Analyse von multinären PVD N-Schichten auf Magnesium ...
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B<br />
Schichtsysteme<br />
Beispiele - SiCN<br />
a-SiCN<br />
C%<br />
C%<br />
• Der Stickstoffgehalt liegt in <strong>Schichten</strong> in einem breiten Spektrum vor<br />
• Die Messung des Stickstoffgehaltes muß deshalb exakt sein<br />
!"#$%&B
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