Analyse von multinären PVD N-Schichten auf Magnesium ...
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Gliederung<br />
• Einleitung <strong>PVD</strong><br />
• Beispielhafte <strong>PVD</strong>-Schichtsysteme (Si(X)CN, TiMgN)<br />
• Prüfmethoden der chemischen Analytik dünner <strong>Schichten</strong><br />
• Unser GDOES-Equipment<br />
• Kalibration <strong>von</strong> Stickstoff<br />
• Zusammenfassung<br />
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