatz<br />
im Fadenkreuz<br />
Optische Systeme<br />
können zur besseren<br />
Übersicht in<br />
bestimmte Klassen<br />
eingeteilt werden.<br />
Die Einteilung selbst ist allerdings schon<br />
fast eine Wissenschaft für sich. Sie kann<br />
beispielsweise nach Art der Anwendung<br />
(visueller Gebrauch, Einsatz in Lasersystemen<br />
usw.) oder nach der Struktur des<br />
optischen Systems erfolgen (Dublets,<br />
Triplets usw). Uns erschien die Einteilung<br />
nach bekannten Objektivtypen, die sich im<br />
wesentlichen aus ihrer Struktur ergeben,<br />
für eine erste Systemauswahl am meisten<br />
geeignet: Diese Systemtypen lassen sich<br />
recht gut in einer zweidimensionalen Übersicht<br />
darstellen. Die Darstellung erfolgt<br />
dabei in Abhängigkeit des jeweiligen übertragbaren<br />
Feldwinkels w (Objektgröße) und<br />
der typischen Blendenzahlen k (Öffnung,<br />
Lichtstärke) des Systemtyps (Abb. 2). Diese<br />
Größen werden im PREDESIGNER bei der<br />
Eingabe der optischen Aufgabenstellung<br />
abgefragt bzw. errechnet. Liegen diese beiden<br />
Parameter vor, wird in dem Diagramm<br />
durch ein Fadenkreuz das Lösungsareal<br />
mit dem möglichen geeigneten Systemtyp<br />
angezeigt. Diese Art der Apertur-Feld-Darstellung<br />
wurde bereits durch W. J. Smith<br />
veröffentlicht (Modern Lens Design, Verlag<br />
MacGraw-Hill Inc.). LINOS hat dieses Dia-<br />
gramm um wichtige Objektivtypen erweitert.<br />
Zur besseren Veranschaulichung wird<br />
zusätzlich das prinzipielle Systemlayout<br />
neben dem Diagramm angezeigt.<br />
WINLENS 4.3 (Freeware)<br />
Wurde ein brauchbarer Systemtyp gefunden,<br />
kann nun in Datenbanken nach<br />
geeigneten konkreten Systemdaten<br />
gesucht werden. Diese können in das kostenlos<br />
verfügbare WINLENS 4.3 eingelesen<br />
und analysiert werden. Zunächst werden<br />
die Grundeigenschaften des gewählten<br />
Ansatzes untersucht (Brennweiten, Objektabstand,<br />
Abbildungsmaßstab, Wellenlängenbereich<br />
usw.). Häufig entspricht das<br />
gewählte System noch nicht den aus der<br />
Aufgabenstellung gegebenen Anforderungen.<br />
Das System muss beispielsweise noch<br />
auf einen speziellen Abbildungsmaßstab<br />
angepasst, die Öffnung etwas vergrößert,<br />
die Abbildungsleistung weiter verbessert<br />
oder die Verzeichnung verringert werden.<br />
Hier beginnt der eigentliche Prozess des<br />
Optical Designs. Die bloße Analyse von<br />
Aberrationsdarstellungen reicht oft nicht,<br />
um die Potenziale eines optischen Systems<br />
zu erkennen. Hier kann die Seidelsche Bildfehlertheorie<br />
3. Ordnung eine Hilfe bieten,<br />
da sich das Entstehen eventuell vorhandener<br />
Bildfehler, wie Koma, Astigmatismus<br />
usw. im Rahmen der Näherung dritter<br />
Ordnung auf die einzelnen Systemflächen<br />
zurückführen lässt (M. Berek, Grundlagen<br />
der praktischen Optik). Ist die Herkunft<br />
bekannt, kann das System gezielt verändert<br />
werden.<br />
Pegeldiagramm integriert<br />
Die Seidelschen Bildfehlersummen und die<br />
dazugehörigen Flächenbeiträge werden<br />
in WINLENS 4.3/WINLENS PLUS in tabellarischer<br />
Form ausgegeben. Um aber einen<br />
schnellen Überblick zu vermitteln, wurde<br />
in der neuesten Version des Programmpaketes<br />
ein Pegeldiagramm implementiert,<br />
in dem die relativen Fehlerbeiträge jeder<br />
einzelnen Systemfläche als Balken dargestellt<br />
werden. (Abb. 3). Diese Art der<br />
Darstellung offenbart die möglichen Ein- <br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 9
INNOVAS<br />
Abb. 3: Neu in WINLENS 4.3: Pegeldiagramme visualisieren Korrektionszustand optischer Systeme.<br />
griffsmöglichkeiten, um spezifische Fehler<br />
zu reduzieren. Zudem ist sie ein unschätzbares<br />
Hilfsmittel für Lernende, bereits<br />
bekannte Objektivtypen zu analysieren:<br />
Die Korrektions-„Philosphie“ dahinter ist<br />
besser zu verstehen.<br />
WINLENS PLUS<br />
Neben den Analysemöglichkeiten aus<br />
WINLENS 4.3 erlaubt WINLENS PLUS<br />
eine ganze Reihe weiterer grafischer<br />
und tabellarischer Untersuchungen. Der<br />
wesentliche Unterschied zu WINLENS 4.3:<br />
Systemansätze können analysiert und<br />
manuell verändert werden; zudem kann<br />
bei Vorgabe geeigneter Zielfunktionen das<br />
optische System mit Hilfe von effizienten,<br />
automatischen Optimierungsverfahren verbessert<br />
werden. Das Programm enthält ein<br />
ausführliches Manual, das die spezifischen<br />
Methoden der Optimierung beschreibt.<br />
Auch hier wurde auf einen schnellen Einstieg<br />
für Anfänger z.B. bei der Erstellung<br />
der Zielfunktion geachtet. Ist ein geeignetes<br />
optisches Design gefunden, welches in<br />
seinen Abbildungseigenschaften und geometrischen<br />
Dimensionen zu dem gegebenen<br />
optischen Problem passt, sollten sich<br />
weitere Untersuchungen anschließen, um<br />
spätere Enttäuschungen beim tatsächlich<br />
gebauten System zu vermeiden.<br />
Geistern auf der Spur<br />
Aus der Fotografie oder der Verwendung<br />
von Feldstechern mag der Effekt bekannt<br />
sein, dass helle Lichtquellen (z.B. Straßenlaternen)<br />
zu unschönen Doppelbildern<br />
im Bild bzw. Sehfeld führen können und<br />
Abb. 4: Neu in WINLENS PLUS: Einfach zu bedienende grafische Geisterbildanalyse.<br />
den an sich guten Bildeindruck stören.<br />
Die Ursache sind z.B. Reflexe zwischen<br />
einzelnen ungünstig angeordneten oder<br />
geformten Systemflächen. Diese Reflexe<br />
können zu Lichtkonzentrationen, auch<br />
„Geisterbilder“ genannt, auf dem Empfänger<br />
wie Fotofilm, CCD-Detektor oder<br />
das menschliche Auge führen. Beim industriellen<br />
Einsatz von optischen Systemen in<br />
Kombination mit hochdynamischen und<br />
empfindlichen Detektoren vermindern<br />
derartige Geisterbilder den Kontrast des zu<br />
detektierenden Bildes. Bei der Verwendung<br />
von CCD-Detektoren können störende<br />
Geisterbilder nicht nur durch die Reflexion<br />
an zwei Linsenoberflächen entstehen, sondern<br />
auch durch die Reflexion zwischen<br />
dem CCD-Chip selbst oder dessen Cover-<br />
Glas und einer Linsenoberfläche. Beim<br />
Einsatz von High-Power-Lasern können<br />
Reflexe zu hohen Energiekonzentrationen<br />
auf optischen Oberflächen führen und<br />
diese zerstören.<br />
In der neuesten WINLENS PLUS-Version ist<br />
nun eine schnelle und einfach zu bedienende<br />
Geisterbildanalyse in tabellarischer<br />
und in sehr anschaulicher grafischer<br />
Form möglich (Abb. 4). Es können dabei<br />
Einfach- (wichtig bei Lasersystemen) und<br />
Doppelreflexe betrachtet werden. Leicht<br />
ist einzusehen, dass zum Detektor konzentrisch<br />
angeordnete Linsenflächen zu<br />
vermeiden sind. Zur Analyse in WINLENS<br />
brauchen in einem separaten Fenster nur<br />
10 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
INNOVAS<br />
eine oder zwei Systemflächen und eine<br />
Auffangfläche wie die Bildebene angeklickt<br />
zu werden, und die möglichen Geisterbilder<br />
werden hinsichtlich ihrer Größe,<br />
Lage und Energie ausgewertet. Kleine Foki<br />
auf Systemflächen, also Orte mit hoher<br />
Energieansammlung, werden farblich<br />
gekennzeichnet. Eine Systemdarstellung<br />
mit den für die Geisterbilderzeugung relevanten<br />
Strahlen tragen – ähnlich wie im<br />
gewohnten Lens Drawing – zu einer guten<br />
Veranschaulichung bei.<br />
TOLERANCER<br />
Wurde ein optisches Design erstellt, das<br />
der Aufgabenstellung entspricht und das<br />
hinsichtlich seiner Abbildungsleistung der<br />
optischen Problemstellung genügt, müssen<br />
noch dessen Produzierbarkeit geprüft und<br />
© LINOS<br />
Abb. 5: Neu im TOLERANCER: perfekte Linsenzeichnung gemäß DIN ISO 10110.<br />
die zulässigen Fertigungstoleranzen<br />
festgelegt<br />
werden. Hier<br />
stehen im TOLERAN-<br />
CER umfangreiche<br />
Tools zur Verfügung.<br />
Fertigungstoleranzen<br />
können damit ganz<br />
einfach ausgewählt<br />
und deren Einflüsse<br />
auf die in der Realität<br />
zu erwartende<br />
Abbildungsleistung<br />
grafisch und tabellarisch<br />
analysiert<br />
werden. Oftmals<br />
stellen sich optische<br />
Systeme mit hervorragenden<br />
Abbildungsleistungen<br />
als nicht<br />
baubar heraus und<br />
müssen komplett<br />
umgestaltet werden.<br />
Beim Aufdecken der<br />
empfindlichen Konstruktionsparameter<br />
ist die grafische Sensitivitätsanalyse<br />
im<br />
TOLERANCER eine<br />
unschätzbare Hilfe.<br />
Komplexe Linsenzeichnung auf<br />
Knopfdruck<br />
Sind die Toleranzen für das optische System<br />
festgelegt und deren Brauchbarkeit im<br />
geplanten Produktionsprozess nachgewiesen,<br />
ist der eigentliche Optical-Design-Prozess<br />
abgeschlossen. In der Regel werden in<br />
Entwicklungsabteilungen die Optikdaten<br />
anschließend an Konstrukteure übergeben,<br />
die dann Fassungskonstruktionen<br />
vornehmen und entsprechende Linsenund<br />
Mechanikteilezeichnungen erstellen.<br />
Zunächst ist der Kostenaufwand für ein<br />
Objektiv abzuschätzen oder die optischen<br />
Komponenten bei qualifizierten Zulieferern,<br />
wie z.B. LINOS, anzufragen, zu kalkulieren<br />
oder zu bestellen. Hierzu möchte der<br />
Optikentwickler möglichst schnell auf die<br />
Linsenzeichnungen zurückgreifen können.<br />
Mit dem TOLERANCER wird der Optikentwickler<br />
nun in die Lage versetzt, die Zeich-<br />
nungen vollständig selbst gemäß der DIN<br />
ISO 10110 zu erstellen. Im ISO-Drawing-<br />
Tool lassen sich selbst komplexe Linsen<br />
(z.B. Asphären) oder Linsengruppen (3-<br />
fach-Kittglieder) als exakte normgerechte<br />
Zeichnung darstellen (Abb. 5). Bereits zur<br />
Analyse definierte Toleranzen werden auf<br />
Wunsch automatisch übernommen. Aus<br />
einem umfangreichen Symbolkatalog<br />
können Zusatzsymbole (z.B. für Form- und<br />
Lagetoleranzen) ausgewählt werden. Die<br />
Lage, Größe und Position von Beschriftungen,<br />
Symbolen oder zusätzlich eingefügten<br />
Linien kann manuell verändert werden.<br />
Zur Beschriftung werden zwei Standardbeschriftungsköpfe<br />
angeboten, die selbst das<br />
Einbinden eigener Firmenlogos erlauben.<br />
Die fertige Zeichnung kann nun als hoch<br />
aufgelöste Bitmap-Datei oder zur weiteren<br />
Verarbeitung in anderen CAD-Programmen<br />
im dxf-Format ausgegeben werden.<br />
(Bild Zeichnung)<br />
Zusammenfassung<br />
In diesem Beitrag haben wir Ihnen die<br />
wesentlichen neuen Möglichkeiten des<br />
kostengünstigen LINOS Programmpakets<br />
WINLENS beschrieben. Die vielen kleineren<br />
Verbesserungen werden Sie beim<br />
Gebrauch entdecken und schätzen lernen.<br />
Das Programmpaket wird von LINOS kontinuierlich<br />
weiterentwickelt. Einen genauen<br />
Überblick über die Leistungsfähigkeit des<br />
Optical-Design-Softwarepakets finden Sie<br />
unter www.winlens.de. Hier stehen auch<br />
viele weitere Informationen rund um das<br />
Thema Technische Optik/Optical Design<br />
zur Verfügung.<br />
Fokus auf WINLENS<br />
● kostengünstiges Gesamtpaket zum<br />
Preis* von 298,– Ð zzgl. MwSt<br />
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Lerntool<br />
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No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 11
CHECKUP<br />
Qualitätsprüfung mikrooptischer Bauteile in Serie<br />
Automatisierte Plattformen<br />
von Mathias Beyerlein, OPTOCRAFT und Rudolf Kaiser, AMICRA<br />
Werden mikrooptische Bauteile in hohen Stückzahlen hergestellt, erfordert die Charakterisierung der Prüflinge<br />
einen höheren Aufwand. Geräte, die eine hundertprozentige Prüfung für eine gezielte Selektion durchführen<br />
können, müssen nicht nur schnell, sondern auch ausreichend genau messen. Dies ist beispielsweise bei<br />
sphärischen und zylindrischen Mikrolinsen oder Laserdiodenarrays gefordert. Bei erhöhter Taktzeit prüfen<br />
automatisierte Plattformen solche Komponenten auf Form und Funktion und tragen somit bei, gehobene<br />
Qualitätsansprüche an Herstellungsprozess und Produkt zu erfüllen.<br />
Anwendungen, in denen mikrooptische<br />
Bauteile eingesetzt werden, sind zunehmend<br />
anspruchsvoll und stellen höhere<br />
Anforderungen an die Messmethoden.<br />
Beispiele liefern Mikrolinsen zur Faserkopplung<br />
optischer Netzwerke oder<br />
Mikrolinsenarrays in Strahlhomogenisierern<br />
für die UV-Lithographie. Auch aktive<br />
Bauelemente wie Arrays von Sende- und<br />
Empfangsdioden müssen ggf. in die Charakterisierung<br />
einbezogen werden. Die<br />
Größe der zu messenden Bauelemente<br />
beginnt bei einigen 10 µm und reicht bis<br />
in den Millimeterbereich hinein. Eine spezielle<br />
Messaufgabe in normaler industrieller<br />
Fertigungsumgebung ist beispielsweise das<br />
Prüfen von 36.000 plankonvexen Silizium-<br />
Mikrolinsen auf 6“-Wafern. Bei einem<br />
Durchmesser von 400 µm und einem relativ<br />
kleinen Oberflächenkrümmungsradius<br />
von etwa 650 µm lässt sich der Prüfling<br />
mit Hilfe einer universellen, in den Produktionsprozess<br />
integrierten Plattform schnell<br />
und exakt messen.<br />
Verfügbare Messverfahren<br />
Auch andere Prüfverfahren, die Rückschlüsse<br />
auf den Herstellungsprozess<br />
zulassen, eignen sich für eine Oberflächenprüfung<br />
der zu vermessenden Mikrooptiken.<br />
Zu den häufigsten Prüfverfahren<br />
mikrooptischer Oberflächen gehören<br />
SHSAutolab Automationsplattform für die<br />
Optikprüfung.<br />
profilometrische Messmethoden, die die<br />
Oberfläche abrastern. Mechanisch taktile<br />
Messgeräte erlauben zwar die Vermessung<br />
nahezu beliebiger Oberflächenformen,<br />
sind jedoch für eine hundertprozentige<br />
Prüfung zu langsam, gefährden die<br />
Oberfläche und ermöglichen keinen Funktionstest<br />
des Prüflings. Die scannende<br />
Weißlichtinterferometrie und die optische<br />
Profilometrie zählen zu den optischen Verfahren<br />
und zeichnen sich durch eine hohe<br />
räumliche Auflösung aus. Licht, das an<br />
sehr steilen Objektoberflächen reflektiert<br />
wird, kann aufgrund des großen Oberflächenwinkels<br />
häufig nicht mehr detektiert<br />
werden. Mikrolinsen mit großer Oberflächenapertur<br />
beispielsweise sind nicht bis<br />
zum Rand messbar. Weiterhin kann eine<br />
Linsenoberfläche auch im direkten interferometrischen<br />
Nulltest geprüft werden, der<br />
insbesondere bei steileren Linsenrändern<br />
im Vergleich zu optisch scannenden Verfahren<br />
die Messung oft erst ermöglicht.<br />
Shack-Hartmann-Messsysteme<br />
Messsysteme, die auf dem Prinzip des<br />
Shack-Hartmann-Wellenfrontsensors<br />
basieren, sind besonders dynamisch und<br />
stabil. Interferometer erzielen beim Messen<br />
von Mikrooptiken im extrem hohen<br />
Genauigkeitsbereich gute Ergebnisse, sind<br />
aber durch die Aufnahme mehrerer phasengeschobener<br />
Bilder relativ langsam und<br />
aufgrund einer Messung des absoluten<br />
Lichtweges sehr vibrationsempfindlich.<br />
Dieses Stabilitätsproblem, das gerade in<br />
einer industriellen Fertigungsumgebung<br />
und bei der Integration in ein automatisiertes<br />
Messsystem stört, lässt sich durch die<br />
Verwendung des Shack-Hartmann-Wellenfrontsensors<br />
vermeiden. Hierbei wird die<br />
Wellenfront aus den Neigungen der Lichtstrahlen<br />
mit einer einzigen Bildaufnahme<br />
rekonstruiert und so die Messergebnisse <br />
> Kontakt:<br />
info@optocraft.de<br />
www.optocraft.de<br />
12 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
CHECKUP<br />
Schema des optischen Messsystems.<br />
ermittelt. Ein Vermessen mit dem Wellenfrontsensor<br />
erlaubt somit ebenfalls eine<br />
Formprüfung, ohne das Objekt abtasten<br />
zu müssen. Die gemessenen Linsenparameter<br />
können auf vielfältige Weise<br />
ausgewertet werden. Abweichungen der<br />
Oberflächenform lassen sich mittels der<br />
Zernike-Koeffizienten als 3D-Darstellung,<br />
Querschnitt, Farb- oder Höhenlinienbild<br />
darstellen. Aus den kompletten Formdaten<br />
können optische Parameter der Linsen<br />
abgeleitet werden.<br />
Automatisierte Messung<br />
Die vorgestellte Automatisierungsplattform<br />
zur Optikprüfung besteht aus zwei<br />
unabhängigen optischen Systemen, die<br />
die Oberfläche der Mikrooptik von der<br />
Ober- und Unterseite her antasten und<br />
den Prüfling auf den Shack-Hartmann-<br />
Sensor abbilden. Mittels Antasten der<br />
Oberflächen durch die beiden Foki und<br />
die Verschiebung der Systeme werden die<br />
Linsendicke oder -höhe gemessen. Aus<br />
einer anderen Position heraus kann der<br />
mittlere Krümmungsradius ermittelt werden.<br />
Damit eine optimale Messposition<br />
erreicht wird, justiert sich die Plattform in<br />
allen Prozessschritten durch die von den<br />
Wellenfrontsensoren gelieferten Korrektursignale<br />
automatisch. Insbesondere an<br />
dieser Stelle kommen die Stabilität und<br />
Geschwindigkeit des Messprinzips zum<br />
Tragen. Für den eingangs genannten<br />
Linsentyp werden Taktzeiten von unter<br />
3s für eine vollständige Charakterisierung<br />
erreicht. Bei den anschließenden<br />
Produktionsschritten werden die in einer<br />
Datenbank gespeicherten Mikrolinsendaten<br />
z.B. an Pick-and-Place- oder<br />
Montagesysteme durchgereicht. So wird<br />
durch die hundertprozentige Prüfung eine<br />
gezielte und genauere Weiterverarbeitung<br />
sichergestellt. Abhängig vom Messobjekt,<br />
das geprüft und dessen Parameter erfasst<br />
werden, ergeben sich unterschiedliche<br />
Messaufgaben, die eine flexible Anpassung<br />
der Automatisierungsplattform nötig<br />
machen. Daher wurde ein modularer<br />
Aufbau der optischen und mechanischen<br />
Komponenten aus dem LINOS Programm<br />
gewählt. Auch die verwendete Steuerund<br />
Messsoftware ist universell ausgelegt<br />
und daher leicht anpassbar.<br />
Funktionsprüfung<br />
Je nach Art der geforderten Charakterisierung<br />
kann die Optik im Auflicht<br />
oder Durchlicht gemessen werden. Da<br />
der Shack-Hartmann-Sensor geringere<br />
Anforderungen an die Lichtquellen stellt,<br />
ergeben sich im Vergleich zur Interferometrie<br />
mehr Anwendungsmöglichkeiten:<br />
Im Messsystem können verschiedene<br />
Messwellenlängen leicht integriert werden,<br />
wobei diese eine niedrigere Kohärenz<br />
aufweisen dürfen. Das automatisierte Prüfsystem<br />
für Durchlichtmessungen bestimmt<br />
Wellenfront, MTF, PSF, Brennweite und<br />
Schnittweite. Der große Dynamikumfang<br />
des verwendeten Wellenfrontsensors<br />
erlaubt sogar, nicht fokale Optiken zu<br />
messen. Da die Funktionsprüfung auf<br />
Wellenfront basiert, lässt sie sich zu einem<br />
integrierten, automatisierten Justage- und<br />
Montagesystem unter Einsatz von robotischen<br />
Systemen erweitern.<br />
Oberflächenmessung an einer Linse.<br />
Optionen und Fazit<br />
Automatisierte optische Messsysteme auf<br />
Basis von Shack-Hartmann-Wellenfrontsensoren<br />
wie das SHSAutolab von OPTO-<br />
CRAFT erzielen eine schnelle und umfassende<br />
Kontrolle von Optiken und leisten<br />
einen wichtigen Beitrag zur Qualitätssicherung<br />
in der industriellen Serienfertigung.<br />
Neben dem Test von Wafer-basierter<br />
Mikrooptik lassen sich Einzelelemente oder<br />
Optiksysteme und deren Justage auch<br />
automatisiert prüfen: beispielsweise Plastiklinsen,<br />
die als Schüttgut oder in Nestern<br />
bereitgestellt werden. Unabhängig von der<br />
produzierten Stückzahl und Art der zu prüfenden<br />
Optiken stellt ein solches System<br />
eine flexibel einsetzbare Plattform dar. Für<br />
Einzelelemente und Kleinserien oder während<br />
der Entwicklung können alle verfügbaren<br />
Messmethoden auch in manuellen<br />
Prüfsystemen implementiert werden. Hier<br />
erlauben Geschwindigkeit und Stabilität<br />
ebenfalls einfache und präzise Messungen. <br />
Verteilung Krümmungsradien der Mikrolinsen über<br />
den Wafer.<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 13
BASICS<br />
Optische Tischsysteme von LINOS und TMC, Teil II<br />
Design Optischer Tischplatten<br />
Von Norbert Henze, LINOS Göttingen<br />
Nachdem in der letzten optolines, Ausgabe No.7, die Grundlagen der Schwingungsisolation erörtert wurden,<br />
stellen wir Ihnen in dieser Ausgabe die Konstruktion von Optischen Tischplatten näher vor. Zunächst ist es<br />
notwendig, sich mit den theoretischen Grundlagen und deren Nomenklaturen Nachgiebigkeit (Compliance),<br />
Vibration, Resonanz und Dämpfung vertraut zu machen.<br />
Masse<br />
Anregende Schwingung<br />
Träger<br />
Nachgiebigkeit (Compliance)<br />
Festlager<br />
Abb 1: Schwingungsfähiges System mit einem<br />
Freiheitsgrad.<br />
Eines der häufigsten Probleme in der<br />
Physik und der Konstruktion ist die Verformung<br />
eines Körpers als Reaktion auf<br />
eine von außen wirkende statische oder<br />
dynamische Kraft. Statische Kräfte, wie die<br />
Belastung von Aufbaumaterial oder Geräten,<br />
können bei einem Optischen Tisch<br />
ein Durchbiegen der Platte verursachen.<br />
Dynamische Kräfte, hervorgerufen durch<br />
Luftschwingungen, Bodenschwingungen<br />
oder mechanische Schwingungsquellen<br />
direkt auf der Platte, bewirken ein Schwingen<br />
und Verformen der Tischplatte. Unter<br />
der Nachgiebigkeit, Compliance, versteht<br />
man die dynamische Verformung einer<br />
Struktur als Reaktion auf eine zeitlich veränderliche<br />
Kraft. Die Nachgiebigkeit ist der<br />
reziproke Wert der dynamischen Steifigkeit.<br />
Eine geringere Nachgiebigkeit bedeutet<br />
beispielsweise bei Optischen Tischen<br />
eine höhere Qualität. Durch die geringere<br />
Auslenkung werden auch montierte opto-<br />
mechanische Komponenten weniger aus<br />
ihrer ursprünglichen Position bewegt. Abb.<br />
1 verdeutlicht die Nachgiebigkeit an einem<br />
schwingungsfähigen System mit nur einem<br />
Freiheitsgrad. Dieses könnte beispielsweise<br />
ein Stahlträger sein, der an einem Ende<br />
fest verankert ist. Wird der Träger mit einer<br />
sinusförmigen Schwingung mit konstanter<br />
Frequenz angeregt, gilt nach den Newtonschen<br />
Gesetzen für die Bewegung die<br />
allgemeine Gleichung:<br />
ma cv kx F sin ω t [1]<br />
0<br />
+ + = ( )<br />
Die linke Seite der Gleichung beschreibt<br />
das zum Schwingen gezwungene System<br />
und die rechte Seite die anregenden<br />
Schwingung, mit:<br />
a = Beschleunigung<br />
v = Geschwindigkeit<br />
x = Auslenkung<br />
m = bewegte Masse<br />
c = Dämpfung<br />
k = Steifigkeit<br />
F 0<br />
sin (ωt) = sinusförmig wechselnde Kraft<br />
mit der Frequenz ω, maximaler<br />
Amplitude F 0<br />
und Zeit t<br />
Der allgemeine Ausdruck für die Nachgiebigkeit<br />
C eines solchen Systems ist gegeben<br />
mit<br />
C = x =<br />
F<br />
1<br />
⎡ (<br />
2<br />
k − m ) + ( c<br />
⎣⎢<br />
)<br />
2<br />
ω ω ⎤<br />
⎦⎥<br />
1<br />
2<br />
[2]<br />
Die Gleichung [2] lässt sich auch in Worte<br />
umformulieren:<br />
C =<br />
1<br />
( Steifigkeit − Masseeffekt ) + Dämpfung<br />
In Abb. 2 ist die Nachgiebigkeit eines<br />
starren Körpers über der Frequenz aufgetragen.<br />
Die Kurve lässt sich in drei Bereich<br />
unterteilen: Steifigkeit, Resonanzeffekt,<br />
Masseeffekt.<br />
Nachgiebigkeit<br />
Resonanzstelle<br />
Bereich der<br />
Steifigkeit<br />
( 1<br />
k<br />
(<br />
ω 0<br />
Frequenz<br />
Masse dominierender<br />
Bereich 1<br />
mω<br />
2<br />
(<br />
(<br />
[3]<br />
Resonanzüberhöhung abhängig<br />
von der Dämpfung 1<br />
cω<br />
Abb. 2: Nachgiebigkeit über Frequenz eines System<br />
mit einem Freiheitsgrad.<br />
Niedrige Frequenzen<br />
Bei niedrigen Frequenzen, unterhalb der<br />
ersten Resonanzfrequenz, überwiegt in<br />
der Gleichung [2] für die Nachgiebigkeit C<br />
der Term der Steifigkeit k. Das bedeutet,<br />
wenn eine niederfrequente Kraft an das<br />
freie Ende des Trägers angreift, hängt der<br />
Betrag der Verbiegung nur von dessen<br />
Steifigkeit ab, die wiederum von der Form<br />
(<br />
(<br />
<br />
14 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
BASICS<br />
und des Elastizitätsmodul des Trägers<br />
abhängig ist.<br />
Resonanzfrequenz<br />
Im Fall der Resonanz wird die Amplitude<br />
der an das freie Ende des Trägers angreifende<br />
Kraft verstärkt. Die Nachgiebigkeit<br />
bei den unterschiedlichen Resonanzfrequenzen<br />
ist hauptsächlich abhängig vom<br />
Betrag der Dämpfung bei diesen Frequenzen<br />
und der effektiven Masse. Allerdings<br />
sind die relativen Resonanzüberhöhungen<br />
auch näherungsweise proportional zu 1/ω 2 .<br />
Höhere Frequenzen<br />
Bei höheren Frequenzen wird die Nachgiebigkeit<br />
C hautsächlich von der Masse m<br />
bestimmt. Aus Gleichung [2] lässt sich für<br />
höhere Frequenzen ableiten:<br />
C = 1 m<br />
2<br />
ω<br />
[4]<br />
Für ein einfaches Feder-Masse-System<br />
wie in Abb. 1 ist es ziemlich einfach die<br />
schwingungsfähige Masse zu bestimmen.<br />
In der Realität ist es jedoch häufig sehr<br />
schwierig diese Masse zu ermitteln.<br />
Krafteinwirkung<br />
Statische Verformung<br />
Krafteinwirkung<br />
Dynamische Verformung<br />
Abb. 3: statische und dynamische Verformung.<br />
80 Hz verhält sich diese näherungsweise<br />
wie ein ideal steifer Körper 1/k. Oberhalb<br />
dieser Frequenz weicht die Tischplatte vom<br />
idealen Verhalten ab, und scharfe Peaks<br />
nach oben zeigen die Resonanzstellen an.<br />
In diesem Bereich ist die Güte der Dämpfung<br />
für die Höhe der auftretenden Amplituden<br />
ausschlaggebend 1/cω. Die Lage der<br />
Resonanzfrequenzen sollte so hoch wie<br />
möglich liegen, da mit zunehmender Frequenz<br />
die Schwingungsamplituden stark<br />
abnehmen 1/mω 2 .<br />
10 -3<br />
Mit Hilfe der Nachgiebigkeitskurve lassen<br />
sich unterschiedliche Tischplatten in ihrer<br />
Qualität vergleichen. Eine gängige Größe<br />
ist der so genannte Q-Faktor. Er gibt den<br />
Faktor der Resonanzüberhöhung im Vergleich<br />
zu einem ideal starren Körper bei<br />
der ersten Resonanzstelle an (Abb. 4).<br />
Q = A [5]<br />
B<br />
Je kleiner der Q-Faktor ist, desto weniger<br />
störend wirken sich Resonanzen auf die<br />
Anwendung aus. Beispielsweise besitzen<br />
Optische Tische mit Stahlwabenkern Werte<br />
von Q ≈ 4, mit Aluminiumwabenkern<br />
Q ≈ 12 und ein Granitblock Q ≈ 460.<br />
Schwingungsmoden<br />
Eine typische rechteckige Optische Tischplatte<br />
kann in unterschiedlichen Moden<br />
schwingen: entlang der kurzen oder entlang<br />
der langen Achse und wie bei einer<br />
Torsionsschwingung (Abb. 5). Jede dieser<br />
Moden hat eine eigene charakteristische<br />
Resonanzfrequenz und lässt sich einem<br />
Peak in der Nachgiebigkeitskurve (Abb. 4)<br />
zuordnen. <br />
Design Optischer Tischplatten<br />
Aus den vorangegangenen theoretischen<br />
Betrachtungen ergeben sich die drei<br />
Grundanforderungen an das Design eines<br />
Optischen Tisches:<br />
● hohe statische und dynamische Steifigkeit<br />
(siehe Abb. 3)<br />
● hohe Dämpfung<br />
● Lage der ersten Resonanzstelle oberhalb<br />
von 100 Hz<br />
Die statische Steifigkeit beschreibt die<br />
auftretende Biegung durch eine zeitlich<br />
konstante Krafteinwirkung. Dagegen<br />
beschreibt die dynamische Steifigkeit die<br />
Verbiegung bei harmonischer Krafteinwirkung<br />
mit einer bestimmten Frequenz.<br />
Die in Abb. 4 dargestellte Nachgiebigkeitskurve<br />
einer Optischen Tischplatte über der<br />
Frequenz zeigt: Bis zu einer Frequenz von<br />
Nachgiebigkeit (in./lb)<br />
10 -4<br />
10 -5<br />
10 -6<br />
10 -7<br />
Ideal steifer Körper<br />
f 0<br />
f 1<br />
f 3<br />
f 4<br />
10 -7<br />
10 -8 10 100 Erste Resonanzstelle 1000<br />
Frequenz (Hz)<br />
Abb. 4: Nachgiebigkeitskurve einer Optischen Tischplatte.<br />
LOG C<br />
A<br />
Q= A 10 -3<br />
B<br />
B<br />
LOG I<br />
10 -4<br />
10 -5<br />
10 -6<br />
Nachgiebigkeit (mm/N)<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 15
BASICS<br />
f 0 f 2<br />
f 1 f 3<br />
Abb. 5: Schwingungsmoden einer rechteckigen<br />
Optischen Tischplatte.<br />
Material und Aufbau einer<br />
Optischen Tischplatte<br />
Nun stellt sich die Frage nach dem optimalen<br />
Material für eine Optische Tischplatte.<br />
In der Vergangenheit wurden diese häufig<br />
aus Beton oder Granit gefertigt. Beide<br />
Materialien besitzen eine hohe Dichte,<br />
haben aber den Nachteil, dass sie Wasser<br />
absorbieren und sich danach verformen.<br />
Ein weiteres in Frage kommendes Material<br />
ist Stahl. Neben der hohen Dichte<br />
besitzt er auch noch eine hohe Festigkeit.<br />
Nachteilig bei einer massiven Stahlplatte<br />
ist jedoch, dass sie bei unterschiedlichen<br />
Frequenzen klingt wie eine „Glocke“.<br />
Beim Design einer Optischen Tischplatte<br />
galt es deshalb zunächst, ein Material<br />
und eine Struktur zu finden, welche die<br />
Anforderungen „hohe“ Dichte, Steifigkeit<br />
und Dämpfung erfüllen. Die Lösung für<br />
die Struktur konnte direkt von der Natur<br />
abgeschaut werden: Genau diese Anforderungen<br />
erfüllt die in Stahl ausgeführte<br />
Bienenwabe.<br />
Die Theorie zum Stahlwabenkern<br />
Betrachtet man die Biegefestigkeit eines<br />
dünnen Metallstreifens, so stellt man fest,<br />
dass dieser in seiner Längsrichtung sehr<br />
formbeständig (Abb. 6) ist. Würde man<br />
das Innere einer Optischen Tischplatte mit<br />
vertikal angeordneten und parallel zueinander<br />
verlaufenden Metallstreifen ausfüllen,<br />
hätte die Platte in der Richtung der<br />
Streifen eine sehr viel höhere Formbeständigkeit<br />
als in die übrigen Richtungen.<br />
Im nächsten Schritt betrachtet man nun<br />
die Konstruktion, bei der die Metallstreifen<br />
unter einem Winkel von 90° zueinander<br />
angeordnet und fest miteinander verbunden<br />
sind (Waffelmuster). Durch diese<br />
Anordnung besitzt die Tischplatte in ihren<br />
beiden Hauptbiegerichtungen eine hohe<br />
Formbeständigkeit. Wie jedoch in Abb. 5<br />
zu sehen ist, kann es auch zu einer Torsion<br />
der Platte kommen. Die Verformung tritt<br />
in Richtung der Ebene auf, die unter 45°<br />
zu den beiden rechtwinklig angeordneten<br />
Metallstreifen steht. In dieser Richtung<br />
wird die Formbeständigkeit auch durch<br />
eine rechtwinklige Konstruktion nicht<br />
verbessert. Offensichtlich ist es vorteilhaft<br />
eine Struktur zu finden, bei der die<br />
Metallstreifen unter einem Zwischenwinkel<br />
angeordnet sind. Dieser Anforderung wird<br />
die Honigwabe nahezu gerecht. Sie kann<br />
als sechseckige oder sinusförmige Zelle<br />
geformt sein.<br />
Aufbau der Optischen Tischplatte<br />
und Breadboards von LINOS und<br />
TMC<br />
Damit eine möglichst große Steifigkeit<br />
und optimale Dämpfung erzielt wird,<br />
haben LINOS und TMC alle aus der Theorie<br />
gewonnenen Richtlinien konsequent<br />
umgesetzt. Ihre Tischplatten zählen daher<br />
zur Klasse der Besten der am Markt<br />
erhältlichen Optischen Tischplatten und<br />
Breadboards. Die Optischen Tischplatten<br />
(Abb. 7) bestehen aus einem Stahlwabenkern,<br />
der unter Verwendung eines speziellen<br />
Epoxidharzes unter hohem Druck<br />
zwischen zwei geläppten Granitplatten mit<br />
der Deck- und der Bodenplatte verbunden<br />
wird. Die Seitenwände sind ebenfalls aus<br />
Stahl gefertigt und bilden daher mit den<br />
übrigen Bestandteilen des Tisches einen<br />
strukturell konsequent einheitlichen Aufbau.<br />
Im Inneren sind die Tischplatten mit<br />
jeweils speziell abgestimmten Dämpfungsmechanismen<br />
ausgestattet: Dämpfungsmatten<br />
an den Seitenwänden und Dämpfungsmassen<br />
an strategischen Punkten der<br />
Tische. Die Breitbandcharakteristik dieser<br />
Einrichtungen wirkt auch bei wechselnden<br />
Belastungen gleichermaßen effizient. Die<br />
Gewindebohrungen sind gegen das Innere<br />
des Tisches mittels spezieller Kappen<br />
versiegelt. Diese CleanTop Ausstattung<br />
verhindert, dass die Verklebung beschädigt<br />
wird – beispielsweise durch eintretende<br />
aggressive Flüssigkeiten.<br />
Stahlwabenkern<br />
Der Stahlwabenkern besteht aus einem<br />
0,25 mm dicken, korrosionsfest beschichteten<br />
Stahlblech. Der Wabenquerschnitt<br />
kann aufgrund der schlanken Kappen,<br />
welche bei der CleanTop Ausstattung<br />
Verwendung finden, auf 3 cm 2 reduziert<br />
werden. Diese hohe Wabendichte sorgt für<br />
eine exzellente Steifigkeit der Optischen<br />
Tischplatte. Die mittlere räumliche Wabendichte<br />
beträgt 0,27 g/cm 3 und der Schermodul<br />
des Wabenkerns 1,9 x 10 9 N/m 2 .<br />
Deckplatte<br />
Die Deckplatte wird spannungsfrei direkt<br />
mit dem Wabenkern verbunden. Sie<br />
besteht aus einem kaltgewalzten ferromagnetischen<br />
Edelstahl. Die Dicke beträgt<br />
wahlweise 3 oder 5 mm. Die Planität ist<br />
besser als +/- 0,13 mm über die gesamte<br />
Tischfläche. Um störende Reflexe weitestgehend<br />
auszuschließen, ist die Oberfläche<br />
angeschliffen. <br />
Parallele Anordnung<br />
Ineinander verzahnte<br />
Anordnung (Waffelstruktur)<br />
Sinusförmige oder hexagonale<br />
Anordnung (Wabenstruktur)<br />
Richtung der<br />
maximalen<br />
Steifigkeit<br />
Abb. 6: Richtung der maximalen Steifigkeit bei<br />
unterschiedlichen Strukturen.<br />
16 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
BASICS<br />
Edelstahldeckplatte mit<br />
Planität besser als ± 0,13 mm<br />
Faserverstärkte Vinyl-<br />
Beschichtung<br />
zum Schutz der<br />
Stahlweitenwände<br />
Seitenwände aus<br />
1,9 mm starkem<br />
kaltgewalztem,<br />
geformtem Stahl<br />
Geschnittene<br />
Gewindebohrungen<br />
im Raster 25 mm<br />
Stahlbodenplatte<br />
Chemisch resistente<br />
Nylon 6 Kappe<br />
unter jeder einzelnen<br />
Gewindebohrung,<br />
CleanTop II Verfahren<br />
Stahlwabenkern<br />
Wabenquerschnitt 3 cm 2<br />
CleanTop II Ausstattung<br />
Die neue CleanTop II Ausstattung der<br />
Tische ist die beste Methode, um den<br />
Wabenkern vor äußeren Einflüssen, z.B.<br />
eindringenden aggressiven Flüssigkeiten,<br />
zu schützen. Das patentierte Verfahren<br />
erlaubt den Abschluss jeder einzelnen<br />
Gewindebohrung durch eine Kappe<br />
aus chemisch resistentem Nylon 6 oder<br />
optional aus rostfreiem Edelstahl. Die<br />
Kappen werden einzeln unter den Gewindebohrungen<br />
mit Epoxidkleber befestigt.<br />
Die schlanke, zylindrische Form der Kappen<br />
des CleanTop II Prinzips erlaubt die<br />
große Dichte und damit außergewöhnliche<br />
Stabilität des Wabenkerns. Die freie Eindrehtiefe<br />
für Schrauben und Gewindestifte<br />
beträgt ca. 25 mm.<br />
Abb. 7: Aufbau einer Optischen Tischplatte von LINOS und TMC.<br />
Effiziente innere Dämpfung<br />
Bodenplatte<br />
Die Bodenplatte ist wie die Deckplatte<br />
ebenfalls spannungsfrei und nach demselben<br />
Verfahren mit der Wabenstruktur<br />
verbunden. Sie besteht aus kaltgewalztem<br />
Stahl, der mit schwarzem Epoxid-Lack<br />
behandelt ist.<br />
Seitenwände<br />
Wegen der höheren Steifigkeit und der<br />
strukturellen Einheitlichkeit des Tisches<br />
bestehen die Seitenwände ebenfalls aus<br />
kaltgewalztem Stahl von 1,9 mm Stärke.<br />
Dieser einheitliche Tischaufbau gewährleistet<br />
bei thermischen Driften oder<br />
lokalen Erwärmungen eine gleichförmige<br />
Ausdehnung des Optischen Tisches. Tischbiegungen<br />
(Bimetalleffekt) sind dadurch<br />
nahezu ausgeschlossen. Die Seitenwände<br />
sind an den Stoßkanten verschweißt und<br />
auf der Innenseite mit Dämpfungsmatten<br />
versehen.<br />
Gewindebohrungen<br />
Alle Gewindebohrungen sind mit Präzisionswerkzeugen<br />
direkt in die Deckplatte<br />
eingeschnitten. Eine saubere Fase schließt<br />
Verletzungen aus. Im Gegensatz zur Verwendung<br />
von Gewindeeinsätzen und<br />
-hülsen können diese Gewinde auf Zug<br />
und Druck gleichermaßen belastet werden.<br />
Eine strukturelle Dämpfung ist notwendig,<br />
um die Empfindlichkeit gegenüber<br />
dynamischen Anregungen von außen zu<br />
minimieren und Schwingungsenergie zu<br />
absorbieren, die von der Tischplatte aufgenommen<br />
wurde. Viele Hersteller verwenden<br />
visko-elastische Kleber beim Zusam- <br />
Allgemeine Spezifikationen der Tischplatten von LINOS und TMC<br />
Kern<br />
Schermodul des Kerns 19300 kg/cm 2<br />
Kerndicht 230 kg/m 3<br />
Wabenquerschnitt < 3 cm 2<br />
Deckplatte<br />
Bodenplatte<br />
Seitenwände<br />
Gewindebohrungen<br />
Typische Lage der ersten Resonanzstelle<br />
Typischer Q-Faktor < 4<br />
Stahlwabenkern, geschlossene Zellen, 0,25 mm Stahlblech<br />
400er magnetischer rostfreier Edelstahl, wahlweise<br />
3 oder 5 mm stark<br />
Stahlplatte mit schwarzer Lackschutzschicht, gleiche<br />
Stärke wie Deckplatte<br />
1,9 mm starke Stahlplatte mit faserverstärkter<br />
Vinyl-Schutzschicht<br />
Geschnittene M6 Gewinde im Raster 25 mm durch<br />
Nylon- oder Edelstahlkappen verschlossen,<br />
CleanTop II Verfahren<br />
> 220 Hz<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 17
LINOS LIVE<br />
menfügen der Platten. Dabei wird die<br />
Steifigkeit erheblich beeinträchtigt. TMC<br />
arbeitet nur mit aushärtenden Harzen und<br />
zusätzlichen Dämpfungsmassen. Dieses<br />
System altert nicht, gast nicht aus und ist<br />
auf jeden Tisch individuell abgestimmt.<br />
TMC hält die oben aufgeführten Konstruktionsprinzipien<br />
bei der Herstellung der<br />
Optischen Tischplatten konsequent ein.<br />
Dieses Qualitätsprinzip führt zu Tischen<br />
der Spitzenklasse, ihre Steifigkeit ist nach<br />
wie vor unerreicht.<br />
Trockene Dämpfung<br />
Die Schwingungsdämpfung der Optischen<br />
Tische basiert auf einem System der trockenen<br />
Dämpfung, das breitbandig alle<br />
vorhandenen Schwingungen abschwächt.<br />
Gegenüber Öldämpfern besitzt die<br />
trockene Dämpfung mehrere Vorteile.<br />
Öldämpfer sind nur dort besonders gut,<br />
wo sie auf verschiedene Frequenzen abgestimmt<br />
sind. Über längere Zeit können sie<br />
ihre Dämpfungscharakteristik ändern. Die<br />
Eigenfrequenz eines Optischen Tisches<br />
variiert mit der Belastung, Lastverteilung,<br />
Temperatur und der Präsenz der Dämpfer<br />
selbst. In der Praxis ist es jedoch schwierig,<br />
die Dämpfer auf eine bestimmte Frequenz<br />
einzustellen. Die Breitbandtechnik ist daher<br />
der effektivere Weg, einen Optischen Tisch<br />
zu dämpfen. Je nach Anwendung bieten<br />
LINOS und TMC drei Dämpfungsklassen<br />
an. <br />
LINOS Weihnachtsrätsel 2005<br />
Liebe Leserinnen und Leser!<br />
Machen Sie mit beim großen LINOS Weihnachtsrätsel 2005 und gewinnen Sie mit<br />
etwas Glück einen der drei wertvollen Preise. Notieren Sie unter den sechs LINOS Produktabbildungen<br />
den jeweiligen Namen – diese kommen fast alle in dieser optolines Ausgabe<br />
vor! Wenn Sie die nummerierten Buchstabenfelder in die richtige Reihenfolge bringen,<br />
erhalten Sie automatisch das Lösungswort, das einen beliebten Treffpunkt in der Vorweihnachtszeit<br />
beschreibt.<br />
Bitte senden Sie das Lösungswort unter der Betreffzeile LINOS Weihnachtsrätsel 2005<br />
per E-Mail an janine.jagemann@linos.de.<br />
Einsendeschluss ist Dienstag, der 20. Dezember 2005. Es entscheidet das Los.<br />
Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter von LINOS und deren Familienangehörige können<br />
leider nicht teilnehmen! Der Rechtsweg ist ausgeschlossen. Die Gewinne werden noch<br />
vor Weihnachten versandt!<br />
Viel Glück!<br />
Das können Sie gewinnen!<br />
1. Preis: 1 i-pod nano<br />
2. Preis: 1 MP 3 Player<br />
3. Preis: 1 SENSEO Kaffeemaschine<br />
1 2<br />
7 4 8<br />
Fokus auf Optische Tischplatten<br />
von LINOS und des Kooperationspartners<br />
TMC<br />
● strukturell konsequent einheitlicher<br />
Aufbau aus Stahl<br />
● Stahlwabenkern mit hoher Dichte<br />
● höchste statische und dynamische<br />
Steifigkeit<br />
● geschnittene Gewinde M6<br />
6 10 5<br />
9 11<br />
● Gewindeversiegelung durch<br />
CleanTop II Verfahren<br />
3<br />
Das Lösungswort ist „ein beliebter Treffpunkt in der Adventszeit“<br />
12<br />
1 2 3 4 5 6 7 4 8 9 10 6 11 12 8<br />
> Kontakt:<br />
sales@linos.de<br />
18 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005
LINOS LIVE<br />
LINOS „Roadshows“ – für Sie unterwegs<br />
Produktpräsentationen und Fachvorträge vor Ort<br />
Nach den Vorträgen Produktpräsentationen am<br />
LINOS Stand – Physiker Stefan Mewes von LINOS in<br />
Göttingen beim „Tag der Physik“ in Oldenburg.<br />
Seit mehreren Jahren präsentiert LINOS regelmäßig<br />
Produktneuheiten in Form von „Roadshows“ vor Ort:<br />
in wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen und<br />
in der Industrie. Die optischen und mechanischen<br />
Komponenten und Systeme aus dem LINOS Katalog<br />
können dann hautnah in Aktion erlebt, angefasst und<br />
auch ausprobiert werden. Fachvorträge von LINOS Pro-<br />
LINOS 2006<br />
Auf allen wichtigen Messen und Tagungen<br />
Termin Messe Ort weitere Infos<br />
21. bis 26.<br />
Jan 2006<br />
29. Jan bis<br />
01. Feb 2006<br />
23. bis 24.<br />
Mär 2006<br />
13. bis 17.<br />
Mär 2006<br />
27. bis 31.<br />
Mär 2006<br />
21. bis 23.<br />
Mär 2006<br />
Photonics<br />
West<br />
ASSP<br />
San Jose CA, USA<br />
Lake Tahoe,<br />
Nv USA<br />
duktmanagern oder Mitarbeitern aus der Entwicklung<br />
vertiefen die Anwendungsmöglichkeiten oder haben<br />
theoretischen Hintergrund. Zum „Tag der Physik“, an<br />
der Universität Oldenburg hielt Stefan Mewes beispielsweise<br />
Anfang November Vorträge über „Faseroptik“<br />
und „Optische Schichten“. Weitere „Roadshows“<br />
führten LINOS in diesem Jahr nach Belgien und in die<br />
Niederlande, Berlin Adlershof, ins Optische Institut der<br />
TU Berlin, zur Physikalisch-Technischen Bundesanstalt<br />
nach Braunschweig und in das Astrophysikalische Institut<br />
Potsdam.<br />
Wenn auch Sie<br />
Interesse an<br />
einer Ausstellung<br />
und/oder<br />
einem Fachvortrag<br />
von LINOS<br />
haben, wenden<br />
Sie sich bitte<br />
an:<br />
sales@linos.de<br />
www.spie.org<br />
www.osa.org/meetings/topicals/assp/<br />
LOB Berlin www.laser-optik-berlin.de<br />
DPG Tagung Frankfurt / M. http://frankfurt06.dpg-tagungen.de<br />
DPG Tagung Dresden http://dresden06.dpg-tagungen.de<br />
LASER Shanghai, China www.global-electronics.net<br />
Redaktion optolines<br />
Doppelstandbild Gauß-Weber<br />
Göttingen besitzt seit 1899 eines der wenigen bedeutenden<br />
Doppelstandbilder. Es wurde durch Spendengelder<br />
aus der ganzen Welt verwirklicht. Der Berliner<br />
Bildhauer Prof. Ferdinand Hartzer stellte Carl Friedrich<br />
Gauß und Wilhelm Weber im Dialog über den elektromagnetischen<br />
Telegraphen dar (siehe Seite 3).<br />
> Kontakt: janine.jagemann@linos.de<br />
Norbert Henze, Bastian Dzeia, Janine Jagemann,<br />
Thömas Thöniß.<br />
Literaturtipp<br />
Handbook of Optical Systems,<br />
Volume I<br />
Auf gut 800 Seiten des<br />
Werkes werden sowohl die<br />
notwendigen Grundlagen<br />
der paraxialen Optik, der<br />
Fotometrie bzw. Radiometrie,<br />
der Strahldurchrechnung als<br />
auch Materialeffekte und<br />
wichtige Nebenaspekte wie<br />
z.B. Lichtquellen, Sensoren<br />
und Grenzflächen behandelt.<br />
Hervorzuheben ist dabei die Tiefe, die das Buch für die<br />
rein optischen Themenfelder aufweist. Viele Formeln<br />
– insgesamt weit über 1.000 – sowie umfangreiche<br />
Referenzen helfen dem Leser schnell, konkrete Hilfe<br />
zu Problemen und Fragestellungen zu finden. Mehr als<br />
700 farbige Darstellungen verdeutlichen die teilweise<br />
komplexen Sachverhalte. Dem Autor Herbert Gross,<br />
langjähriger Leiter der Optik-Design-Abteilung bei<br />
der Carl Zeiss AG, gelingt es, die für die Entwicklung<br />
optischer Systeme maßgeblichen Grundlagen in einem<br />
Buch darzustellen. Die Autoren sind allesamt erfahrene<br />
Experten aus der Industrie. Das Standardwerk ist auf<br />
6 Bände ausgelegt, die bis Mai 2008 erscheinen werden.<br />
Aus dem Inhalt<br />
Vol 1 : Fundamentals of Technical Optics<br />
1 Introduction<br />
2 Paraxial optics<br />
3 Dielectric interfaces<br />
4 Materials<br />
5 Raytracing<br />
6 Photometry<br />
7 Lightsources<br />
8 Sensors and receivers<br />
9 Theory of color<br />
10 Optical systems<br />
11 Aberrations<br />
12 Waveoptics<br />
13 Plates and prisms<br />
14 Gratings<br />
15 Special components<br />
16 Testing<br />
Herbert Gross (Hrsg.), Handbook of Optical<br />
Systems, Volume 1: Fundamentals of Technical<br />
Optics – Optical Systems (Band 1), 1. Auflage,<br />
Januar 2005, 298,- Euro, 826 Seiten, Hardcover,<br />
ISBN 3-527-40377-9 - Wiley-VCH, Berlin.<br />
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Auf die hochwertigen Optischen Tische, Breadboards<br />
und Labortische von LINOS und TMC gewährt Ihnen<br />
LINOS bis zum 31. Januar 2006 10 % Preisnachlass!<br />
Bitte beachten Sie außerdem unsere optolines<br />
Beilage Sonderverkaufsaktion Herbst 2005<br />
(gültig für Deutschland und Österreich).<br />
Auf der Liste finden Sie preisreduzierte Linsen, Spiegel,<br />
Prismen und viele weitere LINOS Artikel.<br />
Achtung: Von einigen Produkten gibt es nur noch<br />
wenige Stück auf Lager!<br />
> www.optolines.de<br />
Impressum<br />
No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines<br />
Herausgeber: LINOS Photonics GmbH & Co. KG,<br />
Geschäftsbereich Industrial Manufacturing<br />
Königsallee 23, D-37081 Göttingen<br />
FON +49 (0)5 51 / 69 35-0, www.linos.de<br />
© Konzeption, Layout und Produktion:<br />
BEISERT & HINZ UNTERNEHMENSKOMMUNIKATION GbR<br />
Stumpfebiel 6, D-37073 Göttingen<br />
in Zusammenarbeit mit P.O.S. Network<br />
Fotonachweis: Fotostudio Czerwonski Göttingen,<br />
BEISERT & HINZ Göttingen, LINOS Göttingen<br />
19
Welcome to Silent-Island<br />
Schwingungsisolierte Tischsysteme, Arbeitsplattformen<br />
und Faraday Käfige<br />
TableTop<br />
Workstations<br />
Optische Tischsysteme<br />
LINOS Photonics GmbH & Co. KG<br />
Industrial Manufacturing<br />
D-37081 Göttingen<br />
Telefon +49 (0) 551 6935 0<br />
E-mail: sales@linos.de<br />
www.linos-katalog.de