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Konstruktion<br />

Optischer<br />

Tischplatten<br />

optolines<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005<br />

Fachmagazin für Optomechanik und Optoelektronik<br />

Großes<br />

Weihnachtsrätsel<br />

Seite 18<br />

Teil II der Serie über Optische<br />

Tische von LINOS und TMC:<br />

Nachgiebigkeit, Vibration,<br />

Resonanz, Dämpfung | Seite 14<br />

Piezo-Antrieb im Nanoformat<br />

Erster „gehender“ Motor, keramische „Muskeln“<br />

GRIN-Linsen und 4fach bm.x<br />

Neue kostensparende und flexible Systeme<br />

WinLens: neue Tools, mehr Leistung<br />

Das kostengünstige Programm für Einsteiger und Profis<br />

Automatisierte Plattformen<br />

In Serie: Qualitätsprüfung mikrooptischer Bauteile


EDITORIAL<br />

CONTENT<br />

Liebe Leserin, lieber Leser,<br />

Das Jahr ist fast vorbei und es ist schon wieder<br />

Zeit für einen Jahresrückblick.<br />

Erfreulicherweise lässt sich für die Optikbranche<br />

eine deutliche Aufwärtstendenz erkennen.<br />

Es gibt immer neue Entwicklungen, die<br />

auf optischen Technologien basieren. Dieser<br />

Trend wurde auf den führenden internationalen<br />

Messen bestätigt.<br />

LINOS hat in diesem Jahr einige Weichen für<br />

die Zukunft gestellt, um weiterhin für Sie<br />

kompetenter Partner zu sein. So haben wir –<br />

für Sie weitestgehend unbemerkt – unser<br />

Warenwirtschaftssystem auf den neuesten<br />

Standard umgestellt. Dadurch sind wir in der<br />

Lage, Ihnen einen perfekten Rund-um-Service<br />

zu bieten!<br />

Um noch engeren Kontakt zu Ihnen – unseren<br />

Kunden – aufzubauen, haben wir darüber<br />

hinaus unser Vertriebsnetz konsequent<br />

ausgebaut und konnten mit wzw-Optik AG<br />

für die Schweiz, BFi OPTiLAS für Nordeuropa<br />

und MICOS IBERIA für Spanien engagierte<br />

und professionelle Partner gewinnen.<br />

Nun möchte ich Ihre Aufmerksamkeit vor<br />

allem auf die Artikel unserer Gastautoren lenken,<br />

für deren Beiträge wir uns sehr herzlich<br />

bedanken! Interessant auf Seite 4, was der<br />

erste „gehende“ Motor mit bahnbrechender<br />

Piezo-Antriebstechnik im Nanoformat zu<br />

leisten vermag oder auf Seite 12 wie die<br />

Qualitätsprüfung optischer Bauteile in Serie<br />

durch automatisierte Plattformen eine neue<br />

Dimension bekommt.<br />

Wir bedanken uns für das entgegengebrachte<br />

Vertrauen und wünschen Ihnen ein<br />

erfolgreiches neues Jahr!<br />

Eine schöne Vorweihnachtszeit wünscht<br />

Ihnen<br />

INSIGHT<br />

Measurement-Valley-Messe 2006: Kongress<br />

in Göttinger Lokhalle | Gauß-Weber-<br />

Telegraphenweg wird per Laser sichtbar<br />

gemacht | Göttinger Fachhochschule<br />

verabschiedet 41 technische Ingenieure |<br />

Seite 3<br />

INNOVAS<br />

Erster gehender Motor – Piezo-<br />

Antriebstechnik im Nanoformat |<br />

Seite 4<br />

INNOVAS<br />

4fach Beamexpander bm.x |<br />

GRIN-Linsen – Neue LINOS Produkte<br />

flexibel integrierbar | Seite 7<br />

INNOVAS<br />

WinLens: neue Tools, mehr Leistung –<br />

Das kostengünstige Programm für<br />

Einsteiger und Profis | Seite 8<br />

CHECKUP<br />

Automatisierte Plattformen – Qualitätsprüfung<br />

optischer Bauteile in Serie |<br />

Seite 12<br />

BASICS<br />

Design Optischer Tischplatten –<br />

Optische Tischsysteme von LINOS<br />

und TMC, Teil II |<br />

Seite 14<br />

LIVE<br />

Tolle Preise zu gewinnen: LINOS<br />

Weihnachtsrätsel 2005 | Sonderpreisaktion:<br />

Breadboards | Literaturtipp |<br />

Messen und Roadshows | Impressum |<br />

Seite 18/19<br />

Andreas Hädrich<br />

Business Unit Katalog<br />

LINOS Photonics GmbH & Co. KG, Göttingen<br />

2 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


INSIGHT<br />

Messe-Event im „Measurement Valley“<br />

Kongress in der Göttinger Lokhalle mit regionalen Hightech-Firmen –<br />

Workshop „Optisches und Taktiles Messen“<br />

Unter dem Titel „Measurement 2006 – enabling<br />

processes“ bietet Göttingen im nächsten Februar<br />

Fachbesuchern ein umfangreiches Messe-, Kongressund<br />

Workshopprogramm an. In der multifunktionellen<br />

Lokhalle, gleich hinter dem ICE-Bahnhof gelegen,<br />

wird der Göttinger Unternehmensverband „Measurement<br />

Valley e.V.“ erstmals mit den in und um Göttingen<br />

angesiedelten Hightech-Firmen einen Kongress<br />

veranstalten. Eine Workshop-Reihe hat taktile und<br />

optische Messtechniken bei der Qualitätssicherung<br />

in der industriellen Serienfertigung zum Thema.<br />

Weitere Workshops behandeln verschiedene, auf<br />

die Messtechnik bezogene Support-Funktionen im<br />

Universeller Veranstaltungsraum – die Lokhalle in<br />

Göttingen.<br />

Unternehmen wie Kenntnisse in Produkthaftung und<br />

Lizenzrecht bis zu Marketing- und Vertriebsaufgaben.<br />

Göttingen ist in mehrfacher Hinsicht der optimale<br />

Standort für eine solche Veranstaltung: Nirgendwo<br />

in Deutschland ist die Dichte an Messtechnikunternehmen<br />

so hoch wie in der südniedersächsischen<br />

Universitätsstadt. Von den bundesweit etwa 40.000<br />

Arbeitsplätzen in der Messtechnikbranche sind mehr<br />

als 6.800 in und um Göttingen beheimatet. Die<br />

Messtechnik-Kompetenz in den Unternehmen wird<br />

unterstützt durch die Zusammenarbeit mit großen<br />

Forschungsabteilungen an der Universität, am Deutschen<br />

Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) und an<br />

der Fachhochschule HAWK Hildesheim/Holzminden/<br />

Göttingen. Allein im Verein „Measurement Valley“<br />

sind 37 Göttinger Unternehmen und Forschungseinrichtungen<br />

zusammengeschlossen.<br />

www.measurement2006.de<br />

www.lokhalle.de<br />

Gauß-Weber-Telegraph Göttingen<br />

Laser-Lichtstrahl zeichnet Weg nach – Impulse an „Messtechnikmeile“<br />

2005 ist Gauß-Jahr. Deshalb gab und gibt es in Göttingen,<br />

der Stadt, in der der Forscher 50 Jahre wirkte,<br />

zahlreiche Ausstellungen, Events und Vorlesungen.<br />

Ein Event wird sich auf das Jahr 1833 beziehen:<br />

Die beiden Göttinger Physiker Carl Friedrich Gauß<br />

und Wilhelm Weber erfanden und installierten den<br />

Eine Gedenktafel an der Göttinger Gauß’ Sternwarte<br />

erinnert an das historische Ereignis, jetzt<br />

lebt der Kommunikationsweg per Laser noch<br />

einmal auf.<br />

elektromagnetischen Telegraphen – die erste elektrische<br />

Datenfernübertragung der Welt. Um diese<br />

wissenschaftliche und technische Pionierleistung zu<br />

würdigen, wird der Verein „Measurement Valley“ im<br />

Rahmen der Göttinger Messtechnikmeile am 14. Februar<br />

2006 eine Nachbildung einrichten. Dazu soll die<br />

Übertragungsstrecke, die 1833 aus gespannten Drähten<br />

bestand, mit Laserlicht nachgezeichnet werden.<br />

Diese Strecke kann vom Dach der örtlichen Volksbank<br />

in zwei Teilstücken zu 520 m und 310 m dargestellt<br />

werden. Dabei erwartet die Betrachter eine besondere<br />

Aktion: Durch nachvollziehbar langsames Takten<br />

des Lichtes werden verschiedene Nachrichten in<br />

der von Gauß und Weber verwendeten Kodierung<br />

übertragen.<br />

Das Projekt wird u.a. unterstützt durch die „Measurement<br />

Valley“ Mitgliedsunternehmen LINOS, dikon<br />

und Messwert.<br />

www.measurement-valley.de<br />

www.gaussjahr.de<br />

41 technische<br />

Ingenieure<br />

verabschiedet<br />

Duale Ausbildung erhöht<br />

Chancen im Berufsleben<br />

Feierlich erhielten die Studenten Ihre Diplom- und<br />

Masterurkunden. Prof. Martin Thren, Präsident der<br />

HAWK betonte dabei, dass „die gute Ausbildung an<br />

der Göttinger Fachhochschule für eine hohe berufliche<br />

Einstellquote der Absolventen“ sorge. 35 Diplomanden<br />

und sechs Master verabschiedet die Fakultät Naturwissenschaften<br />

und Technik der FH Hildesheim/Holzminden/Göttingen.<br />

Die betreuenden Professoren stellten die Themen vor<br />

und lobten das hohe Niveau der Abschlussarbeiten.<br />

Diese verfassten die jungen Ingenieurtechniker in der<br />

Elektro- und Feinwerktechnik, Informatik, Optical Engineering/Photonik<br />

und Physiktechnik.<br />

Sechs herausragende Diplom- und Masterarbeiten prämierte<br />

die Fakultät mit Buchpreisen. Die praxisnahen<br />

Themen schöpften die Diplomanden aus den berufspraktischen<br />

Studiensemestern und studienbegleitenden<br />

Ausbildungsplätzen an zumeist regionalen Optik-,<br />

Photonik- und Messtechnik-Firmen.<br />

Als Vorsitzender des „Förderverein Fachhochschule<br />

Göttingen e.V.“ erinnerte Prof. Dr. Gerd Litfin daran,<br />

dass auch in einer Dienstleistungsgesellschaft die Basis<br />

allen Wohlstands die Technik bleibe. Sie befriedige viele<br />

Alltagsbedürfnisse. Litfin unterstrich: „Zusammen mit<br />

Naturwissenschaftlern leisten Ingenieure dazu den<br />

wichtigsten Beitrag“.<br />

www.foerderverein-fh-goe.de<br />

www.hawk-hhg.de<br />

Prof. Dr. Gerd Litfin, Mitte, mit sechs von 41 Absolventen<br />

der HAWK, deren Diplom- und Masterarbeiten<br />

prämiert wurden, (v.l.): Matthias Müller, Jan-Erich<br />

Lohrberg, Christian Mohr, Christian Gillmann, Marcel<br />

Jung und Sven Finke.<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 3


INNOVAS<br />

Revolutionäre Piezo-Antriebstechnik im Nanoformat<br />

Erster „gehender“ Motor<br />

Von Dipl.-Ing. Arne Hauberg, NANOS Instruments, Hamburg<br />

Elektrische Motoren gibt es in allen Größen und Formen. „PiezoMotor“, eine kleine schwedische Firma, nutzt<br />

das Phänomen der Piezoelektrizität und hat nun den kleinsten und präzisesten Linearmotor der Welt entwickelt.<br />

Möglich wurde dieser wegweisende Miniaturantrieb durch Vielschicht-Piezoelemente und ein neues<br />

Motorkonzept. Wie der „Piezoeffekt“ die Dinge in Bewegung bringt, erfahren Sie in diesem Beitrag.<br />

nieure von PiezoMotor haben sich dieses<br />

Problems angenommen und mit dem Piezo<br />

LEGS einen völlig neuartigen elektrischen<br />

Motor entwickelt.<br />

„Gehen“ mit Piezo LEGS<br />

Klein aber kraftvoll – mit einer Schrittzahl von bis zu 3.000 Schritten pro Sekunde kann der Motor eine<br />

Geschwindigkeit von mehreren Millimetern pro Sekunde erreichen.<br />

Obwohl es uns oftmals nicht bewusst ist,<br />

sind Piezomaterialien in vielen Produkten<br />

des täglichen Lebens zu finden. Dazu<br />

gehören medizinisches Equipment, Laborinstrumente,<br />

Telekommunikation oder<br />

einfache elektronische Feuerzeuge. Piezokeramiken<br />

vereinen Festigkeit, Geschwindigkeit,<br />

Kraft und Genauigkeit in einem<br />

Material. Das Funktionsprinzip eines Piezomotors<br />

beruht auf dem „Piezoeffekt“.<br />

Das Wort „Piezo“ kommt aus dem Griechischen<br />

und bedeutet „Druck“. Beim „Piezoelektrischen<br />

Effekt“ entsteht bei Ausübung<br />

von Druck auf einen besonderen Kristall<br />

eine elektrische Spannung. Die umgekehrte<br />

Erscheinung, eine Verformung bei Anlegen<br />

einer elektrischen Spannung, wird als inverser<br />

piezoelektrischer Effekt bezeichnet.<br />

Die Kraft, die hierbei entsteht, zwingt ein<br />

mehrlagiges Piezomaterial schon bei geringer<br />

Spannung sich ausreichend zu verformen.<br />

Die Piezokeramiken dehnen sich um<br />

rund 0,1 Prozent aus und ziehen sich beim<br />

Entladen wieder zusammen. Diese einzigartigen<br />

Eigenschaften sind bereits seit über<br />

einem Jahrhundert bekannt und werden<br />

seitdem in verschiedensten Anwendungen<br />

genutzt. Die einzige Einschränkung beim<br />

Gebrauch von Piezomotoren war bislang<br />

die limitierte Reichweite der Bewegung,<br />

welche in direktem Zusammenhang mit der<br />

Länge der Piezoelemente steht. Die Inge-<br />

Der Piezo LEGS Motor wird in einem<br />

Stück gefertigt und hat eine Sandwichstruktur<br />

aus dünnen keramischen Ebenen<br />

und leitenden Materialien. Einer dieser<br />

Motoren kann aus mehr als 100 Ebenen<br />

bestehen, die wie die Beine einer Ameise<br />

angeordnet sind. Ein Motorelement<br />

misst in der kleinsten Ausführung nur<br />

5 x 1 x 2 mm (l x b x h). Durch den Piezoeffekt<br />

stellt sich ein Dehnen und Zusammenziehen,<br />

Heben und Senken ein – eine<br />

Bewegung, die dem „Gehen“ ähnelt. Mit<br />

stufenloser Geschwindigkeit werden die<br />

linearen Elemente direkt angetrieben. Ein<br />

Getriebe ist überflüssig und reduziert die<br />

Systemkosten. Die an die keramischen<br />

„Muskeln“ angelegte Spannung kontrolliert<br />

die synchronisierte Bewegung<br />

der Beinpaare, wodurch Vorwärts- und<br />

Rückwärtsbewegungen möglich sind. Die<br />

einzigartige Bauweise des Piezo LEGS<br />

lässt den Motor in einer präzisen linearen<br />

Bewegung laufen, mit Schrittlängen von<br />

weniger als ein paar Mikrometern. Durch<br />

die Ansteuerung im Mikroschrittbetrieb,<br />

ähnlich wie bei Schrittmotoren, ist eine<br />

Auflösung von unter 1 Nanometer möglich.<br />

Mit Ansteuerfrequezen bis 4 kHz<br />

kann der Motor eine Geschwindigkeit von<br />

zehn bis zwanzig Millimeter pro Sekunde<br />

<br />

> Kontakt:<br />

www.nanos-instruments.com<br />

4 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


INNOVAS<br />

Abb. 1: Piezo LEGS.<br />

erreichen. Die Kraft des Motors beträgt<br />

dabei 7 N bis 10 N. Mit anderen Worten,<br />

der Motor kann den Stab mit einer<br />

Kraft bewegen, als ob er 1000 g heben<br />

würde, welches dem 1000-fache seines<br />

Eigengewichts gleichkommt. Da der Piezomotor<br />

keine Magnetfelder hat, treten<br />

auch keine magnetischen oder induktiven<br />

Störungen auf. Außerdem besitzt er keine<br />

Lager, Spindeln oder Getriebestufen. Er ist<br />

dadurch wartungs- und fettfrei und frei<br />

von Spiel, Taumeleffekten, Hysterese und<br />

Drifteffekten.<br />

Der Antrieb<br />

Der Motor besteht aus zwei Antriebsschenkelpaaren.<br />

Jedes Paar wird von<br />

analogen Signalen gesteuert, die eine<br />

Spannungsweite von 48 V haben. Durch<br />

das Anpassen der Layerschichtdicke ist es<br />

möglich, die Betriebsspannung kundenspezifisch<br />

einzustellen. Das verwendete<br />

Antriebssystem des Motors ist ein nichtdynamisches<br />

Prinzip, d.h. die Position der<br />

Antriebsschenkel ist zu jedem Zeitpunkt<br />

bekannt. Zwei Phasen sind erforderlich,<br />

um eine Bewegung zu erzeugen und zwei<br />

weitere Phasen für die zwei voneinander<br />

unabhängigen Antriebsschenkelpaare im<br />

Motor. Die Phasenverschiebung ist auf 90°<br />

Abb. 3: Funktionsprinzip der „Piezo-Beine“.<br />

eingestellt und die Phasenverschiebung der<br />

beiden Antriebschenkel auf 180°. (Abb.5)<br />

Um Schrittweiten im Nanometerbereich zu<br />

erreichen, muss das gesamte System präzise<br />

zusammenspielen, und es braucht eine<br />

Ansteuerung, die dieser anspruchsvollen<br />

Aufgabe gerecht wird. Jedoch ist die elektronische<br />

Ansteuerung eines Piezomotors<br />

nicht deutlich komplizierter, als die Ansteuerung<br />

eines gewöhnlichen Schrittmotors.<br />

Mit dem neuen x.act Commander Piezo<br />

von LINOS lassen sich Piezomotoren präzise<br />

anzusteuern. Der Trend geht zu Motoransteuerungen<br />

in kompletten Subsystemen,<br />

die als „Embedded Module“ ausgeführt<br />

werden und mit einer leistungsstarken<br />

Software versehen sind. Der x.act Commander<br />

Piezo erlaubt die direkte Steuerung<br />

von drei Piezo LEGS Antriebsschenkeln.<br />

Benutzerdefinierte Steuerprogramme können<br />

über die CAN oder RS232 Schnittstelle<br />

in den x.act Commander Piezo geladen<br />

werden. Programme lassen sich mit einem<br />

komfortablen Editor erstellen. Ein Assembler<br />

prüft die Syntax sowie den Wertebereich,<br />

und eine Onlinehilfe unterstützt die<br />

Programmierung eigener Bewegungen.<br />

Eine Grafikanzeige stellt Positionen und<br />

Statusanzeigen dar. Umfangreiche Softwaremodule,<br />

eine DLL und verschiedene<br />

Treiber bieten dem Anwender eine Fülle<br />

äußerst nützlicher Funktionen, die besonders<br />

im Labor gefragt und hilfreich sind.<br />

Der Piezomotor ist vielseitig einsetzbar<br />

und erzeugt schnelle und präzise Bewegungen<br />

mit hoher Auflösung. Der Trend<br />

zur Miniaturisierung geht heute über den<br />

Konsumerbereich hinaus: Medizintechnik,<br />

Luftfahrt, Laborautomation und Telekommunikation<br />

fragen nach immer kleineren<br />

Komponenten von Motoren und Antriebselektronik.<br />

Hier ermöglichen Piezomotoren<br />

das Design von sehr kleinen, präzisen,<br />

einfach kontrollierbaren und verlässlichen<br />

Antrieben. Ein Beispiel für den Einsatz der<br />

Piezo LEGS mit der Ansteuerelektronik<br />

vom x.act Commander Piezo findet sich in<br />

medizinischen Mikroskopen. Jedes Mikroskop<br />

verfügt über mehrere Linsen, die je<br />

nach Einsatz unterschiedlich eingestellt<br />

und positioniert werden müssen. Piezomotoren<br />

positionieren die Linsen mit hoher<br />

Präzision im Nanometerbereicht. Ihre<br />

geringe Größe lässt sie platzsparend in die<br />

Anwendung integrieren, Batterie betrieben<br />

finden sie sich auch in transportablen<br />

Instrumenten.<br />

Piezo-Positioniertisch<br />

Einsatz findet dieser Piezomotor zum<br />

Beispiel in der neuen Gerätegeneration<br />

von LINOS Positioniertischen. Hier sind<br />

wahlweise 1 oder 2 Motoren integriert, die<br />

als Tandem parallel angesteuert werden.<br />

Somit wird die Kraft von 10 N oder 20 N <br />

Abb. 2: Der Piezo-Motor.<br />

Verwendung des Piezo LEGS<br />

Abb. 4: Das Ansteuerungsmodul x.act Commander<br />

Piezo von LINOS erlaubt die direkte Steuerung von<br />

drei Piezo LEGS Antriebsschenkel.<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 5


INNOVAS<br />

180°<br />

90°<br />

Abb. 7: X-, Y-, Z-Kombination von drei<br />

Piezo-Positionierern.<br />

Abb. 5: Normale Phasenverschiebungen zwischen Antriebsspannungssignalen.<br />

bereitgestellt. Um mit dem reibungsbasierenden<br />

Motor eine Position geregelt<br />

anfahren zu können, ist ein Linearencoder<br />

mit Präzisionsglasmaßstab mit einer<br />

absoluten Genauigkeit von ± 1µm als<br />

Feedback integriert. Darin sind weiterhin<br />

ein Encodersensor und die Interpolationselektronik<br />

integriert, die ein hohe<br />

Auflösung von bis zu 2,44 nm ermöglicht<br />

und zusätzlich noch eine Lesefehlerüberwachung<br />

durchführt. In Kombination mit<br />

dem x.act-Commander Piezo, der einen<br />

speziellen dynamischen Regelaloritmus für<br />

diese Motoren besitzt, ist es nun möglich<br />

den Tisch so in einem weiten Geschwindigkeitsbereich<br />

von 1 nm/s bis 10 mm/s<br />

zu betreiben. Es werden die Kraft und das<br />

volle Auflösungsvermögen des Motors<br />

Abb. 6: Die Medizintechnik ist nur ein Anwendungsbeispiel<br />

für den Einsatz des miniaturisierten Piezo-<br />

Motors.<br />

ausgeschöpft. So kann der Motor auf<br />

eine Encoderflanke positioniert werden.<br />

Da die Motoren und die Elektronik eine<br />

sehr geringe Eigenwärme entwickeln, ist<br />

die thermische Drift sehr gering. Optional<br />

ist eine Vakuumausführung bis 10 -9 Torr<br />

herstellbar, die zum Ausheizen bis 100 °C<br />

geeignet ist. Die Elektronik ist dann extern<br />

untergebracht.<br />

Die Ansteuerung<br />

Der x.act Commander Piezo von LINOS ist<br />

eine intelligente und kompakte Motorsteuerung<br />

für drei Piezomotoren, die in einem<br />

Joystickgehäuse integriert wurde. Er lässt<br />

sich bequem vom PC aus parametrisieren,<br />

programmieren und bedienen. Nachdem<br />

der Commander Piezo seine Daten<br />

gespeichert hat, ist er stand-alone-fähig<br />

und kommt komplett ohne PC aus. Alle<br />

Funktionen und Parameter sind am x.act<br />

Commander Piezo zugänglich, am Display<br />

ablesbar und natürlich editierbar. Er eignet<br />

sich hervorragend für die Automatisierung<br />

von Montage- und Messvorrichtungen<br />

bzw. Fertigungslinien sowie Mikroskopen<br />

mit bis zu drei Piezomotoren. Beim Übergang<br />

von der Handarbeit zur Halb- oder<br />

Vollautomatisierung bildet der x.act Commander<br />

Piezo eine wichtige Brücke. Mit<br />

geringem Zeit- und Kostenaufwand erzielt<br />

er einen hohen Optimierungsgrad und<br />

wird daher in Forschung, Labor und Industrie<br />

gerne eingesetzt. Es können so Proben<br />

sehr feinfühlig und über einen weiten<br />

Bereich positioniert werden. Bei 40 mm<br />

Weg steht eine Positionsauflösung von<br />

2,44 nm zur Verfügung. Das entspricht<br />

7 Größenordnungen. <br />

Fokus auf den x.act Commander<br />

Piezo<br />

● einfaches Bedienen über Joystick<br />

und PC<br />

● schnelles Umschalten von Grob-,<br />

Fein- und Nanopositionieren<br />

● integrierte Endstufe für<br />

3 Positioniertische<br />

● Ansteuern der Positionierer im<br />

geschlossenen Regelkreis<br />

● dynamischer Regelalgorithmus<br />

Fokus auf den Positioniertisch<br />

● integrierter Encoder mit Lesefehlerüberwachung<br />

● Auflösung von 2,44 nm und 4,88 nm<br />

● Geschwindigkeiten von 1 nm/s<br />

bis 10 mm/s<br />

● Kraft bis 10 N, optional bis 20 N<br />

durch zweiten Motor<br />

● 40 mm und 60 mm Verfahrweg<br />

● in Tischmitte bis 50 N belastbar<br />

● hält Position auch bei abgeschalteter<br />

Spannung<br />

● Option Vakuumausführung<br />

Piezo LEGS ist eine Trademark von PiezoMotor.<br />

6 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


INNOVAS<br />

Neue LINOS Produkte flexibel integrierbar<br />

GRIN-Linsen in Nanobank-Fassung<br />

Konventionelle Sammellinsen stoßen in der Miniaturisierbarkeit an ihre Grenzen und treiben Produktionskosten<br />

in die Höhe. Eine interessante Alternative sind GRIN-(Gradient-Index-)Linsen, die LINOS schon seit<br />

längerem in seinem Produktportfolio anbietet – nun auch in Fassungen.<br />

Gradienten-Index-Linsen gewinnen aufgrund<br />

ihrer guten optischen Eigenschaften<br />

und des günstigen Preises zunehmend<br />

an Bedeutung in der Faserkopplung oder<br />

Laserkollimation. LINOS bietet ein umfangreiches<br />

Programm an Gradienten-Index<br />

Stab- und Zylinderlinsen an. Zur Integration<br />

dieser miniaturisierten Optiken im<br />

Laboraufbauten sind die Gradienten-Index-<br />

Linsen jetzt auch direkt in einer Fassung<br />

mit 16 mm Durchmesser erhältlich, und<br />

damit direkt in den LINOS Aufbausystemen<br />

Mikrobank und Nanobank zu verwenden.<br />

In der nächsten Ausgabe von optolines<br />

Kostengünstig: Gradienten-Index-Linsen.<br />

werden wir Ihnen in einem ausführlichen<br />

Artikel die Eigenschaften und Möglichkeiten<br />

von GRIN-Linsen erläutern.<br />

Fokus auf LINOS GRIN-Linsen<br />

● in Fassung kompatibel zu Mikrobank<br />

und Nanobank<br />

● zur Faserkopplung, Kollimation oder<br />

Strahlformung<br />

● gute Abbildungseigenschaften<br />

4fach Beamexpander bm.x<br />

Der neue 4fach Beamexpander bm.x hat die Flexibilität des Systems und der bm.x-Reihe weiter verbessert.<br />

Die Reihe von Einsätzen für das modulare<br />

Strahlaufweitungssystem bm.x hat eine<br />

neue Ergänzung: die 4fach-Aufweitung.<br />

Mit dieser Neuentwicklung hat LINOS die<br />

bm.x-Reihe konsequent erweitert und die<br />

Flexibilität des Systems weiter verbessert.<br />

Passend zu den anderen Systemteilen<br />

erlaubt das spezielle Optik-Design den<br />

Einsatz mit minimaler Wellenfrontdeformation<br />

bei Wellenlängen von 458 nm bis<br />

1064 nm. Speziell für diesen Bereich sind<br />

alle Linsen mit einer Antireflexvergütung<br />

von R < 0,5% für 458 nm bis 635 nm<br />

und R < 0,3% für 1064 nm versehen. Die<br />

bewährte Kombination aus Beschichtung<br />

und absorptionsarmen Materialien führt zu<br />

hohen Zerstörschwellen, die besonders für<br />

den Einsatz mit Lasersystemen interessant<br />

sind.<br />

Der 4fach Beamexpander bm.x ergänzt<br />

modulare Strahlaufweitungssysteme.<br />

Fokus auf den LINOS 4fach<br />

Beamexpander bm.x<br />

● zur Reduzierung der Strahldivergenz<br />

● Antireflex-Beschichtung für hohe<br />

Laserleistung<br />

● Eintrittsoptik aus Quarzglas<br />

> Kontakt:<br />

sales@linos.de<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 7


INNOVAS<br />

Das kostengünstige Programm für Einsteiger und Profis<br />

WinLens: neue Tools, mehr Leistung<br />

von Thomas Thöniß, LINOS Göttingen<br />

Die Entwicklung optischer Systeme läuft trotz ihrer hohen Komplexität in wesentlichen Elementen immer<br />

gleich ab. Ausgehend von einer optischen Problemstellung werden bestimmte Phasen der Entwicklung durchlaufen,<br />

bis ein finales optisches Design als Grundlage für ein reales optisches System entstanden ist (siehe<br />

Abb. 1). Schon seit vielen Jahren stellt LINOS mit seinem Programmpaket WinLens leistungsfähige Tools zur<br />

Verfügung, die den Weg der Optikentwicklung ermöglichen.<br />

Was WINLENS-Programme leisten<br />

Die kostenlosen Programme PREDESIG-<br />

NER und WINLENS 4.3 unterstützen die<br />

Analyse optischer Probleme und die Suche<br />

nach einem geeigneten Systemansatz und<br />

dessen geometrisch optische Bewertung.<br />

WINLENS PLUS beinhaltet zusätzliche Tools<br />

zur professionellen Optimierung und Analyse<br />

von komplexen optischen Systemen.<br />

Mit dem TOLERANCER kann auf einfache<br />

Art und Weise ein optisches System hinsichtlich<br />

seiner Herstellbarkeit untersucht<br />

werden. In übersichtlichen Grafiken und<br />

Tabellen werden empfindliche Stellen im<br />

optischen System angezeigt, und durch<br />

eine Monte-Carlo-Analyse wird die nach<br />

einer realen Fertigung erreichbare optische<br />

Performance dargestellt.<br />

Die Programme GLASS MANAGER und<br />

MATERIAL EDITOR ersparen dem Optikentwickler<br />

die Suche nach geeigneten Gläsern<br />

in diversen Katalogen und Datenbanken.<br />

Gläser unterschiedlichster Hersteller können<br />

bequem hinsichtlich optischer, chemischer<br />

und mechanischer Eigenschaften<br />

grafisch und tabellarisch analysiert werden.<br />

Oft ist der Einfluss jahrelanger optischer<br />

Design-Erfahrung im Hause LINOS zu<br />

erkennen. Um die Entwicklung optischer<br />

Systeme gerade für Neu- und Quereinsteiger<br />

aber auch für erfahrene Optikdesigner<br />

noch verständlicher und einfacher zu<br />

gestalten, wurden in der neuesten Version<br />

des Softwarepaketes eine Reihe weiterer<br />

Funktionen hinzugefügt.<br />

Die Programme WINLENS PLUS, TOLERAN-<br />

CER, GLASS MANAGER und MATERIAL<br />

EDITOR können mit nur einer einzigen,<br />

äußerst kostengünstigen Lizenz freigeschaltet<br />

werden. <br />

Einfach bedienbar, klare Grafiken<br />

Von Anfang an wurde bei der Entwicklung<br />

der einzelnen Programme auf eine<br />

möglichst einfache Bedienbarkeit und eine<br />

transparente und didaktisch sinnvolle Darstellung<br />

von Daten und Grafiken geachtet.<br />

Abb. 1: Prinzipieller Ablauf einer Optikentwicklung.<br />

© LINOS<br />

> www.winlens.de<br />

8 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


INNOVAS<br />

Abb. 2: Neu im PREDESIGNER: Apertur-Feld-Diagramm mit Systembeispielen.<br />

PREDESIGNER (Freeware)<br />

Dieses nützliche Programm unterstützt<br />

die erste paraxiale Analyse des optischen<br />

Problems und erspart dem Entwickler die<br />

Suche nach geeigneten Abbildungsformeln<br />

und deren Umstellen nach gesuchten<br />

Größen. Sind einige grundlegende, in der<br />

Aufgabenstellung enthaltene Parameter<br />

eingegeben, werden alle, für eine weitere<br />

Entwicklung notwendigen Größen<br />

übersichtlich tabellarisch ausgegeben.<br />

Erste prinzipielle grafische Darstellung z.B.<br />

nach Listing veranschaulichen die Abbildungsverhältnisse<br />

(sicherlich noch aus der<br />

Schulzeit bekannt: „… Achsparallelstrahl<br />

wird zu Brennpunktstrahl …“). Oftmals<br />

ist es dem Neueinsteiger ein Rätsel, wie<br />

erfahrene Optikdesigner von der Aufgabenstellung<br />

zu einem geeigneten realen<br />

Linsendesign kommen. Überraschend mag<br />

die Tatsache sein, dass nur in seltenen<br />

Fällen optische Systeme komplett neu<br />

erfunden werden. Auch erfahrene Optikrechner<br />

nutzen neben ihrem Wissen, ihrer<br />

Erfahrung und Intuition bereits bekannte<br />

Grunddesigns und<br />

suchen in Systembibliotheken<br />

(wie<br />

z.B. der im WINLENS<br />

Paket enthaltenen<br />

WINLENS Library),<br />

Patentdatenbanken<br />

und anderen Veröffentlichungen<br />

nach<br />

möglichst naheliegenden<br />

Startsystemen.<br />

Für den Laien<br />

geht dabei aber<br />

recht schnell der<br />

Überblick verloren,<br />

wo er denn gezielt<br />

suchen soll.<br />

Lösungsansatz<br />

im Fadenkreuz<br />

Optische Systeme<br />

können zur besseren<br />

Übersicht in<br />

bestimmte Klassen<br />

eingeteilt werden.<br />

Die Einteilung selbst ist allerdings schon<br />

fast eine Wissenschaft für sich. Sie kann<br />

beispielsweise nach Art der Anwendung<br />

(visueller Gebrauch, Einsatz in Lasersystemen<br />

usw.) oder nach der Struktur des<br />

optischen Systems erfolgen (Dublets,<br />

Triplets usw). Uns erschien die Einteilung<br />

nach bekannten Objektivtypen, die sich im<br />

wesentlichen aus ihrer Struktur ergeben,<br />

für eine erste Systemauswahl am meisten<br />

geeignet: Diese Systemtypen lassen sich<br />

recht gut in einer zweidimensionalen Übersicht<br />

darstellen. Die Darstellung erfolgt<br />

dabei in Abhängigkeit des jeweiligen übertragbaren<br />

Feldwinkels w (Objektgröße) und<br />

der typischen Blendenzahlen k (Öffnung,<br />

Lichtstärke) des Systemtyps (Abb. 2). Diese<br />

Größen werden im PREDESIGNER bei der<br />

Eingabe der optischen Aufgabenstellung<br />

abgefragt bzw. errechnet. Liegen diese beiden<br />

Parameter vor, wird in dem Diagramm<br />

durch ein Fadenkreuz das Lösungsareal<br />

mit dem möglichen geeigneten Systemtyp<br />

angezeigt. Diese Art der Apertur-Feld-Darstellung<br />

wurde bereits durch W. J. Smith<br />

veröffentlicht (Modern Lens Design, Verlag<br />

MacGraw-Hill Inc.). LINOS hat dieses Dia-<br />

gramm um wichtige Objektivtypen erweitert.<br />

Zur besseren Veranschaulichung wird<br />

zusätzlich das prinzipielle Systemlayout<br />

neben dem Diagramm angezeigt.<br />

WINLENS 4.3 (Freeware)<br />

Wurde ein brauchbarer Systemtyp gefunden,<br />

kann nun in Datenbanken nach<br />

geeigneten konkreten Systemdaten<br />

gesucht werden. Diese können in das kostenlos<br />

verfügbare WINLENS 4.3 eingelesen<br />

und analysiert werden. Zunächst werden<br />

die Grundeigenschaften des gewählten<br />

Ansatzes untersucht (Brennweiten, Objektabstand,<br />

Abbildungsmaßstab, Wellenlängenbereich<br />

usw.). Häufig entspricht das<br />

gewählte System noch nicht den aus der<br />

Aufgabenstellung gegebenen Anforderungen.<br />

Das System muss beispielsweise noch<br />

auf einen speziellen Abbildungsmaßstab<br />

angepasst, die Öffnung etwas vergrößert,<br />

die Abbildungsleistung weiter verbessert<br />

oder die Verzeichnung verringert werden.<br />

Hier beginnt der eigentliche Prozess des<br />

Optical Designs. Die bloße Analyse von<br />

Aberrationsdarstellungen reicht oft nicht,<br />

um die Potenziale eines optischen Systems<br />

zu erkennen. Hier kann die Seidelsche Bildfehlertheorie<br />

3. Ordnung eine Hilfe bieten,<br />

da sich das Entstehen eventuell vorhandener<br />

Bildfehler, wie Koma, Astigmatismus<br />

usw. im Rahmen der Näherung dritter<br />

Ordnung auf die einzelnen Systemflächen<br />

zurückführen lässt (M. Berek, Grundlagen<br />

der praktischen Optik). Ist die Herkunft<br />

bekannt, kann das System gezielt verändert<br />

werden.<br />

Pegeldiagramm integriert<br />

Die Seidelschen Bildfehlersummen und die<br />

dazugehörigen Flächenbeiträge werden<br />

in WINLENS 4.3/WINLENS PLUS in tabellarischer<br />

Form ausgegeben. Um aber einen<br />

schnellen Überblick zu vermitteln, wurde<br />

in der neuesten Version des Programmpaketes<br />

ein Pegeldiagramm implementiert,<br />

in dem die relativen Fehlerbeiträge jeder<br />

einzelnen Systemfläche als Balken dargestellt<br />

werden. (Abb. 3). Diese Art der<br />

Darstellung offenbart die möglichen Ein- <br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 9


INNOVAS<br />

Abb. 3: Neu in WINLENS 4.3: Pegeldiagramme visualisieren Korrektionszustand optischer Systeme.<br />

griffsmöglichkeiten, um spezifische Fehler<br />

zu reduzieren. Zudem ist sie ein unschätzbares<br />

Hilfsmittel für Lernende, bereits<br />

bekannte Objektivtypen zu analysieren:<br />

Die Korrektions-„Philosphie“ dahinter ist<br />

besser zu verstehen.<br />

WINLENS PLUS<br />

Neben den Analysemöglichkeiten aus<br />

WINLENS 4.3 erlaubt WINLENS PLUS<br />

eine ganze Reihe weiterer grafischer<br />

und tabellarischer Untersuchungen. Der<br />

wesentliche Unterschied zu WINLENS 4.3:<br />

Systemansätze können analysiert und<br />

manuell verändert werden; zudem kann<br />

bei Vorgabe geeigneter Zielfunktionen das<br />

optische System mit Hilfe von effizienten,<br />

automatischen Optimierungsverfahren verbessert<br />

werden. Das Programm enthält ein<br />

ausführliches Manual, das die spezifischen<br />

Methoden der Optimierung beschreibt.<br />

Auch hier wurde auf einen schnellen Einstieg<br />

für Anfänger z.B. bei der Erstellung<br />

der Zielfunktion geachtet. Ist ein geeignetes<br />

optisches Design gefunden, welches in<br />

seinen Abbildungseigenschaften und geometrischen<br />

Dimensionen zu dem gegebenen<br />

optischen Problem passt, sollten sich<br />

weitere Untersuchungen anschließen, um<br />

spätere Enttäuschungen beim tatsächlich<br />

gebauten System zu vermeiden.<br />

Geistern auf der Spur<br />

Aus der Fotografie oder der Verwendung<br />

von Feldstechern mag der Effekt bekannt<br />

sein, dass helle Lichtquellen (z.B. Straßenlaternen)<br />

zu unschönen Doppelbildern<br />

im Bild bzw. Sehfeld führen können und<br />

Abb. 4: Neu in WINLENS PLUS: Einfach zu bedienende grafische Geisterbildanalyse.<br />

den an sich guten Bildeindruck stören.<br />

Die Ursache sind z.B. Reflexe zwischen<br />

einzelnen ungünstig angeordneten oder<br />

geformten Systemflächen. Diese Reflexe<br />

können zu Lichtkonzentrationen, auch<br />

„Geisterbilder“ genannt, auf dem Empfänger<br />

wie Fotofilm, CCD-Detektor oder<br />

das menschliche Auge führen. Beim industriellen<br />

Einsatz von optischen Systemen in<br />

Kombination mit hochdynamischen und<br />

empfindlichen Detektoren vermindern<br />

derartige Geisterbilder den Kontrast des zu<br />

detektierenden Bildes. Bei der Verwendung<br />

von CCD-Detektoren können störende<br />

Geisterbilder nicht nur durch die Reflexion<br />

an zwei Linsenoberflächen entstehen, sondern<br />

auch durch die Reflexion zwischen<br />

dem CCD-Chip selbst oder dessen Cover-<br />

Glas und einer Linsenoberfläche. Beim<br />

Einsatz von High-Power-Lasern können<br />

Reflexe zu hohen Energiekonzentrationen<br />

auf optischen Oberflächen führen und<br />

diese zerstören.<br />

In der neuesten WINLENS PLUS-Version ist<br />

nun eine schnelle und einfach zu bedienende<br />

Geisterbildanalyse in tabellarischer<br />

und in sehr anschaulicher grafischer<br />

Form möglich (Abb. 4). Es können dabei<br />

Einfach- (wichtig bei Lasersystemen) und<br />

Doppelreflexe betrachtet werden. Leicht<br />

ist einzusehen, dass zum Detektor konzentrisch<br />

angeordnete Linsenflächen zu<br />

vermeiden sind. Zur Analyse in WINLENS<br />

brauchen in einem separaten Fenster nur<br />

10 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


INNOVAS<br />

eine oder zwei Systemflächen und eine<br />

Auffangfläche wie die Bildebene angeklickt<br />

zu werden, und die möglichen Geisterbilder<br />

werden hinsichtlich ihrer Größe,<br />

Lage und Energie ausgewertet. Kleine Foki<br />

auf Systemflächen, also Orte mit hoher<br />

Energieansammlung, werden farblich<br />

gekennzeichnet. Eine Systemdarstellung<br />

mit den für die Geisterbilderzeugung relevanten<br />

Strahlen tragen – ähnlich wie im<br />

gewohnten Lens Drawing – zu einer guten<br />

Veranschaulichung bei.<br />

TOLERANCER<br />

Wurde ein optisches Design erstellt, das<br />

der Aufgabenstellung entspricht und das<br />

hinsichtlich seiner Abbildungsleistung der<br />

optischen Problemstellung genügt, müssen<br />

noch dessen Produzierbarkeit geprüft und<br />

© LINOS<br />

Abb. 5: Neu im TOLERANCER: perfekte Linsenzeichnung gemäß DIN ISO 10110.<br />

die zulässigen Fertigungstoleranzen<br />

festgelegt<br />

werden. Hier<br />

stehen im TOLERAN-<br />

CER umfangreiche<br />

Tools zur Verfügung.<br />

Fertigungstoleranzen<br />

können damit ganz<br />

einfach ausgewählt<br />

und deren Einflüsse<br />

auf die in der Realität<br />

zu erwartende<br />

Abbildungsleistung<br />

grafisch und tabellarisch<br />

analysiert<br />

werden. Oftmals<br />

stellen sich optische<br />

Systeme mit hervorragenden<br />

Abbildungsleistungen<br />

als nicht<br />

baubar heraus und<br />

müssen komplett<br />

umgestaltet werden.<br />

Beim Aufdecken der<br />

empfindlichen Konstruktionsparameter<br />

ist die grafische Sensitivitätsanalyse<br />

im<br />

TOLERANCER eine<br />

unschätzbare Hilfe.<br />

Komplexe Linsenzeichnung auf<br />

Knopfdruck<br />

Sind die Toleranzen für das optische System<br />

festgelegt und deren Brauchbarkeit im<br />

geplanten Produktionsprozess nachgewiesen,<br />

ist der eigentliche Optical-Design-Prozess<br />

abgeschlossen. In der Regel werden in<br />

Entwicklungsabteilungen die Optikdaten<br />

anschließend an Konstrukteure übergeben,<br />

die dann Fassungskonstruktionen<br />

vornehmen und entsprechende Linsenund<br />

Mechanikteilezeichnungen erstellen.<br />

Zunächst ist der Kostenaufwand für ein<br />

Objektiv abzuschätzen oder die optischen<br />

Komponenten bei qualifizierten Zulieferern,<br />

wie z.B. LINOS, anzufragen, zu kalkulieren<br />

oder zu bestellen. Hierzu möchte der<br />

Optikentwickler möglichst schnell auf die<br />

Linsenzeichnungen zurückgreifen können.<br />

Mit dem TOLERANCER wird der Optikentwickler<br />

nun in die Lage versetzt, die Zeich-<br />

nungen vollständig selbst gemäß der DIN<br />

ISO 10110 zu erstellen. Im ISO-Drawing-<br />

Tool lassen sich selbst komplexe Linsen<br />

(z.B. Asphären) oder Linsengruppen (3-<br />

fach-Kittglieder) als exakte normgerechte<br />

Zeichnung darstellen (Abb. 5). Bereits zur<br />

Analyse definierte Toleranzen werden auf<br />

Wunsch automatisch übernommen. Aus<br />

einem umfangreichen Symbolkatalog<br />

können Zusatzsymbole (z.B. für Form- und<br />

Lagetoleranzen) ausgewählt werden. Die<br />

Lage, Größe und Position von Beschriftungen,<br />

Symbolen oder zusätzlich eingefügten<br />

Linien kann manuell verändert werden.<br />

Zur Beschriftung werden zwei Standardbeschriftungsköpfe<br />

angeboten, die selbst das<br />

Einbinden eigener Firmenlogos erlauben.<br />

Die fertige Zeichnung kann nun als hoch<br />

aufgelöste Bitmap-Datei oder zur weiteren<br />

Verarbeitung in anderen CAD-Programmen<br />

im dxf-Format ausgegeben werden.<br />

(Bild Zeichnung)<br />

Zusammenfassung<br />

In diesem Beitrag haben wir Ihnen die<br />

wesentlichen neuen Möglichkeiten des<br />

kostengünstigen LINOS Programmpakets<br />

WINLENS beschrieben. Die vielen kleineren<br />

Verbesserungen werden Sie beim<br />

Gebrauch entdecken und schätzen lernen.<br />

Das Programmpaket wird von LINOS kontinuierlich<br />

weiterentwickelt. Einen genauen<br />

Überblick über die Leistungsfähigkeit des<br />

Optical-Design-Softwarepakets finden Sie<br />

unter www.winlens.de. Hier stehen auch<br />

viele weitere Informationen rund um das<br />

Thema Technische Optik/Optical Design<br />

zur Verfügung.<br />

Fokus auf WINLENS<br />

● kostengünstiges Gesamtpaket zum<br />

Preis* von 298,– Ð zzgl. MwSt<br />

● didaktisch hochwertiges Lehr- und<br />

Lerntool<br />

● viele neue Features<br />

● für Einsteiger und Profianwender<br />

● mehr Infos unter: www.winlens.de<br />

* Gültig für Deutschland und Österreich<br />

> Unser Tipp:<br />

Buchen Sie rechtzeitig die praxiserprobten<br />

WinLens-Seminare:<br />

Freitag, 24. März 2006<br />

Freitag, 13. Oktober 2006<br />

LZH Laser Akademie GmbH, Hannover<br />

www.lzh-laser-akademie.de<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 11


CHECKUP<br />

Qualitätsprüfung mikrooptischer Bauteile in Serie<br />

Automatisierte Plattformen<br />

von Mathias Beyerlein, OPTOCRAFT und Rudolf Kaiser, AMICRA<br />

Werden mikrooptische Bauteile in hohen Stückzahlen hergestellt, erfordert die Charakterisierung der Prüflinge<br />

einen höheren Aufwand. Geräte, die eine hundertprozentige Prüfung für eine gezielte Selektion durchführen<br />

können, müssen nicht nur schnell, sondern auch ausreichend genau messen. Dies ist beispielsweise bei<br />

sphärischen und zylindrischen Mikrolinsen oder Laserdiodenarrays gefordert. Bei erhöhter Taktzeit prüfen<br />

automatisierte Plattformen solche Komponenten auf Form und Funktion und tragen somit bei, gehobene<br />

Qualitätsansprüche an Herstellungsprozess und Produkt zu erfüllen.<br />

Anwendungen, in denen mikrooptische<br />

Bauteile eingesetzt werden, sind zunehmend<br />

anspruchsvoll und stellen höhere<br />

Anforderungen an die Messmethoden.<br />

Beispiele liefern Mikrolinsen zur Faserkopplung<br />

optischer Netzwerke oder<br />

Mikrolinsenarrays in Strahlhomogenisierern<br />

für die UV-Lithographie. Auch aktive<br />

Bauelemente wie Arrays von Sende- und<br />

Empfangsdioden müssen ggf. in die Charakterisierung<br />

einbezogen werden. Die<br />

Größe der zu messenden Bauelemente<br />

beginnt bei einigen 10 µm und reicht bis<br />

in den Millimeterbereich hinein. Eine spezielle<br />

Messaufgabe in normaler industrieller<br />

Fertigungsumgebung ist beispielsweise das<br />

Prüfen von 36.000 plankonvexen Silizium-<br />

Mikrolinsen auf 6“-Wafern. Bei einem<br />

Durchmesser von 400 µm und einem relativ<br />

kleinen Oberflächenkrümmungsradius<br />

von etwa 650 µm lässt sich der Prüfling<br />

mit Hilfe einer universellen, in den Produktionsprozess<br />

integrierten Plattform schnell<br />

und exakt messen.<br />

Verfügbare Messverfahren<br />

Auch andere Prüfverfahren, die Rückschlüsse<br />

auf den Herstellungsprozess<br />

zulassen, eignen sich für eine Oberflächenprüfung<br />

der zu vermessenden Mikrooptiken.<br />

Zu den häufigsten Prüfverfahren<br />

mikrooptischer Oberflächen gehören<br />

SHSAutolab Automationsplattform für die<br />

Optikprüfung.<br />

profilometrische Messmethoden, die die<br />

Oberfläche abrastern. Mechanisch taktile<br />

Messgeräte erlauben zwar die Vermessung<br />

nahezu beliebiger Oberflächenformen,<br />

sind jedoch für eine hundertprozentige<br />

Prüfung zu langsam, gefährden die<br />

Oberfläche und ermöglichen keinen Funktionstest<br />

des Prüflings. Die scannende<br />

Weißlichtinterferometrie und die optische<br />

Profilometrie zählen zu den optischen Verfahren<br />

und zeichnen sich durch eine hohe<br />

räumliche Auflösung aus. Licht, das an<br />

sehr steilen Objektoberflächen reflektiert<br />

wird, kann aufgrund des großen Oberflächenwinkels<br />

häufig nicht mehr detektiert<br />

werden. Mikrolinsen mit großer Oberflächenapertur<br />

beispielsweise sind nicht bis<br />

zum Rand messbar. Weiterhin kann eine<br />

Linsenoberfläche auch im direkten interferometrischen<br />

Nulltest geprüft werden, der<br />

insbesondere bei steileren Linsenrändern<br />

im Vergleich zu optisch scannenden Verfahren<br />

die Messung oft erst ermöglicht.<br />

Shack-Hartmann-Messsysteme<br />

Messsysteme, die auf dem Prinzip des<br />

Shack-Hartmann-Wellenfrontsensors<br />

basieren, sind besonders dynamisch und<br />

stabil. Interferometer erzielen beim Messen<br />

von Mikrooptiken im extrem hohen<br />

Genauigkeitsbereich gute Ergebnisse, sind<br />

aber durch die Aufnahme mehrerer phasengeschobener<br />

Bilder relativ langsam und<br />

aufgrund einer Messung des absoluten<br />

Lichtweges sehr vibrationsempfindlich.<br />

Dieses Stabilitätsproblem, das gerade in<br />

einer industriellen Fertigungsumgebung<br />

und bei der Integration in ein automatisiertes<br />

Messsystem stört, lässt sich durch die<br />

Verwendung des Shack-Hartmann-Wellenfrontsensors<br />

vermeiden. Hierbei wird die<br />

Wellenfront aus den Neigungen der Lichtstrahlen<br />

mit einer einzigen Bildaufnahme<br />

rekonstruiert und so die Messergebnisse <br />

> Kontakt:<br />

info@optocraft.de<br />

www.optocraft.de<br />

12 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


CHECKUP<br />

Schema des optischen Messsystems.<br />

ermittelt. Ein Vermessen mit dem Wellenfrontsensor<br />

erlaubt somit ebenfalls eine<br />

Formprüfung, ohne das Objekt abtasten<br />

zu müssen. Die gemessenen Linsenparameter<br />

können auf vielfältige Weise<br />

ausgewertet werden. Abweichungen der<br />

Oberflächenform lassen sich mittels der<br />

Zernike-Koeffizienten als 3D-Darstellung,<br />

Querschnitt, Farb- oder Höhenlinienbild<br />

darstellen. Aus den kompletten Formdaten<br />

können optische Parameter der Linsen<br />

abgeleitet werden.<br />

Automatisierte Messung<br />

Die vorgestellte Automatisierungsplattform<br />

zur Optikprüfung besteht aus zwei<br />

unabhängigen optischen Systemen, die<br />

die Oberfläche der Mikrooptik von der<br />

Ober- und Unterseite her antasten und<br />

den Prüfling auf den Shack-Hartmann-<br />

Sensor abbilden. Mittels Antasten der<br />

Oberflächen durch die beiden Foki und<br />

die Verschiebung der Systeme werden die<br />

Linsendicke oder -höhe gemessen. Aus<br />

einer anderen Position heraus kann der<br />

mittlere Krümmungsradius ermittelt werden.<br />

Damit eine optimale Messposition<br />

erreicht wird, justiert sich die Plattform in<br />

allen Prozessschritten durch die von den<br />

Wellenfrontsensoren gelieferten Korrektursignale<br />

automatisch. Insbesondere an<br />

dieser Stelle kommen die Stabilität und<br />

Geschwindigkeit des Messprinzips zum<br />

Tragen. Für den eingangs genannten<br />

Linsentyp werden Taktzeiten von unter<br />

3s für eine vollständige Charakterisierung<br />

erreicht. Bei den anschließenden<br />

Produktionsschritten werden die in einer<br />

Datenbank gespeicherten Mikrolinsendaten<br />

z.B. an Pick-and-Place- oder<br />

Montagesysteme durchgereicht. So wird<br />

durch die hundertprozentige Prüfung eine<br />

gezielte und genauere Weiterverarbeitung<br />

sichergestellt. Abhängig vom Messobjekt,<br />

das geprüft und dessen Parameter erfasst<br />

werden, ergeben sich unterschiedliche<br />

Messaufgaben, die eine flexible Anpassung<br />

der Automatisierungsplattform nötig<br />

machen. Daher wurde ein modularer<br />

Aufbau der optischen und mechanischen<br />

Komponenten aus dem LINOS Programm<br />

gewählt. Auch die verwendete Steuerund<br />

Messsoftware ist universell ausgelegt<br />

und daher leicht anpassbar.<br />

Funktionsprüfung<br />

Je nach Art der geforderten Charakterisierung<br />

kann die Optik im Auflicht<br />

oder Durchlicht gemessen werden. Da<br />

der Shack-Hartmann-Sensor geringere<br />

Anforderungen an die Lichtquellen stellt,<br />

ergeben sich im Vergleich zur Interferometrie<br />

mehr Anwendungsmöglichkeiten:<br />

Im Messsystem können verschiedene<br />

Messwellenlängen leicht integriert werden,<br />

wobei diese eine niedrigere Kohärenz<br />

aufweisen dürfen. Das automatisierte Prüfsystem<br />

für Durchlichtmessungen bestimmt<br />

Wellenfront, MTF, PSF, Brennweite und<br />

Schnittweite. Der große Dynamikumfang<br />

des verwendeten Wellenfrontsensors<br />

erlaubt sogar, nicht fokale Optiken zu<br />

messen. Da die Funktionsprüfung auf<br />

Wellenfront basiert, lässt sie sich zu einem<br />

integrierten, automatisierten Justage- und<br />

Montagesystem unter Einsatz von robotischen<br />

Systemen erweitern.<br />

Oberflächenmessung an einer Linse.<br />

Optionen und Fazit<br />

Automatisierte optische Messsysteme auf<br />

Basis von Shack-Hartmann-Wellenfrontsensoren<br />

wie das SHSAutolab von OPTO-<br />

CRAFT erzielen eine schnelle und umfassende<br />

Kontrolle von Optiken und leisten<br />

einen wichtigen Beitrag zur Qualitätssicherung<br />

in der industriellen Serienfertigung.<br />

Neben dem Test von Wafer-basierter<br />

Mikrooptik lassen sich Einzelelemente oder<br />

Optiksysteme und deren Justage auch<br />

automatisiert prüfen: beispielsweise Plastiklinsen,<br />

die als Schüttgut oder in Nestern<br />

bereitgestellt werden. Unabhängig von der<br />

produzierten Stückzahl und Art der zu prüfenden<br />

Optiken stellt ein solches System<br />

eine flexibel einsetzbare Plattform dar. Für<br />

Einzelelemente und Kleinserien oder während<br />

der Entwicklung können alle verfügbaren<br />

Messmethoden auch in manuellen<br />

Prüfsystemen implementiert werden. Hier<br />

erlauben Geschwindigkeit und Stabilität<br />

ebenfalls einfache und präzise Messungen. <br />

Verteilung Krümmungsradien der Mikrolinsen über<br />

den Wafer.<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 13


BASICS<br />

Optische Tischsysteme von LINOS und TMC, Teil II<br />

Design Optischer Tischplatten<br />

Von Norbert Henze, LINOS Göttingen<br />

Nachdem in der letzten optolines, Ausgabe No.7, die Grundlagen der Schwingungsisolation erörtert wurden,<br />

stellen wir Ihnen in dieser Ausgabe die Konstruktion von Optischen Tischplatten näher vor. Zunächst ist es<br />

notwendig, sich mit den theoretischen Grundlagen und deren Nomenklaturen Nachgiebigkeit (Compliance),<br />

Vibration, Resonanz und Dämpfung vertraut zu machen.<br />

Masse<br />

Anregende Schwingung<br />

Träger<br />

Nachgiebigkeit (Compliance)<br />

Festlager<br />

Abb 1: Schwingungsfähiges System mit einem<br />

Freiheitsgrad.<br />

Eines der häufigsten Probleme in der<br />

Physik und der Konstruktion ist die Verformung<br />

eines Körpers als Reaktion auf<br />

eine von außen wirkende statische oder<br />

dynamische Kraft. Statische Kräfte, wie die<br />

Belastung von Aufbaumaterial oder Geräten,<br />

können bei einem Optischen Tisch<br />

ein Durchbiegen der Platte verursachen.<br />

Dynamische Kräfte, hervorgerufen durch<br />

Luftschwingungen, Bodenschwingungen<br />

oder mechanische Schwingungsquellen<br />

direkt auf der Platte, bewirken ein Schwingen<br />

und Verformen der Tischplatte. Unter<br />

der Nachgiebigkeit, Compliance, versteht<br />

man die dynamische Verformung einer<br />

Struktur als Reaktion auf eine zeitlich veränderliche<br />

Kraft. Die Nachgiebigkeit ist der<br />

reziproke Wert der dynamischen Steifigkeit.<br />

Eine geringere Nachgiebigkeit bedeutet<br />

beispielsweise bei Optischen Tischen<br />

eine höhere Qualität. Durch die geringere<br />

Auslenkung werden auch montierte opto-<br />

mechanische Komponenten weniger aus<br />

ihrer ursprünglichen Position bewegt. Abb.<br />

1 verdeutlicht die Nachgiebigkeit an einem<br />

schwingungsfähigen System mit nur einem<br />

Freiheitsgrad. Dieses könnte beispielsweise<br />

ein Stahlträger sein, der an einem Ende<br />

fest verankert ist. Wird der Träger mit einer<br />

sinusförmigen Schwingung mit konstanter<br />

Frequenz angeregt, gilt nach den Newtonschen<br />

Gesetzen für die Bewegung die<br />

allgemeine Gleichung:<br />

ma cv kx F sin ω t [1]<br />

0<br />

+ + = ( )<br />

Die linke Seite der Gleichung beschreibt<br />

das zum Schwingen gezwungene System<br />

und die rechte Seite die anregenden<br />

Schwingung, mit:<br />

a = Beschleunigung<br />

v = Geschwindigkeit<br />

x = Auslenkung<br />

m = bewegte Masse<br />

c = Dämpfung<br />

k = Steifigkeit<br />

F 0<br />

sin (ωt) = sinusförmig wechselnde Kraft<br />

mit der Frequenz ω, maximaler<br />

Amplitude F 0<br />

und Zeit t<br />

Der allgemeine Ausdruck für die Nachgiebigkeit<br />

C eines solchen Systems ist gegeben<br />

mit<br />

C = x =<br />

F<br />

1<br />

⎡ (<br />

2<br />

k − m ) + ( c<br />

⎣⎢<br />

)<br />

2<br />

ω ω ⎤<br />

⎦⎥<br />

1<br />

2<br />

[2]<br />

Die Gleichung [2] lässt sich auch in Worte<br />

umformulieren:<br />

C =<br />

1<br />

( Steifigkeit − Masseeffekt ) + Dämpfung<br />

In Abb. 2 ist die Nachgiebigkeit eines<br />

starren Körpers über der Frequenz aufgetragen.<br />

Die Kurve lässt sich in drei Bereich<br />

unterteilen: Steifigkeit, Resonanzeffekt,<br />

Masseeffekt.<br />

Nachgiebigkeit<br />

Resonanzstelle<br />

Bereich der<br />

Steifigkeit<br />

( 1<br />

k<br />

(<br />

ω 0<br />

Frequenz<br />

Masse dominierender<br />

Bereich 1<br />

mω<br />

2<br />

(<br />

(<br />

[3]<br />

Resonanzüberhöhung abhängig<br />

von der Dämpfung 1<br />

cω<br />

Abb. 2: Nachgiebigkeit über Frequenz eines System<br />

mit einem Freiheitsgrad.<br />

Niedrige Frequenzen<br />

Bei niedrigen Frequenzen, unterhalb der<br />

ersten Resonanzfrequenz, überwiegt in<br />

der Gleichung [2] für die Nachgiebigkeit C<br />

der Term der Steifigkeit k. Das bedeutet,<br />

wenn eine niederfrequente Kraft an das<br />

freie Ende des Trägers angreift, hängt der<br />

Betrag der Verbiegung nur von dessen<br />

Steifigkeit ab, die wiederum von der Form<br />

(<br />

(<br />

<br />

14 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


BASICS<br />

und des Elastizitätsmodul des Trägers<br />

abhängig ist.<br />

Resonanzfrequenz<br />

Im Fall der Resonanz wird die Amplitude<br />

der an das freie Ende des Trägers angreifende<br />

Kraft verstärkt. Die Nachgiebigkeit<br />

bei den unterschiedlichen Resonanzfrequenzen<br />

ist hauptsächlich abhängig vom<br />

Betrag der Dämpfung bei diesen Frequenzen<br />

und der effektiven Masse. Allerdings<br />

sind die relativen Resonanzüberhöhungen<br />

auch näherungsweise proportional zu 1/ω 2 .<br />

Höhere Frequenzen<br />

Bei höheren Frequenzen wird die Nachgiebigkeit<br />

C hautsächlich von der Masse m<br />

bestimmt. Aus Gleichung [2] lässt sich für<br />

höhere Frequenzen ableiten:<br />

C = 1 m<br />

2<br />

ω<br />

[4]<br />

Für ein einfaches Feder-Masse-System<br />

wie in Abb. 1 ist es ziemlich einfach die<br />

schwingungsfähige Masse zu bestimmen.<br />

In der Realität ist es jedoch häufig sehr<br />

schwierig diese Masse zu ermitteln.<br />

Krafteinwirkung<br />

Statische Verformung<br />

Krafteinwirkung<br />

Dynamische Verformung<br />

Abb. 3: statische und dynamische Verformung.<br />

80 Hz verhält sich diese näherungsweise<br />

wie ein ideal steifer Körper 1/k. Oberhalb<br />

dieser Frequenz weicht die Tischplatte vom<br />

idealen Verhalten ab, und scharfe Peaks<br />

nach oben zeigen die Resonanzstellen an.<br />

In diesem Bereich ist die Güte der Dämpfung<br />

für die Höhe der auftretenden Amplituden<br />

ausschlaggebend 1/cω. Die Lage der<br />

Resonanzfrequenzen sollte so hoch wie<br />

möglich liegen, da mit zunehmender Frequenz<br />

die Schwingungsamplituden stark<br />

abnehmen 1/mω 2 .<br />

10 -3<br />

Mit Hilfe der Nachgiebigkeitskurve lassen<br />

sich unterschiedliche Tischplatten in ihrer<br />

Qualität vergleichen. Eine gängige Größe<br />

ist der so genannte Q-Faktor. Er gibt den<br />

Faktor der Resonanzüberhöhung im Vergleich<br />

zu einem ideal starren Körper bei<br />

der ersten Resonanzstelle an (Abb. 4).<br />

Q = A [5]<br />

B<br />

Je kleiner der Q-Faktor ist, desto weniger<br />

störend wirken sich Resonanzen auf die<br />

Anwendung aus. Beispielsweise besitzen<br />

Optische Tische mit Stahlwabenkern Werte<br />

von Q ≈ 4, mit Aluminiumwabenkern<br />

Q ≈ 12 und ein Granitblock Q ≈ 460.<br />

Schwingungsmoden<br />

Eine typische rechteckige Optische Tischplatte<br />

kann in unterschiedlichen Moden<br />

schwingen: entlang der kurzen oder entlang<br />

der langen Achse und wie bei einer<br />

Torsionsschwingung (Abb. 5). Jede dieser<br />

Moden hat eine eigene charakteristische<br />

Resonanzfrequenz und lässt sich einem<br />

Peak in der Nachgiebigkeitskurve (Abb. 4)<br />

zuordnen. <br />

Design Optischer Tischplatten<br />

Aus den vorangegangenen theoretischen<br />

Betrachtungen ergeben sich die drei<br />

Grundanforderungen an das Design eines<br />

Optischen Tisches:<br />

● hohe statische und dynamische Steifigkeit<br />

(siehe Abb. 3)<br />

● hohe Dämpfung<br />

● Lage der ersten Resonanzstelle oberhalb<br />

von 100 Hz<br />

Die statische Steifigkeit beschreibt die<br />

auftretende Biegung durch eine zeitlich<br />

konstante Krafteinwirkung. Dagegen<br />

beschreibt die dynamische Steifigkeit die<br />

Verbiegung bei harmonischer Krafteinwirkung<br />

mit einer bestimmten Frequenz.<br />

Die in Abb. 4 dargestellte Nachgiebigkeitskurve<br />

einer Optischen Tischplatte über der<br />

Frequenz zeigt: Bis zu einer Frequenz von<br />

Nachgiebigkeit (in./lb)<br />

10 -4<br />

10 -5<br />

10 -6<br />

10 -7<br />

Ideal steifer Körper<br />

f 0<br />

f 1<br />

f 3<br />

f 4<br />

10 -7<br />

10 -8 10 100 Erste Resonanzstelle 1000<br />

Frequenz (Hz)<br />

Abb. 4: Nachgiebigkeitskurve einer Optischen Tischplatte.<br />

LOG C<br />

A<br />

Q= A 10 -3<br />

B<br />

B<br />

LOG I<br />

10 -4<br />

10 -5<br />

10 -6<br />

Nachgiebigkeit (mm/N)<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 15


BASICS<br />

f 0 f 2<br />

f 1 f 3<br />

Abb. 5: Schwingungsmoden einer rechteckigen<br />

Optischen Tischplatte.<br />

Material und Aufbau einer<br />

Optischen Tischplatte<br />

Nun stellt sich die Frage nach dem optimalen<br />

Material für eine Optische Tischplatte.<br />

In der Vergangenheit wurden diese häufig<br />

aus Beton oder Granit gefertigt. Beide<br />

Materialien besitzen eine hohe Dichte,<br />

haben aber den Nachteil, dass sie Wasser<br />

absorbieren und sich danach verformen.<br />

Ein weiteres in Frage kommendes Material<br />

ist Stahl. Neben der hohen Dichte<br />

besitzt er auch noch eine hohe Festigkeit.<br />

Nachteilig bei einer massiven Stahlplatte<br />

ist jedoch, dass sie bei unterschiedlichen<br />

Frequenzen klingt wie eine „Glocke“.<br />

Beim Design einer Optischen Tischplatte<br />

galt es deshalb zunächst, ein Material<br />

und eine Struktur zu finden, welche die<br />

Anforderungen „hohe“ Dichte, Steifigkeit<br />

und Dämpfung erfüllen. Die Lösung für<br />

die Struktur konnte direkt von der Natur<br />

abgeschaut werden: Genau diese Anforderungen<br />

erfüllt die in Stahl ausgeführte<br />

Bienenwabe.<br />

Die Theorie zum Stahlwabenkern<br />

Betrachtet man die Biegefestigkeit eines<br />

dünnen Metallstreifens, so stellt man fest,<br />

dass dieser in seiner Längsrichtung sehr<br />

formbeständig (Abb. 6) ist. Würde man<br />

das Innere einer Optischen Tischplatte mit<br />

vertikal angeordneten und parallel zueinander<br />

verlaufenden Metallstreifen ausfüllen,<br />

hätte die Platte in der Richtung der<br />

Streifen eine sehr viel höhere Formbeständigkeit<br />

als in die übrigen Richtungen.<br />

Im nächsten Schritt betrachtet man nun<br />

die Konstruktion, bei der die Metallstreifen<br />

unter einem Winkel von 90° zueinander<br />

angeordnet und fest miteinander verbunden<br />

sind (Waffelmuster). Durch diese<br />

Anordnung besitzt die Tischplatte in ihren<br />

beiden Hauptbiegerichtungen eine hohe<br />

Formbeständigkeit. Wie jedoch in Abb. 5<br />

zu sehen ist, kann es auch zu einer Torsion<br />

der Platte kommen. Die Verformung tritt<br />

in Richtung der Ebene auf, die unter 45°<br />

zu den beiden rechtwinklig angeordneten<br />

Metallstreifen steht. In dieser Richtung<br />

wird die Formbeständigkeit auch durch<br />

eine rechtwinklige Konstruktion nicht<br />

verbessert. Offensichtlich ist es vorteilhaft<br />

eine Struktur zu finden, bei der die<br />

Metallstreifen unter einem Zwischenwinkel<br />

angeordnet sind. Dieser Anforderung wird<br />

die Honigwabe nahezu gerecht. Sie kann<br />

als sechseckige oder sinusförmige Zelle<br />

geformt sein.<br />

Aufbau der Optischen Tischplatte<br />

und Breadboards von LINOS und<br />

TMC<br />

Damit eine möglichst große Steifigkeit<br />

und optimale Dämpfung erzielt wird,<br />

haben LINOS und TMC alle aus der Theorie<br />

gewonnenen Richtlinien konsequent<br />

umgesetzt. Ihre Tischplatten zählen daher<br />

zur Klasse der Besten der am Markt<br />

erhältlichen Optischen Tischplatten und<br />

Breadboards. Die Optischen Tischplatten<br />

(Abb. 7) bestehen aus einem Stahlwabenkern,<br />

der unter Verwendung eines speziellen<br />

Epoxidharzes unter hohem Druck<br />

zwischen zwei geläppten Granitplatten mit<br />

der Deck- und der Bodenplatte verbunden<br />

wird. Die Seitenwände sind ebenfalls aus<br />

Stahl gefertigt und bilden daher mit den<br />

übrigen Bestandteilen des Tisches einen<br />

strukturell konsequent einheitlichen Aufbau.<br />

Im Inneren sind die Tischplatten mit<br />

jeweils speziell abgestimmten Dämpfungsmechanismen<br />

ausgestattet: Dämpfungsmatten<br />

an den Seitenwänden und Dämpfungsmassen<br />

an strategischen Punkten der<br />

Tische. Die Breitbandcharakteristik dieser<br />

Einrichtungen wirkt auch bei wechselnden<br />

Belastungen gleichermaßen effizient. Die<br />

Gewindebohrungen sind gegen das Innere<br />

des Tisches mittels spezieller Kappen<br />

versiegelt. Diese CleanTop Ausstattung<br />

verhindert, dass die Verklebung beschädigt<br />

wird – beispielsweise durch eintretende<br />

aggressive Flüssigkeiten.<br />

Stahlwabenkern<br />

Der Stahlwabenkern besteht aus einem<br />

0,25 mm dicken, korrosionsfest beschichteten<br />

Stahlblech. Der Wabenquerschnitt<br />

kann aufgrund der schlanken Kappen,<br />

welche bei der CleanTop Ausstattung<br />

Verwendung finden, auf 3 cm 2 reduziert<br />

werden. Diese hohe Wabendichte sorgt für<br />

eine exzellente Steifigkeit der Optischen<br />

Tischplatte. Die mittlere räumliche Wabendichte<br />

beträgt 0,27 g/cm 3 und der Schermodul<br />

des Wabenkerns 1,9 x 10 9 N/m 2 .<br />

Deckplatte<br />

Die Deckplatte wird spannungsfrei direkt<br />

mit dem Wabenkern verbunden. Sie<br />

besteht aus einem kaltgewalzten ferromagnetischen<br />

Edelstahl. Die Dicke beträgt<br />

wahlweise 3 oder 5 mm. Die Planität ist<br />

besser als +/- 0,13 mm über die gesamte<br />

Tischfläche. Um störende Reflexe weitestgehend<br />

auszuschließen, ist die Oberfläche<br />

angeschliffen. <br />

Parallele Anordnung<br />

Ineinander verzahnte<br />

Anordnung (Waffelstruktur)<br />

Sinusförmige oder hexagonale<br />

Anordnung (Wabenstruktur)<br />

Richtung der<br />

maximalen<br />

Steifigkeit<br />

Abb. 6: Richtung der maximalen Steifigkeit bei<br />

unterschiedlichen Strukturen.<br />

16 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


BASICS<br />

Edelstahldeckplatte mit<br />

Planität besser als ± 0,13 mm<br />

Faserverstärkte Vinyl-<br />

Beschichtung<br />

zum Schutz der<br />

Stahlweitenwände<br />

Seitenwände aus<br />

1,9 mm starkem<br />

kaltgewalztem,<br />

geformtem Stahl<br />

Geschnittene<br />

Gewindebohrungen<br />

im Raster 25 mm<br />

Stahlbodenplatte<br />

Chemisch resistente<br />

Nylon 6 Kappe<br />

unter jeder einzelnen<br />

Gewindebohrung,<br />

CleanTop II Verfahren<br />

Stahlwabenkern<br />

Wabenquerschnitt 3 cm 2<br />

CleanTop II Ausstattung<br />

Die neue CleanTop II Ausstattung der<br />

Tische ist die beste Methode, um den<br />

Wabenkern vor äußeren Einflüssen, z.B.<br />

eindringenden aggressiven Flüssigkeiten,<br />

zu schützen. Das patentierte Verfahren<br />

erlaubt den Abschluss jeder einzelnen<br />

Gewindebohrung durch eine Kappe<br />

aus chemisch resistentem Nylon 6 oder<br />

optional aus rostfreiem Edelstahl. Die<br />

Kappen werden einzeln unter den Gewindebohrungen<br />

mit Epoxidkleber befestigt.<br />

Die schlanke, zylindrische Form der Kappen<br />

des CleanTop II Prinzips erlaubt die<br />

große Dichte und damit außergewöhnliche<br />

Stabilität des Wabenkerns. Die freie Eindrehtiefe<br />

für Schrauben und Gewindestifte<br />

beträgt ca. 25 mm.<br />

Abb. 7: Aufbau einer Optischen Tischplatte von LINOS und TMC.<br />

Effiziente innere Dämpfung<br />

Bodenplatte<br />

Die Bodenplatte ist wie die Deckplatte<br />

ebenfalls spannungsfrei und nach demselben<br />

Verfahren mit der Wabenstruktur<br />

verbunden. Sie besteht aus kaltgewalztem<br />

Stahl, der mit schwarzem Epoxid-Lack<br />

behandelt ist.<br />

Seitenwände<br />

Wegen der höheren Steifigkeit und der<br />

strukturellen Einheitlichkeit des Tisches<br />

bestehen die Seitenwände ebenfalls aus<br />

kaltgewalztem Stahl von 1,9 mm Stärke.<br />

Dieser einheitliche Tischaufbau gewährleistet<br />

bei thermischen Driften oder<br />

lokalen Erwärmungen eine gleichförmige<br />

Ausdehnung des Optischen Tisches. Tischbiegungen<br />

(Bimetalleffekt) sind dadurch<br />

nahezu ausgeschlossen. Die Seitenwände<br />

sind an den Stoßkanten verschweißt und<br />

auf der Innenseite mit Dämpfungsmatten<br />

versehen.<br />

Gewindebohrungen<br />

Alle Gewindebohrungen sind mit Präzisionswerkzeugen<br />

direkt in die Deckplatte<br />

eingeschnitten. Eine saubere Fase schließt<br />

Verletzungen aus. Im Gegensatz zur Verwendung<br />

von Gewindeeinsätzen und<br />

-hülsen können diese Gewinde auf Zug<br />

und Druck gleichermaßen belastet werden.<br />

Eine strukturelle Dämpfung ist notwendig,<br />

um die Empfindlichkeit gegenüber<br />

dynamischen Anregungen von außen zu<br />

minimieren und Schwingungsenergie zu<br />

absorbieren, die von der Tischplatte aufgenommen<br />

wurde. Viele Hersteller verwenden<br />

visko-elastische Kleber beim Zusam- <br />

Allgemeine Spezifikationen der Tischplatten von LINOS und TMC<br />

Kern<br />

Schermodul des Kerns 19300 kg/cm 2<br />

Kerndicht 230 kg/m 3<br />

Wabenquerschnitt < 3 cm 2<br />

Deckplatte<br />

Bodenplatte<br />

Seitenwände<br />

Gewindebohrungen<br />

Typische Lage der ersten Resonanzstelle<br />

Typischer Q-Faktor < 4<br />

Stahlwabenkern, geschlossene Zellen, 0,25 mm Stahlblech<br />

400er magnetischer rostfreier Edelstahl, wahlweise<br />

3 oder 5 mm stark<br />

Stahlplatte mit schwarzer Lackschutzschicht, gleiche<br />

Stärke wie Deckplatte<br />

1,9 mm starke Stahlplatte mit faserverstärkter<br />

Vinyl-Schutzschicht<br />

Geschnittene M6 Gewinde im Raster 25 mm durch<br />

Nylon- oder Edelstahlkappen verschlossen,<br />

CleanTop II Verfahren<br />

> 220 Hz<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines 17


LINOS LIVE<br />

menfügen der Platten. Dabei wird die<br />

Steifigkeit erheblich beeinträchtigt. TMC<br />

arbeitet nur mit aushärtenden Harzen und<br />

zusätzlichen Dämpfungsmassen. Dieses<br />

System altert nicht, gast nicht aus und ist<br />

auf jeden Tisch individuell abgestimmt.<br />

TMC hält die oben aufgeführten Konstruktionsprinzipien<br />

bei der Herstellung der<br />

Optischen Tischplatten konsequent ein.<br />

Dieses Qualitätsprinzip führt zu Tischen<br />

der Spitzenklasse, ihre Steifigkeit ist nach<br />

wie vor unerreicht.<br />

Trockene Dämpfung<br />

Die Schwingungsdämpfung der Optischen<br />

Tische basiert auf einem System der trockenen<br />

Dämpfung, das breitbandig alle<br />

vorhandenen Schwingungen abschwächt.<br />

Gegenüber Öldämpfern besitzt die<br />

trockene Dämpfung mehrere Vorteile.<br />

Öldämpfer sind nur dort besonders gut,<br />

wo sie auf verschiedene Frequenzen abgestimmt<br />

sind. Über längere Zeit können sie<br />

ihre Dämpfungscharakteristik ändern. Die<br />

Eigenfrequenz eines Optischen Tisches<br />

variiert mit der Belastung, Lastverteilung,<br />

Temperatur und der Präsenz der Dämpfer<br />

selbst. In der Praxis ist es jedoch schwierig,<br />

die Dämpfer auf eine bestimmte Frequenz<br />

einzustellen. Die Breitbandtechnik ist daher<br />

der effektivere Weg, einen Optischen Tisch<br />

zu dämpfen. Je nach Anwendung bieten<br />

LINOS und TMC drei Dämpfungsklassen<br />

an. <br />

LINOS Weihnachtsrätsel 2005<br />

Liebe Leserinnen und Leser!<br />

Machen Sie mit beim großen LINOS Weihnachtsrätsel 2005 und gewinnen Sie mit<br />

etwas Glück einen der drei wertvollen Preise. Notieren Sie unter den sechs LINOS Produktabbildungen<br />

den jeweiligen Namen – diese kommen fast alle in dieser optolines Ausgabe<br />

vor! Wenn Sie die nummerierten Buchstabenfelder in die richtige Reihenfolge bringen,<br />

erhalten Sie automatisch das Lösungswort, das einen beliebten Treffpunkt in der Vorweihnachtszeit<br />

beschreibt.<br />

Bitte senden Sie das Lösungswort unter der Betreffzeile LINOS Weihnachtsrätsel 2005<br />

per E-Mail an janine.jagemann@linos.de.<br />

Einsendeschluss ist Dienstag, der 20. Dezember 2005. Es entscheidet das Los.<br />

Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter von LINOS und deren Familienangehörige können<br />

leider nicht teilnehmen! Der Rechtsweg ist ausgeschlossen. Die Gewinne werden noch<br />

vor Weihnachten versandt!<br />

Viel Glück!<br />

Das können Sie gewinnen!<br />

1. Preis: 1 i-pod nano<br />

2. Preis: 1 MP 3 Player<br />

3. Preis: 1 SENSEO Kaffeemaschine<br />

1 2<br />

7 4 8<br />

Fokus auf Optische Tischplatten<br />

von LINOS und des Kooperationspartners<br />

TMC<br />

● strukturell konsequent einheitlicher<br />

Aufbau aus Stahl<br />

● Stahlwabenkern mit hoher Dichte<br />

● höchste statische und dynamische<br />

Steifigkeit<br />

● geschnittene Gewinde M6<br />

6 10 5<br />

9 11<br />

● Gewindeversiegelung durch<br />

CleanTop II Verfahren<br />

3<br />

Das Lösungswort ist „ein beliebter Treffpunkt in der Adventszeit“<br />

12<br />

1 2 3 4 5 6 7 4 8 9 10 6 11 12 8<br />

> Kontakt:<br />

sales@linos.de<br />

18 optolines No. 8 | 4. Quartal 2005


LINOS LIVE<br />

LINOS „Roadshows“ – für Sie unterwegs<br />

Produktpräsentationen und Fachvorträge vor Ort<br />

Nach den Vorträgen Produktpräsentationen am<br />

LINOS Stand – Physiker Stefan Mewes von LINOS in<br />

Göttingen beim „Tag der Physik“ in Oldenburg.<br />

Seit mehreren Jahren präsentiert LINOS regelmäßig<br />

Produktneuheiten in Form von „Roadshows“ vor Ort:<br />

in wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen und<br />

in der Industrie. Die optischen und mechanischen<br />

Komponenten und Systeme aus dem LINOS Katalog<br />

können dann hautnah in Aktion erlebt, angefasst und<br />

auch ausprobiert werden. Fachvorträge von LINOS Pro-<br />

LINOS 2006<br />

Auf allen wichtigen Messen und Tagungen<br />

Termin Messe Ort weitere Infos<br />

21. bis 26.<br />

Jan 2006<br />

29. Jan bis<br />

01. Feb 2006<br />

23. bis 24.<br />

Mär 2006<br />

13. bis 17.<br />

Mär 2006<br />

27. bis 31.<br />

Mär 2006<br />

21. bis 23.<br />

Mär 2006<br />

Photonics<br />

West<br />

ASSP<br />

San Jose CA, USA<br />

Lake Tahoe,<br />

Nv USA<br />

duktmanagern oder Mitarbeitern aus der Entwicklung<br />

vertiefen die Anwendungsmöglichkeiten oder haben<br />

theoretischen Hintergrund. Zum „Tag der Physik“, an<br />

der Universität Oldenburg hielt Stefan Mewes beispielsweise<br />

Anfang November Vorträge über „Faseroptik“<br />

und „Optische Schichten“. Weitere „Roadshows“<br />

führten LINOS in diesem Jahr nach Belgien und in die<br />

Niederlande, Berlin Adlershof, ins Optische Institut der<br />

TU Berlin, zur Physikalisch-Technischen Bundesanstalt<br />

nach Braunschweig und in das Astrophysikalische Institut<br />

Potsdam.<br />

Wenn auch Sie<br />

Interesse an<br />

einer Ausstellung<br />

und/oder<br />

einem Fachvortrag<br />

von LINOS<br />

haben, wenden<br />

Sie sich bitte<br />

an:<br />

sales@linos.de<br />

www.spie.org<br />

www.osa.org/meetings/topicals/assp/<br />

LOB Berlin www.laser-optik-berlin.de<br />

DPG Tagung Frankfurt / M. http://frankfurt06.dpg-tagungen.de<br />

DPG Tagung Dresden http://dresden06.dpg-tagungen.de<br />

LASER Shanghai, China www.global-electronics.net<br />

Redaktion optolines<br />

Doppelstandbild Gauß-Weber<br />

Göttingen besitzt seit 1899 eines der wenigen bedeutenden<br />

Doppelstandbilder. Es wurde durch Spendengelder<br />

aus der ganzen Welt verwirklicht. Der Berliner<br />

Bildhauer Prof. Ferdinand Hartzer stellte Carl Friedrich<br />

Gauß und Wilhelm Weber im Dialog über den elektromagnetischen<br />

Telegraphen dar (siehe Seite 3).<br />

> Kontakt: janine.jagemann@linos.de<br />

Norbert Henze, Bastian Dzeia, Janine Jagemann,<br />

Thömas Thöniß.<br />

Literaturtipp<br />

Handbook of Optical Systems,<br />

Volume I<br />

Auf gut 800 Seiten des<br />

Werkes werden sowohl die<br />

notwendigen Grundlagen<br />

der paraxialen Optik, der<br />

Fotometrie bzw. Radiometrie,<br />

der Strahldurchrechnung als<br />

auch Materialeffekte und<br />

wichtige Nebenaspekte wie<br />

z.B. Lichtquellen, Sensoren<br />

und Grenzflächen behandelt.<br />

Hervorzuheben ist dabei die Tiefe, die das Buch für die<br />

rein optischen Themenfelder aufweist. Viele Formeln<br />

– insgesamt weit über 1.000 – sowie umfangreiche<br />

Referenzen helfen dem Leser schnell, konkrete Hilfe<br />

zu Problemen und Fragestellungen zu finden. Mehr als<br />

700 farbige Darstellungen verdeutlichen die teilweise<br />

komplexen Sachverhalte. Dem Autor Herbert Gross,<br />

langjähriger Leiter der Optik-Design-Abteilung bei<br />

der Carl Zeiss AG, gelingt es, die für die Entwicklung<br />

optischer Systeme maßgeblichen Grundlagen in einem<br />

Buch darzustellen. Die Autoren sind allesamt erfahrene<br />

Experten aus der Industrie. Das Standardwerk ist auf<br />

6 Bände ausgelegt, die bis Mai 2008 erscheinen werden.<br />

Aus dem Inhalt<br />

Vol 1 : Fundamentals of Technical Optics<br />

1 Introduction<br />

2 Paraxial optics<br />

3 Dielectric interfaces<br />

4 Materials<br />

5 Raytracing<br />

6 Photometry<br />

7 Lightsources<br />

8 Sensors and receivers<br />

9 Theory of color<br />

10 Optical systems<br />

11 Aberrations<br />

12 Waveoptics<br />

13 Plates and prisms<br />

14 Gratings<br />

15 Special components<br />

16 Testing<br />

Herbert Gross (Hrsg.), Handbook of Optical<br />

Systems, Volume 1: Fundamentals of Technical<br />

Optics – Optical Systems (Band 1), 1. Auflage,<br />

Januar 2005, 298,- Euro, 826 Seiten, Hardcover,<br />

ISBN 3-527-40377-9 - Wiley-VCH, Berlin.<br />

Schnäppchenpreise<br />

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und Labortische von LINOS und TMC gewährt Ihnen<br />

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Bitte beachten Sie außerdem unsere optolines<br />

Beilage Sonderverkaufsaktion Herbst 2005<br />

(gültig für Deutschland und Österreich).<br />

Auf der Liste finden Sie preisreduzierte Linsen, Spiegel,<br />

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Achtung: Von einigen Produkten gibt es nur noch<br />

wenige Stück auf Lager!<br />

> www.optolines.de<br />

Impressum<br />

No. 8 | 4. Quartal 2005 optolines<br />

Herausgeber: LINOS Photonics GmbH & Co. KG,<br />

Geschäftsbereich Industrial Manufacturing<br />

Königsallee 23, D-37081 Göttingen<br />

FON +49 (0)5 51 / 69 35-0, www.linos.de<br />

© Konzeption, Layout und Produktion:<br />

BEISERT & HINZ UNTERNEHMENSKOMMUNIKATION GbR<br />

Stumpfebiel 6, D-37073 Göttingen<br />

in Zusammenarbeit mit P.O.S. Network<br />

Fotonachweis: Fotostudio Czerwonski Göttingen,<br />

BEISERT & HINZ Göttingen, LINOS Göttingen<br />

19


Welcome to Silent-Island<br />

Schwingungsisolierte Tischsysteme, Arbeitsplattformen<br />

und Faraday Käfige<br />

TableTop<br />

Workstations<br />

Optische Tischsysteme<br />

LINOS Photonics GmbH & Co. KG<br />

Industrial Manufacturing<br />

D-37081 Göttingen<br />

Telefon +49 (0) 551 6935 0<br />

E-mail: sales@linos.de<br />

www.linos-katalog.de

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